偏振軸檢測器、偏振測定裝置及方法、偏振光照射裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于測定偏振光的偏振軸的偏振軸檢測器、偏振測定裝置、偏振測定方法以及偏振光照射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，關(guān)于以液晶面板為代表的液晶顯示元件的取向膜或視場角補(bǔ)償膜的取向?qū)拥鹊娜∠蛱幚恚捎谜丈漕A(yù)定波長的偏振光來進(jìn)行取向的、被稱為光取向的技術(shù)。
[0003]光取向中使用的照射裝置，通常具備光源和偏振器，使光源的光通過偏振器，并照射由此得到的偏振光。在光取向技術(shù)中，從照射裝置照射的偏振光的偏振軸(光照射面上的偏振光的軸)是否成為所期望的偏振軸是非常重要的。因此，將偏振器的角度設(shè)定為預(yù)定的角度之后，實際進(jìn)行偏振光照射而測定偏振軸，如果沒有成為所期望的偏振軸，則需要進(jìn)行校正偏振器角度的作業(yè)。
[0004]作為現(xiàn)有的偏振軸測定方法，存在例如專利文獻(xiàn)1記載的技術(shù)。在該技術(shù)中，除了照射裝置所具備的第一偏振器之外，還設(shè)置用于檢測偏振軸的第二偏振器，一邊使第二偏振器旋轉(zhuǎn)，一邊檢測依次通過了第一偏振器和第二偏振器的光，根據(jù)該檢測結(jié)果，測定偏振光的偏振特性。具體地講，求出表示第二偏振器旋轉(zhuǎn)時的檢測光的光量的周期性變化的變化曲線，根據(jù)該變化曲線測定偏振軸和消光比，作為上述偏振特性。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2014-20890號公報
[0006]在上述專利文獻(xiàn)1記載的技術(shù)中，作為光源利用放電燈。在放電燈中，存在電弧的波動所引起的光量的經(jīng)時變化，在使第2偏振器旋轉(zhuǎn)的期間，光量也時刻變化。但是，在上述專利文獻(xiàn)1記載的技術(shù)中，由于沒有考慮該放電燈的電弧的波動，所以偏振光的偏振軸的測定精度低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]在此，本發(fā)明的課題在于，提供一種偏振軸檢測器、偏振測定裝置、偏振測定方法以及偏振光照射裝置，在來自光源的光的照度隨時間而變動的情況下，也能夠高精度地檢測偏振光的偏振軸。
[0008]為了解決上述課題，本發(fā)明的一種偏振軸檢測器，檢測從光源照射的偏振光的偏振軸，包括:第一偏振光檢測部，具有用于檢測所述偏振軸的可旋轉(zhuǎn)的檢測用偏振器、以及檢測通過了所述檢測用偏振器的來自所述光源的偏振光的照度信息的第一照度傳感器；以及第二偏振光檢測部，具有直接檢測來自所述光源的偏振光的照度信息的第二照度傳感器，與所述第一偏振光檢測部并列設(shè)置。
[0009]像這樣，與第一偏振光檢測部并列設(shè)置檢測不通過檢測用偏振器的來自光源的偏振光的第二偏振光檢測部。因此，能夠利用2個偏振光檢測部觀看相同的偏振光的波動，能夠?qū)⒂傻诙窆鈾z測部檢測到的偏振光的照度信息設(shè)為由第一偏振光檢測部檢測到的偏振光的照度信息的基準(zhǔn)值。因此，即使在因光源的出力偏差或波動等導(dǎo)致來自光源的偏振光的照度按時間變動的情況下，也能夠進(jìn)行考慮了該照度變動的偏振軸的檢測。
[0010]另外，在上述的偏振軸檢測器中，優(yōu)選所述光源是線狀光源，所述第一照度傳感器和所述第二照度傳感器沿著所述線狀光源延伸的方向排列配設(shè)。
[0011]像這樣，將光源設(shè)為線狀光源時，將2個照度傳感器在線狀光源的照度變化少的方向上排列配置，所以能夠減小各場所的依賴性，得到可靠性高的測定結(jié)果。
[0012]此外，本發(fā)明的一種方式的偏振測定裝置，具備:上述任意一個偏振軸檢測器；以及偏振光測定部，根據(jù)所述偏振軸檢測器檢測到的照度信息來測定所述偏振光，所述偏振光測定部具備:旋轉(zhuǎn)控制部，將所述檢測用偏振器旋轉(zhuǎn)到多個指定角度；照度信息修正部，根據(jù)檢測照度值和參考照度值來運算修正后照度值，所述檢測照度值是在所述多個指定角度由所述第一照度傳感器檢測到的照度信息，所述參考照度值是與所述第一照度傳感器進(jìn)行的該檢測照度值的檢測同步地由所述第二照度傳感器檢測到的照度信息，所述修正后照度值是對所述檢測照度值中包含的由從所述光源照射的偏振光的隨時間的照度變動引起的誤差進(jìn)行了修正后的照度值；以及偏振特性運算部，運算表示所述檢測用偏振器的旋轉(zhuǎn)角度和由所述照度信息修正部運算出的修正后照度值之間的關(guān)系的偏振光角度特性，根據(jù)該偏振光角度特性，運算來自所述光源的偏振光的偏振特性。
[0013]像這樣，使用由第二偏振光檢測部檢測到的參考照度值，對由第一偏振光檢測部檢測到的檢測照度值中包含的來自光源的偏振光的隨時間的照度變動引起的誤差進(jìn)行修正，所以能夠運算出修正了上述誤差的偏振光角度特性。因此，即使在使檢測用偏振器旋轉(zhuǎn)的期間，來自光源的偏振光變動的情況下，仍能夠高精度地運算該偏振光的偏振特性。
[0014]另外，在上述的偏振測定裝置中，優(yōu)選所述照度信息修正部將由所述第一照度傳感器檢測到的所述檢測照度值，除以與該檢測照度值的檢測同步地由所述第二照度傳感器檢測到的所述參考照度值，從而運算所述修正后照度值。像這樣，能夠利用除法這樣的較簡單的手法，適當(dāng)?shù)貙z測照度值中包含的來自光源的偏振光的照度變動引起的誤差進(jìn)行修正。
[0015]此外，在上述的偏振測定裝置中，優(yōu)選所述照度信息修正部通過從由所述第一照度傳感器檢測到的所述檢測照度值，減去在所述多個指定角度由所述第二照度傳感器檢測到的各參考照度值的平均值和與所述檢測照度值的檢測同步地由所述第二照度傳感器檢測到的所述參考照度值之差，從而運算所述修正后照度值。像這樣，利用減法和平均值計算這樣的較簡單的手法，能夠適當(dāng)?shù)貙z測照度值中包含的由來自光源的偏振光的照度變動引起的誤差進(jìn)行修正。
[0016]此外，在上述的偏振測定裝置中，優(yōu)選所述偏振特性運算部具備偏振軸角度運算部，該偏振軸角度運算部根據(jù)所述偏振光角度特性，確定通過了所述檢測用偏振器的來自所述光源的偏振光的照度成為極值的所述檢測用偏振器的旋轉(zhuǎn)角度，根據(jù)所確定的旋轉(zhuǎn)角度，運算所述偏振光的偏振軸角度來作為所述偏振特性。由此，能夠高精度地運算偏振軸角度。
[0017]另外，在上述的偏振測定裝置中，優(yōu)選所述偏振特性運算部具備消光比運算部，該消光比運算部根據(jù)所述偏振光角度特性，確定通過了所述檢測用偏振器的來自所述光源的偏振光的照度的最大值和最小值，根據(jù)所確定的最大值和最小值，運算所述偏振光的消光比作為所述偏振特性。由此，能夠高精度地運算消光比。
[0018]此外，本發(fā)明的一種方式的偏振測定方法，測定從光源照射的偏振光，包括如下步驟:使用于檢測偏振軸的檢測用偏振器旋轉(zhuǎn)到多個指定角度，在各指定角度檢測通過了所述檢測用偏振器的來自所述光源的偏振光的照度信息、即檢測照度值；以及與檢測通過了所述檢測用偏振器的來自所述光源的偏振光的照度信息的定時同步地，直接檢測未通過所述檢測用偏振器的來自所述光源的偏振光的照度信息、即參考照度值。
[0019]像這樣，同步檢測通過了檢測用偏振器的來自光源的偏振光和不通過檢測用偏振器的來自光源的偏振光。因此，將參考照度值設(shè)為檢測照度值的基準(zhǔn)值，即使在來自光源的偏振光的照度按時間變動的情況下，也能夠進(jìn)行考慮了該照度變動的偏振軸的檢測。
[0020]另外，在上述的偏振測定方法中，包括如下步驟:根據(jù)在所述多個指定角度檢測到的所述檢測照度值和所述參考照度值，運算對所述檢測照度值中包含的由從所述光源照射的偏振光的隨時間的照度變動引起的誤差進(jìn)行了修正的修正后照度值；運算表示所述檢測用偏振器的旋轉(zhuǎn)角度與所述修正后照度值之間的關(guān)系的偏振光角度特性；以及根據(jù)所述偏振光角度特性來運算來自所述光源的偏振光的偏振特性。
[0021]像這樣，能夠使用參考照度值對檢測照度值中包含的來自光源的偏振光的隨時間的照度變動引起的誤差進(jìn)行修正。因此，能夠運算出對上述誤差進(jìn)行了修正的偏振光角度特性。因此，即使在檢測用偏振器旋轉(zhuǎn)的期間，來自光源的偏振光變動了的情況下，仍能夠高精度地檢測該偏振光的偏振特性。
[0022]此外，本發(fā)明的一種方式的偏振光照射裝置，向取向膜照射偏振光而進(jìn)行光取向，具有:線狀光源；多個偏振器，沿著所述線狀光源延伸的方向配設(shè)；光照射部，照射利用所述偏振器將所述線狀光源的光偏振后的偏振光；以及上述任一項所述的偏振測定裝置，測定所述光照射部照射的偏振光。
[0023]由此，偏振測定裝置能夠高精度地測定從光照射部照射的偏振光的偏振特性。因此，能夠恰當(dāng)?shù)嘏袛鄰墓庹丈洳空丈涞钠窆獾钠褫S是否成為所需的偏振軸。
[0024]發(fā)明效果
[0025]在本發(fā)明的偏振軸檢測器中，與檢測通過了檢測用偏振器的來自光源的偏振光的第一偏振光檢測部并列設(shè)置檢測不通過檢測用偏振器的來自光源的偏振光的第二偏振光檢測部。因此，即使在來自光源的偏振光的照度按時間變動的情況下，能夠進(jìn)行考慮了該照度變動的偏振軸的檢測。
[0026]另外，在具備該偏振軸檢測器的偏振測定裝置中，能夠使用由第二偏振光檢測部檢測到的參考照度值，對由第一偏振光檢測部檢測到的檢測照度值進(jìn)行修正，所以即使在檢測用偏振器旋轉(zhuǎn)的期間，來自光源的偏振光變動的情況下，能夠高精度地運算該偏振光的偏振特性。
【附圖說明】
[0027]圖1是示出本實施方式的偏振光照射裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
[0028]圖2是光照射部的與長邊方向正交的方向的截面圖。
[0029]圖3是光照射部的長邊方向的截面圖。
[0030]圖4是不出偏振器的配置例的圖。
[0031]圖5是示出偏振軸檢測器的主要部分的立體圖。
[0032]圖6是示出偏振軸檢測器的主要部分的截面立體圖。
[0033]圖7是示出第一偏振光檢測部的構(gòu)成的示意圖。
[0034]圖8是示出偏振測定裝置的構(gòu)成的框圖。
[0035]圖9是示出由控制部執(zhí)行的偏振測定處理步驟的流程圖。
[0036]圖10是示出偏振光的角度特性的一個例子的圖。
[0037]圖11是用于說明本實施方式的效果的圖。
[0038]附圖標(biāo)記說明:
[0039]10A、10B…光照射部；11…放電燈;12…反射鏡;13A、13B…偏振器單兀;13Aa、13Ba…偏振器;13Ab、13Bb…框架;14…燈罩;20…搬運部;21…工作臺;22…導(dǎo)向件;23…電磁鐵；30…偏振測定裝置；31…偏振軸檢測器；311…第一偏