一種激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭及光譜檢測(cè)方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭，包括：激光器、光路轉(zhuǎn)換裝置、聚集采集裝置、耦合濾光裝置、光譜儀；激光器，用于輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束；光路轉(zhuǎn)換裝置，設(shè)置于激光束的輸出光路上，用于改變?nèi)肷涔獾膫鬏斅肪€(xiàn)；聚集采集裝置，用于將光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處；耦合濾光裝置，設(shè)置在光路轉(zhuǎn)換裝置和光譜儀之間，用于將采集到的光束進(jìn)行光耦合后將形成的條形光斑聚集在光譜儀的狹縫處。本發(fā)明可以提高光譜儀耦合效率，提高系統(tǒng)采集效率；降低器件及儀器的成本，提高系統(tǒng)的容差性能；降低匯聚激光光斑的功率密度，防止熱積累和樣品灼燒；提高采樣范圍，更適合對(duì)固體混合物樣品及稀疏樣品的采樣。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭及光譜檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及激光激發(fā)光譜檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭及光譜檢測(cè)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]激光激發(fā)光譜探測(cè)技術(shù)包括拉曼光譜、熒光光譜和等離子體光譜等技術(shù)，激光光源作為這些光學(xué)現(xiàn)象的激發(fā)光源，其性能特點(diǎn)，如功率、發(fā)散角、波長(zhǎng)、半峰寬等將直接影響相應(yīng)探測(cè)器的綜合性能?；诠鈻?棱鏡的光譜分析儀是目前使用最為廣泛的光譜探測(cè)設(shè)備，其光學(xué)結(jié)構(gòu)主要包括:狹縫、準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)、光柵/棱鏡、收集光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器/探測(cè)器陣列;激光器種類(lèi)繁多，有半導(dǎo)體激光器、固體激光器、光纖激光器等;而激光器輸出的激光經(jīng)過(guò)多種處理后多以軸對(duì)稱(chēng)的平行光出射并最終匯聚成圓形光斑，最終耦合進(jìn)光譜儀的激發(fā)信號(hào)的能量受限于狹縫，如圖1所示，大部分的能量均被狹縫阻隔而無(wú)法進(jìn)入后續(xù)分析系統(tǒng)，極大的降低的系統(tǒng)的采集效率。
[0003]為了達(dá)到更高的效率，通常的做法是嚴(yán)格控制激光的發(fā)散角，使其以極小的發(fā)散角匯聚后達(dá)到盡量小的匯聚光斑，這樣導(dǎo)致激光器的制造成本提高，極小的匯聚光斑又有能量密度過(guò)高易點(diǎn)燃被測(cè)樣品、采樣范圍小不利于混合固體測(cè)量，而且系統(tǒng)的對(duì)焦景深小，系統(tǒng)容差小等問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭及光譜檢測(cè)方法。
[0005]本發(fā)明提供的激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭，包括:激光器、光路轉(zhuǎn)換裝置、聚集采集裝置、耦合濾光裝置、光譜儀；
[0006]所述激光器，用于輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束；
[0007]所述光路轉(zhuǎn)換裝置，設(shè)置于激光束的輸出光路上，用于改變?nèi)肷涔獾膫鬏斅肪€(xiàn)；
[0008]所述聚集采集裝置，用于將所述光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的光束聚集在放置有樣品的隹占處.
[0009]所述耦合濾光裝置，設(shè)置在所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述光譜儀之間，用于將采集到的光束進(jìn)行光耦合后將形成的條形光斑聚集在所述光譜儀的狹縫處。
[0010]上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還可以具有以下特點(diǎn):
[0011]所述激光器所輸出的激光束經(jīng)過(guò)所述聚集采集裝置后匯聚的光斑呈長(zhǎng)橢圓形或長(zhǎng)條形，并且所輸出的激光束的長(zhǎng)軸方向與所述光譜儀的狹縫長(zhǎng)邊方向相平行。
[0012]上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還可以具有以下特點(diǎn):
[0013]所述激光器所輸出的激光束的光束的長(zhǎng)軸方向發(fā)散角為ΘII，短軸方向?yàn)棣圈桑鼍奂杉b置的焦距為fl，所述耦合濾光裝置的焦距為f2，所述光譜儀的狹縫的寬度為d，有效長(zhǎng)度為!^所述長(zhǎng)軸方向發(fā)散角0||滿(mǎn)足0||=&七3]1(17€2)，所述短軸方向Θ丄滿(mǎn)足Θ丄= atan(d/f2)0
[0014]上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還可以具有以下特點(diǎn):
[0015]所述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還包括:設(shè)置于所述激光器和所述光路轉(zhuǎn)換裝置之間的凈化濾光裝置。
[0016]上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還可以具有以下特點(diǎn):
[0017]所述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還包括:設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述耦合濾光裝置之間的陷波濾光裝置。
[0018]本發(fā)明提供的使用上述激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭進(jìn)行光譜檢測(cè)的方法，包括:
[0019]在所述光路轉(zhuǎn)換裝置的焦點(diǎn)處放置樣品；
[0020]使所述激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束；
[0021]所述光路轉(zhuǎn)換裝置將接收到的光束反射到所述聚集采集裝置，所述聚集采集裝置將所述光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處，并透射從樣品散射回的光束；
[0022]所述耦合濾光裝置將接收到的光束聚集到所述光譜儀的狹縫處。
[0023]上述方法還可以具有以下特點(diǎn):
[0024]所述使所述激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束包括:使所述激光器所輸出的激光束經(jīng)過(guò)所述聚集采集裝置后匯聚的光斑呈長(zhǎng)橢圓形或長(zhǎng)條形，并且所輸出的激光束的長(zhǎng)軸方向與所述光譜儀的狹縫長(zhǎng)邊方向相平行
[0025]上述方法還可以具有以下特點(diǎn):
[0026]所述使所述激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束包括:使所述激光器所輸出的激光束的光束的長(zhǎng)軸方向發(fā)散角為Qll，短軸方向?yàn)棣▉A，所述聚集采集裝置的焦距為fl，所述耦合濾光裝置的焦距為f2，所述光譜儀的狹縫的寬度為d，有效長(zhǎng)度為L(zhǎng)，所述長(zhǎng)軸方向發(fā)散角θ||滿(mǎn)足0||=atan(L/f2)，所述短軸方向Θ丄滿(mǎn)足Θ丄= atan(d/f2)。
[0027]上述方法還可以具有以下特點(diǎn):
[0028]所述方法還包括:在所述激光器和所述光路轉(zhuǎn)換裝置之間設(shè)置凈化濾光裝置，通過(guò)凈化濾光裝置對(duì)接收到的光束進(jìn)行濾除雜光的處理。
[0029]上述方法還可以具有以下特點(diǎn):
[0030]所述方法還包括:在所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述耦合濾光裝置之間設(shè)置的陷波濾光裝置，通過(guò)陷波濾光裝置對(duì)接收到的光束進(jìn)行濾除雜光的處理。
[0031]本發(fā)明采用與狹縫方向平行的非軸對(duì)稱(chēng)空間條形光斑輸出模式的激光器設(shè)計(jì)，使激光長(zhǎng)短軸方向的發(fā)散角與狹縫匹配，使匯聚后同樣能量的激光能量由圓形區(qū)域分布變?yōu)闂l形區(qū)域分布，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0032]1、提高光譜儀耦合效率，提高系統(tǒng)采集效率；
[0033]2、降低器件及儀器的成本，提高系統(tǒng)的容差性能；
[0034]3、降低匯聚激光光斑的功率密度，防止熱積累和樣品灼燒；
[0035]4、采樣范圍更大，更適合對(duì)固體混合物樣品及稀疏樣品的采樣。
【附圖說(shuō)明】
[0036]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中圓形光斑在光譜儀的狹縫處示意圖；
[0037]圖2是實(shí)施例一中激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭的結(jié)構(gòu)圖；
[0038]圖3是實(shí)施例一中使用激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭進(jìn)行光譜檢測(cè)的方法的流程圖；
[0039]圖4是實(shí)施例一中形成的條形光斑在光譜儀的狹縫處示意圖；
[0040]圖5是實(shí)施例二中激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例
[0041]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互任意組合。
[0042]實(shí)施例一
[0043]圖2是實(shí)施例一中激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭的結(jié)構(gòu)圖。激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭包括:激光器1、光路轉(zhuǎn)換裝置2、聚集采集裝置3、耦合濾光裝置4、光譜儀5。
[0044]激光器I，用于輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束;此激光器I可以是空間條形光斑輸出激光器。
[0045]光路轉(zhuǎn)換裝置2，設(shè)置于激光束的輸出光路上，用于改變?nèi)肷涔獾膫鬏斅肪€(xiàn);此光路轉(zhuǎn)換裝置2可以為二向色性邊緣濾光片，反射激光并且透射信號(hào)光。
[0046]聚集采集裝置3，用于將光路轉(zhuǎn)換裝置折射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處；此聚集采集裝置3可以為聚集采集透鏡，將激光匯聚至樣品出，形成條形匯聚光斑，同時(shí)采集信號(hào)光并準(zhǔn)直成平行光。
[0047]耦合濾光裝置4，設(shè)置在光路轉(zhuǎn)換裝置和光譜儀之間，用于將采集到的光束進(jìn)行光耦合后將形成的條形光斑聚集在光譜儀5的狹縫處;此耦合濾光裝置4可以為耦合濾光透
Ho
[0048]激光器I所輸出的激光束經(jīng)過(guò)聚集采集裝置后匯聚的光斑呈長(zhǎng)橢圓形或長(zhǎng)條形，并且所輸出的激光束的長(zhǎng)軸方向與光譜儀的狹縫長(zhǎng)邊方向相平行。并且，激光器所輸出的激光束的光束的長(zhǎng)軸方向發(fā)散角為Qll，短軸方向?yàn)棣▉A，聚集采集裝置的焦距為f I，耦合濾光裝置的焦距為f2，光譜儀的狹縫的寬度為d，有效長(zhǎng)度為L(zhǎng)，長(zhǎng)軸方向發(fā)散角Θ"滿(mǎn)足Qll = Btan(L/f2)，短軸方向Θ丄滿(mǎn)足Θ丄= atan(d/f2)。參考設(shè)計(jì)光束發(fā)散角是按照理論公式推算所得，以條形光斑配置其他參數(shù)條件下仍具有本發(fā)明所述的部分優(yōu)勢(shì)或全部?jī)?yōu)勢(shì)。
[0049]激光器的波長(zhǎng)可以為任何其他半導(dǎo)體激光器常用波長(zhǎng)，如為405nm、532nm\808nm\830nm\905nm\976nm\1064nm等，單波長(zhǎng)或雙波長(zhǎng)、多波長(zhǎng)也適用。
[0050]光譜儀5為常用光譜儀器，前部的狹縫用于收集信號(hào)光，后部的光譜分析模塊用于進(jìn)行光譜分析。
[0051]圖3是使用實(shí)施例一中激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭進(jìn)行光譜檢測(cè)的方法的流程圖；此方法包括:
[0052]步驟I，在光路轉(zhuǎn)換裝置的焦點(diǎn)處放置樣品，
[0053]步驟2，使激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束，
[0054]步驟3，光路轉(zhuǎn)換裝置將接收到的光束反射到聚集采集裝置，聚集采集裝置將光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處，并透射從樣品散射回的光束；
[0055]步驟4，耦合濾光裝置將接收到的光束聚集到光譜儀的狹縫處。
[0056]此方法中，步驟I中使激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束包括:使激光器所輸出的激光束經(jīng)過(guò)聚集采集裝置后匯聚的光斑呈長(zhǎng)橢圓形或長(zhǎng)條形，并且所輸出的激光束的長(zhǎng)軸方向與光譜儀的狹縫長(zhǎng)邊方向相平行;還包括:使激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束包括:使激光器所輸出的激光束的光束的長(zhǎng)軸方向發(fā)散角為Θ Il，短軸方向?yàn)棣▉A，聚集采集裝置的焦距為Π，耦合濾光裝置的焦距為f2，光譜儀的狹縫的寬度為d，有效長(zhǎng)度為L(zhǎng)，長(zhǎng)軸方向發(fā)散角Θ滿(mǎn)足0|| = atan(L/f2)，短軸方向Θ丄滿(mǎn)足Θ丄= atan(d/f2)。
[0057]圖4是實(shí)施例一中形成的條形光斑在光譜儀的狹縫處示意圖。
[0058]實(shí)施例二
[0059]圖5是實(shí)施例二中激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭的結(jié)構(gòu)圖。為提高激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭的精度，與實(shí)施例一相比，實(shí)施例二中的激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭還包括設(shè)置于激光器和光路轉(zhuǎn)換裝置之間的凈化濾光裝置(例如激光凈化濾光片，用于凈化激光波長(zhǎng)成分，濾除雜光干擾)，和設(shè)置于光路轉(zhuǎn)換裝置和耦合濾光裝置之間的陷波濾光裝置(例如陷波濾光片，用于阻隔采集回來(lái)的瑞麗散射散射光，用于消除干擾波段的雜散光信號(hào))。
[0060]使用實(shí)施例二中激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭進(jìn)行光譜檢測(cè)的方法與使用實(shí)施例一中激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭進(jìn)行光譜檢測(cè)的方法相比，還包括以下執(zhí)行步驟:在激光器和光路轉(zhuǎn)換裝置之間設(shè)置凈化濾光裝置，通過(guò)凈化濾光裝置(例如采用激光凈化濾光片)對(duì)接收到的光束進(jìn)行濾除雜光的處理;在光路轉(zhuǎn)換裝置和耦合濾光裝置之間設(shè)置的陷波濾光裝置(例如為陷波濾光片)，通過(guò)陷波濾光裝置對(duì)接收到的光束進(jìn)行濾除雜光的處理。
[0061 ] 通常光譜儀的狹縫的有效長(zhǎng)度L為1000至3000um，寬度d為10至100um不等，呈細(xì)長(zhǎng)條結(jié)構(gòu)。關(guān)于探測(cè)探頭的各組件的具體參數(shù)的實(shí)例如下:1.激光器輸出的激光的波長(zhǎng)為785nm,0|| = 2.8° ,θ1 = 0.14° ; 2.激光凈化濾光片的吸光度不低于2，半高寬FWHM < 1nm; 3.二向色性邊緣濾光片的信號(hào)光透過(guò)率2 90%，45度角激光反射率? 90% ;4.聚焦采集透鏡的焦距Π為15mm;6.陷波濾光片的吸光度大于或等于6;7.耦合透鏡的焦距f2為20mm;8.光譜儀的狹縫的寬度為50um，長(zhǎng)度為5mm，有效長(zhǎng)度L為100um0
[0062]本發(fā)明中激光器輸出的光束不作特殊的光束整形，在平行和垂直于截面的兩個(gè)方向有不同的發(fā)散角，利用這一特性與本發(fā)明的發(fā)散角要求匹配，并且使激光器射出的光束的長(zhǎng)短軸方向與狹縫方向匹配，使匯聚后同樣能量的激光能量由圓形區(qū)域分布變?yōu)闂l形區(qū)域分布，能提高光信號(hào)的耦合效率，從而提高系統(tǒng)的采集效率，降低器件及儀器的成本，提高系統(tǒng)的容差性能，降低匯聚激光光斑的功率密度，防止熱積累和樣品灼燒，增大采樣范圍，更適合對(duì)固體混合物樣品及稀疏樣品的采樣，特別適合于信號(hào)微弱的激光激發(fā)拉曼、熒光和等離子體光譜的采集。
[0063]上面描述的內(nèi)容可以單獨(dú)地或者以各種方式組合起來(lái)實(shí)施，而這些變型方式都在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
[0064]需要說(shuō)明的是，在本文中，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。
[0065]以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制，僅僅參照較佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的精神和范圍，均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭，其特征在于，包括:激光器、光路轉(zhuǎn)換裝置、聚集采集裝置、耦合濾光裝置、光譜儀； 所述激光器，用于輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束； 所述光路轉(zhuǎn)換裝置，設(shè)置于激光束的輸出光路上，用于改變?nèi)肷涔獾膫鬏斅肪€(xiàn)； 所述聚集采集裝置，用于將所述光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處； 所述耦合濾光裝置，設(shè)置在所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述光譜儀之間，用于將采集到的光束進(jìn)行光耦合后將形成的條形光斑聚集在所述光譜儀的狹縫處。2.如權(quán)利要求1所述的激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭，其特征在于， 所述激光器所輸出的激光束經(jīng)過(guò)所述聚集采集裝置后匯聚的光斑呈長(zhǎng)橢圓形或長(zhǎng)條形，并且所輸出的激光束的長(zhǎng)軸方向與所述光譜儀的狹縫長(zhǎng)邊方向相平行。3.如權(quán)利要求2所述的激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭，其特征在于， 所述激光器所輸出的激光束的光束的長(zhǎng)軸方向發(fā)散角為Q11，短軸方向?yàn)棣葋A，所述聚集采集裝置的焦距為fl，所述耦合濾光裝置的焦距為f2，所述光譜儀的狹縫的寬度為d，有效長(zhǎng)度為L(zhǎng)，所述長(zhǎng)軸方向發(fā)散角θ||滿(mǎn)足0||=atan(L/f2)，所述短軸方向Θ丄滿(mǎn)足Θ丄= atan(d/f2)。4.如權(quán)利要求1所述的激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭，其特征在于，還包括:設(shè)置于所述激光器和所述光路轉(zhuǎn)換裝置之間的凈化濾光裝置。5.如權(quán)利要求1所述的激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭，其特征在于，還包括:設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述耦合濾光裝置之間的陷波濾光裝置。6.使用權(quán)利要求1至5中任一激光激發(fā)光譜探測(cè)探頭進(jìn)行光譜檢測(cè)的方法，其特征在于，包括: 在所述光路轉(zhuǎn)換裝置的焦點(diǎn)處放置樣品； 使所述激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束； 所述光路轉(zhuǎn)換裝置將接收到的光束反射到所述聚集采集裝置，所述聚集采集裝置將所述光路轉(zhuǎn)換裝置反射后的光束聚集在放置有樣品的焦點(diǎn)處，并透射從樣品散射回的光束； 所述耦合濾光裝置將接收到的光束聚集到所述光譜儀的狹縫處。7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于， 所述使所述激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束包括:使所述激光器所輸出的激光束經(jīng)過(guò)所述聚集采集裝置后匯聚的光斑呈長(zhǎng)橢圓形或長(zhǎng)條形，并且所輸出的激光束的長(zhǎng)軸方向與所述光譜儀的狹縫長(zhǎng)邊方向相平行。8.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于， 所述使所述激光器輸出長(zhǎng)短軸方向發(fā)散角不一致的激光束包括:使所述激光器所輸出的激光束的光束的長(zhǎng)軸方向發(fā)散角為Q11，短軸方向?yàn)棣▉A，所述聚集采集裝置的焦距為f I，所述耦合濾光裝置的焦距為f2，所述光譜儀的狹縫的寬度為d，有效長(zhǎng)度為L(zhǎng)，所述長(zhǎng)軸方向發(fā)散角θ||滿(mǎn)足0||=atan(L/f2)，所述短軸方向0丄滿(mǎn)足0_L = atan(d/f2)。9.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于， 所述方法還包括:在所述激光器和所述光路轉(zhuǎn)換裝置之間設(shè)置凈化濾光裝置，通過(guò)凈化濾光裝置對(duì)接收到的光束進(jìn)行濾除雜光的處理。10.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于， 所述方法還包括:在所述光路轉(zhuǎn)換裝置和所述耦合濾光裝置之間設(shè)置的陷波濾光裝置，通過(guò)陷波濾光裝置對(duì)接收到的光束進(jìn)行濾除雜光的處理。
【文檔編號(hào)】G01N21/01GK105866033SQ201610476326
【公開(kāi)日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年6月24日
【發(fā)明人】熊勝軍, 袁丁, 趙喜, 劉鳳俊, 夏征
【申請(qǐng)人】北京華泰諾安探測(cè)技術(shù)有限公司