一種石英基板底厚快速測量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種厚度測量裝置，具體涉及一種石英基板底厚快速測量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在使用基板的生產(chǎn)過程中，需要對石英基板的底厚進行測量確認，現(xiàn)有技術(shù)中通常采用測量石英基本凹槽深度，然后與石英基板直徑相減得到基板厚度。但由于石英基板一般直徑較小，測量難度大且測量的數(shù)值會出現(xiàn)偏差，測量部不準確。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]實用新型目的:本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種操作方便，測量快速、準確的石英基板底厚快速測量裝置。
[0004]技術(shù)方案:本實用新型所述的一種石英基板底厚快速測量裝置，包括底座和與所述底座固定連接的固定架，所述固定架通過支架固定連接有百分表，所述百分表下端通過伸縮管活動連接有測頭，所述測頭正下方設(shè)有與底座固定連接的支撐墊片，所述支撐墊片上放置有待測石英基板。
[0005]作為優(yōu)化，所述伸縮管上固定連接有按壓把手。
[0006]作為優(yōu)化，所述測頭為不銹鋼測頭，且表面光滑平整。
[0007]作為優(yōu)化，所述支撐墊片與所述底座通過兩側(cè)的鎖緊螺絲固定連接。
[0008]作為優(yōu)化，所述待測石英基板倒置放置。
[0009]作為優(yōu)化，所述待測石英基板的寬度大于所述支撐墊片的寬度。
[0010]有益效果:本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，能直觀看到測量結(jié)果，測量準確，操作方便的優(yōu)點，解決了現(xiàn)有技術(shù)中單純測量基板凹槽深度不方便的技術(shù)問題。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)主視圖。
[0012]圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0013]圖3為本實用新型的支撐墊片與待測石英基板結(jié)構(gòu)放大圖。
【具體實施方式】
[0014]如圖1-3所示的一種石英基板底厚快速測量裝置，包括底座I和與所述底座I固定連接的固定架2，固定架2通過支架7固定連接有百分表3，百分表3下端通過伸縮管4活動連接有測頭6，測頭6正下方設(shè)有與底座I固定連接的支撐墊片8，支撐墊片8上放置有待測石英基板9，其中伸縮管4上固定連接有按壓把手5，測頭6為不銹鋼測頭，支撐墊片8與所述底座I通過兩側(cè)的鎖緊螺絲固定連接，待測石英基板9倒置放置，待測石英基板9的寬度大于所述支撐墊片8的寬度。
[0015]本實用新型的測量過程為:根據(jù)石英基板的凹槽寬度選擇合適寬度的支撐墊片，將墊片與底座固定，待測基板倒置放在墊片上，把百分比清零校正，下壓把手時測頭與基板表面接觸，讀出百分表讀數(shù)，拿掉待測基板，測量墊片的高度，并讀出百分表讀數(shù)，最后將兩個讀數(shù)相減得出最后的基板底厚數(shù)值。
[0016]本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，能直觀看到測量結(jié)果，測量準確，操作方便的優(yōu)點，解決了現(xiàn)有技術(shù)中單純測量基板凹槽深度不方便的技術(shù)問題。
【主權(quán)項】
1.一種石英基板底厚快速測量裝置，其特征在于:包括底座(I)和與所述底座(I)固定連接的固定架(2)，所述固定架(2)通過支架(7)固定連接有百分表(3)，所述百分表(3)下端通過伸縮管(4)活動連接有測頭(6)，所述測頭(6)正下方設(shè)有與底座(I)固定連接的支撐墊片(8)，所述支撐墊片(8)上放置有待測石英基板(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英基板底厚快速測量裝置，其特征在于:所述伸縮管(4)上固定連接有按壓把手(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英基板底厚快速測量裝置，其特征在于:所述測頭(6)為不銹鋼測頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英基板底厚快速測量裝置，其特征在于:所述支撐墊片(8)與所述底座(I)通過兩側(cè)的鎖緊螺絲固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英基板底厚快速測量裝置，其特征在于:所述待測石英基板(9)倒置放置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英基板底厚快速測量裝置，其特征在于:所述待測石英基板(9)的寬度大于所述支撐墊片(8)的寬度。
【專利摘要】本實用新型公開了一種石英基板底厚快速測量裝置，包括底座和與所述底座固定連接的固定架，所述固定架通過支架固定連接有百分表，所述百分表下端通過伸縮管活動連接有測頭，所述測頭正下方設(shè)有與底座固定連接的支撐墊片，所述支撐墊片上放置有待測石英基板。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，能直觀看到測量結(jié)果，測量準確，操作方便的優(yōu)點，解決了現(xiàn)有技術(shù)中單純測量基板凹槽深度不方便的技術(shù)問題。
【IPC分類】G01B5-06
【公開號】CN204594387
【申請?zhí)枴緾N201520298019
【發(fā)明人】虞王君
【申請人】虞王君
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2015年5月8日