一種超高靈敏度檢漏設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種超高靈敏度檢漏設(shè)備，屬于檢漏設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]紅外探測(cè)器組件、陀螺儀等的漏率大小是其精度和壽命的關(guān)鍵因素之一。為使工廠生產(chǎn)的工件漏率能夠達(dá)到相應(yīng)指標(biāo)，對(duì)生產(chǎn)完成的工件進(jìn)行漏率檢測(cè)成為必不可少的工
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[0003]現(xiàn)有技術(shù)中往往采用檢漏儀對(duì)工件的漏率進(jìn)行檢測(cè)，但是檢漏儀的最小可檢漏率較高，無法滿足檢漏要求，為此，本領(lǐng)域技術(shù)人員開始使用四極質(zhì)譜儀作為新的檢漏工具。例如，中國專利文獻(xiàn)CN201368789Y公開了一種檢漏裝置，包括檢漏室，通過第一金屬閥與檢漏室連通的機(jī)械真空栗，通過第二金屬閥與檢漏室連通的真空分子栗和前級(jí)機(jī)械真空栗，以及通過第三金屬閥與檢漏室連通的四極質(zhì)譜儀。上述專利文獻(xiàn)中采用了四極質(zhì)譜儀作為檢漏工具，采用累積檢測(cè)方式，降低了設(shè)備的最小可檢漏率，使最小可檢漏率達(dá)到了1X10 11Pa.m3/S，但是紅外器件中如杜瓦瓶、陀螺儀等的最大允許漏率為5X10 13pa.m3/S，顯然上述專利文獻(xiàn)中公開的檢漏裝置無法滿足諸如杜瓦瓶、陀螺儀等的檢漏要求。為了獲得更小的最小可檢漏率，本領(lǐng)域的技術(shù)人員對(duì)檢漏裝置的設(shè)計(jì)方案進(jìn)行了各種各樣的探索，但卻一直沒有獲得更好的成果。
[0004]因此，本發(fā)明的目的在于對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中使用四極質(zhì)譜儀作為檢漏儀器的檢漏設(shè)備做進(jìn)一步的改進(jìn)，降低最小可檢漏率，進(jìn)而滿足諸如杜瓦瓶、陀螺儀等工件的檢漏需要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]因此，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中檢漏設(shè)備的最小可檢漏率為1X10 npa*m3/S，無法滿足諸如紅外器件中杜瓦瓶、陀螺儀等檢漏需要的技術(shù)缺陷，從而提供一種最小可檢漏率能夠達(dá)到1X10 13pa.m3/S的超尚靈敏度檢漏設(shè)備。
[0006]為此，本實(shí)用新型提供一種超高靈敏度檢漏設(shè)備，包括檢漏室，具有容納空間，用于容置待檢工件；分子栗，與所述檢漏室連通，用于對(duì)所述檢漏室進(jìn)行抽真空，在所述分子栗與所述檢漏室連通的管路上設(shè)有第一閥門；前級(jí)栗，通過所述分子栗與所述檢漏室連通，用于在所述分子栗對(duì)所述檢漏室抽真空之前，先對(duì)所述檢漏室進(jìn)行預(yù)抽；四極質(zhì)譜儀，與所述檢漏室連通，用于檢測(cè)所述待檢工件的漏率，在所述四極質(zhì)譜儀與所述檢漏室的連通管路上設(shè)有第二閥門；還包括與所述檢漏室連通的吸氣劑栗，所述吸氣劑栗適于將殘留在所述檢漏室內(nèi)的氫氣分子向外抽出，且將所述檢漏室內(nèi)部的氦氣留存于所述檢漏室內(nèi)，在所述吸氣劑栗與所述檢漏室的連通管路上設(shè)有第三閥門。
[0007]所述管路，以及設(shè)置在所述管路上的閥門均為全金屬結(jié)構(gòu)。
[0008]所述管路為進(jìn)行內(nèi)外拋光處理、真空清洗烘干和真空熱處理后的管路。
[0009]所述檢漏室上還設(shè)有用于對(duì)所述檢漏室的真空度進(jìn)行測(cè)量的真空規(guī)。
[0010]所述前級(jí)栗為干栗，所述分子栗為無油分子栗。
[0011]還包括與檢漏室連通的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。
[0012]還包括與所述檢漏室連通的進(jìn)氣口，以及設(shè)置在所述進(jìn)氣口前方的過濾器。
[0013]所述檢漏室安裝于機(jī)柜上，其包括檢漏室本體以及密封連接于所述檢漏室本體上的上蓋，所述上蓋通過滑輪提升機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述檢漏室的密封與打開。
[0014]所述滑輪提升機(jī)構(gòu)包括，固定于所述機(jī)柜上的固定柱，所述固定柱頂部設(shè)有定滑輪；可上下移動(dòng)地套設(shè)在所述固定柱上的套筒，所述套筒與所述上蓋固定連接；設(shè)置于機(jī)柜內(nèi)部的配重塊，以及設(shè)置于所述定滑輪上的吊繩，所述吊繩一端與所述上蓋或所述套筒或固定連接所述上蓋和所述套筒的連接結(jié)構(gòu)固定連接，另一端與所述配重塊連接。
[0015]還包括設(shè)在所述機(jī)柜內(nèi)部、且具有上開口的限位筒，所述限位筒用于容納所述配重塊，防止所述配重塊大幅度擺動(dòng)。
[0016]本實(shí)用新型的一種超尚靈敏度檢漏設(shè)備具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0017]1.本實(shí)用新型的超高靈敏度檢漏設(shè)備，是在現(xiàn)有檢漏設(shè)備的基礎(chǔ)上做的進(jìn)一步的改進(jìn)，創(chuàng)造性的采用吸氣劑栗與檢漏室連通，在啟用分子栗將檢漏室抽至高真空后，再啟動(dòng)吸氣劑栗將殘留在檢漏室內(nèi)部無法被分子栗抽出的氫氣分子進(jìn)一步向外抽出，且將檢漏室內(nèi)部的氦氣留存于檢漏室內(nèi)部，從而使檢漏室的容納空間達(dá)到極為純凈的真空狀態(tài)，使四極質(zhì)譜儀可以不受干擾的檢測(cè)從工件泄漏出的所有氦氣，從而提高了檢漏靈敏度；另外，檢漏室以及與其相連的管路在處于高真空狀態(tài)時(shí)，存在通過管路管壁及檢漏室各個(gè)側(cè)壁向容納空間放氣的現(xiàn)象，本實(shí)用新型的吸氣劑栗還可以將從其向外抽出，維持檢漏室的超高真空度，使四極質(zhì)譜儀能夠在超高真空的環(huán)境下對(duì)工件進(jìn)行檢漏，從而進(jìn)一步提高了檢漏靈敏度。經(jīng)測(cè)試，本實(shí)用新型的超尚靈敏度檢漏設(shè)備最小可檢漏率可達(dá)1X10 13pa.m3/S，完全能夠滿足諸如紅外器件中杜瓦瓶、陀螺儀等檢漏需要。
[0018]2.本實(shí)用新型的超高靈敏度檢漏設(shè)備，管路以及設(shè)置在管路上的閥門均為全金屬結(jié)構(gòu)，大大減少了檢漏設(shè)備的自身放氣率，降低了系統(tǒng)本底值，從而使四極質(zhì)譜儀能夠檢測(cè)到更低的最小可檢漏率。進(jìn)一步的，本實(shí)用新型的管路為進(jìn)行內(nèi)外拋光、真空清洗烘干和真空熱處理后的管路，能夠進(jìn)一步降低管路的放氣率，降低設(shè)備本底值。
[0019]3.本實(shí)用新型的超高靈敏度檢漏設(shè)備，采用干栗作為前級(jí)栗，選用無油分子栗作為分子栗，避免油污造成的系統(tǒng)高本底，進(jìn)一步降低了設(shè)備本底值，提高檢漏靈敏度。
[0020]4.本實(shí)用新型的超高靈敏度檢漏設(shè)備，還包括與檢漏室連通的進(jìn)氣口，以及設(shè)置在進(jìn)氣口前方的過濾器，在檢漏完畢后，打開進(jìn)氣口，外界氣體進(jìn)入檢漏室，使檢漏室內(nèi)部的氣壓逐漸升至與外界大氣壓相同，從而方便打開檢漏室將工件取出。在進(jìn)氣口的前方設(shè)置過濾器，可避免雜質(zhì)進(jìn)入檢漏室對(duì)檢漏室造成污染，導(dǎo)致本底值上升。
[0021]5.本實(shí)用新型的超高靈敏度檢漏設(shè)備，檢漏室的上蓋通過滑輪提升機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述檢漏室的密封與打開；在需要打開上蓋時(shí)，只需向上稍微抬升上蓋，上蓋就會(huì)在配重塊的拉力下迅速上升，從而方便打開上蓋，在需要蓋合上蓋時(shí)，只需向下稍微按壓上蓋，上蓋在其自身重力的作用下即可拉動(dòng)配重塊向上運(yùn)動(dòng)，從而將上蓋蓋合在檢漏室的上開口上。由于配重塊的重量與上蓋的重量相當(dāng)，因此上蓋的打開和蓋合操作都十分省力，操作十分便捷。
【附圖說明】
[0022]圖1是實(shí)施例1中超高靈敏度檢漏設(shè)備的原理結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2是實(shí)施例2中檢漏室打開狀態(tài)下的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖中:1-檢漏室，11-上蓋，2-分子栗，3-前級(jí)栗，4-四極質(zhì)譜儀，5-吸氣劑栗，6-標(biāo)準(zhǔn)漏孔，7-進(jìn)氣口，8-過濾器，91-固定柱，92-機(jī)柜，93-套筒，94-定滑輪，95-吊繩，96-配重塊，97-限位筒；F1-第一閥門，F(xiàn)2-第二閥門，F(xiàn)3-第三閥門，F(xiàn)4-第四閥門。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型提供的一種超高靈敏度檢漏設(shè)備做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0026]本實(shí)施例提供一種超尚靈敏度檢漏設(shè)備，如圖1所不，包括具有用于容納待檢工件的容納空間的檢漏室1，通過分子栗2與檢漏室I連通的前級(jí)栗3，與檢漏室I連通用于檢測(cè)待檢工件漏率的四極質(zhì)譜儀4，以及與檢漏室I連通的吸氣劑栗5，在分子栗2與檢漏室I連通的管路上設(shè)有第一閥門Fl和真空計(jì)，在四極質(zhì)譜儀4與檢漏室I連通的管路上設(shè)有第二閥門F2，在吸氣劑栗5與檢漏室I連通的管路上設(shè)有第三閥門F3。檢漏室I上設(shè)有標(biāo)準(zhǔn)漏孔6，連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔6與檢漏室I的管路上設(shè)有第四閥門F4，檢漏室I上還設(shè)有與進(jìn)氣口 7，在進(jìn)氣口 7前方設(shè)有過濾器8。以及用于對(duì)檢漏室I的真空度進(jìn)行測(cè)量的真空規(guī)。
[0027]本實(shí)施例的吸氣劑栗能夠?qū)埩粼跈z漏室I內(nèi)部無法被分子栗2抽出的氫氣分子向外抽出，且不會(huì)將工件泄漏出的氦氣向外抽出，從而提高了四極質(zhì)譜儀4的檢漏靈敏度；本實(shí)施例中的吸氣劑栗選用意大利SAES公司生產(chǎn)的吸氣劑為St 172 (Zr-V-Fe)、型號(hào)為CapaciTorr D 400-2 的吸氣劑栗。
[0028]該超高靈敏度檢漏設(shè)備，是在現(xiàn)有檢漏設(shè)備的基礎(chǔ)上做的進(jìn)一步改進(jìn)，創(chuàng)造性的采用吸氣劑栗5與檢漏室I連通，吸氣劑栗5能夠?qū)o法被分子栗2抽出的氫氣分子從檢漏室I向外抽出，且不會(huì)將待檢工件泄漏的氦