一種控制高壓能量切換的方法
【專利摘要】一種控制高壓能量切換的方法，其框圖圖1包括：需求命令按鈕(1)、上位機(jī)(2)、D/A轉(zhuǎn)換(3)、氣動模塊(4)、氣動開關(guān)(5)、電阻(6)、高壓二極管(7)、負(fù)載(8)、負(fù)高壓(9)。此方法控制高壓能量安全切換情況。流程圖圖2說明了控制過程，開始初始化負(fù)載高壓需求情況(10)，能量切換裝置(12)控制高壓向負(fù)載提供情況，通過上位機(jī)(2)獲得高壓能量需求命令(1)，采集的數(shù)據(jù)與高壓能量需求的情況比較，判斷是否需求高壓能量(11)，若需要高壓能量則通過能量切換裝置(12)控制氣動模塊(13)影響氣動開關(guān)(5)打開，從而達(dá)到向負(fù)載提供高能電壓的目的，若不需要高壓能量則通過能量切換裝置(12)控制氣動模塊(13)影響氣動開關(guān)(5)關(guān)閉，從而達(dá)到向負(fù)載安全斷開高能電壓的目的。如果繼續(xù)控制則持續(xù)等待需求命令(16)，不繼續(xù)控制則結(jié)束(17)。說明書對本方法進(jìn)行了詳細(xì)的說明，并給出具體實(shí)施方案。
【專利說明】一種控制高壓能量切換的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是一種控制高壓能量切換的方法，安全可控地提供給負(fù)載所需求的高壓能量。

【背景技術(shù)】
[0002]集成電路制造技術(shù)及工藝是關(guān)乎國計(jì)民生的戰(zhàn)略性工程，對保障國家安全和增強(qiáng)綜合國力具有重大戰(zhàn)略意義，是一種高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。集成電路芯片制造概括的來講就是將元器件做在極小半導(dǎo)體芯片上的過程。通常情況下，要完成集成電路芯片的制造過程需要數(shù)十種工藝設(shè)備的數(shù)百道工序。一條工藝線主要有曝光、刻蝕、離子注入、氧化、鍍膜等工藝，這些工藝多次循環(huán)往復(fù)進(jìn)行。離子注入技術(shù)與常規(guī)熱摻雜工藝相比具有高精度的劑量均勻性與重復(fù)性，橫向擴(kuò)散小等優(yōu)點(diǎn)。離子注入克服了常規(guī)工藝的限制，提高了電路的集成度、速度、成品率和壽命，降低了成本和功耗，因此離子注入機(jī)廣泛用于摻雜工藝，當(dāng)代VLS1、ULSI等工藝重要特征之一就是“全離子注入”。離子注入對控制半導(dǎo)體的摻雜剖面，結(jié)深，保證器件各項(xiàng)電參數(shù)非常重要。
[0003]經(jīng)過對低能大束流項(xiàng)目的指標(biāo)參數(shù)和工藝要求分析，但由于工藝技術(shù)代和工藝特點(diǎn)不同，從注入安全性方面和工藝調(diào)試方面提出了更高的要求，因此高壓能量的提供可控性起到了關(guān)鍵性的作用，于是通過負(fù)載能量需求控制高壓能量安全切換，才能確保注入工藝的安全性和可靠性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明針對控制高壓能量切換的一種方法，采用氣動隔離和控制電路。
[0005]本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0006]1.一種控制高壓能量切換的方法，其框圖圖1包括:需求命令按鈕(I)、上位機(jī)
(2)、D/A轉(zhuǎn)換(3)、氣動模塊(4)、氣動開關(guān)(5)、電阻(6)、高壓二極管(7)、負(fù)載(8)、負(fù)高壓(9)。此方法控制高壓能量安全切換情況。
[0007]2.如權(quán)利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的高壓二極管(7)單向?qū)ㄐ再|(zhì)，使二極管兩端保持高壓狀態(tài)，整個(gè)電路中串聯(lián)一個(gè)15kQ電阻(6)，從而達(dá)到限制電路電流，使電路滿足電氣需要，通過氣動模塊(4)控制氣動開關(guān)
(5)，從而達(dá)到高壓能量安全切換的目的。
[0008]3.如權(quán)利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的命令按鈕(I)輸出的數(shù)字量輸入給上位機(jī)(2)，上位機(jī)(2)通過設(shè)定的算法計(jì)算出控制值，控制值輸入給D/A轉(zhuǎn)換(3)變換成模擬量。
[0009]4.如權(quán)利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的D/A轉(zhuǎn)換(3)輸出的模擬量輸入到氣動模塊(4)，通過氣動模塊(4)控制高壓能量切換裝置
(12)的氣動開關(guān)(5)，由此控制高壓能量切換裝置(12)向負(fù)載提供能量的情況。
[0010]本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0011]1.穩(wěn)定可靠高壓能量需求控制，滿足更高的工藝要求。
[0012]2.通過負(fù)載能量需求控制高壓能量安全切換，才能確保注入工藝的安全性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是高壓能量切換控制的框圖
[0014]圖2是高壓能量切換控制的流程圖

【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖的具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。
[0016]一種控制高壓能量切換的方法，其框圖圖1包括:需求命令按鈕(I)、上位機(jī)(2)、D/A轉(zhuǎn)換(3)、氣動模塊⑷、氣動開關(guān)(5)、電阻(6)、高壓二極管(7)、負(fù)載⑶、負(fù)高壓(9)。此方法控制高壓能量安全切換情況。
[0017]需求按鈕(I)發(fā)送能量需求信號，當(dāng)上位機(jī)(2)收到信號并且通過設(shè)定的算法計(jì)算出控制值，控制值輸入給D/A轉(zhuǎn)換(3)變換成模擬量。D/A轉(zhuǎn)換(3)輸出的模擬量輸入到啟動模塊控制器(4)，通過氣動模塊控制器(4)控制氣動開關(guān)(5)打開或者閉合，由此高壓能量向負(fù)載提供能量或者斷開能量，從而達(dá)到安全可控的為負(fù)載提供高壓能量。
[0018]流程圖圖2說明了控制過程，開始初始化負(fù)載高壓需求情況(10)，能量切換裝置
(12)控制高壓向負(fù)載提供情況，通過上位機(jī)(2)獲得高壓能量需求命令(I)，采集的數(shù)據(jù)與高壓能量需求的情況比較，判斷是否需求高壓能量(11)，若需要高壓能量則通過能量切換裝置(12)控制氣動模塊(13)影響氣動開關(guān)(5)打開，從而達(dá)到向負(fù)載提供高能電壓的目的，若不需要高壓能量則通過能量切換裝置(12)控制氣動模塊(13)影響氣動開關(guān)(5)關(guān)閉，從而達(dá)到向負(fù)載安全斷開高能電壓的目的。如果繼續(xù)控制則持續(xù)等待需求命令(16)，不繼續(xù)控制則結(jié)束(17)。
[0019]以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【權(quán)利要求】
1.一種控制高壓能量切換的方法，其框圖圖1包括:需求命令按鈕(I)、上位機(jī)(2)、D/A轉(zhuǎn)換(3)、氣動模塊(4)、氣動開關(guān)(5)、電阻(6)、高壓二極管(7)、負(fù)載(8)、負(fù)高壓(9)。此方法控制高壓能量安全切換情況。
2.如權(quán)利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的高壓二極管(7)單向?qū)ㄐ再|(zhì)，使二極管兩端保持高壓狀態(tài)，整個(gè)電路中串聯(lián)一個(gè)15kQ電阻(6)，從而達(dá)到限制電路電流，使電路滿足電氣需要，通過氣動模塊(4)控制氣動開關(guān)(5)，從而達(dá)到高壓能量安全切換的目的。
3.如權(quán)利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的命令按鈕(I)輸出的數(shù)字量輸入給上位機(jī)(2)，上位機(jī)(2)通過設(shè)定的算法計(jì)算出控制值，控制值輸入給D/A轉(zhuǎn)換(3)變換成模擬量。
4.如權(quán)利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的D/A轉(zhuǎn)換(3)輸出的模擬量輸入到氣動模塊(4)，通過氣動模塊(4)控制高壓能量切換裝置(12)的氣動開關(guān)(5)，由此控制高壓能量切換裝置(12)向負(fù)載提供能量的情況。
【文檔編號】G05B19/04GK104298133SQ201310303697
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月18日
【發(fā)明者】丁振理 申請人:北京中科信電子裝備有限公司