專利名稱：一種物理版圖分割的方法
技術領域：
本發(fā)明屬于集成電路設計領域，尤其涉及一種物理版圖分割的方法。
背景技術：
集成電路制造從45nm工藝開始，特別是在32nm和22nm及更小特征尺寸工藝下， 為了增強特征密度，需要使用二次成形光刻工藝，即將原來同層的掩模圖形分割到兩塊掩模版上，在集成電路制造過程中進行分兩次光刻制作全部的同層圖形。面向二次光刻成形技術的物理版圖分割過程需要復雜的計算過程。對于一個系統(tǒng)級芯片設計，物理版圖數(shù)據(jù)的規(guī)模在幾個GB到幾十個GB量級，并有望發(fā)展到幾百個GB到幾個TB的量級。面對如此規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)進行二次成形光刻分割，其計算量非常巨大，利用傳統(tǒng)的分割算法處理如此規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)需要很長的時間?，F(xiàn)有的解決方法是利用并行計算，將這物理版圖劃分為若干區(qū)域，不同的區(qū)域交由不同的計算資源去處理，這可以將處理速度提高一個量級。盡管如此，面對未來幾百個GB到幾個TB的量級的更為龐大的物理版圖數(shù)據(jù)，僅僅利用傳統(tǒng)的并行算法還遠遠不夠，有必要發(fā)明新的更快的計算方法來解決這一問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種物理版圖分割的方法，旨在解決現(xiàn)有技術處理大規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)需要很長時間，速度較慢的問題。本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種物理版圖分割的方法，該方法包括以下步驟讀入電路網(wǎng)表和物理版圖；根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構子電路；利用電路和版圖一致性檢查技術確定同構子電路的物理版圖；確定同構子電路物理版圖中的同構物理版圖；將同構物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構區(qū)域；異構物理版圖同構區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算；同構物理版圖同構區(qū)域間物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射；輸出系統(tǒng)級芯片分割之后的物理版圖數(shù)據(jù)。本發(fā)明通過利用計算復用減小物理版圖數(shù)據(jù)二次成形光刻分割時的計算工作量， 有效地提高了面向二次成形光刻分割處理物理版圖數(shù)據(jù)的效率，大幅提升了處理大規(guī)模物理版圖數(shù)據(jù)的速度，解決了現(xiàn)有技術處理大規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)需要很長時間，速度較慢的問題。


圖1是本發(fā)明實施例提供的物理版圖分割的方法的實現(xiàn)流程圖；圖2是本發(fā)明實施例提供的確定同構子電路的方法的流程圖3是本發(fā)明實施例提供的確定同構子電路物理版圖中的同構物理版圖的方法的流程圖；圖4是本發(fā)明實施例提供的將同構物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構區(qū)域的方法的實現(xiàn)流程圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。本發(fā)明實施例通過利用計算復用減小物理版圖數(shù)據(jù)二次成形光刻分割時的計算工作量，有效地提高了面向二次成形光刻分割處理物理版圖數(shù)據(jù)的效率。本發(fā)明實施例是這樣實現(xiàn)的，一種物理版圖分割的方法，所述方法包括以下步驟讀入電路網(wǎng)表和物理版圖；根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構子電路；利用電路和版圖一致性檢查技術確定所述同構子電路的物理版圖；確定所述同構子電路物理版圖中的同構物理版圖；將所述同構物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構區(qū)域；異構所述物理版圖同構區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算；同構所述物理版圖同構區(qū)域間所述物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射；輸出系統(tǒng)級芯片分割之后的物理版圖數(shù)據(jù)。以下結合附圖及實施例，對本發(fā)明作具體詳述如下實施例圖1示出了本發(fā)明實施例提供的物理版圖分割的方法的實現(xiàn)流程，詳述如下在步驟SlOl中，讀入電路網(wǎng)表和物理版圖；在步驟S102中，根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構子電路；在步驟S103中，利用電路和版圖一致性檢查技術確定同構子電路的物理版圖；在步驟S104中，確定同構子電路物理版圖中的同構物理版圖；在步驟S105中，將同構物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構區(qū)域；在步驟S106中，異構物理版圖同構區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算；在步驟S107中，同構物理版圖同構區(qū)域間物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射；在步驟S108中，輸出系統(tǒng)級芯片分割之后的物理版圖數(shù)據(jù)。本發(fā)明實施例的電路網(wǎng)表是用來自動綜合出物理版圖或用來手工設計出物理版圖的電路網(wǎng)表。本發(fā)明實施例的物理版圖是經(jīng)布局、布線和后續(xù)DRC、PE、LVS以及后仿真均已通過的物理版圖。圖2是本發(fā)明實施例提供的通過電路分析確定同構子電路方法流程，詳述如下在步驟S201中，根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表建立有向在步驟S202中，利用子圖同構算法在有向圖中尋找匹配子圖；在步驟S203中，設置匹配子圖對應的兩個子電路為同構子電路。本發(fā)明實施例利用電路和版圖一致性檢查技術確定同構子電路的物理版圖，其具體實現(xiàn)包括以下步驟利用物理版圖提取工具，從物理版圖提取電路網(wǎng)表并獲取器件和基本單元的幾何位置，以及線網(wǎng)對應連線的幾何位置；利用圖的同構算法，找出原來電路網(wǎng)表和從物理版圖提取的電路網(wǎng)表之間的對應關系，即器件之間的對應關系和線網(wǎng)的對應關系，確定同構子電路各自的器件位置和物理連線位置。如圖3所示，本發(fā)明實施例中，確定同構子電路物理版圖中的同構物理版圖，包括以下步驟在步驟S301中，對同構子電路的物理版圖進行編碼，得到相應的編碼串；在步驟S302中，比較同構子電路物理版圖的編碼串；在步驟S303中，設置編碼串匹配的同構子電路的物理版圖為同構物理版圖。本發(fā)明實施例將同構子電路同構物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構區(qū)域，包括以下步驟，如圖4所示在步驟S401中，對同構子電路對應的同構物理版圖之外的物理版圖在每一物理層上進行區(qū)域劃分，得到基本區(qū)域；在步驟S402中，根據(jù)圖形的形狀、大小、方向、圖形間的間距、圖形所在的物理層對每一基本區(qū)域的物理版圖進行編碼，得到對應的編碼串值；在步驟S403中，根據(jù)物理版圖的編碼串值，利用快速排序算法對全部基本區(qū)域進行排序，得到基本區(qū)域的排序隊列；在步驟S404中，根據(jù)物理版圖的編碼串值對排序隊列進行切割，從基本區(qū)域的排序隊列中找出物理版圖同構的若干基本區(qū)域集合組，形成物理版圖同構區(qū)域。在本發(fā)明實施例中，物理版圖同構的每一基本區(qū)域集合組構成一個物理版圖同構區(qū)域，以便后續(xù)分割處理。本發(fā)明實施例中，異構物理版圖同構區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算為利用現(xiàn)有的二次成形優(yōu)化分割算法對物理版圖同構區(qū)域中第一個區(qū)域內(nèi)的物理版形進行面向二次成形的分割處理。本發(fā)明實施例中，同構物理版圖同構區(qū)域間物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射，通過遍歷每一個同構物理版圖區(qū)域，利用已經(jīng)處理好的同構區(qū)域的數(shù)據(jù)，根據(jù)同構區(qū)域間的坐標平移、軸對稱鏡像、中心對稱鏡像以及旋轉關系，將物理版圖數(shù)據(jù)已經(jīng)分割好的物理版形進行坐標變換，即得到未分割區(qū)域的物理版圖分割結果，從而實現(xiàn)同構物理版圖另一半的快速分割。本發(fā)明實施例中，原來同層Layer-XXX的圖形分割之后被劃分到兩個不同的虛擬層Layer-XXX-I和Layer-XXX-2，輸出分割之后系統(tǒng)級芯片的物理版圖，通過物理版圖數(shù)據(jù)庫的應用程序接口將這兩個虛擬層上的圖形信息存入物理版圖數(shù)據(jù)庫，以便后續(xù)制版時利用虛擬層Layer-XXX-I和Layer-XXX-2上的圖形信息制作兩塊不同的掩模版進行二次成形光刻。
本發(fā)明實施例通過利用計算復用減小物理版圖數(shù)據(jù)二次成形光刻分割時的計算工作量，有效地提高了面向二次成形光刻分割處理物理版圖數(shù)據(jù)的效率，大幅提升了處理大規(guī)模物理版圖數(shù)據(jù)的速度，解決了現(xiàn)有技術處理大規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)需要很長時間， 速度較慢的問題。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權利要求
1.一種物理版圖分割的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟 讀入電路網(wǎng)表和物理版圖；根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構子電路； 利用電路和版圖一致性檢查技術確定所述同構子電路的物理版圖； 確定所述同構子電路物理版圖中的同構物理版圖；將所述同構物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構區(qū)域； 異構所述同構物理版圖區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算； 同構所述物理版圖同構區(qū)域間物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射； 輸出系統(tǒng)級芯片分割之后的物理版圖。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述電路網(wǎng)表是自動綜合出物理版圖或手工設計出物理版圖的電路網(wǎng)表。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述物理版圖是經(jīng)布局、布線和后續(xù)DRC、 PE, LVS以及后仿真通過的物理版圖。
4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構子電路的步驟具體包括根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表建立有向圖；利用子圖同構算法在所述有向圖中尋找匹配子圖；設置所述匹配子圖對應的兩個子電路為同構子電路。
5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用電路和版圖一致性檢查技術確定同構子電路的物理版圖的步驟具體包括利用物理版圖提取工具，從物理版圖提取電路網(wǎng)表并獲取器件和基本單元的幾何位置，以及線網(wǎng)對應連線的幾何位置；利用圖的同構算法，找出原來電路網(wǎng)表和所述從物理版圖提取的電路網(wǎng)表之間的對應關系，確定所述同構子電路各自的器件位置和物理連線位置。
6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定所述同構子電路物理版圖中的同構物理版圖的步驟具體包括對所述同構子電路的物理版圖進行編碼，得到相應的編碼串；比較所述同構子電路物理版圖的編碼串；設置所述編碼串匹配的同構子電路的物理版圖為同構物理版圖。
7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將所述同構子電路同構物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構區(qū)域的步驟具體包括對所述同構子電路同構物理版圖之外的物理版圖在每一物理層上進行區(qū)域劃分，得到基本區(qū)域；根據(jù)圖形的形狀、大小、方向、圖形間的間距及圖形所在物理層對每一基本區(qū)域的物理版圖進行編碼，得到對應的編碼串值；根據(jù)物理版圖的編碼串值，利用快速排序算法對全部基本區(qū)域進行排序，得到基本區(qū)域的排序隊列；根據(jù)物理版圖的編碼串值對所述基本區(qū)域的排序隊列進行切割，從所述基本區(qū)域的排序隊列中找出物理版圖同構的若干基本區(qū)域集合組，形成物理版圖同構區(qū)域。
8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述異構所述物理版圖同構區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算為利用現(xiàn)有二次成形優(yōu)化分割算法對所述物理版圖同構區(qū)域中第一個區(qū)域內(nèi)的物理版形進行面向二次成形的分割處理。
9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述同構所述物理版圖同構區(qū)域間物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射是利用所述物理版圖同構區(qū)域數(shù)據(jù)以及同構區(qū)域間的坐標平移、軸對稱鏡像、中心對稱鏡像、旋轉關系，將所述物理版圖同構區(qū)域中已分割的物理版形進行坐標變換，即得到未分割區(qū)域的物理版圖分割結果。
10.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述輸出系統(tǒng)級芯片分割之后的物理版圖是通過應用程序接口將圖形信息存入物理版圖數(shù)據(jù)庫。
全文摘要
本發(fā)明適用于集成電路設計領域，提供了一種物理版圖分割的方法，所述方法包括讀入電路網(wǎng)表和物理版圖；根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構子電路；確定所述同構子電路的物理版圖；確定所述同構子電路物理版圖中的同構物理版圖；確定物理版圖同構區(qū)域；異構所述物理版圖同構區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算；同構所述物理版圖同構區(qū)域間物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射；輸出系統(tǒng)級芯片分割后的物理版圖。本發(fā)明通過利用計算復用減小物理版圖數(shù)據(jù)二次成形光刻分割時的計算工作量，有效提高了面向二次成形光刻分割處理物理版圖數(shù)據(jù)的效率，解決了現(xiàn)有技術處理大規(guī)模物理版圖數(shù)據(jù)需要很長時間、速度慢的問題。
文檔編號G06F17/50GK102339329SQ20101023016
公開日2012年2月1日 申請日期2010年7月19日 優(yōu)先權日2010年7月19日
發(fā)明者葉甜春, 吳玉平, 陳嵐 申請人:中國科學院微電子研究所