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      熔絲單元電路的制作方法

      文檔序號:11834732閱讀:541來源:國知局
      熔絲單元電路的制作方法與工藝

      本發(fā)明涉及芯片領(lǐng)域,具體而言,涉及一種熔絲單元電路。



      背景技術(shù):

      在集成芯片領(lǐng)域,熔絲(eFuse)越來越多的被廣泛使用,而eFuse的功能也已經(jīng)不僅是做單元的修復(fù),也可以做可編程陣列,而且被大量使用。eFuse的單元結(jié)構(gòu)主要通過熔絲被熔斷與否來存儲信息,多晶硅熔絲在熔斷前電阻很小,在持續(xù)的大電流熔斷后電阻成倍的增加,并且熔絲斷裂的狀態(tài)將永久的保持。一根熔絲可以對應(yīng)二進(jìn)制中的“0”或“1”的值。但是對于熔斷模式熔絲單元(rupture mode eFuse element)來說,熔絲可完全燒斷的電流范圍比較小。電流的變化會導(dǎo)致eFuse過燒或者是燒不斷。

      目前,在芯片制造過程中,如果工藝發(fā)生變化,器件電流變大或者變小的情況下,就會造成熔絲燒不斷或者過燒。

      針對現(xiàn)有技術(shù)中芯片工藝發(fā)生變化時(shí)容易造成熔絲燒不斷或者過燒的問題,目前尚未提出有效的解決方案。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的主要目的在于提供一種熔絲單元電路,以解決現(xiàn)有技術(shù)中芯片工藝發(fā)生變化時(shí)容易造成熔絲燒不斷或者過燒的問題。

      為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一個方面,提供了一種熔絲單元電路。根據(jù)本發(fā)明的熔絲單元電路包括:多晶硅熔絲;電流可控單元,與所述多晶硅熔絲相連接,所述多晶硅熔絲通過所述電流可控單元與電源形成電流通路;開關(guān)電路,與所述電流可控單元相連接,用于通過控制所述電流可控單元控制流經(jīng)所述多晶硅熔絲的電流值。

      進(jìn)一步地,所述電流可控單元包括:多個場效應(yīng)管,其中,所述多個場效應(yīng)管并聯(lián)后與所述多晶硅熔絲串聯(lián)。

      進(jìn)一步地,所述開關(guān)電路與所述多個場效應(yīng)管中全部或者一部分場效應(yīng)管的柵極相連接,所述開關(guān)電路用于控制所述多個場效應(yīng)管的接通個數(shù)來控制流經(jīng)所述多晶硅熔絲的電流值。

      進(jìn)一步地,所述多個場效應(yīng)管為多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管。

      進(jìn)一步地,所述多晶硅熔絲的第一端連接所述電源,所述多晶硅熔絲的第二端分別連接所述多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的漏極,所述多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管形成并聯(lián),其中,所述多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的源極接地。

      進(jìn)一步地,所述開關(guān)電路包括:高電平輸入端,用于接收高電平信號;第一組開關(guān),所述第一組開關(guān)包括多個開關(guān),分別連接在所述多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管中的全部或者一部分N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的柵極和所述高電平輸入端之間,用于控制所述多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管中的全部或者一部分N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的柵極的門電壓。

      進(jìn)一步地,所述開關(guān)電路還包括:第二組開關(guān),所述第二組開關(guān)包括多個開關(guān),分別連接在所述多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管中的全部或者一部分N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的柵極和接地端之間。

      進(jìn)一步地,所述多個場效應(yīng)管為多個P溝道結(jié)型場效應(yīng)管。

      進(jìn)一步地,所述熔絲單元電路還包括:讀操作晶體管,用于讀取數(shù)據(jù)。

      根據(jù)發(fā)明實(shí)施例,通過采用電流可控單元與多晶硅熔絲相連接,多晶硅熔絲通過電流可控單元與電源形成電流通路;開關(guān)電路與電流可控單元相連接,用于通過控制電流可控單元控制流經(jīng)多晶硅熔絲的電流值,解決了現(xiàn)有技術(shù)中芯片工藝發(fā)生變化時(shí)容易造成熔絲燒不斷或者過燒的問題,避免由于芯片工藝發(fā)生變化時(shí)出現(xiàn)熔絲燒不斷或者過燒的情況。

      附圖說明

      構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解,本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明,并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:

      圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的熔絲單元電路的示意圖;以及

      圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的優(yōu)選的熔絲單元電路的示意圖。

      具體實(shí)施方式

      需要說明的是,在不沖突的情況下,本申請中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明。

      為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例 僅僅是本發(fā)明一部分的實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

      需要說明的是,本發(fā)明的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對象,而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換,以便這里描述的本發(fā)明的實(shí)施例。此外,術(shù)語“包括”和“具有”以及他們的任何變形,意圖在于覆蓋不排他的包含,例如,包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元,而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。

      本發(fā)明實(shí)施例提供了一種熔絲單元電路。

      圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的熔絲單元電路的示意圖。如圖1所示,該熔絲單元電路包括:多晶硅熔絲E、電流可控單元10。

      電流可控單元10與多晶硅熔絲E相連接,多晶硅熔絲E通過電流可控單元10與電源V形成電流通路;開關(guān)電路20與電流可控單元10相連接,用于通過控制電流可控單元10控制流經(jīng)多晶硅熔絲E的電流值。

      本發(fā)明實(shí)施例中,流經(jīng)電流可控單元10的總電流可以通過開關(guān)電路20進(jìn)行控制,由于電流可控單元10與多晶硅熔絲E串聯(lián),也即是由開關(guān)電路20可以控制流經(jīng)多晶硅熔絲E的電流。這樣,通過設(shè)置電流可控單元10,并增加開關(guān)電路20來控制流經(jīng)多晶硅熔絲E的電流值,使得流經(jīng)多晶硅熔絲E的電流可以根據(jù)工藝的變化進(jìn)行調(diào)節(jié),解決了現(xiàn)有技術(shù)中芯片工藝發(fā)生變化時(shí)容易造成熔絲燒不斷或者過燒的問題,避免由于芯片工藝發(fā)生變化時(shí)出現(xiàn)熔絲燒不斷或者過燒的情況。

      優(yōu)選地,電流可控單元包括:多個場效應(yīng)管,其中,多個場效應(yīng)管并聯(lián)后與多晶硅熔絲串聯(lián)。

      場效應(yīng)管并聯(lián)是指場效應(yīng)管的源漏極之間形成并聯(lián),例如,場效應(yīng)管的源極與源極相連接,漏極與漏極相連接。多個場效應(yīng)管并聯(lián)是指多個場效應(yīng)管按照上述方式相互并聯(lián),再與多晶硅熔絲串聯(lián)。

      進(jìn)一步地,開關(guān)電路與多個場效應(yīng)管中全部或者一部分場效應(yīng)管的柵極相連接,開關(guān)電路用于控制多個場效應(yīng)管的接通個數(shù)來控制流經(jīng)多晶硅熔絲的電流值。

      開關(guān)電路可以用于控制上述多個場效應(yīng)管中的一部分場效應(yīng)管,或者控制上述多個場效應(yīng)管中的所有場效應(yīng)管,具體地,可以是控制上述多個場效應(yīng)管中一部分或者 全部場效應(yīng)管的柵極電壓,通過控制柵極電壓來調(diào)節(jié)導(dǎo)通的場效應(yīng)管,從而調(diào)節(jié)流經(jīng)多晶硅熔絲的電流。

      進(jìn)一步地,多個場效應(yīng)管為多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管(NMOS管),或者多個場效應(yīng)管為多個P溝道結(jié)型場效應(yīng)管(PMOS管)。

      以場效應(yīng)管為NMOS管為例,如圖2所示,多晶硅熔絲E的第一端連接電源V,多晶硅熔絲E的第二端分別連接多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管(包括M0、M1和M2)的漏極,多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管形成并聯(lián),其中,多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的源極接地GND。

      進(jìn)一步地,開關(guān)電路包括:高電平輸入端,用于接收高電平信號;第一組開關(guān),第一組開關(guān)包括多個開關(guān),分別連接在多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管中的全部或者一部分N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的柵極和高電平輸入端之間,用于控制多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管中的全部或者一部分N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的柵極的門電壓。

      具體地,如圖2所示,第一組開關(guān)的開關(guān)a1連接在高電平輸入端VP和NMOS管M1的柵極之間,開關(guān)a2連接在高電平輸入端VP和NMOS管M2的柵極之間,這樣,當(dāng)需要接通NMOS管M1時(shí),則可以閉合開關(guān)a1,使得NMOS管M1的柵極為高電平,NMOS管M1的漏極與源極之間接通,NMOS管M2同理。

      根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例,通過控制第一組開關(guān),可以調(diào)節(jié)接通的NMOS管的數(shù)量,從而起到調(diào)節(jié)流經(jīng)熔絲的電流值的作用。

      進(jìn)一步地,開關(guān)電路還包括:第二組開關(guān),第二組開關(guān)包括多個開關(guān),分別連接在多個N溝道結(jié)型場效應(yīng)管中的全部或者一部分N溝道結(jié)型場效應(yīng)管的柵極和接地端之間。

      具體地,如圖2所示,第二組開關(guān)包括開關(guān)b1和開關(guān)b2,分別連接在接地端GND和NMOS管M1的柵極之間,開關(guān)a2連接在接地端GND和NMOS管M2的柵極之間。通過第二組開關(guān)可以保證NMOS管M1或者NMOS管M2斷開。

      熔絲單元電路最基礎(chǔ)的理論是利用電遷移的理論。熔絲單元電路由多晶硅熔絲、編程晶體管和讀操作晶體管組成。其中編程晶體管部分可以稱為寫數(shù)據(jù)部分,讀操作晶體管稱作讀數(shù)據(jù)部分。寫數(shù)據(jù)的電路提供合適的電流給熔絲,使得熔絲發(fā)生電遷移,導(dǎo)致熔絲上邊的金屬硅化物發(fā)生電遷移,造成阻值變大,熔絲發(fā)熱,從而熔絲被熔斷。

      本發(fā)明實(shí)施例是把固定的場效應(yīng)管的數(shù)目變成可自由控制的,用戶可以根據(jù)實(shí)際表現(xiàn)自由調(diào)整需要使用的場效應(yīng)管的數(shù)目。就是把并聯(lián)的門電路分成幾個部分,利用改變門(即柵極)電壓的方法對其控制,使其參與供電或者不供電。當(dāng)門接地的時(shí)候, 那部分門電路就不會提供電流。當(dāng)門電路接VP時(shí),那部分門電路就會提供電流。用戶可以根據(jù)實(shí)際情況改變所需提供電流的場效應(yīng)管的數(shù)目來提供相應(yīng)的電流,不需要更改版圖來實(shí)現(xiàn),大大減少由于更改版圖所需要的工期和成本。

      針對已經(jīng)經(jīng)過驗(yàn)證并且進(jìn)入量產(chǎn)的eFuse模塊,通過改變場效應(yīng)管的數(shù)目,把工作的場效應(yīng)管的數(shù)目由固定的形式變成可控的形式,從而使eFuse流經(jīng)的電流變成可變電流。使eFuse使用更加靈活方便,大大增加工藝的可變范圍。

      以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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