專利名稱：一種有機(jī)el顯示器制造裝置和一種有機(jī)el顯示器制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機(jī)EL顯示器制造裝置和一種有機(jī)EL顯示器制造方法，用于制造一種有機(jī)EL顯示器，該顯示器具有在一個(gè)玻璃基底上形成的有機(jī)發(fā)光層被一個(gè)密封蓋密封的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
有機(jī)EL(電致發(fā)光)顯示器相比于作為目前平板顯示器的主流產(chǎn)品的液晶顯示器具有很多優(yōu)點(diǎn)，并且作為預(yù)計(jì)未來將取代液晶顯示器的新一代平板顯示器正在受到越來越多的關(guān)注。
圖6是表示一個(gè)典型的有機(jī)EL顯示器的通常結(jié)構(gòu)的透視圖。
有機(jī)EL顯示器1具有一個(gè)透明玻璃基底2。在玻璃基底2上，以預(yù)定間隔的條紋型式，由透明導(dǎo)電材料，例如ITO或類似物形成有多個(gè)正電極層3。在玻璃基底2之上，當(dāng)施加DC電壓時(shí)提供空穴的空穴傳輸層4，包含極少量作為摻雜劑的有機(jī)色素的有機(jī)發(fā)光層5，和當(dāng)施加DC電壓時(shí)提供電子的電子傳輸層6，被順序的形成在每個(gè)正電極層3上。在最頂層，即電子傳輸層6上，由導(dǎo)電材料以預(yù)定間隔的條紋型式形成多個(gè)負(fù)電極層7，使得負(fù)電極層7的條紋沿垂直于正電極層3延伸的方向而延伸。
在玻璃基底2上的每個(gè)正電極層3都被連接到一個(gè)DC電源8的正端。在最頂層中的每個(gè)負(fù)電極層7都被連接到DC電源8的負(fù)端。
在具有上述結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示器中，當(dāng)DC電源8在正電極層3和負(fù)電極層7之間施加DC電壓時(shí)，空穴從施加有DC電壓的正電極層3上的空穴傳輸層4被注入到有機(jī)發(fā)光層5中，而電子從施加有DC電壓的負(fù)電極層7下的電子傳輸層6被注入到有機(jī)發(fā)光層5中。在分別被空穴傳輸層4和電子傳輸層6注入空穴和電子的有機(jī)發(fā)光層5中，空穴和電子被重新結(jié)合。再結(jié)合所產(chǎn)生的能量被有機(jī)發(fā)光層5中包含的有機(jī)色素所吸收，從而發(fā)射出光。從有機(jī)發(fā)光層5發(fā)射出的光被順序的傳送到空穴傳輸層4，正電極層3，和玻璃基底2，并從玻璃基底2的背面輸出(圖6中的底面)。
在有機(jī)EL顯示器1中，玻璃基底2上的多個(gè)正電極層3和最頂層中的多個(gè)負(fù)電極層7以直角相交叉。DC電壓通過TFT或類似物被控制施加在每個(gè)交叉點(diǎn)上，從而由光所產(chǎn)生的圖像可被形成在玻璃基底2的外部，而每個(gè)交叉點(diǎn)都形成了一個(gè)顯示單元。
在有機(jī)EL顯示器1中，形成在空穴傳輸層4上的有機(jī)發(fā)光層5極易受潮。因此，當(dāng)有機(jī)發(fā)光層5被曝露在環(huán)境空氣中時(shí)，會(huì)形成被稱為暗斑的黑點(diǎn)，這會(huì)導(dǎo)致光學(xué)圖像故障，從而不能顯示圖像。因此，在真空腔內(nèi)或是充滿惰性氣體的腔體內(nèi)執(zhí)行對(duì)各個(gè)層的薄膜形成步驟之后，在得到的分層結(jié)構(gòu)之上提供一個(gè)密封蓋9，如圖7所示，同時(shí)保持該分層結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離環(huán)境空氣，從而該有機(jī)發(fā)光層5與環(huán)境空氣相絕緣。通過這種設(shè)置，避免了潮濕而引起的暗斑。
圖8示出了用于制造有機(jī)EL顯示器的有機(jī)EL制造裝置的通常結(jié)構(gòu)。
有機(jī)EL制造裝置10具有薄膜形成腔11，在其中執(zhí)行薄膜形成步驟以在玻璃基底2上形成包括有機(jī)發(fā)光層5及類似物的若干層；和密封腔12，其中在薄膜形成步驟在玻璃基底2上形成分層結(jié)構(gòu)之后，在玻璃基底2上還設(shè)置有密封蓋9。薄膜形成腔11和密封腔12通過連接通道13相互連接。
薄膜形成腔11具有輸送室110，在輸送室中心設(shè)有一個(gè)輸送機(jī)撲110a。在輸送室110周圍的徑向位置處，薄膜形成腔11以預(yù)定的間隔包含有，與玻璃基底2一起存放的基底存放室111；預(yù)處理室112，其中在薄膜形成之前在玻璃基底2上執(zhí)行例如凈化等預(yù)處理；和多個(gè)沉積室113到116，其中分別形成有正電極層3，空穴傳輸層4，有機(jī)發(fā)光層5，電子傳輸層6和負(fù)電極層7。在薄膜形成腔11中心的輸送室110和基底存放室111，預(yù)處理室112，沉積室113到116的每一個(gè)之間，分別設(shè)置有閥門111a到116a，用于通過閥門111a到116a的打開和關(guān)閉來控制氣流狀態(tài)。在基底存放室111的外端，設(shè)有閥門111b，用于保持基底存放室111內(nèi)的壓力，從而使當(dāng)玻璃基底2被置于基底存放室111中時(shí)，該壓力等于大氣壓力。在輸送室110和連接通道13之間設(shè)有閥門13a，用于在已形成有薄膜的玻璃基底2被輸送到密封腔12中時(shí)，允許各個(gè)空間之間的氣體交換。
密封腔12具有輸送室120，在輸送室120的中心設(shè)有輸送機(jī)撲120a。在輸送室120周圍的徑向位置處，密封腔12以預(yù)定的間隔包含有，檢驗(yàn)室121，其中形成在玻璃基底2上的包括有機(jī)發(fā)光層5及類似物的各個(gè)層的狀態(tài)被檢驗(yàn)；密封蓋固定室122，其中設(shè)置有密封蓋9，用于覆蓋形成在玻璃基底2上的多個(gè)層；與密封蓋9一起存放的蓋存放室123；輸出室124，具有密封蓋9的玻璃基底2從該輸出室被取出有機(jī)EL顯示器制造裝置10；和預(yù)備室125，126。在密封腔12中心的輸送室120和檢驗(yàn)室121，密封蓋固定室122，蓋存放室123，預(yù)備室125和126，以及輸出室124的每一個(gè)之間，都設(shè)置有閥門121a到126a分別用于通過閥門121a到126a的打開和關(guān)閉來控制氣流狀態(tài)。蓋存放室123設(shè)置有一個(gè)閥門123b，用于保持蓋存放室123內(nèi)的壓力，從而當(dāng)密封蓋9被送至蓋存放室123中時(shí)，該壓力等于大氣壓力。輸出室124設(shè)置有一個(gè)閥門124b，用于保持輸出室124內(nèi)的壓力，從而使當(dāng)設(shè)有密封蓋9的玻璃基底2被從有機(jī)EL顯示器制造裝置10中取出時(shí)，該壓力等于大氣壓力。
并且，薄膜形成腔11的各個(gè)室110到116，連接通道13，和密封腔12的各個(gè)室120到126都設(shè)有一個(gè)供氣管和一個(gè)排氣管(未示出)。通過這些管路，可以調(diào)節(jié)每個(gè)室，從而使每個(gè)室都按所需的氣壓被充進(jìn)所需的氣體。
在利用有機(jī)EL制造裝置10來制造有機(jī)EL顯示器的情況下，玻璃基底2通過輸送室110的輸送機(jī)撲110a從基底存放室111被傳送到預(yù)處理室112，并進(jìn)行預(yù)定的預(yù)處理。然后，玻璃基底2被傳送到沉積室113到116，其中順序地分別形成有正電極層3，空穴傳輸層4，有機(jī)發(fā)光層5，電子傳輸層6，和負(fù)電極層7。在這些層的形成過程中，在輸送室110和各個(gè)室111到116之間設(shè)置的閥門111a到116a被打開和關(guān)閉，同時(shí)通過供氣管和排氣管(未示出)而執(zhí)行預(yù)定氣體的引進(jìn)和排出，從而每個(gè)室的氣壓被適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。這種處理是在玻璃基底2并不與環(huán)境空氣相接觸的方式下進(jìn)行的。
在薄膜形成腔11中形成各個(gè)層之后，玻璃基底2通過連接通道13在氣密條件下被傳輸?shù)矫芊馇?2。在密封腔12中，玻璃基底2被輸送室120的輸送機(jī)撲120a輸送到檢驗(yàn)室121，并進(jìn)行預(yù)定的檢驗(yàn)。然后，玻璃基底2被傳送到密封蓋固定室122，而蓋存放室123的密封蓋9被設(shè)置在玻璃基底2上的預(yù)定位置處。
設(shè)有密封蓋9的玻璃基底2被從輸出室124中取出，用于制造有機(jī)EL顯示器，其中玻璃基底2的各個(gè)層，包括有機(jī)發(fā)光層5及類似物，都處于密封的條件下。
若有極少量的濕氣被包含在有機(jī)EL顯示器的有機(jī)發(fā)光層5中，則濕氣會(huì)引起暗斑的產(chǎn)生。因此，薄膜形成步驟是在不包含潮氣的腔體內(nèi)執(zhí)行的，而密封蓋9的設(shè)置正是為了覆蓋各個(gè)層從而這些層不會(huì)被暴露在環(huán)境空氣中，即潮氣不會(huì)被引入到有機(jī)發(fā)光層5。在密封蓋9將要接觸玻璃基底2的接觸表面上涂敷UV可固化粘接劑，通過對(duì)UV可固化粘接劑用透過玻璃基底2的UV光線照射而將密封蓋9固定在玻璃基底2上。
如上所述，有機(jī)EL顯示器必須在無潮氣的條件下制造。為了提高有機(jī)EL顯示器的大規(guī)模生產(chǎn)率，要使用很大面積的玻璃基底，而薄膜形成步驟是同時(shí)對(duì)許多有機(jī)EL顯示器執(zhí)行的。對(duì)每個(gè)有機(jī)EL顯示器都設(shè)置密封蓋，從而，在很大的玻璃基底上要對(duì)其上形成的每一個(gè)有機(jī)EL顯示器都形成劃線(scribe)。然后，沿著劃線施加彎矩，使這許多有機(jī)EL顯示器被分離，從而在同一時(shí)刻可制造許多有機(jī)EL顯示器。
然而，這種方法中，若劃線被形成在玻璃基底2設(shè)有密封蓋9的同一表面，則由于密封蓋9的出現(xiàn)，就很難在密封蓋9附近的位置處形成劃線。這種情況下，劃線就必須被形成在遠(yuǎn)離密封蓋9預(yù)定距離的位置處。
或者，若劃線被形成在玻璃基底2設(shè)有密封蓋9的相反表面，則由于密封蓋9從玻璃基底2上升了一定的高度，就難于穩(wěn)定的支持玻璃基底2。因此很難可靠地形成劃線。并且，由于密封蓋9的接觸表面存在固化后的粘接劑，其中該接觸表面與玻璃基底2形成有劃線的相反側(cè)表面相接觸，玻璃基底2的分離(斷裂)方向與劃線所標(biāo)的方向不一定相同，因此，由于粘接劑的影響不能得到理想的分離表面。
本發(fā)明就是考慮到上述問題而提出的，而本發(fā)明的目的是提供一種有機(jī)EL顯示器制造裝置和一種有機(jī)EL顯示器制造方法，為了將基底分離成各個(gè)有機(jī)EL顯示器，能夠在玻璃基底的理想位置上可靠地形成劃線，其中在玻璃基底上設(shè)有許多密封蓋，用于覆蓋包括有機(jī)發(fā)光層及類似物的多個(gè)層。
為了解決上述問題，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造裝置包括薄膜形成裝置，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，對(duì)將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的每個(gè)部分，在脆性基底上，形成一個(gè)正電極層，一個(gè)空穴傳輸層，一個(gè)有機(jī)發(fā)光層，一個(gè)電子傳輸層，和一個(gè)負(fù)電極層；和密封裝置，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，提供一個(gè)密封元件，用于在氣密條件下對(duì)每個(gè)部分密封在脆性基底上形成的各個(gè)層，其中在設(shè)置密封元件之前，劃線被形成在脆性基底上的預(yù)定部分區(qū)域中，該預(yù)定部分區(qū)域?qū)?yīng)于將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的部分。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的上述有機(jī)EL顯示器制造裝置中，最好還包括劃線裝置，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，形成脆性基底上的劃線，其中各個(gè)層由薄膜形成裝置形成在脆性基底上的預(yù)定部分區(qū)域中，該預(yù)定部分區(qū)域?qū)?yīng)于將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的部分。
在本發(fā)明的上述有機(jī)EL顯示器制造裝置中，最好該劃線裝置包括一個(gè)玻璃切具，該玻璃切具具有一個(gè)雙圓錐形的切割刀片，其最大直徑在中心部分；和一個(gè)支架，用于支撐該切割刀片可圍繞該圓錐的軸而旋轉(zhuǎn)。
并且，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造方法包括薄膜形成步驟，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，對(duì)將要成為分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的每個(gè)部分，在脆性基底上形成一個(gè)正電極層，一個(gè)空穴傳輸層，一個(gè)有機(jī)發(fā)光層，一個(gè)電子傳輸層，和一個(gè)負(fù)電極層；和密封元件附加步驟，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，附加一個(gè)密封元件，用于在氣密條件下密封用于每個(gè)部分的在脆性基底上形成的各個(gè)層，其中在密封元件附加步驟之前，劃線被形成在脆性基底上的預(yù)定部分區(qū)域中，該預(yù)定部分區(qū)域?qū)?yīng)于將要成為分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的部分。
在本發(fā)明的上述有機(jī)EL顯示器制造方法中，最好還包括劃線步驟，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，在脆性基底上的預(yù)定部分區(qū)域中形成劃線，其中各個(gè)層在薄膜形成步驟形成在脆性基底上，該預(yù)定部分區(qū)域?qū)?yīng)于將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的部分。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造裝置的通常結(jié)構(gòu)的平面示意圖。
圖2是在劃線室中設(shè)置的玻璃切具的側(cè)視圖。
圖3(a)到3(e)都是剖視圖，示出了在玻璃基底上形成的多個(gè)層上設(shè)置密封蓋，并將玻璃基底分離為多個(gè)有機(jī)EL顯示器的步驟。
圖4是表示根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)有機(jī)EL顯示器制造裝置的通常結(jié)構(gòu)的平面示意圖。
圖5是表示根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)有機(jī)EL顯示器制造裝置的通常結(jié)構(gòu)的平面示意圖。
圖6是表示一個(gè)有機(jī)EL顯示器的通常結(jié)構(gòu)的透視圖。
圖7是一個(gè)設(shè)置有密封蓋的有機(jī)EL顯示器的剖視圖。
圖8是表示一個(gè)傳統(tǒng)的有機(jī)EL顯示器制造裝置的通常結(jié)構(gòu)的平面示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下，將參照

根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造裝置。
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造裝置100的通常結(jié)構(gòu)。所制造的有機(jī)EL顯示器與圖6所示的結(jié)構(gòu)相同。
有機(jī)EL顯示器制造裝置100具有一個(gè)薄膜形成腔11，在其中執(zhí)行薄膜形成步驟以在玻璃基底(脆性基底)2上形成若干層，例如有機(jī)發(fā)光層5及類似物；和密封腔20，其中在玻璃基底2上形成分層結(jié)構(gòu)之后，在玻璃基底2上設(shè)置有密封蓋9。薄膜形成腔11和密封腔20通過連接通道13相互連接。
薄膜形成腔11具有輸送室110，在輸送室中心設(shè)有一個(gè)輸送機(jī)撲110a。在輸送室110周圍的徑向位置處，薄膜形成腔11以預(yù)定的間隔包含有，與玻璃基底2一起存放的基底存放室111；預(yù)處理室112，其中在薄膜形成之前在玻璃基底2上執(zhí)行例如清潔等預(yù)處理；和多個(gè)沉積室113到116，其中分別形成有正電極層3，空穴傳輸層4，有機(jī)發(fā)光層5，電子傳輸層6和負(fù)電極層7。在薄膜形成腔11中心的輸送室110和基底存放室111，預(yù)處理室112，沉積室113到116的每一個(gè)之間，分別設(shè)置有閥門111a到116a，用于通過閥門111a到116a的打開和關(guān)閉來控制氣流狀態(tài)。并且，基底存放室111，預(yù)處理室112，沉積室113到116的每一個(gè)，都設(shè)置有一個(gè)供氣管和一個(gè)排氣管(未示出)。通過這些管路，可以調(diào)節(jié)每個(gè)室，從而使每個(gè)室都按所需的氣壓被充進(jìn)所需的氣體。
密封腔20具有輸送室210，在輸送室210的中心設(shè)有輸送機(jī)撲210a。在輸送室210周圍的徑向位置處，密封腔20以預(yù)定的間隔包含有，檢驗(yàn)室216，其中形成在玻璃基底2上的包括有機(jī)發(fā)光層5及類似物的各個(gè)層的狀態(tài)被檢驗(yàn)；劃線室30，其中劃線被形成在玻璃基底2的表面上，用于將玻璃基底2分離為各個(gè)有機(jī)EL顯示器；與密封蓋9一起存放的蓋存放室213，所提供的密封蓋用于覆蓋玻璃基底2上形成的各個(gè)層，包括有機(jī)發(fā)光層5及類似物；密封蓋固定室212，在其中密封蓋9被置于玻璃基底2上；UV照射室214，用于對(duì)玻璃基底2緊挨的密封蓋9表面上施加的UV可固化粘接劑用UV光進(jìn)行照射；和輸出室215，具有密封蓋9的玻璃基底2從有機(jī)EL顯示器制造裝置100的該輸出室被取出。
劃線室30設(shè)有一個(gè)切具21(見圖2)，用于在玻璃基底2的預(yù)定位置上形成劃線。
圖2示出了劃線室30中設(shè)置的切具21。
切具21具有一個(gè)切割刀片22，由高硬度材料制成，例如超硬金屬，燒結(jié)金剛石，或類似物。切割刀片22具有雙圓錐形，并在中心部分具有最大直徑。切割刀片22的相對(duì)兩端被支架23所支撐，支架23的下表面是開放的，從而切割刀片22可以圍繞圓錐的軸而旋轉(zhuǎn)。
為了使用切具21在玻璃基底2上形成劃線，從支架23的下側(cè)延伸的切割刀片22的中心部分被推到玻璃基底2上的所需位置，并在切割刀片22被旋轉(zhuǎn)的同時(shí)沿著預(yù)定的方向移動(dòng)。
在利用有機(jī)EL顯示器制造裝置100來制造一個(gè)有機(jī)EL顯示器時(shí)，玻璃基底2通過輸送室110的輸送機(jī)撲110a從基底存放室111被傳送到預(yù)處理室112，并進(jìn)行預(yù)定的預(yù)處理。然后，玻璃基底2被傳送到沉積室113到116，在每個(gè)沉積室中預(yù)定氣體的預(yù)定壓力下，以順序的方式分別形成正電極層3，空穴傳輸層4，有機(jī)發(fā)光層5，電子傳輸層6，和負(fù)電極層7，從而獲得玻璃基底2上的分層結(jié)構(gòu)。在這些層的形成過程中，在輸送室110和各個(gè)室111到116之間設(shè)置的閥門111a到116a，被打開和關(guān)閉，同時(shí)通過供氣管和排氣管(未示出)而執(zhí)行預(yù)定氣體的引進(jìn)和排出，從而玻璃基底2并不與環(huán)境空氣相接觸。
在薄膜形成腔11中形成各個(gè)層之后，玻璃基底2通過連接通道13在氣密條件下被傳輸?shù)矫芊馇?0。
以下，將參照?qǐng)D3(a)到3(e)來說明將密封蓋9附加到其上形成有多個(gè)層的玻璃基底2上的步驟。
在通過連接通道13被傳送到密封腔20的玻璃基底2上，以預(yù)定的間隔形成有包括正電極層3的分層結(jié)構(gòu)，如圖3(a)所示。在玻璃基底2被傳送到輸送室210之后，輸送室210的輸送機(jī)撲210a將玻璃基底2送入檢驗(yàn)室216。在檢驗(yàn)室216中執(zhí)行預(yù)定的檢驗(yàn)之后，玻璃基底2被傳送到劃線室30。
在劃線室30中，玻璃基底2的位置通過執(zhí)行光學(xué)校準(zhǔn)而被校正，然后，根據(jù)預(yù)置的劃線節(jié)距數(shù)據(jù)沿著X和Y方向進(jìn)行交叉劃線。在此交叉劃線處理中，圖2中所示的切割刀片22在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)移動(dòng)，從而在玻璃基底2上對(duì)將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的每個(gè)部分形成劃線S，如圖3(b)所示。
隨后，輸送室210的輸送機(jī)撲210a將形成有劃線S的玻璃基底2送到密封蓋固定室212中。在密封蓋固定室212中，密封蓋9從蓋存放室213被置于玻璃基底2上從而覆蓋玻璃基底2上形成的分層結(jié)構(gòu)。密封蓋9通過在密封蓋9與玻璃基底2相接觸的表面上施加的UV可固化粘接劑而被置于玻璃基底2上。
隨后，輸送室210的輸送機(jī)撲210a將已放置有密封蓋9的玻璃基底2送到UV照射室214中。在UV照射室214中，玻璃基底2的背面被UV光照射，如圖3(d)所示，從而密封蓋9緊挨玻璃基底2的表面上施加的UV可固化粘接劑被固化，從而密封蓋9被固定在玻璃基底2的預(yù)定位置上。
隨后，輸送室210的輸送機(jī)撲210a將已固定有密封蓋9的玻璃基底2送到輸出室215中。通過打開閥門215b輸出室215被制成等于大氣壓力的減壓條件，然后，帶有密封蓋9的玻璃基底2被送出輸出室215。
最后，玻璃基底2沿著預(yù)定型式中玻璃基底2上形成的劃線S被裂開，從而被分離成各個(gè)有機(jī)EL顯示器，如圖3(e)所示。
如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的EL顯示器制造裝置100中，在包括正電極層3及類似物的多個(gè)層已被形成之后，但在密封蓋9被置于多個(gè)層上之前，劃線S被形成在玻璃基底2上用于將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的每個(gè)部分。因此，在密封蓋9已被設(shè)置在玻璃基底2上之后，當(dāng)劃線S被形成在玻璃基底2上時(shí)出現(xiàn)的與密封蓋9相接觸的切具21的問題就被避免了。并且，由于固定的密封蓋9的殘余應(yīng)力影響所引起的玻璃基底2的分離不理想的情況也被避免了。
圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造裝置100的備選實(shí)施例的通常結(jié)構(gòu)。所制造的有機(jī)EL顯示器與如圖6所示的結(jié)構(gòu)相同。
在有機(jī)EL顯示器制造裝置100中，劃線室30被設(shè)置在薄膜形成腔11和密封腔20的外部，在劃線室中，劃線S被形成在玻璃基底2上用于將玻璃基底2分離為各個(gè)有機(jī)EL顯示器。密封腔20具有一個(gè)預(yù)備室211。該有機(jī)EL顯示器制造裝置100的其他元件與圖1所示的有機(jī)EL顯示器制造裝置相同，因此不再贅述。
在使用有機(jī)EL顯示器制造裝置制造有機(jī)EL顯示器的情況下，首先，劃線S是在劃線室30中形成在玻璃基底2上的所需位置上。隨后，已形成有劃線S的玻璃基底2被送至薄膜形成腔11的基底存放室111。然后，玻璃基底2通過輸送室110的輸送機(jī)撲110a被傳送到薄膜形成腔11的各個(gè)室112到116，從而形成有機(jī)EL顯示器的多個(gè)層，例如正電極層3。
在各個(gè)層被形成之后，玻璃基底2通過連接通道13被傳送到密封腔20。在密封腔20中，輸送室210的輸送機(jī)撲210a將玻璃基底2送到密封腔20的各個(gè)室211-216中，從而執(zhí)行將密封蓋9附加在玻璃基底2上用于將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的每個(gè)區(qū)域上的步驟。附加有密封蓋9的玻璃基底2從輸出室215中被取出。
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造裝置100的又一備選實(shí)施例的通常結(jié)構(gòu)。該有機(jī)EL顯示器制造裝置100所制造的有機(jī)EL顯示器與如圖6所示的結(jié)構(gòu)相同。
在該有機(jī)EL顯示器制造裝置100中，劃線室30被設(shè)置在薄膜形成腔11中，在劃線室中，劃線S被形成在玻璃基底2上用于將玻璃基底2分離為各個(gè)有機(jī)EL顯示器。密封腔20具有一個(gè)預(yù)備室211。
在利用該有機(jī)EL顯示器制造裝置100制造有機(jī)EL顯示器的情況下，玻璃基底2通過輸送室110的輸送機(jī)撲110a從基底存儲(chǔ)室111以順序方式被傳送到薄膜形成腔11的各個(gè)室112到116，從而形成有機(jī)EL顯示器的多個(gè)層。隨后，已形成有機(jī)EL顯示器的多個(gè)層的玻璃基底2被送至劃線室30。在劃線室30中，劃線S被形成在玻璃基底2表面的所需位置上。應(yīng)當(dāng)注意，考慮到薄膜形成腔11中在玻璃基底2上執(zhí)行的薄膜形成步驟以及劃線形成步驟，劃線S應(yīng)當(dāng)形成在上述薄膜形成步驟之后，但是可選擇的，薄膜形成步驟也可以在玻璃基底2上已形成劃線S之后再執(zhí)行。
在各個(gè)層已被形成且劃線S也已被形成之后，玻璃基底2通過連接通道13被傳送到密封腔20。在密封腔20中，輸送室210的輸送機(jī)撲210a將玻璃基底2送至密封腔20的各個(gè)室212-216中，從而執(zhí)行將密封蓋9附加在玻璃基底2上將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的每個(gè)區(qū)域上的步驟。附加有密封蓋9的玻璃基底2從輸出室215中被取出。
如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造裝置中，在密封蓋9被形成在玻璃基底2上之前，劃線S就被形成在玻璃基底2上。在此情況下，如上述圖1和圖5所示，在有機(jī)EL顯示器的各個(gè)層已被形成在玻璃基底2上之后，形成劃線S的步驟就可以在真空中或惰性氣體中執(zhí)行?？蛇x擇的，如上述圖4所示，劃線S可以在薄膜形成步驟之前在有機(jī)EL顯示器制造裝置的外部被形成在玻璃基底2上。
工業(yè)實(shí)用性根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器制造裝置和有機(jī)EL顯示器制造方法，劃線在設(shè)置密封元件之前被形成在玻璃基底上用于將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的每個(gè)區(qū)域上。因此，在密封元件已被設(shè)置在玻璃基底上之后，當(dāng)劃線被形成在玻璃基底上時(shí)出現(xiàn)的玻璃切具與密封元件相接觸的問題就被避免了。并且，由于固定的密封元件的殘余應(yīng)力影響所引起的玻璃基底的分離不理想的情況也被避免了。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL顯示器制造裝置包括薄膜形成裝置，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，對(duì)將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的每個(gè)部分，在脆性基底上形成一個(gè)正電極層，一個(gè)空穴傳輸層，一個(gè)有機(jī)發(fā)光層，一個(gè)電子傳輸層，和一個(gè)負(fù)電極層；和密封裝置，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，提供一個(gè)密封元件，用于在氣密條件下密封用于每個(gè)部分的在脆性基底上形成的各個(gè)層，其中在設(shè)置密封元件之前，劃線被形成在脆性基底上的預(yù)定部分區(qū)域中，該預(yù)定部分區(qū)域?qū)?yīng)于將要成為分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的有機(jī)EL顯示器制造裝置，還包括劃線裝置，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，在脆性基底上的預(yù)定部分區(qū)域中形成劃線，其中各個(gè)層由薄膜形成裝置形成在脆性基底上，該預(yù)定部分區(qū)域?qū)?yīng)于將要成為分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的有機(jī)EL顯示器制造裝置，其中該劃線裝置包括一個(gè)玻璃切具，該玻璃切具具有一個(gè)雙圓錐形的切割刀片，其最大直徑在中心部分；和一個(gè)支架，用于支撐該切割刀片可圍繞該圓錐的軸而旋轉(zhuǎn)。
4.一種有機(jī)EL顯示器制造方法，包括薄膜形成步驟，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，對(duì)將要成為分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的每個(gè)部分，在脆性基底上形成一個(gè)正電極層，一個(gè)空穴傳輸層，一個(gè)有機(jī)發(fā)光層，一個(gè)電子傳輸層，和一個(gè)負(fù)電極層；和密封元件附加步驟，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，附加一個(gè)密封元件，用于在氣密條件下密封用于每個(gè)部分的在脆性基底上形成的各個(gè)層，其中在密封元件附加步驟之前，劃線被形成在脆性基底上的預(yù)定部分區(qū)域中，該預(yù)定部分區(qū)域?qū)?yīng)于將要成為分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的有機(jī)EL顯示器制造方法，還包括劃線步驟，用于在真空或惰性氣體內(nèi)，在脆性基底上的預(yù)定部分區(qū)域中形成劃線，其中各個(gè)層在薄膜形成步驟形成在脆性基底上，該預(yù)定部分區(qū)域?qū)?yīng)于將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的脆性基底的部分。
全文摘要
在密封蓋9被附加在玻璃基底2上之前，劃線S被形成在玻璃基底2上用于將要成為一個(gè)分離有機(jī)EL顯示器的每個(gè)部分上。因此，在密封蓋9已被設(shè)置在玻璃基底2上之后，當(dāng)劃線S被形成在玻璃基底2上時(shí)出現(xiàn)的切具21與密封蓋9相接觸的問題就被避免了。并且，由于固定的密封蓋9的殘余應(yīng)力影響所引起的玻璃基底2的分離不理想的情況也被避免了。
文檔編號(hào)H01L27/32GK1516990SQ0281187
公開日2004年7月28日 申請(qǐng)日期2002年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月14日
發(fā)明者若山治雄 申請(qǐng)人:三星寶石工業(yè)株式會(huì)社