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      用于工藝艙套件的凈化室運(yùn)輸封裝的制作方法

      文檔序號:6838793閱讀:213來源:國知局
      專利名稱:用于工藝艙套件的凈化室運(yùn)輸封裝的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型的一方面涉及將具有不同元件的工藝艙套件(processchamber kit)運(yùn)輸?shù)絻艋抑械谋銛y式封裝。
      背景技術(shù)
      有許多不同類型的封裝用于將工藝艙元件運(yùn)輸?shù)絻艋噎h(huán)境中,這種環(huán)境的室中環(huán)境粒子含量是受控的以使集成電路芯片和顯示器的處理免于污染。在一種類型的封裝中,單個艙元件被密封的塑料袋所環(huán)繞,這些塑料袋嵌在泡沫材料基塊(foam block matrix)的開口中。在運(yùn)送容器中,泡沫材料基塊固定在元件盒中并被運(yùn)送到分發(fā)地點(diǎn)或顧客處。凈化室的泡沫材料是一種高度壓縮、海綿狀的、聚乙烯泡沫材料,例如來自加利福尼亞Ventura城FP Technologies的Zotefoam牌“Plastazote LD-24”。泡沫材料基塊包括相互粘接以形成所需開口形狀的多個單獨(dú)的凈化室泡沫材料塊。元件盒一般具有用金屬邊連接并填充泡沫材料基塊的、由塑料或其他材料構(gòu)成的側(cè)壁。元件盒具有把手以方便將已包裝的元件運(yùn)輸?shù)絻艋噎h(huán)境。
      傳統(tǒng)的封裝有很多問題是與運(yùn)輸和在凈化室環(huán)境中打開這種封裝相關(guān)聯(lián)的。例如,傳統(tǒng)的封裝通常在凈化室環(huán)境中生成污染物和不合需要地釋放氣體。一般地,運(yùn)送容器是在凈化室外開封,并取出內(nèi)部的元件盒。當(dāng)使用凈化室泡沫材料時,泡沫材料基塊通常在凈化室環(huán)境中開封。但是在這樣開封并從泡沫材料塊中取出元件盒的時候,可能會磨下一粒一?;蛐K的泡沫材料而產(chǎn)生污染粒子。另外,凈化室泡沫材料一般具有開口的蜂窩狀結(jié)構(gòu),這種多孔狀的結(jié)構(gòu)具有例如大小約10到100微米的小孔。封閉在這些小孔中的氣體可釋放到凈化室環(huán)境中。在不同的泡沫材料塊之間用來構(gòu)建三維基塊的粘接層也能釋放氣體或產(chǎn)生聚合污染粒子。
      在某些情況下,泡沫材料塊本身并不能帶入凈化室,這樣必須將單個的密封元件袋開封并運(yùn)入凈化室。在這種運(yùn)輸期間,用來在單個元部件周圍形成可密封的封裝的軟塑料可能裂開而使得內(nèi)部部件被外部環(huán)境污染。將軟塑料袋存儲在凈化室環(huán)境中以供最后使用也是困難的,因?yàn)樗鼈儾惶枚逊挪⒖赡鼙淮唐?。而且,僅僅是將單個元部件運(yùn)送一定距離的行為就會增大掉落和損傷部件的危險。
      另一個問題出現(xiàn)了,因?yàn)榕菽牧虾屯獠亢凶硬辉试S對其內(nèi)部所容之物的目測檢查。例如,如果一個艙元件在封閉的盒中斷裂或碎裂了,通常直到在凈化室環(huán)境中打開盒子時才會發(fā)現(xiàn)這種破損。而且,在一個中間運(yùn)輸點(diǎn)中,例如部件分發(fā)倉庫,不打開容器并污染元部件就無法在運(yùn)送到顧客之前檢查封裝元件的狀況。此外,國際運(yùn)輸中涉及的嚴(yán)格的海關(guān)檢查要求打開這種容器以允許海關(guān)人員檢驗(yàn)內(nèi)部所容之物,這種檢查需要在可能不利的環(huán)境中打開密封,并可能使得部件一運(yùn)達(dá)就隨之被廢棄。
      還有另一個問題,因?yàn)楹茈y將標(biāo)簽貼到傳統(tǒng)的泡沫材料封裝上。一般地,通過鏤銑而在泡沫材料容器中加工一個凹入?yún)^(qū)域,并在凹入處抹上厚的環(huán)氧樹脂層。然后將標(biāo)簽粘貼到厚環(huán)氧樹脂層上。但是,這種環(huán)氧材料在低壓環(huán)境中或者當(dāng)加熱到甚至室溫時可能釋放氣體。此外,在鏤銑過程中泡沫材料可能裂開,由此產(chǎn)生有缺陷的封裝。
      當(dāng)將具有許多相互關(guān)聯(lián)的不同艙元件的工藝艙套件運(yùn)輸或運(yùn)送時出現(xiàn)了另一個問題。例如,套件可能包括襯墊的不同部分來做工藝艙壁面的襯里。在艙的操作期間這些襯墊被例行地清洗、重新磨光、或更換,所以通常需要同時運(yùn)送一套相關(guān)的襯墊部件。當(dāng)該套件單獨(dú)包裝并運(yùn)送時,就需要在分發(fā)中心或顧客處重新裝配套件,這浪費(fèi)了資源并且有時會導(dǎo)致不正確的部件裝配。當(dāng)將傳統(tǒng)的封裝開封并將套件的多個單獨(dú)元件運(yùn)輸?shù)絻艋抑袝r這個問題進(jìn)一步惡化了,其中它們立刻與其他元件錯放或混雜了,尤其如果它們在使用前已存放了一段時間。存儲在凈化室中是減少艙的停工時間所期望的,這通過當(dāng)元部件失效或需要清洗時立即將其更換來實(shí)現(xiàn)。未密封或松動的部件套件也可能丟失或被盜。
      因此,這樣的封裝是所期望的,即其允許敏感的艙元部件從制造商處安全地運(yùn)輸?shù)絻艋噎h(huán)境。所述封裝保持對外部環(huán)境的氣密性密封也是所期望的。另外期望所述封裝可容易地貼標(biāo)簽。還期望所具有的封裝允許對內(nèi)部部件的目測檢查而不拆開密封或打開封裝。還期望運(yùn)輸及存放一套相關(guān)的部件并按需要識別它們。而且期望所述封裝能夠適合防拆帶、密封、鎖或其他工具。

      發(fā)明內(nèi)容
      一種凈化室運(yùn)輸封裝對將具有多個不同形狀艙元件的工藝艙套件直接運(yùn)輸?shù)絻艋噎h(huán)境中是有用的。所述封裝包括第一剛性盤,第一剛性盤具有第一壁架和從第一壁架向外延伸的多個第一槽,第一壁架具有第一邊。第二剛性盤可從第一盤拆卸。第二盤具有第二壁架,第二壁架具有第二邊,第二邊和第一盤的第一邊耦合而在其間形成密封。第二盤還具有從第二壁架向外延伸的多個第二槽。當(dāng)這兩個盤裝配到一起時,由相面對的成對第一和第二槽形成具有不同內(nèi)表面輪廓的多個適形單元。每個適形單元的內(nèi)表面輪廓匹配于艙元件的外表面輪廓,使得在運(yùn)輸期間艙元件在其適形單元中的移動最小。第一或第二盤的至少一部分是基本透明的,使得可通過所述基本透明部分來觀察工藝艙套件的每個艙元件的狀態(tài)。


      從以下附圖、說明和權(quán)利要求將更好地理解本實(shí)用新型的這些和其他特征、方面和優(yōu)點(diǎn),提供這些附圖來圖示本實(shí)用新型的示例特征而不應(yīng)用來限制本實(shí)用新型,其中圖1是運(yùn)輸封裝的分解透視圖,示出了具有界定一組適形單元的槽的相面對的第一和第二盤,所述適形單元用于固定具有不同艙元件的工藝艙套件;圖2是具有側(cè)壁的盤的分解透視圖,所述側(cè)壁包括可拆卸面板;圖3A是包括一對匹配盤的運(yùn)輸封裝的分解橫截面示意圖,所述盤界定了多個適形單元,其中每個所具有的內(nèi)表面輪廓都適形于工藝艙套件的特定艙元件的外表面輪廓;圖3B示出了圖3A的運(yùn)輸封裝在圍繞艙元件裝配好盤、將內(nèi)部的空氣通過閥出口排出、以及通過閥入口輸入潔凈干燥的空氣或惰性氣體之后的示意圖;圖4是具有槽壁的槽的橫截面示意圖,所述槽壁具有相對的彈性微凹,當(dāng)被壓縮時所述微凹施加將艙元件定位的向里的力;和圖5是示出了相互配合的堆積接頭和相應(yīng)凹口的堆積運(yùn)輸封裝的橫截面示意圖。
      具體實(shí)施方式
      便攜式運(yùn)輸封裝20有助于運(yùn)輸和存儲工藝艙套件22,該套件具有許多不同的艙元件24a-f。封裝20允許艙元件24a-f直接運(yùn)輸?shù)絻艋噎h(huán)境中而不會暴露到外界并且不會拆開密封。艙元件24a-f是作為工藝艙、平臺和氣體供應(yīng)的部分的部件,這些元件在制造例如半導(dǎo)體晶片的集成電路和平板顯示器中使用。艙元件24a-f對由于灰塵粒子的污染敏感,當(dāng)暴露到外部環(huán)境時有時可能被輕易損壞,例如被空氣氧化或被水蒸氣腐蝕。
      一般地,封裝20包括成對的第一和第二盤50、60,它們在裝配到一起時如圖3B和圖5所示地相互面對。這里圖示的封裝20僅是根據(jù)本實(shí)用新型的示例實(shí)施例,而不應(yīng)用來限制本實(shí)用新型的范圍。盤50、60由足夠堅硬以承受運(yùn)輸期間的外部沖擊的材料構(gòu)成,并具有光滑、有彈性和非粒狀的表面,這種表面不像泡沫材料封裝,當(dāng)與艙元件24a-f的表面相磨損時不會釋放單個顆粒。優(yōu)選地,盤50、60的表面是連續(xù)、完整和無孔的,并且沒有當(dāng)接收艙元件24a-f時或者將安放于盤50、60中的艙元件24a-f開封時可剝落的單個顆粒。例如在一種形式中,盤50、60光滑而有彈性的表面可以具有小于約10微英寸的均方根粗糙度。裝配好的成對盤50、60用作自立的容器來接收工藝艙套件22的艙元件24a-f,甚至可具有內(nèi)置的操縱柄來將艙元件24a-f直接運(yùn)輸?shù)絻艋抑小Qb配好的成對盤50、60還可在凈化室的密封而穩(wěn)定的環(huán)境中保存一段時間,并僅僅當(dāng)需要立即使用工藝艙中的艙元件24a-f時才拆開,由此進(jìn)一步減少了對盤50、60中艙元件24a-f的任何污染。
      一般而言,第一盤50包括具有第一邊54的第一壁架(ledge)52,第一邊54可耦合到第二盤60的第二壁架62的相應(yīng)第二邊64。壁架52、62可以是相互平行的平的或成角度的條狀剛性材料。壁架52、62還可成型為具有圓形、方形或矩形形狀的框架。邊54、64是平的并大體上相互平行,而且繞著盤50、60的外圍一體成型。每個邊54、64具有足夠的寬度以允許邊54、64相互結(jié)合而形成表面密封。一般地,邊54、64是光滑連續(xù)的,但是如下所述它們也可具有從其延伸出的密封突起。也可使用邊54、64的其他形式,例如相對盤50、60中所帶的艙元件24a-f的中心軸或中心平面,邊54、64可傾斜成匹配的銳角和鈍角。
      如圖2所示,在第一盤50中,多個第一槽56a-f從第一壁架52向外向下伸出。在此形式中,第一壁架52是矩形的開口框架,其繞著第一槽56a-f延伸或甚至可環(huán)繞第一槽56a-f。第一槽56a-f每個都成型和定尺寸成具有適形地容納一部分工藝艙元件24a-f的內(nèi)部空間。當(dāng)不同的槽56a-f成型和定尺寸成容納不同的工藝艙元件24a-f時,凹陷在縱向上用分隔區(qū)120a-e來分隔。例如,槽56a可成型為具有適形于在槽56a中容納的工藝艙元件24a一部分的外輪廓的單個凹陷。槽56a-f也可成型為具有多個凹陷,例如具有不同半徑或?qū)挾鹊陌既耄惯@些凹陷成為相互連續(xù)連接的一體以容納艙元件24a-f的不同環(huán)形直徑。
      類似地,第二盤60也具有從第二壁架62向外伸出的第二槽66a-f。當(dāng)兩個盤50、60裝配好時,如圖3B和圖5所示,特定的第二槽66a相對地面對特定的第一槽56a而界定了獨(dú)特的單元92a,其具有適形于特定的艙元件24a的外表面輪廓94a的內(nèi)表面輪廓93a。這樣,每個獨(dú)特的適形單元92a-f都具有的內(nèi)容量輪廓成型為牢固地固定預(yù)定的一個艙元件24a-f,以使在運(yùn)輸期間該艙元件24a-f在單元92a-f中的側(cè)向或垂直移動最小,因?yàn)閱卧?2a-f的輪廓緊密地匹配該艙元件24a-f的輪廓。照這樣,具有不同內(nèi)表面輪廓93a-f的多個適形單元92a-f由相對的成對的第一和第二槽56a-f、66a-f來成型。每個適形單元92a-f的內(nèi)表面輪廓93a-f緊密地匹配艙元件24a-f的外表面輪廓94a-f。例如,一個特定單元92a的內(nèi)表面輪廓93a可成型為緊密地跟隨艙元件24a的外表面輪廓94a的輪廓,在這兩個表面93a、94a之間有約5到約30毫米的間隙。但是,其他間隙大小也是可以的,該間隙的大小取決于需要將該特定艙元件24a固定在單元92a中的緊密程度。
      例如,成對的第一和第二槽56a-f、66a-f可成型、定尺寸并隔開以容納組成工藝艙相關(guān)部分的套件22的一組艙元件24a-f,這些相關(guān)部分具有共同的功能或共同的組件目的。例如,槽56a-f、66a-f可構(gòu)造成用于固定都是工藝艙套裝組件22一部分的不同艙元件24a-f。一種類型的工藝艙套件22包含例如壁面襯墊的不同分段部分以覆蓋部分的內(nèi)艙壁或分氣器(gas distributor)的不同部分。套件22的另一個例子是繞工藝艙中的襯底而布置的同心環(huán)組件,例如屏蔽環(huán)(shadow ring)、外環(huán)(outer ring)、和抽吸板(pumping plate)。另一種套件22可包括聚焦環(huán)(focus ring)、艙側(cè)壁襯墊、和襯底夾持環(huán)(substrate clamping ring)。套件22的每個艙元件24a-f配合進(jìn)入由成對的第一和第二槽56a-f、66a-f形成的匹配的適形單元92a-f。
      由匹配的成對第一和第二槽56a-f、66a-f形成的單個單元92a-f可由分隔區(qū)120a-e分隔,將這些分隔區(qū)定尺寸成在相鄰單元間維持足夠的間隙以使得每個單元92a-f中的艙元件24a-f在運(yùn)輸期間不會相互接觸。分隔區(qū)120a-e可成型和定尺寸以使得當(dāng)盤50、60耦合時,單元92a-f相互隔離。但是,為了方便從單元92a-f排出和凈化氣體,分隔區(qū)120a-e也可成型和定尺寸來允許單元92a-f間的氣體連通,以使得單元92a-f中的氣體可以從接通整個單元組件的單個輸出排出,并類似地從單個輸入來更換。合適的間隙大小取決于相鄰艙元件24a-f的大小,例如可以從約5毫米到約40毫米。但是,也可使用其他間隙大小,這取決于需要將一個艙元件24a-f固定在單元92a-f中的緊密程度。
      在一種形式中,第二盤60的第二槽66a-f具有和第一盤50的第一槽56a-f大體相同的形狀,并且當(dāng)這兩個盤50、60結(jié)合到一起時將第二槽66a-f以與第一槽56a-f成鏡像的關(guān)系來并置。因?yàn)樗鼈兙哂写篌w相同的形狀,此形式的兩個盤50、60都可使用如下所述具有相同橫截面輪廓的單個模子來更經(jīng)濟(jì)地制造。而且,此形式對攜帶徑向?qū)ΨQ的艙元件24a-f尤其有用,例如圓柱體或軸對稱的艙元件24a-f。大體相同的形狀指相同的橫截面輪廓,但是輪廓中的一個可有用于其他目的的另外的特征,例如突出的把手或其他特征。
      在另一種形式中,第一和第二槽56a-f、66a-f中的一個或多個具有槽壁178a-b,其成型以當(dāng)艙元件24b置于槽56b中時,施加向里的機(jī)械偏置力來在單個或多個接觸點(diǎn)處固定艙元件24b。槽壁178a-b可具有向里伸展的微凹180,如圖4所示,當(dāng)艙元件24b置于槽56b中時微凹180被壓縮。結(jié)果,微凹180在與艙元件24b的接觸點(diǎn)處施加向里的彈性偏置力,這個力將艙元件24b牢固地固定在槽56b中,同時使與艙元件24b直接接觸的表面最小。相對的槽壁178a-b也可具有相對的微凹180a-b來對置于槽56b中的艙元件24b施加相反力。也可使用其他方法來施加這種向里的力,例如安裝在槽56b的外表面上來將其輕微壓縮的柔性環(huán)結(jié)構(gòu)、金屬彈簧、彈簧夾(均未示出),以及在合適的點(diǎn)加到槽56b內(nèi)部的兼容于凈化室的柔性材料墊。這樣一種形式對固定艙元件24a-f或艙元件24a-f的表面是有好處的,此表面是易碎的或在運(yùn)輸期間在槽壁178a-b的內(nèi)表面上磨損時容易損壞。
      在一種形式中,剛性側(cè)壁96a-d設(shè)置來支持第一或第二盤50、60的至少一個。側(cè)壁96a-d繞著盤50、60伸展并具有足夠大的高度來伸展到槽56a-f、66a-f中任何一個的深度之外。側(cè)壁96a-d還可構(gòu)造成具有在運(yùn)輸期間維持剛性的垂直的或傾斜的輪廓。在一種形式中,側(cè)壁96a-d包括垂直于壁架52、62的平面的大體平整的壁面。該平整壁面具有沿著壁面的所有四側(cè)向里伸展的四周環(huán)繞的凸緣以提高側(cè)壁結(jié)構(gòu)的剪切強(qiáng)度。也可使用其他提高剛性的結(jié)構(gòu)來提高側(cè)壁96a-d的強(qiáng)度,例如交叉梁或六角形單元的圖案。側(cè)壁96a-d也可由復(fù)合材料制成,例如有其他嵌入材料以提高結(jié)構(gòu)剛性的環(huán)氧樹脂。
      在一種形式中,側(cè)壁96a-d包括一組可拆卸的面板100a-d。每個可拆卸面板100a-d可具有大體相同的形狀,使得可用單個模子來制造面板100a-d。在圖2中圖示了具有相同形狀的合適的一組四個面板100a-d。每個面板100a-d包括直角的凸緣101a-d,其從面板100a-d的主側(cè)壁表面凹入,并配合進(jìn)入盤50周界之下的相應(yīng)匹配的狹槽102a-d。帶向外伸展的槽56的盤50的壁架52置于四個相鄰的側(cè)壁面板100a-d之上以使側(cè)壁面板100a-d的每個凸緣101a-d配合進(jìn)入壁架52下表面之下相應(yīng)的狹槽102a-d中。一組螺釘103a-1和連接夾105a-h可用來將面板100a-d連接到壁架52或相互連接。
      第一或第二盤50、60的邊部分54、64可耦合到一起以在盤之間形成氣密性密封107。兩個盤50、60之間的氣密性密封107允許其中的艙元件24a-f進(jìn)行無污染運(yùn)輸。例如在一種形式中,如圖3B所示,盤50、60的一個或多個的邊54、64具有可容納墊圈112a-b的凹槽108a-b,墊圈112a-b例如是O型環(huán)或其他軟聚合物密封。安裝到第一盤50的鎖扣82a-d和安裝到第二盤60的鎖扣接頭84a-d允許兩個盤50、60在兩個盤50、60之間的墊圈112a-b處被密封,以維持兩個盤之間的氣密性密封107,如圖3B和圖5所示。鎖扣82a-d可以是例如塑料條的傳統(tǒng)鎖扣,其具有安裝到第一盤50的面板100a-d的有波紋的柔性樞軸部分122a-d,并具有從樞軸部分122a-d外伸的爪狀部分123a-d。使用時,爪狀部分123a-d繞樞軸外轉(zhuǎn)并對安裝到第二盤60的面板100a-d上的鎖扣接頭84a-d的末端加力。在另一種形式中,第二盤60的邊64中一系列凸起的U形球狀柱耦合到第一盤50的邊54的相應(yīng)鐘形凹口以在其間形成密封(未示出)。在另一種形式中,第二邊64具有環(huán)繞的凸緣,其咬合入第一邊54中的相應(yīng)狹槽來形成密封(也未示出),并且在盤50、60嚙合之后,通過拉開兩個邊54、64可使它們從嚙合狀態(tài)分開。
      封裝20的氣密密封形式還可包括使密封的適形單元組92排氣的第一閥140,以及將氣體引入已排氣的單元92的第二閥144。例如,第一和第二閥140、144可以是Schrader閥,當(dāng)移動閥140、144中心的彈簧加載銷148時其允許引入或排出氣體。第一閥140可連接到使密封單元排氣的泵156,而第二閥144可連接到將潔凈干燥的空氣(CDA)或惰性氣體引入被密封單元中的氣體供應(yīng)器160?;蛘?,也可將單個閥用于排氣和氣體凈化或填充功能(未示出)。
      側(cè)壁96a-d的相對部分或可拆卸面板100a-d,還可具有相互面對的一對或多對內(nèi)置的把手開口98a-d。把手開口98a-d允許操作者舉起并輕松地將封裝20運(yùn)輸?shù)絻艋噎h(huán)境中。這種把手開口98a-d是有優(yōu)勢的,因?yàn)樗鼈儾⒉簧斐鲆蜒b配的封裝20,從而占用更少的凈化室存儲空間。在運(yùn)輸期間把手開口98a-d還更不易斷裂。把手開口98a-d還可輕易制造到側(cè)壁96a-d或可拆卸面板100a-d中,而不必向盤50、60連接額外的部件。但是,也可在側(cè)壁96a-d或可拆卸面板100a-d上或盤50、60的其他表面固定外把手(未示出)。
      在使用中,選擇盤50、60中的一個作為下盤或基盤,例如第一盤50,并將其置于工作表面上。每個艙元件24a-f豎直插入下盤50的開口槽56a-f的一個中。在填充盤50之后,另一個盤60用作上盤或覆蓋盤并配合蓋在艙元件24a-f伸出下盤50的槽56a-f的部分之上。隨后鎖扣82a-d與鎖扣接頭84a-d嚙合以將上盤60鎖在下盤50上?,F(xiàn)在每個艙元件24a-f都被定位在定制成適形配合特定艙元件24a-f的單元92a-f中,并與其他艙元件24a-f隔離。而且,因?yàn)榕撛?4a-f全都包含在單個封裝20中,所以分銷商或顧客更容易放置整個部件套件。另外,當(dāng)剛性盤50、60至少部分由基本透明的聚合物材料構(gòu)成時,更容易識別封裝20中的艙元件24a-f,即對應(yīng)于特定套件22的那些艙元件。
      剛性盤50、60可用提供運(yùn)輸所需剛度的許多不同材料來制造,即當(dāng)形成盤50、60并將艙元件24a-f置于盤50、60中時材料足夠剛硬以吸收震動而不會破裂。當(dāng)在ISO 527下例如1毫米/分鐘下測量時盤50、60應(yīng)該具有至少約1800Mpa的拉伸彈性模量。
      優(yōu)選地,盤50、60至少一部分或整個盤50、60由一種還基本透明的剛性材料構(gòu)成以允許對固定在盤50、60中艙元件24a-f的目測檢查。基本透明指對可見光半透明或透明。例如,一種合適的透明材料可具有至少約80%的可見光透射比例。已裝配盤50、60的第一或第二槽56a-f、66a-f還可表面拋光以提高透射光和觀察的清楚度。透明部分允許凈化室操作者可視地檢測或檢查盤50-60的內(nèi)容而不破裂打開密封。例如,在一種形式中,只有第一或第二槽56a-f、66a-f中的一個或多個由基本透明的材料構(gòu)成,但是也可是兩個盤50、60的全部都由基本透明的材料構(gòu)成。
      基本透明的部分還允許識別標(biāo)簽或元件條形碼貼在盤的內(nèi)部而仍可從外面看到。這防止在運(yùn)輸或存儲期間損壞標(biāo)簽。而且,盤的剛性表面允許傳統(tǒng)的標(biāo)簽更容易地貼在盤上,而不用象凈化室泡沫產(chǎn)品中所需要的那樣加工凹口或要特殊的環(huán)氧樹脂膠。
      一種合適的基本透明剛性材料是諸如高密度聚乙烯的熱定型(heatsetting)熱塑性聚合物,例如基于聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、二醇類改性PET(PETG)、定向PET(O-PET)、或聚萘二酸乙二醇酯(PEN)、或其相互的或與其他樹脂的混合物的聚合物。優(yōu)選地,透明剛性材料是當(dāng)加熱時軟化而成型為模具形狀的可模制的熱塑性塑料,例如二醇類改性PET(PETG),例如由以色列Ramat Yohanan的Palram制造的PAL_G片枋。剛性盤50、60可用傳統(tǒng)的塑料模制技術(shù)從單張熱塑性材料毛坯板(blank sheet)模制成單個集成件??衫脗鹘y(tǒng)的熱成型方法和設(shè)備,例如真空輔助、空氣輔助、機(jī)械塞輔助(mechanical plug assist)或合模模制,來將毛坯板熱成型為熱定型薄壁盤。
      在制造盤50、60的一種方法中,將熱塑板置于盤的陽模或陰模上并加熱,直到其軟化到模具中。通過使用相對的匹配模具的形狀來施加壓力或通過從模具下抽出板材,而將預(yù)熱的熱塑板拉進(jìn)也可加熱的模具中。例如,如果板材被加熱并允許軟化到陰模中,那么可用陽模來從被加熱板的另一側(cè)施加適形的相對壓力,并且陽??芍饾u冷卻到室溫而用作輔助冷卻模具。熱塑板通過以下步驟而熱定型與被加熱的模具表面在足夠的一段時間內(nèi)保持接觸以完全適形于模具的輪廓,將成型的板逐漸冷卻到室溫,隨后將盤的預(yù)型件移出模具腔。還可在模具中使用真空以抽出任何受限的空氣。隨后可將盤的預(yù)型件裁剪或以其他方式成型來加上把手開口98a-d和其他突起,并成型來形成鎖扣接頭和其他特征。板材必須加熱到其Tg(玻璃態(tài)轉(zhuǎn)變溫度)之上和在定位在模具腔上時會過度下垂的溫度點(diǎn)之下。在熱成型過程中,在約120℃到約240℃的范圍內(nèi)的板材溫度是合適的。模具可用木頭、樹脂、或例如鋁甚至鋼的金屬制成。制造少量的盤50、60時,可使用例如木頭的軟材料。
      也可使用多層板來代替單層板。多層板還可包括由例如PETG的熱塑聚合物構(gòu)成的第一層,和由例如玻璃纖維環(huán)氧樹脂板的復(fù)合材料構(gòu)成的第二層。而且,可以制造盤50、60使得例如槽56、66的一部分是用基本透明的材料制造的,而例如側(cè)壁96a-d或可拆卸面板100a-d的其他部分用更剛硬或更堅固的材料制造,例如嵌入環(huán)氧樹脂中的玻璃纖維束板。
      在另一個實(shí)施例中,盤50、60或盤50、60的一部分用例如鋁或鋼的金屬制造。但是,此實(shí)施例不允許看清艙元件24a-f在運(yùn)送后的狀態(tài),或檢查位于盤50、60中的標(biāo)簽。這樣,盤50、60可制造成都具有非透明部分,例如連接到基本透明的槽56a-f、66a-f的非透明壁架52、62,以使通過槽56a-f、66a-f的透明壁仍可看到槽56a-f、66a-f的中的艙元件24a-f。
      在又一個實(shí)施例中,盤50、60的一部分按照從顏色編碼表中選出的顏色來染色,該表列出了不同的顏色和相應(yīng)的套件22或艙元件24a-f的部件號。例如,可將盤50、60的基本透明部分染色,或?qū)⒈P50、60的另一部分例如不透明部分染色。顏色可包括來自顏色光譜的任何可見波長并包括白色或黑色。顏色編碼表列出與相應(yīng)的工藝艙套件22、艙元件24a-f、或工藝應(yīng)用相關(guān)聯(lián)的單個顏色。例如,此表可列出藍(lán)色與鋁刻蝕艙工藝套件相關(guān)聯(lián),而黃色或橙黃色用于銅的艙套件。這種顏色編碼允許凈化室操作者輕松地分辨并正確地識別用于特定艙或應(yīng)用的備件。結(jié)果,不必打開封裝20的密封來檢查艙元件24a-f以確定它們的功能,而可更長時間地保持艙元件24a-f的完整性。
      顏色編碼表的列表還可將具有相同艙元件24a-f但用在不同的工藝應(yīng)用中的工藝艙套件22與不同的顏色關(guān)聯(lián),這些不同的工藝應(yīng)用例如是相互不兼容的。例如,鋁和銅互連制造工藝都使用包括基本相同艙元件24a-f的工藝艙套件22。但是,一旦這樣一個工藝艙套件22已經(jīng)在完成第一工藝應(yīng)用的第一類型的工藝艙中使用了,則其再也不能在服務(wù)于另一個工藝應(yīng)用的第二類型的工藝艙中使用了,因?yàn)樗赡芪廴镜诙に嚺?。這種情形通常在此時出現(xiàn),即已經(jīng)在一個工藝艙中使用了的艙元件24a-f的套件22,例如用于鋁沉積或刻蝕的艙,被送到制造商處清洗或重新磨光。在艙元件24a-f已被清洗或重新磨光后,它們被送回顧客處。在那時,將用于艙元件24a-f的封裝20顏色編碼以表明以前的鋁應(yīng)用,使得艙元件24a-f不會意外地用于銅沉積或刻蝕艙或工藝中。
      封裝20還可具有相互配合的堆積接頭170和相應(yīng)的凹口174,以使多于一個的封裝20可在凈化室中堆積成一列。例如,如圖5所示,第一封裝20的第一盤50的頂面可具有位于表面的四個角的四個接頭170,以及在第二盤60的底面處的相應(yīng)凹口174。當(dāng)?shù)谝环庋b20堆積在第二封裝21之上時,第二封裝21的四個接頭170配合進(jìn)入第一封裝20的底面中的相應(yīng)凹口174中。接頭和凹口的這種配合允許堆積的封裝20、21相互配合進(jìn)入,使得它們當(dāng)存儲在凈化室中時不會不穩(wěn)。
      因此,本實(shí)用新型提供了一種運(yùn)輸封裝20,其允許將例如元件套件22的工藝艙元件24a-f從制造商或分發(fā)中心直接運(yùn)輸?shù)筋櫩偷膬艋抑?。封裝20是可重用的,因?yàn)閯傂缘牟粷B透的盤表面可被容易地清洗。盤50、60由于具有光滑表面,其沒有可輕易被磨掉的顆粒狀粒子,而使污染最小。而且,適形封裝20的每個適形單元92a-f可用來保持工藝艙套件22的特定艙元件24a-f,并適形于艙元件24a-f的形狀以使運(yùn)輸期間的破裂最少。此外,單元92a-f的透明部分允許對封裝20內(nèi)容的目測檢查,以及對每個艙元件24a-f的檢查,而不打開密封和污染物品。
      雖然對于其優(yōu)選形式相當(dāng)詳細(xì)地描述了本實(shí)用新型,但其他形式也是可以的。例如,單元92a-f可合并到一起而形成具有不同半徑區(qū)的連續(xù)容積,以能夠運(yùn)輸具有復(fù)雜外表面形貌的單個艙元件。此外,可為其他目的而定制單個單元92a-f的形狀,例如它們不與元部件相接觸的外輪廓可成型為與運(yùn)送容器中相應(yīng)成型的凹入相匹配。因此,權(quán)利要求不應(yīng)限于這里所包含的對優(yōu)選形式的說明。
      權(quán)利要求1.一種用于工藝艙套件的凈化室運(yùn)輸封裝,所述工藝艙套件具有多個不同形狀的艙元件,其特征在于,所述封裝包括(a)第一剛性盤,具有具有第一邊的第一壁架;和從所述第一壁架向外延伸的多個第一槽;(b)第二剛性盤,可從所述第一盤拆卸,所述第二盤具有具有第二邊的第二壁架,所述第二邊和所述第一壁架的所述第一邊耦合而在其間形成密封;和從所述第二壁架向外延伸的多個第二槽,其中具有不同內(nèi)表面輪廓的多個適形單元由相面對的成對第一和第二槽形成,每個適形單元的內(nèi)表面輪廓匹配于艙元件的外表面輪廓,使得在運(yùn)輸期間所述艙元件在其適形單元中的移動最小,并且其中所述第一或第二盤的至少一部分是基本透明的,使得可通過所述基本透明部分來觀察所述工藝艙套件的每個艙元件的狀態(tài)。
      2.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)輸封裝,其中所述相面對的第一和第二槽具有基本相同的內(nèi)表面輪廓并以相互鏡像的關(guān)系來并置。
      3.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)輸封裝,其中所述第一或第二盤中的至少一個包括剛性側(cè)壁,所述側(cè)壁具有大于任何一個所述適形單元的深度的高度。
      4.如權(quán)利要求3所述的運(yùn)輸封裝,其中側(cè)壁的相對部分每個都包括一個把手開口。
      5.如權(quán)利要求4所述的運(yùn)輸封裝,其中所述側(cè)壁包括可耦合到一起的一組可拆卸面板。
      6.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)輸封裝,其中所述第一或第二槽中的至少一個具有成型為施加向里的機(jī)械偏置力的槽壁,當(dāng)所述艙元件位于所述槽中時來將所述元件固定在接觸點(diǎn)處。
      7.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)輸封裝,包括在所述第一或第二盤中至少一個的所述邊中的凹槽,以及在所述凹槽中的墊圈密封,以在所述第一和第二盤之間形成氣密性密封。
      8.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)輸封裝,包括鎖扣和鎖扣接頭以將所述第一和第二盤鎖到一起。
      9.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)輸封裝,其中所述基本透明部分被染色。
      10.一種用于工藝艙套件的凈化室運(yùn)輸封裝,所述工藝艙套件具有多個不同形狀的艙元件,其特征在于,所述封裝包括(a)第一剛性和基本透明的盤,具有具有第一邊的第一框架;和從所述第一框架向外延伸的多個第一槽;(b)第二剛性和基本透明的盤,可從所述第一盤拆卸,所述第二盤具有具有第二邊的第二框架;和從所述第二框架向外延伸的多個第二槽,所述第二槽具有和所述第一槽基本相同的內(nèi)表面輪廓;(c)墊圈密封,在所述第一或第二框架中的凹槽中;和(d)所述第一盤上的鎖扣以及所述第二盤上的鎖扣接頭,其中當(dāng)所述第一和第二盤耦合到一起并且所述鎖扣在所述鎖扣接頭上閉合時,在所述兩個盤之間形成氣密性密封;其中具有不同內(nèi)表面輪廓的多個適形單元由相面對的成對第一和第二槽形成,每個適形單元的內(nèi)表面輪廓匹配于艙元件的外表面輪廓,使得在運(yùn)輸期間所述艙元件在其適形單元中的移動最小,并且其中所述基本透明的第一或第二盤允許通過其來觀察所述工藝艙套件的每個艙元件的狀態(tài)。
      11.如權(quán)利要求10所述的運(yùn)輸封裝,其中所述第一或第二盤中的至少一個包括剛性側(cè)壁,所述側(cè)壁具有大于任何一個所述適形單元的深度的高度,所述側(cè)壁包括耦合到一起的一組可拆卸面板。
      12.如權(quán)利要求11所述的運(yùn)輸封裝,其中側(cè)壁的相對部分每個都包括一個把手開口。
      13.如權(quán)利要求10所述的運(yùn)輸封裝,其中所述第一或第二槽中的至少一個具有成型為施加向里的機(jī)械偏置力的槽壁,當(dāng)艙元件位于所述槽中時來將所述元件固定在接觸點(diǎn)處。
      專利摘要本實(shí)用新型提供了一種凈化室運(yùn)輸封裝,對運(yùn)輸具有許多有不同形狀的艙元件的工藝艙套件是有用的。所述封裝包括具有第一壁架和從第一壁架向外延伸的多個第一槽的第一剛性盤,第一壁架具有第一邊,第一剛性盤可拆卸地裝配到第二剛性盤,第二盤具有從第二壁架向外延伸的多個第二槽。第二盤具有第二邊,其和第一盤的第一邊耦合而在其間形成密封。具有不同內(nèi)表面輪廓的多個適形單元由相面對的成對第一和第二槽形成,這樣每個適形單元的內(nèi)表面輪廓適形于套件的不同艙元件之一的外表面輪廓,使得在運(yùn)輸期間所述艙元件在其適形單元中的移動最小。還可通過盤的基本透明部分來觀察所述工藝艙套件的每個艙元件的狀態(tài)。
      文檔編號H01L21/00GK2719769SQ20042004925
      公開日2005年8月24日 申請日期2004年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月26日
      發(fā)明者羅納爾·維恩·肖爾 申請人:應(yīng)用材料公司
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