專利名稱：狹縫涂布機(jī)的預(yù)備排出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及狹縫式涂布機(jī)預(yù)備排出裝置，該涂布機(jī)能把從狹縫狀開口部中流下的防蝕劑液體或顯像液體、彩色濾色片等的涂布液涂布在如玻璃基板或半導(dǎo)體晶片等的板狀被處理物表面。
背景技術(shù)：
用狹縫式涂布機(jī)連續(xù)給多個(gè)基板表面供給涂布液的情況下，在涂布作業(yè)與涂布作業(yè)之間的待機(jī)時(shí)間，因與空氣接觸，排出嘴前端部的部分涂布液濃度上升。并且，在這種狀態(tài)下，如果繼續(xù)涂布在下一個(gè)基板上，會因高濃度化的涂布液產(chǎn)生縱紋，或產(chǎn)生膜裂口。
為了消除上述問題，專利文獻(xiàn)1中提供了一種現(xiàn)有技術(shù)，在保持洗滌液的洗滌槽內(nèi)配置加注輥，該加注輥的上部比洗滌液更向上方突出，使狹縫涂布機(jī)的排出嘴接近突出的加注輥表面，將多余涂布液從排出嘴引出，使其附著在加注輥表面，再去除。
專利文獻(xiàn)2公開了一種現(xiàn)有技術(shù)，其目的在于提高洗滌效率，平流方式中采用二流體噴嘴，省空間、省力、有效地進(jìn)行洗滌均勻的排放洗滌處理。
另外，專利文獻(xiàn)3記載了下述內(nèi)容在把新的液體噴到加注輥上的新液淋洗嘴的上方設(shè)有噴出干燥氣體的噴氣嘴，使加注輥表面干燥。
專利文獻(xiàn)1特開2001-310147號公報(bào)；專利文獻(xiàn)2特開2003-145064號公報(bào)；專利文獻(xiàn)3專利申請第2003-361347號。
在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2公開的預(yù)備排出裝置中，雖然配置有向加注輥表面噴出洗滌液的淋洗嘴，但是從該淋洗嘴噴出的洗滌液循環(huán)利用的是回收到回收桶中的洗滌液。
但是，在現(xiàn)有技術(shù)中，從淋洗嘴噴出使用過一次的洗滌液，在清洗能力方面比供給新液的情況下差，反之，只供給新液的情況下，會提高成本。
在現(xiàn)有實(shí)例中，對洗滌后的加注輥表面通過排氣進(jìn)行干燥，但干燥花費(fèi)時(shí)間，且存在附著在加注輥表面且濃縮的涂布液難以剝離的問題。
另外，專利文獻(xiàn)3記載的氣體噴嘴因干燥氣體的噴出方向不在正下方，接觸加注輥表面的干燥氣體會朝向狹縫涂布機(jī)的排出嘴，會助長排出嘴前端部的涂布液干燥。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置，其中洗滌槽、加注輥、新液淋洗嘴和循環(huán)液淋洗嘴以加注輥旋轉(zhuǎn)方向?yàn)榛鶞?zhǔn)，位于循環(huán)液淋洗嘴的前方，其中該洗滌槽盛放洗滌液，該加注輥配置于該洗滌槽內(nèi)并將從狹縫涂布機(jī)的排出嘴排出的涂布液附著在表面并去除，該新液淋洗嘴向加注輥表面噴出新液加注輥，該循環(huán)液淋洗嘴噴出循環(huán)液，噴出干燥氣體的氣體噴出嘴配置在前述新液淋洗嘴的上方、且比加注輥的垂直方向的中心線更靠近前述新液淋洗嘴的位置，該氣體噴嘴處于垂直方向，從而干燥氣體從正上方傾斜地吹在加注輥的表面上。
并且，可在上述狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置中，將附著在加注輥表面上的涂布液刮落的涂刷器利用彈簧可調(diào)整地配置在前述新液淋洗嘴或循環(huán)液淋洗嘴的下方，加注輥也可以從前述新液淋洗嘴和干燥氣體噴嘴的后方使供前述洗滌槽整體排氣的排氣口開口。
另外，狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置中，前述新液淋洗嘴和循環(huán)液淋洗嘴也可以是二流體噴嘴，前述新液淋洗嘴、循環(huán)液淋洗嘴、涂刷器、干燥氣體噴嘴、排氣口的長度可以大致等同或長于前述加注輥的縱向長度。
根據(jù)本發(fā)明，從氣體噴嘴噴到正下方的干燥氣體傾斜地吹在加注輥的表面上，所以能有效地吹開加注輥上的洗滌液，且能有效地使其干燥。
并且，由于將附著在加注輥表面上的涂布液刮落的涂刷器利用彈簧可調(diào)整地配置在前述新液淋洗嘴或循環(huán)液淋洗嘴的下方，因此，接觸加注輥的涂刷器的位置可以自由變化，所以，不均勻地附著在加注輥上的涂布液不會對涂刷器或加注輥中任一方造成負(fù)荷，而被刮落。
另外，由于從新液淋洗嘴和干燥氣體噴嘴的后方使供前述洗滌槽整體實(shí)現(xiàn)排氣的排出口開放，能夠從干燥氣體噴嘴和新液淋洗嘴的后方進(jìn)行洗滌槽整體的排氣，因此能進(jìn)一步促進(jìn)附著在洗滌后的加注輥表面上的洗滌液的干燥。
此外，因新液淋洗嘴、循環(huán)液淋洗嘴、涂刷器、干燥氣體噴嘴、排氣口的長度可以大致等同或長于前述加注輥的縱向長度，因此能均勻地處理加注輥。


圖1是本發(fā)明的預(yù)備排出裝置的剖面圖；圖2是表示抬起了該裝置的蓋體的狀態(tài)的視圖；圖3是表示干燥氣體噴嘴的放大剖面圖；圖4是另一實(shí)施例的預(yù)備排出裝置的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。圖1是本發(fā)明的預(yù)備排出裝置的剖面圖，圖2是表示抬起蓋體的狀態(tài)的視圖，圖3是表示該干燥氣體噴嘴的噴出方向的視圖，圖4是另一實(shí)施例的預(yù)備排出裝置的剖面圖。
預(yù)備排出裝置的圓筒狀加注輥2自由旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在儲存洗滌液的洗滌槽1內(nèi)。該圓筒狀加注輥2由不銹鋼、氧化鋁、鈦等形成，其尺寸設(shè)定為，直徑30～100mm，長度稍大于狹縫噴嘴3的縱向長度，預(yù)備排出時(shí)與狹縫噴嘴3下端(噴孔)的間隔為25～300μm。
并且，在開放的洗滌槽1的上面相對于洗滌槽1設(shè)置蓋體4、5，使上述蓋體4、5的內(nèi)端接近圓筒狀加注輥2，盡可能地防止洗滌液的蒸發(fā)。蓋體4上設(shè)有噴出循環(huán)洗滌液的循環(huán)液淋洗嘴6，蓋體5上設(shè)有新液淋洗嘴7和噴出空氣、氮?dú)獾雀稍餁怏w的噴嘴8。
如圖3所示，干燥氣體噴嘴8的噴氣方向朝正下方(鉛直方向)。通過向正下方供給氣體，干燥氣體從斜上方吹在加注輥2的表面上，能有效地吹開加注輥表面上的洗滌液并使其干燥。
另外，前述循環(huán)液淋洗嘴6和新液淋洗嘴7的下方設(shè)有與加注輥2的表面接觸的涂刷器9、10。這些涂刷器9、10裝在前述洗滌槽1側(cè)，其向加注輥2表面的接觸壓力和突出量可以用彈簧9a、10a進(jìn)行調(diào)整。
如果這樣通過彈簧進(jìn)行位置調(diào)整，其變動(dòng)是撓性的，即使相對于不均勻地附著在加注輥2上的涂布液也以一定的力進(jìn)行接觸。不會象固定的涂刷器那樣產(chǎn)生刮落殘留，或者相反因涂刷器本身損傷加注輥。
洗滌槽1的側(cè)部設(shè)有排氣道11，該排氣道11的開口11a位于前述新液淋洗嘴7和干燥氣體噴嘴8的后方(背面測)。所以，洗滌槽整體的排氣從干燥氣體噴嘴8和新液淋洗嘴7的后方排放，可促進(jìn)加注輥表面的干燥。
與回收路徑相連的液面調(diào)整用排液部件12面對洗滌槽1內(nèi)。該液面調(diào)整用排液部件12的上端成為排液口，同時(shí)上下位置能調(diào)整；在最上限的位置處，洗滌液的液面在加注輥2的下端之上，在最下限的位置處，洗滌液的液面在加注輥2的下端之下。并且，在洗滌液清潔的情況下，液面調(diào)整用排液部件12處于高位置，加注輥2的下端直接浸漬在洗滌液中，在洗滌液中涂布液的濃度等增加的情況下，液面調(diào)整用排液部件12下降，加注輥2從洗滌液液面浮起，利用淋洗嘴等清洗加注輥2的表面。
前述循環(huán)液淋洗嘴6和新液淋洗嘴7可采用二流體噴嘴。循環(huán)液淋洗嘴6可以不止一個(gè)，通過改變位置可分成上部循環(huán)液淋洗嘴和下部循環(huán)液淋洗嘴。
循環(huán)液淋洗嘴6只要能向加注輥2供給循環(huán)液就可以，其位置不必太嚴(yán)格。噴嘴開口不必也形成狹縫狀，即使有些不均勻也沒問題，所以噴嘴也可呈點(diǎn)狀。
循環(huán)液可以是圖1所示的情況和圖4所示的情況，圖1中循環(huán)液從設(shè)于洗滌槽1底面的循環(huán)液入口13通過泵被吸引，再通過過濾器14供應(yīng)給循環(huán)液淋洗嘴6；圖4中循環(huán)液從液面調(diào)整用排液部件12通過泵被吸引，再通過過濾器15供應(yīng)給循環(huán)液淋洗嘴6。
各淋洗嘴和干燥氣體噴嘴、排氣口、涂刷器最好大致等同或長于各加注輥的縱向長度。這樣能對加注輥進(jìn)行均勻處理。
另外，因新液淋洗嘴7進(jìn)行最后的處理，所以其位置很重要。新液淋洗嘴如果過于靠近加注輥，則新液在輥上彈回，會污染新液淋洗器本身，相反地，如果過快，則不會有充分的新液供應(yīng)給加注輥，或者用掉過多的液量。因此，新液淋洗嘴的位置要盡可能地靠近加注輥，并且能將彈回控制在最小限度的位置處。從向加注輥均勻地供給洗滌液的角度出發(fā)，新液淋洗嘴的開口最好是狹縫狀。
如上所述，如果附著有涂布液的加注輥2向順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，淋洗嘴6向加注輥表面供給循環(huán)液，再用涂刷器9刮落，直接潛入儲存的洗滌液中，用二爪涂刷器10刮落頑固的附著物。最后，用新液淋洗嘴7沖洗干凈。隨后，從干燥氣體噴嘴8中吹出干燥氣體，吹開洗滌液，使加注輥的表面干燥。因這時(shí)也進(jìn)行排氣，排氣也能促進(jìn)干燥。
本發(fā)明的預(yù)備排出裝置可以組裝在如玻璃基板或半導(dǎo)體晶片等的制造裝置上。
權(quán)利要求
1.一種狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置，其特征在于，洗滌槽、加注輥、新液淋洗嘴和循環(huán)液淋洗嘴以加注輥旋轉(zhuǎn)方向?yàn)榛鶞?zhǔn)，位于循環(huán)液淋洗嘴的前方，其中該洗滌槽盛放洗滌液，該加注輥配置在該洗滌槽內(nèi)并將從狹縫涂布機(jī)的排出嘴排出的涂布液附著在表面上并去除，該新液淋洗嘴向加注輥表面噴出新液，該循環(huán)液淋洗嘴噴出循環(huán)液；噴出干燥氣體的氣體噴出嘴配置在前述新液淋洗嘴的上方、且比加注輥的垂直方向的中心線更靠近前述新液淋洗嘴的位置上，該氣體噴嘴處于垂直方向，從而干燥氣體從正上方傾斜地吹在加注輥的表面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1記載的狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置，其特征在于，將附著在加注輥表面上的涂布液刮落的涂刷器利用彈簧可調(diào)整地配置在前述新液淋洗嘴和/或循環(huán)液淋洗嘴的下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2記載的狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置，其特征在于，排氣口在前述新液淋洗嘴和干燥氣體噴嘴的后方開口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3記載的狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置，其特征在于，前述新液淋洗嘴和循環(huán)液淋洗嘴是二流體噴嘴。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求4記載的狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置，其特征在于，前述新液淋洗嘴、循環(huán)液淋洗嘴、涂刷器、干燥氣體噴嘴、排氣口的長度等同或長于前述加注輥的縱向長度。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種能有效對加注輥進(jìn)行粗洗和精洗的狹縫涂布機(jī)預(yù)備排出裝置。附著有涂布液的加注輥向順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，淋洗嘴向加注輥表面供給循環(huán)液，再用涂刷器刮落，潛入儲存的洗滌液中，用第二個(gè)涂刷器刮落頑固的附著物。最后，用新液淋洗嘴沖洗干凈，在新液淋洗嘴的上方，從干燥氣體噴嘴中吹出干燥氣體，吹開洗滌液，使加注輥的表面干燥。因這時(shí)也進(jìn)行排氣，排氣也能促進(jìn)干燥。
文檔編號H01L21/027GK1701860SQ200510081789
公開日2005年11月30日 申請日期2005年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月20日
發(fā)明者山口和伸, 高瀨真治, 谷本恒夫, 福留主計(jì) 申請人:東京応化工業(yè)株式會社, 龍?jiān)浦晔綍?