專利名稱：基板搬運(yùn)用容器及該搬運(yùn)用容器的內(nèi)壁構(gòu)造、以及該搬運(yùn)用容器中使用的底部提升部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適于收納多張大致矩形的液晶用玻璃基板等并進(jìn)行搬運(yùn)的基板搬運(yùn)用容器及該搬運(yùn)用容器的內(nèi)壁構(gòu)造、以及該搬運(yùn)用容器中適宜地使用的底部提升部件。
背景技術(shù)：
通常，在制造工序等時(shí)向其他場(chǎng)所移動(dòng)液晶用玻璃基板等基板時(shí)，使用在收納多張的狀態(tài)下緊密地蓋嵌有蓋的基板搬運(yùn)用容器，以便令基板彼此不相互接觸，并且防止污染且以不在基板上發(fā)生裂縫或崩碎的狀態(tài)安全地搬運(yùn)。
在這樣的基板搬運(yùn)用容器中，有下述基板搬運(yùn)用容器大致長(zhǎng)方體的容器主體、和安裝在容器主體的開口部的蓋體都由發(fā)泡合成樹脂形成(例如專利文獻(xiàn)1)。
在專利文獻(xiàn)1的基板搬運(yùn)用容器中，玻璃基板在直接卡止在基板支承槽上的狀態(tài)下被搬運(yùn)，所述基板支承槽形成在發(fā)泡合成樹脂制的容器主體內(nèi)表面上。因此，若在搬運(yùn)途中在玻璃基板上發(fā)生磨蹭等，則特別存在下述問題與玻璃基板直接接觸的容器主體內(nèi)表面的支承槽部分易于劣化，其結(jié)果，發(fā)泡合成樹脂制的基板支承槽被削去，發(fā)泡體作為污垢附著在玻璃基板上。
另一方面，提供有下述基板搬運(yùn)用容器，在容器主體內(nèi)部，另外附設(shè)由聚乙烯膜構(gòu)成的保護(hù)膜(專利文獻(xiàn)2，專利文獻(xiàn)3)。
在專利文獻(xiàn)2的情況下，如圖18所示，為下述構(gòu)造在預(yù)先形成的平板狀的聚乙烯膜212B上借助加熱成形而形成與發(fā)泡體側(cè)的內(nèi)壁211的槽212a的形狀配合的槽，并在槽212a的成形的同時(shí)對(duì)形成了該凹凸的槽的保護(hù)膜212b進(jìn)行加熱熔融，由此覆蓋在槽212a的內(nèi)表面上。若這樣構(gòu)成，則與專利文獻(xiàn)1的情況不同，由于玻璃基板不直接與發(fā)泡體的內(nèi)壁211接觸，所以可防止因發(fā)泡體而形成污垢。
但是，在專利文獻(xiàn)2的情況下，由于在發(fā)泡體的內(nèi)壁211上緊密地貼合保護(hù)膜212b，所以內(nèi)壁211和保護(hù)膜212b始終一體地運(yùn)動(dòng)。因此，在對(duì)容器主體的內(nèi)壁211施加沖擊時(shí)，保護(hù)膜212b沒有起到緩沖件的功能，該沖擊直接傳遞到基板上。其結(jié)果，存在在基板上產(chǎn)生崩碎或裂縫等的問題。
進(jìn)而，在專利文獻(xiàn)2中，相互對(duì)置的一對(duì)基板卡止槽212b的寬度S從盒主體的上部(基板插入的入口部)到下部(基板插入的最終部)設(shè)定為大致相同的長(zhǎng)度。
若這樣將基板卡止槽的寬度S形成為從基板的插入方向入口到插入部分的最后為相同的寬度，則在基板稍微傾斜而被插入時(shí)，存在基板的破損的問題。
進(jìn)而，在專利文獻(xiàn)2的情況下，如圖19所示，兩端部的基板卡止槽212b之間的距離E，從基板插入方向的入口附近到基板插入方向的最終部分為相同的距離E，所以若不筆直地放入基板G，則難以進(jìn)行向箭頭方向的插入。而且，即便玻璃基板G直到最后沒有破損地被安裝，在基板的周圍也沒有游隙用的空間，所以在對(duì)容器主體施加上下方向的振動(dòng)等時(shí)，存在令玻璃基板G破損的問題。
此外，在專利文獻(xiàn)3(特開平7-257681號(hào)公報(bào))的權(quán)利要求1中，公開有下述發(fā)明“一種基板搬運(yùn)用盒體，在由發(fā)泡倍率3～30倍的發(fā)泡體形成的盒體(1)的內(nèi)部，配置具有基板支承用槽(2a)的箱狀的帶槽內(nèi)插部件(2)?！?。而且，關(guān)于該內(nèi)插部件(2)，在例如段落 中有下述記載“作為帶槽內(nèi)插部件(2)，使用將樹脂片材(ABS樹脂片材等)設(shè)置在金屬模中并在加熱狀態(tài)下進(jìn)行真空吸引而一舉成形為箱狀的壓空成形體?！?，該帶槽內(nèi)插部件(2)如專利文獻(xiàn)3的圖3的附圖標(biāo)記(2)所示，具有與發(fā)泡樹脂制盒體(1)的內(nèi)壁面以及底面對(duì)應(yīng)的5個(gè)面，另外一面開口。即便想要將這樣一面開口的6面體配置在發(fā)泡樹脂制盒體(1)內(nèi)，將具有與發(fā)泡樹脂制盒體(1)大致相同形狀的箱體的內(nèi)插部件(2)插入發(fā)泡樹脂制盒體(1)內(nèi)的作業(yè)也非常復(fù)煩雜。此外，若這樣將內(nèi)插部件(2)形成為箱狀，則基板支承用的槽(2a)被箱狀內(nèi)插部件(2)的各面抵接而形成的邊固定，這樣被固定的基板支承用的槽(2a)沒有緩沖性。
在該專利文獻(xiàn)3中，內(nèi)插部件(2)被記載有是由發(fā)泡體形成的板狀或者箱狀的發(fā)泡成形體、是對(duì)樹脂片材壓空成形而得到的板狀或者箱狀的壓空成形體、是對(duì)樹脂熔融成形而得到的板狀或者箱狀的成形體、是機(jī)械加工板體而得到的板狀或者箱狀的機(jī)械加工品。此外，在段落 中，記載有下述情況若在盒體(1)的主體部(11)的相對(duì)的一對(duì)面的內(nèi)表面?zhèn)刃纬煽ê嫌玫耐箺l(11a)，并在板狀的帶槽內(nèi)插部件(2)、(2)的背面?zhèn)刃纬膳c上述凸條(11a)卡合的條型槽(2b)，則可更順利地進(jìn)行板狀的帶槽內(nèi)插部件(2)相對(duì)盒體(1)的安裝以及取下。
但是，在上述專利文獻(xiàn)3所述的內(nèi)插部件(2)為盒狀的情況下，將該盒狀內(nèi)插部件(2)插入發(fā)泡樹脂制盒體(1)內(nèi)的作業(yè)非常煩雜，此外，厚度為能具有卡合用的條型槽那樣的厚度的內(nèi)插部件沒有顯示出緩沖性。
因此，在專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)3中公開的基板搬運(yùn)用盒體中，雖然來自外部的沖擊被發(fā)泡樹脂制的盒體吸收，但由收納在盒體內(nèi)的基板振動(dòng)而產(chǎn)生的沖擊，由于支承基板的帶槽內(nèi)插部件缺乏緩沖性，所以不能在該盒體內(nèi)進(jìn)行吸收。
此外，專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)3所述的基板搬運(yùn)用盒體，為統(tǒng)一的大小，可通過這樣的基板搬運(yùn)用盒體穩(wěn)定地搬運(yùn)的基板的大小為一種，不能搬運(yùn)大小不同的基板。
另外，在專利文獻(xiàn)4(實(shí)開昭57-91272號(hào)公報(bào))中，公開有下述板狀部件的收納裝置，其特征在于，借助箱體和內(nèi)張部件將板狀部件的兩端部安裝在下述對(duì)置的槽中，所述箱體是六面體的一面具有開口且由發(fā)泡性合成樹脂材料形成的箱體，所述內(nèi)張部件，安裝在該箱體的與上述開口相鄰的四側(cè)面中相互對(duì)置的一對(duì)側(cè)面上，且具有從上述一面向與上述一面對(duì)置的底面方向延伸的以既定間隔排列的多個(gè)槽，且由比上述箱體硬的合成樹脂材料形成。在上述收納裝置中，在箱體的對(duì)置的一對(duì)側(cè)面上形成槽，該槽具有令合成樹脂制的內(nèi)張部件緊貼在形成在箱體上的槽的表面上的構(gòu)造。但是，該槽自身沒有緩沖性。因此，有發(fā)生裂縫或崩碎的危險(xiǎn)。
另一方面，在借助這樣的發(fā)泡合成樹脂制的基板搬運(yùn)用容器向遠(yuǎn)方搬運(yùn)液晶用玻璃基板時(shí)，需要從濕氣中保護(hù)基板。因此，有時(shí)在容器主體內(nèi)或者蓋體內(nèi)收納干燥劑，由于通常這樣的干燥劑一般被膠帶等粘結(jié)，所以若膠帶的粘接力降低而干燥劑落下，則存在玻璃基板的表面被該干燥劑損傷的問題。
專利文獻(xiàn)1特開平7-132986號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2005-8194號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3特開平7-257681號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4實(shí)開昭57-91272號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述情況提出的，目的在于提供一種基板搬運(yùn)用容器及其內(nèi)壁構(gòu)造，該基板搬運(yùn)用容器是主要部分由發(fā)泡合成樹脂形成的基板搬運(yùn)用容器，玻璃基板相對(duì)容器主體的安裝以及取出容易，且可防止搬運(yùn)中基板意外向上下方向的移動(dòng)，并且基板的崩碎或裂縫等的發(fā)生危險(xiǎn)小。
此外，本發(fā)明的目的在于提供一種底部提升部件，即便是大小不同的基板也可進(jìn)行搬運(yùn)。
此外，本發(fā)明的目的在于提供一種基板搬運(yùn)用容器，即便在收納干燥劑時(shí)，也不會(huì)發(fā)生由于干燥劑的落下而引起的基板的損傷。
用于實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，包括合成樹脂制的容器主體，通過底壁部、從該底壁部一體地豎起的一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁部和一對(duì)短側(cè)壁部，以呈有底方筒狀且一面開口的方式形成；以及發(fā)泡合成樹脂制的蓋體，以覆蓋上述容器主體的上述一面的開口的方式裝卸自如地安裝；其特征在于，上述容器主體，將預(yù)先分體形成的發(fā)泡合成樹脂制的內(nèi)側(cè)隔熱板裝卸自如地配置在由發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成的外容器主體的內(nèi)側(cè)，以便底壁部以及從該底壁部一體地豎起的一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁部、以及一對(duì)短側(cè)壁部分別通過隔熱件而構(gòu)成雙層壁，并且在這些內(nèi)側(cè)隔熱板上，進(jìn)而裝卸自如地安裝有預(yù)先分體形成的樹脂制的片材部件。
根據(jù)基于所述構(gòu)成的本發(fā)明，由于可在樹脂片材和發(fā)泡合成樹脂制的板材之間形成微小的間隙，所以可借助該間隙的夾設(shè)而在樹脂片材和板材之間發(fā)揮緩沖作用。此外，即便基板自身由于沖擊而振動(dòng)，也可借助樹脂片材的允許范圍內(nèi)的變形而吸收該振動(dòng)。因此，在通常的搬運(yùn)時(shí)，即便基板意外地移動(dòng)，也可防止裂縫或崩碎的發(fā)生。此外，由于內(nèi)側(cè)隔熱板以及樹脂片材不是由盒狀的一體品形成而全部是矩形的板狀物，所以形成容易，并且易于維持尺寸精度。
在此，優(yōu)選在配置在上述容器主體的底面上的內(nèi)側(cè)隔熱件的下表面上裝卸自如且選擇性地配置預(yù)先分體形成的發(fā)泡合成樹脂制的底部提升部件。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，若根據(jù)需要使用底部提升部件，則可使用于大小不同的玻璃基板的收納。進(jìn)而，由于還發(fā)揮緩沖作用，所以可提高耐沖擊性。
此外，在本發(fā)明中，優(yōu)選在上述容器主體的底面和配置在其上的內(nèi)側(cè)隔熱件之間，以及在配置在該底面上的內(nèi)側(cè)隔熱件和上述底部提升部件之間，構(gòu)成唯一地確定相互的組裝姿勢(shì)的定位固定機(jī)構(gòu)。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，可容易地對(duì)容器主體的底面安裝取下內(nèi)側(cè)隔熱件以及底部提升部件等。
進(jìn)而，上述定位固定機(jī)構(gòu)可由凸部和凹部構(gòu)成。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，設(shè)計(jì)容易且對(duì)位也容易。
此外，在配置在上述容器主體的底面上的內(nèi)側(cè)隔熱板上，可形成用于收納干燥劑的凹處。
若在這樣的凹處中收納干燥劑，則可從搬運(yùn)中的濕氣等中保護(hù)玻璃基板。
進(jìn)而，優(yōu)選在內(nèi)側(cè)隔熱板的上部配置的樹脂片材上，形成有與上述凹處連通的狹縫，所述內(nèi)側(cè)隔熱板配置在上述容器主體的底面上。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，干燥劑的放入取出容易。
此外，為了實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器的內(nèi)壁構(gòu)造，包括以呈有底方筒狀且一面開口的方式形成的合成樹脂制的容器主體、和以覆蓋上述容器主體的上述一面的開口的方式裝卸自如地安裝的合成樹脂制的蓋體，大致矩形平板狀的玻璃基板在卡止于基板卡止槽內(nèi)的狀態(tài)下被搬運(yùn)，該基板卡止槽以隔開既定間隔的方式形成在至少由上述容器主體內(nèi)的底壁以及一對(duì)側(cè)壁構(gòu)成的3個(gè)面上，其特征在于，上述容器主體內(nèi)的基板收納部包括大致矩形平板狀的發(fā)泡合成樹脂制的內(nèi)側(cè)隔熱板、和覆蓋該內(nèi)側(cè)隔熱板的表面的薄片材部件，在形成在上述內(nèi)側(cè)隔熱板和上述片材部件上的基板卡止槽的凹凸面之間確保有緩沖用間隙。
根據(jù)基于所述構(gòu)成的本發(fā)明，可借助片材部件和發(fā)泡合成樹脂制的內(nèi)側(cè)隔熱板之間的緩沖用間隙，在片材部件和內(nèi)側(cè)隔熱板之間發(fā)揮緩沖作用。此外，即便玻璃基板由于沖擊而振動(dòng)，也可借助片材部件的允許范圍內(nèi)的變形而吸收該振動(dòng)。因此，在通常的搬運(yùn)時(shí)，即便玻璃基板意外地振動(dòng)，也可防止裂縫或崩碎的發(fā)生。此外，內(nèi)側(cè)隔熱板以及片材部件不是通過盒狀的一體品形成而是矩形的板狀物，則形成容易，且易于維持尺寸精度。
此外，在本發(fā)明中，優(yōu)選上述蓋體包括發(fā)泡合成樹脂制的蓋體主體、和覆蓋該蓋體主體的內(nèi)表面的蓋體用片材部件，在上述蓋體主體的頂面部，以既定的間距形成有基板收納槽，并且在裝卸自如地安裝在該蓋體主體的內(nèi)表面上的上述蓋體用片材部件上，形成與之對(duì)應(yīng)的基板收納槽，并且在上述蓋體主體的基板收納槽和上述蓋體用片材部件的基板收納槽之間確保有緩沖用間隙。
若根據(jù)該構(gòu)成，由于在玻璃基板的上部所卡止的的蓋體側(cè)也確保有緩沖用間隙，所以可盡量吸收玻璃基板特別是上下方向振動(dòng)時(shí)的沖擊，并可防止裂縫或崩碎。
進(jìn)而，用于實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，包括以呈有底方筒狀且一面開口的方式形成的合成樹脂制的容器主體、和以覆蓋上述容器主體的上述一面的開口的方式裝卸自如地安裝的合成樹脂制的蓋體，大致矩形平板狀的玻璃基板在卡止于基板卡止槽內(nèi)的狀態(tài)下被搬運(yùn)，該基板卡止槽以隔開既定間隔的方式形成在至少由上述容器主體內(nèi)的底壁以及一對(duì)側(cè)壁構(gòu)成的3個(gè)面上，其特征在于，上述容器主體，將預(yù)先分體形成的發(fā)泡合成樹脂制的內(nèi)側(cè)隔熱板裝卸自如地配置在由發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成的外容器主體的內(nèi)側(cè)，以便底壁部以及從該底壁部一體地豎起的一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁部、以及一對(duì)短側(cè)壁部分別通過隔熱件而構(gòu)成雙層壁，并且在這些內(nèi)側(cè)隔熱板的更內(nèi)側(cè)，裝卸自如地安裝有預(yù)先分體形成的樹脂制的片材部件，上述內(nèi)側(cè)隔熱件，以隨著從臨近上述容器主體的上述開口部的位置朝向內(nèi)側(cè)而壁的厚度逐漸變薄的方式設(shè)置有梯度。
根據(jù)所述構(gòu)成的本發(fā)明，由于設(shè)定為開口部側(cè)的基板卡止槽的距離在入口附近變短，所以可防止玻璃基板在上下方向上的振動(dòng)，可防止玻璃基板的裂縫或崩碎的發(fā)生。
此外，用于實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，包括以呈有底方筒狀且一面開口的方式形成的合成樹脂制的容器主體、和以覆蓋上述容器主體的上述一面的開口的方式裝卸自如地安裝的合成樹脂制的蓋體，大致矩形平板狀的玻璃基板在卡止于基板卡止槽內(nèi)的狀態(tài)下被搬運(yùn)，該基板卡止槽以隔開既定間隔的方式形成在至少由上述容器主體內(nèi)的底壁以及一對(duì)側(cè)壁構(gòu)成的3個(gè)面上，其特征在于，在上述容器主體內(nèi)的底壁部上，配置由發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成的內(nèi)側(cè)隔熱板，進(jìn)而在其上側(cè)裝卸自如地安裝預(yù)先分體形成的樹脂制的片材部件，在配置在上述容器主體的底面上的上述內(nèi)側(cè)隔熱板上，在厚度方向上形成凹處，并且在裝卸自如地配置在上述內(nèi)側(cè)隔熱板的上部的片材部件上，形成與上述凹處連通的狹縫。
此外，優(yōu)選經(jīng)由形成在上述片材部件上的狹縫而在上述內(nèi)側(cè)隔熱件的凹處收納干燥劑。
根據(jù)所述構(gòu)成的本發(fā)明，可借助干燥劑從搬運(yùn)中的濕氣等中保護(hù)玻璃基板。此外，干燥劑的取出放入容易且干燥劑不會(huì)落下到玻璃基板的表面。
進(jìn)而，用于實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，具有容器主體部，是一方開口的發(fā)泡樹脂制的有底方筒狀體，在該有底方筒狀體的對(duì)置的內(nèi)周壁上形成有基板支承槽；發(fā)泡樹脂制的蓋體部，以覆蓋上述容器主體部的開口的方式裝卸自如地安裝；和壁面基板支承用樹脂片材，在上述容器主體部的至少形成有該基板支承槽的對(duì)置的內(nèi)周壁面上，以與該內(nèi)周壁面形成微小空隙的方式配置，且被賦形為與該內(nèi)周壁面大致相同的表面形狀；該壁面基板支承用樹脂片材，借助倒入防止機(jī)構(gòu)保持在該內(nèi)周壁面上。
此外，用于實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，具有容器主體部，是一方開口的發(fā)泡樹脂制的有底方筒狀體，在該有底方筒狀體的對(duì)置的內(nèi)周壁上形成有基板支承槽；發(fā)泡樹脂制的蓋體部，以覆蓋上述容器主體部的開口的方式裝卸自如地安裝；壁面基板支承用樹脂片材，在上述容器主體部的至少形成有該基板支承槽的對(duì)置的內(nèi)周壁面上，以與該內(nèi)周壁面形成微小空隙的方式配置，且被賦形為與該內(nèi)周壁面大致相同的表面形狀；和底部提升部件，是在表面形成有基板支承槽的發(fā)泡樹脂制的板狀體，在上述容器主體部中收納在收納主體部的底部上，而與形成在容器主體的配收壁上的基板支承槽共同保持基板，并且，防止上述壁面基板支承用樹脂片材的倒入。
進(jìn)而，本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器的底部提升部件，優(yōu)選是與上述基板搬運(yùn)用容器一起使用的底部提升部件，其特征在于，是在表面形成有保持槽的發(fā)泡樹脂制的板狀體，收納在發(fā)泡樹脂制的容器主體部?jī)?nèi)，調(diào)整該容器主體部?jī)?nèi)的收納深度，并且與壁面基板支承用樹脂片材共同保持收納在該容器主體部?jī)?nèi)的基板，所述壁面基板支承用樹脂片材在該容器主體內(nèi)的對(duì)置的壁面上以形成微小的空隙的方式配置。
在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，在由發(fā)泡樹脂制形成的容器主體部的對(duì)置的一對(duì)側(cè)壁面上，形成用于保持被收納的基板的保持槽，進(jìn)而，在該側(cè)壁面的表面上，以與側(cè)壁面形成微小的空隙的方式配置有壁面基板支承用樹脂片材，所述壁面基板支承用樹脂片材被賦形為與該側(cè)壁面的表面形狀大致相同的表面形狀。通過這樣將壁面基板支承用樹脂片材配置為相對(duì)于側(cè)壁面不固定而形成微小的空隙，在容器主體和壁面基板支承用樹脂片材之間形成緩沖空間，所述緩沖空間將由被收納的基板產(chǎn)生的振動(dòng)吸收。
通常，通過使用具有由發(fā)泡樹脂形成的框體的基板搬運(yùn)用容器，可通過由發(fā)泡樹脂形成的框體部吸收來自外部的沖擊等，被收納的基板被安全地保持，但在這樣的基板搬運(yùn)用容器中，由于收納在內(nèi)部的基板被形成在框體內(nèi)壁面上的保持槽固定，所以對(duì)于由被收納的基板自身產(chǎn)生的振動(dòng)沒有緩沖機(jī)構(gòu)。
在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，在由發(fā)泡樹脂形成的容器主體部的形成有保持基板的保持槽的內(nèi)壁面上，配置被賦形為與該內(nèi)周壁面的表面形狀大致相同的形狀的壁面基板支承用樹脂片材，所以來自外部的沖擊自不用說，由容器內(nèi)所收納的基板所產(chǎn)生的振動(dòng)也被形成在該壁面基板支承用樹脂片材和形成有保持槽的內(nèi)壁面之間的緩沖空隙吸收，可在更穩(wěn)定的狀態(tài)下保管或者移動(dòng)鄰接地被收納的基板。即，例如液晶用的玻璃基板是非常薄的基板，即便在非常小的應(yīng)力作用下也會(huì)發(fā)生撓曲。通過使用由發(fā)泡樹脂形成的基板搬運(yùn)用的容器，從外部施加的應(yīng)力的大部分被該發(fā)泡樹脂制的框體部吸收，但僅通過形成在框體的內(nèi)壁面的保持槽難以吸收由于收納的基板撓曲等而產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力。在取出液晶基板等基板材料或者基板時(shí)，慎重地取出以便被收納的基板材料或者基板不會(huì)破損，基板材料或者基板的破損，由于基板材料或者基板上產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力而導(dǎo)致的破損比由于取出處理的不注意導(dǎo)致的破損的發(fā)生頻率還高。特別是隨著液晶的大型化，這樣的傾向變高?；谶@樣的內(nèi)部應(yīng)力導(dǎo)致的基板材料或者基板的破損，由于它們的自重作用在保持部分上而產(chǎn)生的情況很多。
在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，在保持被收納的基板材料或者基板的部分、即容器主體部的對(duì)置的一對(duì)側(cè)壁上所形成的保持槽的表面上，形成微小的空隙而配置壁面基板支承用樹脂片材，壁面基板支承用樹脂片材的保持槽相對(duì)于形成在容器主體部上的保持槽不固定，但是，由形成在容器主體部上的保持槽阻止壁面基板支承用樹脂片材的保持槽過度變形。即，被收納的基板材料或者基板具有一定程度的撓性，相對(duì)于基板材料或基板在該撓性范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)的量，該基板材料或者基板不會(huì)破損。在輸送基板材料或者基板時(shí)，必須固定基板材料或者基板，但若固定基板，則在該固定的部分上(具體是被保持槽夾持的基板材料或者基板的兩端部)應(yīng)力集中。因此，搬運(yùn)中的基板材料或者基板的破損，除了由落下等的處理不注意而導(dǎo)致的破損外，該基板材料或者基板的破損認(rèn)為在被上述這樣夾持的兩端部上開始的破損較多。
在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，在形成在容器主體部上的保持槽和壁面基板支承用樹脂片材的保持槽之間形成微小的空隙，壁面基板支承用樹脂片材不固定在容器主體部的壁面上，該空隙作為可容忍被收納的基板材料或者基板所具有的撓性的范圍內(nèi)的變形的緩沖空間而起作用。因此，通過使用本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，可防止從被收納的基板材料或者基板的兩端部開始的破損。但是，即便在容器主體部的側(cè)壁上配置這樣的壁面基板支承用樹脂片材，由于該壁面基板支承用樹脂片材沒有固定在容器主體的側(cè)壁上，所以在收納基板材料或者基板之前，該壁面基板支承用樹脂片材有時(shí)在容器內(nèi)傾倒。該基板搬運(yùn)用容器，是處理基板材料或者基板的基板廠家等使用的容器，在從該基板搬運(yùn)用容器的制造者到達(dá)基板廠家等的過程中，壁面基板支承用樹脂片材在容器內(nèi)傾倒的話，不能穩(wěn)定地供給具有上述那樣的優(yōu)異特性的基板搬運(yùn)用容器。特別是，在基板廠家等中，多借助自動(dòng)裝置等將基板材料或者基板收納在該基板搬運(yùn)用容器中而進(jìn)行搬運(yùn)，在如本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器那樣，在形成有保持基板材料或者基板的保持槽的發(fā)泡樹脂制的框體的側(cè)壁形狀、和配置在該表面上的壁面基板支承用樹脂片材的表面形狀大致相同時(shí)，難以機(jī)械地辨識(shí)壁面基板支承用樹脂片材的有無。
因此，在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，形成該壁面基板支承用樹脂片材的倒入防止機(jī)構(gòu)，以便配置在容器主體部的形成有保持槽的側(cè)面上的壁面基板支承用樹脂片材不會(huì)倒入。
通過這樣形成壁面基板支承用樹脂片材的倒入防止機(jī)構(gòu)，可有效地利用本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器所具有的優(yōu)異的破損防止功能。
此外，上述那樣收納的基板材料或者基板，在容器主體部的底部，必然地與容器主體部的底部接觸，但在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，優(yōu)選在容器主體部上配置底部提升部件。在該底部提升部件的表面上，形成有保持槽，該保持槽與形成在容器主體部的內(nèi)側(cè)面上的保持槽共同保持被收納的基板材料或者基板。而且，優(yōu)選配置具有與該底部提升部件的表面形狀大致相同的形狀的底部基板支承用樹脂片材，該底部基板支承用樹脂片材，優(yōu)選發(fā)泡樹脂性的底面基板支承用樹脂片材形成微小的空隙地配置，這樣形成的空隙與被收納的基板材料或者基板的底部接觸，而且底面基板支承用樹脂片材沒有固定在使用發(fā)泡樹脂而形成的底部提升部件上，所以不會(huì)緊密地保持被收納的基板材料以及基板，因此，保持在該底面基板支承用樹脂片材上的基板材料以及基板可設(shè)置成，即便在該基板材料或者基板所具有的撓性的范圍內(nèi)變形，其應(yīng)力也不會(huì)集中在基板等的底部。而且，這樣的底部提升部件，也可以成為對(duì)于壁面基板支承用樹脂片材非常良好的倒入防止機(jī)構(gòu)。此外，該底部提升部件，通過預(yù)先形成各種厚度的底部提升部件，可在該基板搬運(yùn)用容器中調(diào)整收納深度，通過適宜地選定底部提升部件的厚度，或者通過適宜地組合使用多個(gè)不同的底部提升部件，可在一種容器中借助底部提升部件調(diào)整深度，所以可穩(wěn)定地搬運(yùn)不同尺寸的基板材料或者基板。這樣保持基板材料以及基板的部分為對(duì)置的一對(duì)側(cè)壁以及配置在底部的底部提升部件(或者，底部基板支承用樹脂片材的保持槽)這三處，可更安全地保持、搬運(yùn)基板材料或者基板。
在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，基板的安裝以及基板的取出作業(yè)性良好。此外，由于可通過在樹脂片材和內(nèi)側(cè)隔熱板之間構(gòu)成的間隙發(fā)揮緩沖作用，所以即便在基板由于搬運(yùn)時(shí)的振動(dòng)等而小幅地上下運(yùn)動(dòng)且該力傳遞到樹脂片材時(shí)，樹脂片材可凹陷或變形而吸收該力。由此，可盡可能防止基板的裂縫或崩碎等。此外，若解除由于振動(dòng)而產(chǎn)生的力的傳遞，則變形后的樹脂片材可恢復(fù)到原來的狀態(tài)。進(jìn)而，若使用底部提升部件，則當(dāng)然可提高緩沖作用，也可通過一個(gè)基板收納容器兼用地搬運(yùn)大小不同的玻璃基板。
此外，在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，內(nèi)側(cè)隔熱板以及樹脂片材不是六面體那樣的一體物，全部是分體形成的，所以形成以及尺寸精度的提高容易。
進(jìn)而，在出來既定的尺寸精度時(shí)，即便不管理全部的尺寸精度，也可在內(nèi)側(cè)隔熱板和樹脂片材之間進(jìn)行調(diào)整，可提高設(shè)計(jì)的自由度。此外，在收納干燥劑時(shí)，無需膠帶等，并且經(jīng)由狹縫將干燥劑收納在內(nèi)部，則可防止該干燥劑落下而傷害基板。
此外，容器主體為發(fā)泡合成樹脂制，可相對(duì)于來自外部的沖擊而在沖擊中保護(hù)收納的基板，此外，可防止由于溫度差等導(dǎo)致的結(jié)露的發(fā)生。
此外，若在蓋體側(cè)也確保緩沖用間隙，則可盡可能地吸收在上下方向振動(dòng)時(shí)的沖擊力而進(jìn)一步防止裂縫或崩碎。
進(jìn)而，將內(nèi)側(cè)隔熱件的厚度以隨著朝向內(nèi)方而逐漸變薄的方式設(shè)置梯度，由此，可抑制搬運(yùn)中的玻璃基板向上下方向的振動(dòng)。由此，可防止由其引起的玻璃基板的裂縫或崩碎等的發(fā)生。
此外，在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，在收納干燥劑時(shí)，若不需要膠帶等并且經(jīng)由狹縫將干燥劑收納在內(nèi)部，則可防止該干燥劑落下而傷害基板。
本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，在保持基板的容器主體部的壁面上，相對(duì)于該壁面形成微小的間隙地配置具有與該壁面的表面形狀大致相同的形狀的壁面基板支承用樹脂片材，并且設(shè)置防止該壁面基板支承用樹脂片材向容器內(nèi)倒入的機(jī)構(gòu)。通過這樣將壁面基板支承用樹脂片材經(jīng)由微小的空隙配置在壁面上，可借助該空隙吸收由收納在該容器內(nèi)的基板自身產(chǎn)生的應(yīng)力，可顯著地降低從收納基板的保持部開始的基板的損傷的發(fā)生。即，形成在容器的側(cè)面和壁面基板支承用樹脂片材之間的微小的空隙作為由于被收納的基板自身的撓曲等而產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力的緩沖空間而發(fā)揮作用。
在這樣的本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，在形成基板的保持槽的容器的側(cè)面上，盡管配置在該表面上的壁面基板支承用樹脂片材沒有緊貼，但由于設(shè)置了該壁面基板支承用樹脂片材的倒入防止機(jī)構(gòu)，所以可令壁面基板支承用樹脂片材相對(duì)于壁面形成一定的空隙而穩(wěn)定地被保持。
進(jìn)而，在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，在與被收納的基板始終接觸的底部上，配置形成有基板的保持槽的底部提升部件，適宜地，具有與該底部提升部件的表面形狀大致相同的形狀的底部基板支承用樹脂片材在底部提升部件的表面上形成微小空隙地配置，所以，可降低發(fā)生在被收納的基板上的撓曲等的變形的發(fā)生，并且，形成在該底部提升部件和底部基板支承用樹脂片材之間的微小的空隙可作為產(chǎn)生在基板自身上的內(nèi)部應(yīng)力的緩沖空間而作用，可顯著降低被收納基板的破損的發(fā)生。
進(jìn)而，通過使用該底部提升部件，可根據(jù)收納的基板調(diào)整容器內(nèi)的收納空間的深度，進(jìn)而，通過在蓋部的內(nèi)部上也與上述相同地形成具有緩沖空隙的支承槽，可更安全地收納基板。
根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，由于由發(fā)泡樹脂形成，所以當(dāng)然相對(duì)于來自外部的沖擊保護(hù)收納的基板，也可吸收由于被收納的基板的自重或者它們的撓曲等而產(chǎn)生的基板內(nèi)部的應(yīng)力而防止基板的破損。
此外，在上述那樣將壁面基板支承用樹脂片材等以形成有開口部的六面體(盒狀)的形狀插入發(fā)泡樹脂制的容器主體部時(shí)，支承槽的撓性被損害，即便在壁面和壁面基板支承用樹脂片材之間形成空隙，該空隙對(duì)于被收納的基板也沒有緩沖空隙的功能。進(jìn)而，若形成盒狀而插入容器主體部?jī)?nèi)，則盒體的插入明顯困難，作業(yè)效率非常差。因此，在本發(fā)明中，基本上，向例如各壁面將分別獨(dú)立的多個(gè)壁面基板支承用樹脂片材配置在壁面上，以便保持壁面基板支承用樹脂片材的支承槽的撓性(即，令折皺狀地形成的多個(gè)支承槽可伸縮)，所述壁面基板支承用樹脂片材的支承槽被賦形為與形成在容器主體部的壁面上的支承槽大致相同形狀，由此，可在發(fā)泡樹脂制的容器主體部?jī)?nèi)部的壁面上容易地配置壁面基板支承用樹脂片材。而且，本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器具有倒入防止機(jī)構(gòu)，所以可令配置的壁面基板支承用樹脂片材在穩(wěn)定在各側(cè)面上的狀態(tài)下被配置。
進(jìn)而，通過使用底部提升部件，不僅可通過側(cè)面保持被收納的基板，也可通過底面保持，而且由于該底部提升部件具有基板的內(nèi)部應(yīng)力的緩沖性，所以可更安全地搬運(yùn)基板。此外，由于可調(diào)整容器的收納深度，所以可令單一的基板搬運(yùn)用容器適用于多種基板的搬運(yùn)。進(jìn)而，該底部提升部件，對(duì)于配置在容器主體部的側(cè)壁上的側(cè)壁基板保持用樹脂片材成為非常好的倒入防止機(jī)構(gòu)。進(jìn)而，通過減少容器內(nèi)的剩余空間，還可提高基板的搬運(yùn)安全性。
另外，本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，是發(fā)泡樹脂制，當(dāng)然可對(duì)來自外部的沖擊保護(hù)被收納的基板，此外可防止由于與外部的溫度差等而發(fā)生的結(jié)露等。


圖1是本發(fā)明的一實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器的主視圖。
圖2是從圖1的基板搬運(yùn)用容器取下上部的蓋體而觀察內(nèi)部時(shí)的容器主體的俯視圖。
圖3是圖1所示的基板搬運(yùn)用容器的分解立體圖。
圖4是沿長(zhǎng)度方向的線切斷圖1時(shí)的剖視圖。
圖5是圖4的B-B線方向的剖視圖。
圖6是圖3所示的底部提升部件的放大立體圖。
圖7是表示在圖3中配置在底壁部的內(nèi)側(cè)隔熱板和片材部件的組裝的分解立體圖。
圖8是表示在圖3中配置在長(zhǎng)側(cè)壁部的內(nèi)側(cè)隔熱板和片材部件的組裝的分解立體圖。
圖9是表示在圖3中配置在短側(cè)壁部的內(nèi)側(cè)隔熱板和片材部件的組裝的分解立體圖。
圖10是長(zhǎng)側(cè)壁用的內(nèi)側(cè)隔熱件的側(cè)視圖。
圖11是短側(cè)壁用的內(nèi)側(cè)隔熱件的側(cè)視圖。
圖12是組裝圖9所示的短側(cè)壁用的內(nèi)側(cè)隔熱件和樹脂片材的狀態(tài)下的放大剖視圖，是在g的部分上配置玻璃基板的說明圖。
圖13是基于本發(fā)明的其他實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器的分解立體圖。
圖14是基于本發(fā)明的另一實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器的分解立體圖。
圖15是表示本發(fā)明的底部提升部件的一例的分解立體圖。
圖16是放大表示基板支承槽的狀態(tài)的說明圖。
圖17是表示令另外的壁面123a、123b的表面突出而防止壁面基板支承用樹脂片材122a、122b的倒入的形式的例子的圖。
圖18是表示以往的搬運(yùn)容器的構(gòu)造的圖，圖18(A)是被加熱前的聚乙烯膜的剖視圖，圖18(B)是被加熱的保護(hù)膜的剖視圖，圖18(C)是表示加熱后的保護(hù)膜和發(fā)泡體的內(nèi)壁的安裝構(gòu)造的剖視圖。
圖19是向以往的搬運(yùn)用容器中插入玻璃基板時(shí)的概略圖。
附圖標(biāo)記說明2基板搬運(yùn)用容器4容器主體4a 底壁部4b、4c 長(zhǎng)側(cè)壁部4d、4e 短側(cè)壁部4f 開口4g 口部4h 水平突起4i 突起6蓋體
6a 凹處8底部提升部件8a 突起8b 凹部10 長(zhǎng)壁用的內(nèi)側(cè)隔熱板12 短壁用的內(nèi)側(cè)隔熱板14 片材部件16 片材部件18 片材部件20 底面用的內(nèi)側(cè)隔熱板20a 基板卡止槽21 突條22 凹處50 外容器110 (第1)基板搬運(yùn)用容器111 (第2)基板搬運(yùn)用容器112 容器主體部113a、113b 一對(duì)壁面114 開口部115 凸部116 基板支承槽116a 支承凸條117 底部118 片材夾入狹縫119 微小的空隙122a、122b 壁面基板支承用樹脂片材123a、123b 另一對(duì)壁面具體實(shí)施方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施例進(jìn)行說明。
圖1是基于本發(fā)明的一實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器的主視圖，圖2是從圖1所示的基板搬運(yùn)用容器取下上部的蓋體時(shí)的容器主體的俯視圖。圖3是圖1所示的基板搬運(yùn)用容器的分解組裝剖視圖，圖4是基板搬運(yùn)用容器的寬度方向的剖視圖，圖5是基板搬運(yùn)用容器的長(zhǎng)度方向的剖視圖。
若概略地說明本實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器，則在由發(fā)泡合成樹脂形成的箱形的外容器的內(nèi)部，以雙層構(gòu)造的方式配置板狀的隔熱件，進(jìn)而在其內(nèi)側(cè)的整個(gè)內(nèi)表面上配置樹脂制的片材。
即，本實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器2，如圖1以及圖2所示，具有一面開口地形成的發(fā)泡合成樹脂制的容器主體4、和以覆蓋該容器主體4的上部的開口4f的方式裝卸自如地安裝的發(fā)泡合成樹脂制的蓋體6。另外，在以下的說明中，容器主體4的外容器50表示從基板搬運(yùn)用容器2取下蓋體6后的容器主體4中，構(gòu)成最外方的最外殼的上部開口的方筒狀的發(fā)泡合成樹脂的部分。
即，構(gòu)成容器主體4的最外殼的發(fā)泡合成樹脂制的外容器50，如圖1以及圖3所示，在外表面上形成帶狀的凹處22、22。該帶狀的凹處22，與形成在蓋體6的外表面的凹處6a、6a連續(xù)地形成。而且，在將容器主體4和蓋體6一體地組裝時(shí)，使緊固帶通過凹處22以及凹處6a而捆扎。
這樣的外容器50，包括底壁部4a；從底壁部4a一體地豎起的一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁部4b、4c；同樣從底壁部4a一體地豎起的一對(duì)短側(cè)壁部4d、4e。
在這樣的外容器50的口部4g，如圖3～圖5所示，在橫方向上形成水平突起4h。通過將形成在蓋體6的內(nèi)周面上的未圖示的凹槽與該水平突起4h嵌合，可令蓋體6與容器主體4緊密地嵌合而防止脫落。
外容器50的周圍的四個(gè)內(nèi)壁面，大致平坦地形成，但在外容器50的底壁部4a的上表面上，如圖5所示，分離既定的間隔地形成兩個(gè)突起4i、4i。
外容器50中，在底壁部4a、一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁部4b、4c、和一對(duì)短側(cè)壁部4d、4e的內(nèi)表面?zhèn)?，分別配置板狀的內(nèi)側(cè)隔熱板20、10、10、12、12。另外，在底壁部4a上，選擇地配置底部提升部件8。在這樣配置底部提升部件8時(shí)，在其上配置內(nèi)側(cè)隔熱板20。底部提升部件8，如圖6放大地表示的那樣，由具有既定的板厚的發(fā)泡合成樹脂形成，這樣，若準(zhǔn)備板狀的底部提升部件8，則通過有底部提升部件8和沒有底部提升部件8，可將容器內(nèi)部的空間高度調(diào)整為兩階段。因此，可收納大小不同的基板。
另外，在底部提升部件8的上表面上，分離既定的間隔地形成一對(duì)突起部8a、8a。該突起部8a、8a的分離距離形成為與外容器50的突起4i、4i的分離間距相等。此外，在底部提升部件8的背面，在突起8a的正下方形成凹部8b、8b。
因此，若在外容器50的內(nèi)部設(shè)置這樣的底部提升部件8，則底部提升部件8的凹部8b被外容器50的突起4i定位，并相互嵌合。由此，底部提升部件8設(shè)置為相對(duì)外容器50不能移動(dòng)。
另一方面，配置在外容器50的內(nèi)側(cè)的底面用內(nèi)側(cè)隔熱板20、長(zhǎng)側(cè)壁用內(nèi)側(cè)隔熱板10、10、和短側(cè)壁用內(nèi)側(cè)隔熱板12、12的各內(nèi)側(cè)表面分別被樹脂制的片材部件18、14、16覆蓋。另外，這些樹脂制的片材部件18、14、16由于幾乎沒有厚度，所以在圖2、圖4、圖5等中與內(nèi)側(cè)隔熱板20、10、12一體地表示。
圖7表示底壁部的內(nèi)側(cè)隔熱件20和片材部件18的關(guān)系，圖8表示長(zhǎng)側(cè)壁的內(nèi)側(cè)隔熱件10和片材部件14的關(guān)系，圖9表示短側(cè)壁的內(nèi)側(cè)隔熱件12和片材部件16的關(guān)系。
以下，對(duì)這些各構(gòu)成要素進(jìn)行具體地說明。
如圖7所示，在底壁部上，以覆蓋底面用的內(nèi)側(cè)隔熱板20的上表面的方式裝卸自如地設(shè)置樹脂制的薄片材部件18。樹脂制的片材部件18若從背面?zhèn)扔^察則內(nèi)側(cè)成為凹陷的凹處。相反，片材部件18的表面形狀形成為與內(nèi)側(cè)隔熱件20的外形狀大致相同。
在底面用的內(nèi)側(cè)隔熱件20上，在上表面上形成多根突條21，由此，在相鄰的突條21之間以既定的間距形成基板卡止槽20a。
另一方面，在內(nèi)側(cè)隔熱件20的一對(duì)短邊上，在中央部和兩端部上形成在水平方向延伸的凸部20b，由此在這些凸部20b的中間部上形成凹部。而且，手指等易于進(jìn)入該凹部，由此可實(shí)現(xiàn)進(jìn)行放入取出時(shí)的作業(yè)的便利。另一方面，在內(nèi)側(cè)隔熱件20的長(zhǎng)邊側(cè)，在中央部上形成凸部20c，由此在凸部20c的兩側(cè)形成凹處20d、20d。該凹處20d如后述那樣，作為干燥劑的收納空間而使用。
另一方面，在裝卸自如地安裝在底面用的內(nèi)側(cè)隔熱件20的上表面上的薄樹脂制的片材部件18的外側(cè)面上，隔既定的間隔形成與內(nèi)側(cè)隔熱件20的突條21對(duì)應(yīng)的凹處(在圖7的狀態(tài)下看則是向外側(cè)突出的突條19，其背面?zhèn)瘸蔀榘继?。進(jìn)而，在片材部件18的一長(zhǎng)邊側(cè)，在兩側(cè)形成構(gòu)成Y字的狹縫23、23，構(gòu)成為手指等經(jīng)由這些狹縫23而進(jìn)入到內(nèi)方。而且，通過形成這樣的狹縫23，在將片材部件18覆蓋到內(nèi)側(cè)隔熱板20上時(shí)，可經(jīng)由狹縫23向內(nèi)側(cè)隔熱板20的凹處20d中放入干燥劑。另外，狹縫23的形狀不限定為該Y字狀。
接著，參照?qǐng)D8、圖10對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁的構(gòu)造進(jìn)行說明。
在長(zhǎng)側(cè)壁中，片材部件14的內(nèi)側(cè)面形成為與內(nèi)側(cè)隔熱板10的外形大致相同。即，在內(nèi)側(cè)隔熱件10的表面上，形成多個(gè)(在實(shí)施例中為3×5＝15個(gè))薄圓形的突起體10a。此外，包圍該突起體10a的形成區(qū)域T(A×B)的范圍，與外周部R的部分相比形成為壁厚稍厚。
這樣，在內(nèi)側(cè)隔熱板10的中央表面上分散地設(shè)置突起體10a，并且將該形成區(qū)域T的厚度設(shè)定為比周圍厚，由此，可防止內(nèi)側(cè)隔熱板10上形成翹曲。另一方面，內(nèi)側(cè)隔熱板10的外周部R的板厚如圖10所示，形成為隨著從上方朝向下方而稍微變薄(D＞d)。這樣，內(nèi)側(cè)隔熱板10的形狀，形成為接近底壁部的頂端部稍微楔狀地變尖。
片材部件14，形成為外徑尺寸稍微變大，以便能覆蓋內(nèi)側(cè)隔熱板10。此外，與內(nèi)側(cè)隔熱板10的突起10a對(duì)應(yīng)的部分不是圓形的凹處而是由縱橫的柵格32(修邊線)包圍的凹處。另外，該柵格32的線若在圖8中從內(nèi)側(cè)隔熱板10側(cè)觀看則是向內(nèi)側(cè)隔熱板10側(cè)突出而可見的。進(jìn)而，通過將設(shè)置在片材部件14的上緣部的舌片14a彎折到內(nèi)側(cè)隔熱板10的背面部而相對(duì)于內(nèi)側(cè)隔熱板10不能移動(dòng)地被定位。
接著，參照?qǐng)D9、圖11、圖12對(duì)短側(cè)壁的內(nèi)側(cè)隔熱板材12和片材部件16的組裝進(jìn)行說明。
首先，如圖9所示，在短側(cè)壁用的內(nèi)側(cè)隔熱板12上，在長(zhǎng)度方向上連續(xù)形成多個(gè)基板卡止槽12a。該基板卡止槽12a的寬度f，上側(cè)和下側(cè)一致。但是，如圖11所示，內(nèi)側(cè)隔熱板12的厚度形成為上部和下部厚度不同，隨著從上方朝向下方而稍微變薄(E＞e)。這樣，內(nèi)側(cè)隔熱板12也與內(nèi)側(cè)隔熱板10的情況相同，形成為頂端部稍微楔狀地變尖。
薄樹脂制的片材部件16，外徑尺寸形成為比內(nèi)側(cè)隔熱板12稍大，以便可覆蓋內(nèi)側(cè)隔熱件12的表面。此外，槽16a的寬度g，設(shè)定為上側(cè)和下側(cè)一致。
這樣的片材部件16，如圖12所示，相對(duì)內(nèi)側(cè)隔熱件12的外表面確保游隙的部分。即，在內(nèi)側(cè)隔熱件12和片材部件16的凹凸面上確保緩沖用間隙H。因此，在g的部分中夾持基板時(shí)，通過該緩沖用間隙H，即便在圖12的狀態(tài)下基板在左右方向上振動(dòng)，在該左右方向上基板的移動(dòng)也是可能的。進(jìn)而，即便在圖12的狀態(tài)下基板在上下方向上振動(dòng)，在該上下方向上基板的移動(dòng)也是可能的。因此，通過在內(nèi)側(cè)隔熱板12和片材部件16之間確保這些緩沖用間隙H，即便在基板搬運(yùn)用容器上突然作用較大的力，基板也可移動(dòng)。此外，若解除該突然的力，則片材部件16的變形也恢復(fù)到原來的狀態(tài)。
如圖9所示，在片材部件16安裝在內(nèi)側(cè)隔熱件12的外側(cè)時(shí)，上緣部的舌片16b彎折到內(nèi)側(cè)隔熱板12的背面部，由此，相對(duì)于內(nèi)側(cè)隔熱板12不能移動(dòng)地被定位，這與上述片材部件14相同。
在此，由發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成的外容器50的內(nèi)側(cè)壁面，全部相對(duì)于底面垂直地形成。因此，如圖3所示，在該外容器50的內(nèi)側(cè)壁面上，若插入并立設(shè)上述內(nèi)側(cè)隔熱板10以及內(nèi)側(cè)隔熱板12，則越接近容器主體4的上部的開口，相互對(duì)置的一對(duì)側(cè)壁間的分離距離越小，越朝向容器主體4的內(nèi)部(底部)，該分離距離越大。
因此，若以跨過容器主體4內(nèi)的一對(duì)短側(cè)壁之間的方式插入玻璃基板，則玻璃基板的頂端部(最初進(jìn)入側(cè)的端部)側(cè)插入較寬的空間內(nèi)，玻璃基板的后端部(被手等把持而后進(jìn)入的端部)側(cè)，插入入口附近的較窄的空間內(nèi)。
基于本實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器2的各構(gòu)成要素，如上所述地構(gòu)成，以下，對(duì)組裝順序進(jìn)行說明。另外，組裝的順序不限定于此。此外，在以下的說明中，對(duì)使用底部提升部件8的情況進(jìn)行說明。
首先，預(yù)先組裝配置在一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁上的發(fā)泡合成樹脂制的內(nèi)側(cè)隔熱板10、10和薄片材部件14、14、一對(duì)短側(cè)壁的內(nèi)側(cè)隔熱板12、12和薄片材部件16、16。同樣，預(yù)先組裝底面用的內(nèi)側(cè)隔熱板20和薄片材部件18。這樣形成配置在外容器50的內(nèi)側(cè)的各組件后，首先將底部提升部件8插入外容器50內(nèi)。此時(shí)，將底部提升部件8的突起8a、8a以與外容器50的突起4i，4I配合的方式配置。
接著，將底面用組件即圖7所示的內(nèi)側(cè)隔熱板20和片材部件18的組件配置在底部提升部件8上。由此，構(gòu)成底面。
接著，將短側(cè)壁用的組件即圖9所示的內(nèi)側(cè)隔熱板12和片材部件16的組件組裝在短側(cè)壁上。
進(jìn)而，將長(zhǎng)側(cè)壁用的組件即圖8所示的內(nèi)側(cè)隔熱板10和片材部件14的組件組裝在長(zhǎng)側(cè)壁上。
由此，組裝全部的構(gòu)成要素，完成容器主體4的組裝。另外，當(dāng)在容器內(nèi)設(shè)置硅膠等干燥劑時(shí)，若從配置在底壁部上的片材部件18的狹縫23向內(nèi)部插入硅膠等干燥劑，則可在凹處20d內(nèi)收納干燥劑。而且，由于入口為Y字形的狹縫23，所以可防止該干燥劑意外地飛出到外方。因此，在向遠(yuǎn)方搬運(yùn)時(shí)，可長(zhǎng)期地從濕氣中保護(hù)玻璃基板。
這樣，構(gòu)成基板搬運(yùn)用容器2。
本實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器，具有上述的構(gòu)成，可在該容器內(nèi)收納基板而安全地進(jìn)行搬運(yùn)。即，本實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器，由于以耐沖擊性以及耐熱性優(yōu)異的發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成容器主體部以及蓋體，所以，當(dāng)然可從來自外部的沖擊以及外部的溫度變化等中保護(hù)基板，即便對(duì)于由被收納的基板產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力(主要是由于基板的自重產(chǎn)生的應(yīng)力)，也可借助片材部件的撓性而進(jìn)行吸收，可更安全地搬運(yùn)或者保管收納基板，所述片材部件配置成，在容器內(nèi)的該壁面等上形成微小的空隙。
此外，例如，在將玻璃基板插入容器主體4內(nèi)時(shí)，與基板的角部抵接的片材部件16的容器外方上所配置的內(nèi)側(cè)隔熱板10、12的板厚形成為越靠開口部的上部越厚，越接近下方越薄，所以可將玻璃基板在入口附近處定位而容易地插入。此外，若完成了基板的插入，則被上部側(cè)(開口部側(cè))的寬度較窄部夾持，所以可防止基板從該槽部意外飛出。此外，在插入基板時(shí)，若稍微插入基板，則由于內(nèi)部的寬度比入口寬，所以即便基板稍微彎曲地進(jìn)入，也可吸收該彎曲。相反，即便在搬運(yùn)中在容器主體中產(chǎn)生振動(dòng)并且基板在該振動(dòng)下要從容器主體飛出，由于開口部寬度較窄，所以可防止基板的飛出。進(jìn)而，即便基板稍微彎曲地插入，由于在樹脂制的片材部件和內(nèi)部的內(nèi)側(cè)隔熱板之間可確保圖12所示的間隙H，所以基板可以以向內(nèi)側(cè)隔熱板12推壓片材部件16的方式變形，所以不會(huì)在基板上作用很強(qiáng)的反力。因此，可盡可能地防止基板的裂縫或崩碎等。
此外，通過使用底部提升部件8，可與要搬運(yùn)的基板對(duì)應(yīng)而調(diào)整容器的深度，可在容器內(nèi)不形成多余的空間，所以可更安全地搬運(yùn)基板。
另外，對(duì)于基于上述實(shí)施例的蓋體6的構(gòu)成沒有詳細(xì)說明，但關(guān)于該蓋體6，也與容器主體4側(cè)大致相同地形成。即，在蓋體6中，與容器主體4不同，沒有設(shè)置板狀的內(nèi)側(cè)隔熱板，但是，發(fā)泡合成樹脂制的蓋體主體(在容器主體中，相當(dāng)于外容器的發(fā)泡體)的內(nèi)部中，夾設(shè)有一面開口的箱狀的薄片材部件。由此，蓋體6，變?yōu)榘l(fā)泡體和樹脂制的片材部件的雙層構(gòu)造。即，若以圖12的截面作為蓋體的圖來看，則在由發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成的蓋體主體12上，嵌合薄片材部件16。在這樣的情況下，在蓋體主體12和片材部件16上，分別設(shè)置基板安裝槽，在g的寬度中抵接玻璃基板的上端部。若準(zhǔn)備這樣的蓋體6，則在安裝玻璃基板時(shí)，可保持玻璃基板的上端側(cè)。另外，該情況下，玻璃基板的上端可在上下左右方向移動(dòng)的情況也與容器主體4的情況相同。
本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，不限定于上述實(shí)施例，可進(jìn)行各種變更。
例如，可在基板搬運(yùn)用容器上設(shè)置氣體交換口，并將該基板搬運(yùn)用容器內(nèi)的空氣置換為氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w。
本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，在通常的情況下，以被收納的玻璃基板豎起的方式使用，可為了明確這樣的基板搬運(yùn)用容器的放入方向而在容器的外方做表示放入方向的標(biāo)記。
本實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器，適宜在例如玻璃基板的移動(dòng)時(shí)使用，但不僅限定于移動(dòng)時(shí)，當(dāng)然也可在保管時(shí)等使用。
這樣的基板搬運(yùn)用容器，可安全地移送、保管液晶基板、液晶用玻璃基板、配線基板、電路基板等基板。
此外，狹縫23的設(shè)置位置當(dāng)然可根據(jù)干燥劑的數(shù)量而增減。
此外，在上述實(shí)施例中，由于設(shè)置底部提升部件8，所以若從狹縫23插入干燥劑，則該干燥劑配置在底部提升部件8的上表面上，但在不使用該底部提升部件8時(shí)，干燥劑直接配置在外容器50的底面上。
進(jìn)而，在不使用底部提升部件8時(shí)，可收納大的基板。
接著，對(duì)基于本發(fā)明的其他實(shí)施例的基板搬運(yùn)用容器以及底部提升部件進(jìn)行說明。
圖13是本發(fā)明的第1基板搬運(yùn)用容器的分解立體圖，圖14是本發(fā)明的第2基板搬運(yùn)用容器的分解立體圖，圖15是表示本發(fā)明的底部提升部件的一例的分解立體圖。另外，以下所示的說明以及附圖中，對(duì)相同的部件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。
本發(fā)明的第1基板搬運(yùn)用容器110，具有發(fā)泡樹脂制的容器主體部112、和開閉自如地安裝在該容器主體部112的開口部114上的發(fā)泡合成樹脂制的蓋體145。
發(fā)泡樹脂制的容器主體部112，具有一方向開口的有底筒狀的形態(tài)，以便可收納基板材料或者基板(在以下本發(fā)明中稱為“基板”)。而且，該容器主體部112的內(nèi)周壁面的對(duì)置的一對(duì)壁面113a、113b上，形成用于保持基板160的基板支承槽116。該基板支承槽116，是從容器主體部112的開口部114朝向底部117的方向而形成的槽。形成在該兩壁面113a、113b上的基板支承槽116、116中插入基板160的兩端部，由此，可將基板160豎起地進(jìn)行收納。該基板支承槽116，在一個(gè)的基板搬運(yùn)用容器110內(nèi)形成為可收納1～45張，優(yōu)選2～20張左右。因此，在容器主體部112的對(duì)置的一對(duì)壁面113a、113b上，分別形成1～45根，優(yōu)選2～20根基板支承槽116。
如圖16放大地表示的那樣，該基板支承槽116的間距，即從某個(gè)基板支承槽116的中心線到相鄰的基板支承槽116的中心線的距離可適宜地設(shè)定，但通常為3～20mm左右，優(yōu)選為5～15mm左右，以便被收納的多個(gè)基板160不接觸。該間距可形成為比3mm還窄，但由于該容器主體部112是借助利用了金屬模的發(fā)泡樹脂成形而制造的部件，所以若間距寬度變窄，則形成基板支承槽116的支承凸條116a的形狀的穩(wěn)定性降低。
此外，該基板支承槽116的深度只要是能穩(wěn)定地保持被收納的基板160的深度即可，通常為5～45mm左右，優(yōu)選為7～25mm左右。
這樣的基板支承槽116以及支承凸條116a，可分別相對(duì)于壁面113a或者壁面113b形成為直角，此外，也可以以基板支承槽116的頂端部比基端部寬的方式形成為錐形。
上述這樣的基板支承體槽116，可與容器主體部112一體地形成，此外，也可通過將具有該基板支承體槽116的發(fā)泡樹脂板與容器主體部112分別形成，并將該帶基板支承體槽的發(fā)泡樹脂板嵌入容器主體部112的該壁面上而形成。此時(shí)，優(yōu)選地，在帶基板支承槽的發(fā)泡樹脂板的兩側(cè)端部和容器主體部之間，嵌入樹脂板以便形成后述片材夾入狹縫118。
通過這樣將帶基板支承槽的發(fā)泡樹脂板與容器主體部分體地形成，令容器主體部的內(nèi)周面的構(gòu)造簡(jiǎn)單化，所以有在成形容器主體部112后脫模作業(yè)容易的優(yōu)點(diǎn)。
優(yōu)選地，在本發(fā)明第1基板搬運(yùn)用容器110的形成有上述那樣的基板支承槽116的一對(duì)壁面113a、113b的、與相鄰的另一對(duì)壁面123a、123b抵接的部分上，形成用于夾入樹脂片材的片材夾入狹縫118。
本發(fā)明的第1基板搬運(yùn)用容器110中，在形成上述那樣的基板支承槽116的一對(duì)壁面113a、113b的表面上，配置壁面基板支承用樹脂片材122a、122b。該壁面基板支承用樹脂片材122a、122b形成為與上述容器主體部112的一對(duì)壁面113a、113b的表面的形狀大致相同的形狀。即，在該壁面基板支承用樹脂片材122a、122b上，形成與在一對(duì)壁面113a、113b上形成的基板支承槽116對(duì)應(yīng)的片材面支承槽126以及片材面支承凸條126a，該片材面支承槽126以及片材面支承凸條126a具有與形成在一對(duì)壁面113a、113b上的基板支承槽116以及支承凸條116a大致相同的形狀。若將這樣的壁面基板支承用樹脂片材122a、122b配置在壁面113a、113b的表面，則在壁面基板支承用樹脂片材122a、122b和壁面113a、113b之間形成微小的空隙119。即，將該壁面基板支承用樹脂片材122a、122b的端部夾持在片材夾入狹縫118中，由此，將壁面基板支承用樹脂片材122a、122b配置在壁面113a、113b的表面上，所述片材夾入狹縫118形成在例如壁面113a、113b和鄰接的另一對(duì)壁面123a、123b的抵接部分上。于是，在形成在壁面113a、113b上的基板支承槽116附近，該壁面基板支承用樹脂片材122a、122b跟隨基板支承槽116的形態(tài)而配置，但不固定在壁面113a、113b上，在兩者之間形成微小的空隙119。
在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器110中，形成在該壁面113a、113b和壁面基板支承用樹脂片材122a、122b之間的微小的空隙119作為緩沖空間而起作用，可有效地防止收納基板160的破損，該緩沖空間吸收因基板160自身中產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力等而導(dǎo)致的基板160的變形等。該空隙119非常小即可，例如在收納基板160時(shí)，壁面和片材配置為可在下述范圍內(nèi)分離，所述范圍通常為0.01～1mm左右，優(yōu)選為0.01～0.7mm左右，特別優(yōu)選為0.01～0.5mm左右。即，在通過形成在壁面113a、113b上的基板支承槽116和片材面支承槽126保持基板160時(shí)，借助該空隙119吸收由于產(chǎn)生在該基板160上的歪斜或者撓曲等而引起的基板160的變動(dòng)即可，由于基板160通常是由玻璃等形成的，所以微小的空隙119的寬度為與對(duì)應(yīng)于這些基板160的撓曲量的變動(dòng)寬度大致相同即可。
通過這樣將壁面基板支承用樹脂片材122a、122b以如上所述形成微小空隙的方式配置在形成有基板支承槽116的一對(duì)壁面113a、113b的表面上，可有效地防止由于產(chǎn)生在基板160自身上的撓曲或者歪斜等而引起的應(yīng)力所導(dǎo)致的基板160的損傷，但這樣的壁面基板支承用樹脂片材122a、122b，在收納基板160前，倒入容器內(nèi)的情況較多。特別是，在本發(fā)明中，壁面基板支承用樹脂片材122a、122b，作為與覆蓋另外的壁面的樹脂片材不連接的獨(dú)立的片材而配置在容器主體部110內(nèi)，由此，可非常高效地配置，但該壁面基板支承用樹脂片材122a、122b的配置越容易，片材的倒入越容易發(fā)生。
在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器110中，為了防止上述的壁面基板支承用樹脂片材122a、122b的倒入，形成倒入防止機(jī)構(gòu)。在上述那樣形成基板支承槽116的一對(duì)壁面113a、113b和鄰接的另一對(duì)壁面123a、123b的抵接部分上形成的片材夾入狹縫118也作為倒入防止機(jī)構(gòu)起作用，但在本發(fā)明中，希望進(jìn)而在形成基板支承槽116的一對(duì)壁面113a、113b和鄰接的另一對(duì)壁面123a、123b上形成倒入防止機(jī)構(gòu)。
作為該倒入防止機(jī)構(gòu)，如圖17所示，可舉出形成在容器主體部12的沒有形成基板支承槽16的對(duì)置的另一對(duì)壁面123a、123b上的突起125a。這樣形成的突起125a形成為，兩端部被突起129鉤掛住而停止壁面基板支承用樹脂片材122a、122b的倒入。在圖17中，作為突起125a，表示了在對(duì)置的另一對(duì)壁面123a、123b上，除了緣部外形成梯形狀的凸部的方式。進(jìn)而，在本發(fā)明中，也可將該突起125a設(shè)為上述的梯形狀的凸部，并將該凸部?jī)?nèi)形成為柵格狀而在與后述的表面保護(hù)用樹脂片材之間形成空隙。此外，這樣的倒入防止機(jī)構(gòu)，也可形成在對(duì)置的另一對(duì)壁面123a、123b的表面上所配置的表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b的表面。圖17中表示了下述方式在表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b的表面的兩側(cè)緣部附近，向容器主體部112的內(nèi)側(cè)突出而在縱方向上形成凸條125b的倒入防止機(jī)構(gòu)。
在這樣的沒有形成基板支承槽116的另一對(duì)壁面123a、123b或者配置在壁面上的表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b上，用于防止倒入的突起125a或者突條125b從表面通常突出2～10mm，優(yōu)選3～8mm左右即可。
即，上述那樣，本發(fā)明的容器主體部112的沒有形成基板支承槽116的對(duì)置的另一對(duì)壁面123a、123b，不會(huì)與被收納的基板160接觸，但通過在該另外的壁面123a、123b上，例如如圖17所示，使表面突出而可防止壁面基板支承用樹脂片材122a、122b的倒入，此外，當(dāng)在該另外的壁面123a、123b的表面配置表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b時(shí)，在該表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b的兩側(cè)端部附近，形成作為倒入防止機(jī)構(gòu)的突條125a，由此，可有效地防止在收納基板160前壁面基板支承用樹脂片材122a、122b的倒入。進(jìn)而，這樣配置的表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b，通常被賦形為與配置該片材的另外的壁面123a、123b的表面形狀大致相同的形狀。進(jìn)而，該表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b優(yōu)選配置為在壁面123a、123b的表面形成微小的空隙。該表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b與基板160不直接接觸，但通過配置該表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b，形成容器主體部112的易起毛的發(fā)泡樹脂與被收納的基板160不直接接觸，此外，通過將表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b形成微小的空隙地配置在壁面123a、123b的表面，該微小的空隙成為對(duì)來自外部的沖擊的沖擊吸收帶，此外，也會(huì)提高隔熱性。
這樣的表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b，可貼附在另外的壁面123a、123b上，但也可通過將例如表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b的各自的兩端部插入片材夾入狹縫而配置在另外的壁面123a、123b的表面上。
本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器110的用于收納基板160的空間的底部117，可由發(fā)泡樹脂形成，但優(yōu)選配置底部基板支承用樹脂片材128。
本發(fā)明的第1基板搬運(yùn)用容器110，具有上述的構(gòu)成，但本發(fā)明的第2基板搬運(yùn)用容器111如圖14所示，在具有上述構(gòu)成的第1基板搬運(yùn)用容器110的底部上配置底部提升部件130。該底部提升部件130由發(fā)泡樹脂形成，在其表面上，形成用于與基板支承槽116共同保持收納基板160的底部支承槽136，所述基板支承槽116形成在容器主體部112的對(duì)置的一對(duì)壁面113a、113b上。該底部支承槽136的深度，只要是能穩(wěn)定地保持被收納的基板160的深度即可，通常為5～45mm左右，優(yōu)選為7～25mm左右。
配置在該底部提升部件130的表面的底部基板支承用樹脂片材128，如圖14以及圖15所示，被賦形為與底部提升部件130的表面形狀大致相同的形狀。將被賦形為這樣的形狀的底部基板支承用樹脂片材128配置在由發(fā)泡樹脂構(gòu)成的底部提升部件130的表面上。在該底部基板支承用樹脂片材128和底部提升部件130之間，形成微小的空隙131，通過形成該微小的空隙131，可吸收由于收納的基板160的振動(dòng)等而產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力，可顯著降低基板160的破損。
如圖14所示，通過將具有上述方式的底部提升部件130配置在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器110的底部117上，形成在底部提升部件130上的底部支承槽136可與形成在壁面113a、113b上的基板支承槽116共同穩(wěn)定地保管收納的基板160，并且，該底部提升部件130成為對(duì)于壁面基板支承用樹脂片材122a、122b非常良好的倒入防止機(jī)構(gòu)。該底部提升部件130，此外，可將形成在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器110、111上的基板160的收納深度改變?yōu)檫m當(dāng)?shù)纳疃?。該底部提升部?30，也可在容器主體部112內(nèi)配置多個(gè)。即，收納在該容器中的基板的尺寸有多種，若為可收納在該容器中的尺寸，則與容器的深度無關(guān)而能進(jìn)行收納。但是，若相對(duì)于被收納的基板160，容器過深，則容器內(nèi)的基板160的穩(wěn)定性變差。因此，收納基板160的容器的深度希望是與要收納的基板對(duì)應(yīng)的深度。在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器中，通過配置底部提升部件130而進(jìn)行容器的底部提升，可減少容器內(nèi)的剩余空間，而更穩(wěn)定地保管、輸送被收納的基板160。
在本發(fā)明中，在使用多個(gè)底部提升部件時(shí)，至少在位于最上面的、位于底部提升部件130的表面上的底部提升部件的表面上形成底部支承槽136即可，進(jìn)而，在至少位于最上面的底部提升部件130的表面上配置具有與底部支承槽136對(duì)應(yīng)的表面形狀的底部基板支承用樹脂片材128即可。即，在這樣配置多個(gè)底部提升部件時(shí)，在配置在下部的底部提升部件130上，也可形成底部支承槽136，也可在這樣的底部提升部件130的表面上配置底部基板支承用樹脂片材128，此外，樹脂片材也可為沒有配位的發(fā)泡樹脂制的板狀體。上述的底部提升部件是調(diào)整收納基板160的深度的部件，可準(zhǔn)備各種厚度的發(fā)泡樹脂制的板而適宜地選定與收納的基板160對(duì)應(yīng)而使用的底部提升部件130的種類來進(jìn)行使用。
特別優(yōu)選地，調(diào)整為下述那樣的深度，即，被收納的基板160的上端部借助配置在蓋體145的內(nèi)側(cè)的蓋體基板支承用樹脂片材147上所形成的蓋體支承槽148保持。
以覆蓋形成在本發(fā)明的第1以及第2基板搬運(yùn)用容器110、111的容器主體部112上的開口部114的方式形成發(fā)泡樹脂制的蓋體145，通過將該蓋體145嵌合在容器主體部112上而堵住開口部114，由此，可保持本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器的密閉狀態(tài)。
即，上述那樣的本發(fā)明的第1以及第2基板搬運(yùn)用容器110、111的容器主體部112的形成有開口部114的上端部和蓋體145的下端部相互嵌合，可將收納基板160的內(nèi)部空間保持為氣密狀態(tài)。例如，以在容器主體部112的嵌合部上形成凸部115并在蓋部145的嵌合部上形成凹部而令兩者嵌合的方式形成嵌合部，由此，可形成更高的氣密狀態(tài)。
在上述的蓋部145的內(nèi)側(cè)，配置蓋體基板支承用樹脂片材147，適宜地，借助該蓋體基板支承用樹脂片材147上所形成的蓋體支承槽148保持被收納的基板160的上端部。
另外，該蓋體基板支承用樹脂片材147，優(yōu)選相對(duì)于蓋體145形成微小的空隙而配置在蓋體145的表面。
上述那樣的本發(fā)明的容器主體部112以及蓋體145，還有底部提升部件130由發(fā)泡樹脂形成，這樣的發(fā)泡樹脂沒有特別的限制，但可使用聚苯乙烯、聚烯烴、聚氨酯等作為通常樹脂發(fā)泡體而使用的發(fā)泡性樹脂而形成。此外，形成這些樹脂發(fā)泡體的原料沒有必要為單獨(dú)的發(fā)泡性樹脂原料，例如為了提高耐沖擊性，可使用在發(fā)泡性的聚苯乙烯中摻合了橡膠成分的樹脂組成物等含有多種樹脂的組成物。在上述那樣的在聚苯乙烯中摻合了橡膠成分的組成物，作為高沖擊聚苯乙烯等而被供給。使用這樣的樹脂發(fā)泡體原料，借助例如模具內(nèi)發(fā)泡，例如以成為10～60倍，優(yōu)選20倍～50倍左右的發(fā)泡倍率的方式而得到發(fā)泡體，該發(fā)泡體具有良好的耐沖擊性、隔熱性等作為基板搬運(yùn)用容器所需要的特性。即，通過形成由上述的發(fā)泡樹脂構(gòu)成的容器主體以及蓋體，該基板保持用容器為0.26kcal/m·hr·℃左右或者其以下，即便外部的溫度變化，也可防止基板搬運(yùn)用容器內(nèi)的溫度快速地變化。進(jìn)而，通過以這樣的發(fā)泡倍率形成樹脂發(fā)泡體，在形成的發(fā)泡體的表面上形成表皮層，這樣的表皮層，形成比發(fā)泡樹脂的厚度方向的中止部附近的發(fā)泡體還細(xì)密的層。通過形成這樣的表皮層，從發(fā)泡樹脂表面難以產(chǎn)生塵埃等，并且提高發(fā)泡體的強(qiáng)度，耐水性、耐透濕性也優(yōu)異，進(jìn)而，提高耐磨耗性。這樣的表皮層從發(fā)泡體的表面以1mm左右的深度形成。這樣的表皮層，可在形成發(fā)泡樹脂時(shí)借助金屬模和發(fā)泡樹脂的接觸而形成。
此外，在本發(fā)明中，壁面基板支承用樹脂片材122a、122b、表面保護(hù)用樹脂片材124a、124b、底部基板支承用樹脂片材128、蓋體基板支承用樹脂片材147等可由合成樹脂片材形成。在此作為使用的合成樹脂片材的例子，可舉出由聚乙烯、LLDPE、聚丙烯、聚丁烯等α-烯烴構(gòu)成的片材；由聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚酰胺這樣的熱塑性樹脂構(gòu)成的片材等。在本發(fā)明中，被賦予上述那樣的既定形態(tài)的樹脂片材優(yōu)選通過真空成形、壓縮成形、擠壓成形等各種成形方法制造，在采用這樣的成形方法制造在本發(fā)明中使用的被賦形為特定的形狀的樹脂片材時(shí)，優(yōu)選使用熱熔融制樹脂。此外，在這樣的樹脂片材中，也可摻合放入各種添加劑。作為這樣的添加劑的例子，可舉出防靜電干擾劑、導(dǎo)電性填充劑、著色劑、防氧化劑等。特別在本發(fā)明中優(yōu)選摻合防靜電干擾劑以及/或者導(dǎo)電性填充劑。即，該基板搬運(yùn)用容器中，有時(shí)收納組裝入了半導(dǎo)體的基板，此時(shí)，需要迅速地將由摩擦等而產(chǎn)生的電位放電除去，因此，優(yōu)選摻合防靜電干擾劑以及/或者導(dǎo)電性填充劑。作為這樣的防靜電干擾劑以及導(dǎo)電性填充劑的例子，可舉出導(dǎo)電性碳、導(dǎo)電性金屬、導(dǎo)電性界面活性劑等。在摻合這樣的防靜電干擾劑以及/或者導(dǎo)電性填充劑時(shí)，這些成分使用不會(huì)從樹脂片材表面脫離而污染被收納的基板的量，通常相對(duì)于形成樹脂片材的樹脂成分100重量部使用在0.1～100重量部的范圍內(nèi)的量。通過這樣摻合防靜電干擾劑以及/或者導(dǎo)電性填充劑，該樹脂片材通常具有103～1012Ω·cm左右的體積電阻率值，即便是安裝有電子部件的基板，也不會(huì)由于靜電等而損害其電特性。
由這樣的樹脂構(gòu)成的樹脂片材，可如上所述那樣由例如真空成形等形成，通常的情況下，被賦形為與配置該樹脂片材的容器主體部的壁面的表面形狀大致相同的形狀。通過這樣在每個(gè)容器主體部的配置壁面上形成樹脂片材，不會(huì)損害形成的樹脂片材的撓性，可非常有效地吸收產(chǎn)生在被收納的基板160內(nèi)部的內(nèi)部應(yīng)力。因此，希望本發(fā)明中使用的樹脂片材針對(duì)各配置壁面分別進(jìn)行制造，但即使使用L字形片材，也不會(huì)損害形成片材面支承槽126的壁面基板支承用樹脂片材122a、122b的折皺狀的片材面支承槽126的撓性，所述L字形片材是將例如形成片材面支承槽126的片材、和與之相鄰的沒有形成支承槽的片材一體地形成而成的，所以也可使用形成為上述的L字狀的樹脂片材。此外，同樣，在沒有形成底部的筒狀的樹脂片材中也不會(huì)損害折皺狀的片材面支承槽126的撓性，所以也可這樣地將樹脂片材形成為方筒狀。即便這樣方筒狀地形成樹脂片材，由于沒有底部，所以向容器主體部的片材的插入不會(huì)特別困難。
但是，若方筒狀的片材帶有底部，則該有底方筒狀的片材復(fù)合盒體明顯難以插入容器主體部，并且吸收收納基板的應(yīng)力的折皺狀的支承槽被底部的緣部固定，其撓性受損，所以無法像本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器那樣降低因基板自身上產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力導(dǎo)致的基板的損傷的產(chǎn)生。
本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，具有上述的構(gòu)成，可在該容器內(nèi)收納基板并安全地搬運(yùn)基板。即，本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，由耐沖擊性以及隔熱性優(yōu)異的發(fā)泡樹脂形成容器主體部以及蓋體，所以當(dāng)然可從來自外部的沖擊以及外部的溫度變化等中保護(hù)基板，即便對(duì)于由于收納的基板所產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力(主要是由于基板的自重產(chǎn)生的應(yīng)力)也可通過在容器內(nèi)的該壁面等上形成微小的空隙而配置的樹脂片材的撓性進(jìn)行吸收，可更安全地搬運(yùn)或者保管收納的基板。進(jìn)而，配置在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器內(nèi)部的樹脂片材，沒有固定在該壁面上，形成微小空隙地配置，但形成有防止該樹脂片材向容器內(nèi)倒入的機(jī)構(gòu)，可靠地將該樹脂片材配置在既定的位置，所以在實(shí)際使用本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器的基板廠商等中，沒有必要確認(rèn)樹脂片材是否準(zhǔn)確地配置在既定的位置上。進(jìn)而，通過像本發(fā)明那樣基本地將樹脂片材相對(duì)壁面分別獨(dú)立地配置，樹脂片材的安裝非常簡(jiǎn)單。
此外，通過使用底部提升部件，可根據(jù)要搬運(yùn)的基板而調(diào)整容器的深度，可令容器內(nèi)不形成多余的空間，所以可更安全地搬運(yùn)基板。
本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，具有上述的構(gòu)成，但可在不損害本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)進(jìn)行各種改變。
例如，可在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器上形成氣體交換口，將該基板搬運(yùn)用容器內(nèi)的空氣置換為氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w。
此外，可在本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器的外周部上形成捆帶的凹部，可容易地進(jìn)行捆帶，用于提高該基板搬運(yùn)用容器的密閉性，進(jìn)而防止由于不注意等引起的蓋體的脫落。
本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，通常的情況下以收納的基板豎起的方式被使用，可為了明確這樣的基板搬運(yùn)用容器的放入方向而在容器上做表示放入方向的標(biāo)記。
本發(fā)明的基板搬運(yùn)用容器，可在基板的移動(dòng)時(shí)適當(dāng)?shù)厥褂?，但不僅僅限定于移動(dòng)時(shí)，當(dāng)然也可在保管時(shí)等使用。
權(quán)利要求
1.一種基板搬運(yùn)用容器，包括合成樹脂制的容器主體，通過底壁部、從該底壁部一體地豎起的一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁部和一對(duì)短側(cè)壁部，以呈有底方筒狀且一面開口的方式形成；以及發(fā)泡合成樹脂制的蓋體，以覆蓋上述容器主體的上述一面的開口的方式裝卸自如地安裝；其特征在于，上述容器主體，將預(yù)先分體形成的發(fā)泡合成樹脂制的內(nèi)側(cè)隔熱板裝卸自如地配置在由發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成的外容器主體的內(nèi)側(cè)，以便底壁部以及從該底壁部一體地豎起的一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁部、以及一對(duì)短側(cè)壁部分別通過隔熱件而構(gòu)成雙層壁，并且在這些內(nèi)側(cè)隔熱板上，進(jìn)而裝卸自如地安裝有預(yù)先分體形成的樹脂制的片材部件。
2.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在配置在上述容器主體的底面上的內(nèi)側(cè)隔熱件的下表面上裝卸自如且選擇性地配置預(yù)先分體形成的發(fā)泡合成樹脂制的底部提升部件。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在上述容器主體的底面和配置在其上的內(nèi)側(cè)隔熱件之間，以及在配置在該底面上的內(nèi)側(cè)隔熱件和上述底部提升部件之間，構(gòu)成唯一地確定相互的組裝姿勢(shì)的定位固定機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，上述定位固定機(jī)構(gòu)由凸部和凹部構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在配置在上述容器主體的底面上的內(nèi)側(cè)隔熱板上，形成有用于收納干燥劑的凹處。
6.如權(quán)利要求5所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在內(nèi)側(cè)隔熱板的上部配置的樹脂片材上，形成有與上述凹處連通的狹縫，所述內(nèi)側(cè)隔熱板配置在上述容器主體的底面上。
7.一種基板搬運(yùn)用容器的內(nèi)壁構(gòu)造，包括以呈有底方筒狀且一面開口的方式形成的合成樹脂制的容器主體、和以覆蓋上述容器主體的上述一面的開口的方式裝卸自如地安裝的合成樹脂制的蓋體，大致矩形平板狀的玻璃基板在卡止于基板卡止槽內(nèi)的狀態(tài)下被搬運(yùn)，該基板卡止槽以隔開既定間隔的方式形成在至少由上述容器主體內(nèi)的底壁以及一對(duì)側(cè)壁構(gòu)成的3個(gè)面上，其特征在于，上述容器主體內(nèi)的基板收納部包括大致矩形平板狀的發(fā)泡合成樹脂制的內(nèi)側(cè)隔熱板、和覆蓋該內(nèi)側(cè)隔熱板的表面的薄片材部件，在形成在上述內(nèi)側(cè)隔熱板和上述片材部件上的基板卡止槽的凹凸面之間確保有緩沖用間隙。
8.如權(quán)利要求7所述的基板搬運(yùn)用容器的內(nèi)壁構(gòu)造，其特征在于，上述蓋體包括發(fā)泡合成樹脂制的蓋體主體、和覆蓋該蓋體主體的內(nèi)表面的蓋體用片材部件，在上述蓋體主體的頂面部，以既定的間距形成有基板收納槽，并且在裝卸自如地安裝在該蓋體主體的內(nèi)表面上的上述蓋體用片材部件上，形成與之對(duì)應(yīng)的基板收納槽，并且在上述蓋體主體的基板收納槽和上述蓋體用片材部件的基板收納槽之間確保有緩沖用間隙。
9.一種基板搬運(yùn)用容器，包括以呈有底方筒狀且一面開口的方式形成的合成樹脂制的容器主體、和以覆蓋上述容器主體的上述一面的開口的方式裝卸自如地安裝的合成樹脂制的蓋體，大致矩形平板狀的玻璃基板在卡止于基板卡止槽內(nèi)的狀態(tài)下被搬運(yùn)，該基板卡止槽以隔開既定間隔的方式形成在至少由上述容器主體內(nèi)的底壁以及一對(duì)側(cè)壁構(gòu)成的3個(gè)面上，其特征在于，上述容器主體，將預(yù)先分體形成的發(fā)泡合成樹脂制的內(nèi)側(cè)隔熱板裝卸自如地配置在由發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成的外容器主體的內(nèi)側(cè)，以便底壁部以及從該底壁部一體地豎起的一對(duì)長(zhǎng)側(cè)壁部、以及一對(duì)短側(cè)壁部分別通過隔熱件而構(gòu)成雙層壁，并且在這些內(nèi)側(cè)隔熱板的更內(nèi)側(cè)，裝卸自如地安裝有預(yù)先分體形成的樹脂制的片材部件，上述內(nèi)側(cè)隔熱件，以隨著從臨近上述容器主體的上述開口部的位置朝向內(nèi)側(cè)而壁的厚度逐漸變薄的方式設(shè)置有梯度。
10.一種基板搬運(yùn)用容器，包括以呈有底方筒狀且一面開口的方式形成的合成樹脂制的容器主體、和以覆蓋上述容器主體的上述一面的開口的方式裝卸自如地安裝的合成樹脂制的蓋體，大致矩形平板狀的玻璃基板在卡止于基板卡止槽內(nèi)的狀態(tài)下被搬運(yùn)，該基板卡止槽以隔開既定間隔的方式形成在至少由上述容器主體內(nèi)的底壁以及一對(duì)側(cè)壁構(gòu)成的3個(gè)面上，其特征在于，在上述容器主體內(nèi)的底壁部上，配置由發(fā)泡合成樹脂構(gòu)成的內(nèi)側(cè)隔熱板，進(jìn)而在其上側(cè)裝卸自如地安裝預(yù)先分體形成的樹脂制的片材部件，在配置在上述容器主體的底面上的上述內(nèi)側(cè)隔熱板上，在厚度方向上形成凹處，并且在裝卸自如地配置在上述內(nèi)側(cè)隔熱板的上部的片材部件上，形成與上述凹處連通的狹縫。
11.如權(quán)利要求10所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，經(jīng)由形成在上述片材部件上的狹縫，而在上述內(nèi)側(cè)隔熱件的凹處收納有干燥劑。
12.一種基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，具有容器主體部，是一方開口的發(fā)泡樹脂制的有底方筒狀體，在該有底方筒狀體的對(duì)置的內(nèi)周壁上形成有基板支承槽；發(fā)泡樹脂制的蓋體部，以覆蓋上述容器主體部的開口的方式裝卸自如地安裝；和壁面基板支承用樹脂片材，在上述容器主體部的至少形成有該基板支承槽的對(duì)置的內(nèi)周壁面上，以與該內(nèi)周壁面形成微小空隙的方式配置，且被賦形為與該內(nèi)周壁面大致相同的表面形狀；該壁面基板支承用樹脂片材，借助倒入防止機(jī)構(gòu)保持在該內(nèi)周壁面上。
13.如權(quán)利要求12所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，上述倒入防止機(jī)構(gòu)是下述凸部，所述凸部形成在容器主體部的沒有形成基板支承槽的內(nèi)周壁面上。
14.如權(quán)利要求12所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在上述容器主體部的沒有形成基板支承槽的內(nèi)周壁面上，配置有表面保護(hù)用樹脂片材，在配置在該沒有形成基板支承槽的內(nèi)周壁面上的表面保護(hù)用樹脂片材上，形成有壁面基板支承用樹脂片材的倒入防止機(jī)構(gòu)，所述壁面基板支承用樹脂片材配置在形成有基板支承槽的對(duì)置的內(nèi)周壁面上。
15.如權(quán)利要求12所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在上述容器主體部的底面以及/或者蓋體部的內(nèi)周壁面上，配置有表面保護(hù)用樹脂片材。
16.如權(quán)利要求15所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在配置在上述容器主體部的底面以及/或者蓋體部的內(nèi)周壁面上的表面保護(hù)用樹脂片材上，形成有基板支承槽。
17.如權(quán)利要求16所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在上述容器主體部的底面、形成有基板支承槽的內(nèi)周壁面、沒有形成基板支承槽的內(nèi)周壁面、以及蓋體部的內(nèi)周壁面上所配置的樹脂片材，被賦形為具有與各自所配置的面的表面形狀大致相同的表面形狀，各自的樹脂片材配置為，相對(duì)于由發(fā)泡樹脂構(gòu)成的抵接面的表面形成微小的空隙。
18.一種基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，具有容器主體部，是一方開口的發(fā)泡樹脂制的有底方筒狀體，在該有底方筒狀體的對(duì)置的內(nèi)周壁上形成有基板支承槽；發(fā)泡樹脂制的蓋體部，以覆蓋上述容器主體部的開口的方式裝卸自如地安裝；壁面基板支承用樹脂片材，在上述容器主體部的至少形成有該基板支承槽的對(duì)置的內(nèi)周壁面上，以與該內(nèi)周壁面形成微小空隙的方式配置，且被賦形為與該內(nèi)周壁面大致相同的表面形狀；和底部提升部件，是在表面形成有基板支承槽的發(fā)泡樹脂制的板狀體，在上述容器主體部中收納在收納主體部的底部上，而與形成在容器主體的配收壁上的基板支承槽共同保持基板，并且，防止上述壁面基板支承用樹脂片材的倒入。
19.如權(quán)利要求18所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，被賦形為與上述底部提升部件的表面形狀大致相同的表面形狀的底部基板支承用樹脂片材，以形成微小的空隙的方式配置在該底部提升部件的表面。
20.如權(quán)利要求18或19所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，上述底部提升部件是壁面基板支承用樹脂片材的倒入防止機(jī)構(gòu)。
21.如權(quán)利要求18或20所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，作為上述壁面基板支承用樹脂片材的倒入防止機(jī)構(gòu)，除了上述底部提升部件外，在容器主體部的沒有形成基板支承槽的內(nèi)周壁面上形成凸部。
22.如權(quán)利要求18或20所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在上述容器主體部的沒有形成基板支承槽的內(nèi)周壁面上，配置有表面保護(hù)用樹脂片材，在配置在該沒有形成基板支承槽的內(nèi)周壁面上的表面保護(hù)用樹脂片材上，形成壁面基板支承用樹脂片材的倒入防止機(jī)構(gòu)，所述壁面基板支承用樹脂片材配置在形成有基板支承槽的對(duì)置的內(nèi)周壁面上。
23.如權(quán)利要求18所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在上述蓋體部的內(nèi)周壁面上，配置有表面保護(hù)用樹脂片材。
24.如權(quán)利要求15所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，在上述蓋體部的內(nèi)周壁面上所配置的表面保護(hù)用樹脂片材上，形成有基板支承槽。
25.如權(quán)利要求18所述的基板搬運(yùn)用容器，其特征在于，上述基板搬運(yùn)用容器，可收納多個(gè)底部提升部件而調(diào)整該基板搬運(yùn)用容器的收納深度。
26.一種基板搬運(yùn)用容器的底部提升部件，其特征在于，是在表面形成有保持槽的發(fā)泡樹脂制的板狀體，收納在發(fā)泡樹脂制的容器主體部?jī)?nèi)，調(diào)整該容器主體部?jī)?nèi)的收納深度，并且與壁面基板支承用樹脂片材共同保持收納在該容器主體部?jī)?nèi)的基板，所述壁面基板支承用樹脂片材在該容器主體內(nèi)的對(duì)置的壁面上以形成微小的空隙的方式配置。
27.如權(quán)利要求26所述的底部提升部件，其特征在于，上述底部提升部件包括發(fā)泡樹脂制的板狀體、和被賦形為與該發(fā)泡樹脂制的板狀體的表面的形狀大致相同的形狀的底部基板支承用樹脂片材，是在板狀體的表面上以形成微小的空隙的方式配置該底部基板支承用樹脂片材而形成的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板搬運(yùn)用容器，是主要部分由發(fā)泡合成樹脂形成的基板搬運(yùn)用容器，玻璃基板相對(duì)容器主體的放入以及取出容易，且可防止搬運(yùn)中基板意外向上下方向的移動(dòng)，并且由此導(dǎo)致的崩碎或裂縫等的發(fā)生危險(xiǎn)小。基板搬運(yùn)用容器的容器主體，由預(yù)先分體形成的發(fā)泡合成樹脂的內(nèi)側(cè)隔熱件和片材部件構(gòu)成，以便通過隔熱件構(gòu)成雙層壁，上下方向上配置的內(nèi)側(cè)隔熱件以從容器主體的開口部朝向下方、壁的厚度逐漸變薄的方式設(shè)置有梯度。進(jìn)而，在配置在底面上的內(nèi)側(cè)隔熱件上，在厚度方向上形成有凹處，在配置在其上的片材部件上形成有狹縫以便能插入干燥劑。
文檔編號(hào)H01L21/673GK101035724SQ20058003400
公開日2007年9月12日 申請(qǐng)日期2005年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月5日
發(fā)明者藤原俊郎 申請(qǐng)人:藤原俊郎