專利名稱：水冷等離子淋浴器的送氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種送氣系統(tǒng)，尤其涉及一種水冷等離子淋浴器的送氣系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代先進的半導體加工工藝的離子注入工藝中，等離子淋浴技術(shù)得到應用，改善了離子注入工藝的性能，提高了產(chǎn)品的成品率。當?shù)入x子淋浴器工作時，需要有穩(wěn)定的工作氣流供給，維持工作弧流，保持充足的等離子體產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述情況，本發(fā)明提供一種水冷等離子淋浴器的送氣系統(tǒng)，能夠向等離子淋浴氣提供高精密可控的氬(Ar)或氙(Xe)氣流，且無污染，很好地滿足了等離子淋浴器工作的要求。
本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)一種水冷等離子淋浴器的送氣系統(tǒng)，包括一個氣瓶、四個氣動閥、兩個壓力表、一個調(diào)壓閥、一個過濾器、一個質(zhì)量流量計。其中所述的氣瓶是氣體容器，裝有供等離子淋浴器工作的高壓氣體；該氣瓶連接一個氣動閥，該氣動閥控制氣瓶氣體的通斷；所述氣動閥連接一個壓力表，該壓力表顯示氣瓶的氣體壓力；所述壓力表后面連接一個調(diào)壓閥，該調(diào)壓閥起調(diào)節(jié)主氣路中的氣體壓力作用，保證送氣量和系統(tǒng)安全；所述壓力表和調(diào)壓閥之間連接一個氣動閥，該氣動閥裝在氮氣旁路上，控制旁路上用于清洗管路的氮氣開關(guān)；所述調(diào)壓閥后連接一個壓力表，該壓力表顯示經(jīng)過調(diào)壓閥后管路中氣體的壓力；所述壓力表后連接一個過濾器，該過濾器對通過的氣體過濾，主要濾除氣體的雜質(zhì)顆粒；所述壓力表和過濾器之間連接一個氣動閥，該氣動閥是在主氣路與抽真空設備間的閥門，抽真空時，氣動閥開；所述過濾器后面連接一個氣動閥，該氣動閥控制送氣氣路與離子淋浴槍的通斷；所述氣動閥后面連接質(zhì)量流量計，該質(zhì)量流量計用于精確控制流入離子淋浴器的氣流大小。
本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，能保證送氣氣體的氣壓恒定，采用氣動閥控制氣路通斷，精密質(zhì)量流量計控制氣流，且設置有氮氣口和真空接口，可實現(xiàn)對送氣管路的凈化清洗。各接口采用高潔凈的不銹鋼金屬密封接頭，確保所送氣體的高純度，安全可靠性高，安裝調(diào)試簡單。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
如圖1所示，送入等離子淋浴器的氣體儲存在高壓壓瓶1中，氣體一般采用高純氣體，氣體通過氣動閥2控制后送入主管路，壓力表3顯示主管路氣體壓力，也就是氣瓶中剩余氣體的壓力，間接的反映剩余氣體的量，從氣瓶1來的氣體通過調(diào)壓閥5后，壓力降低至合適壓力，壓力值通過調(diào)壓閥5現(xiàn)場設定，并通過壓力表6顯示，然后經(jīng)過過濾器8過濾去除雜質(zhì)顆粒后通過最終控制閥門9，進入質(zhì)量流量計10，接受流量控制，最后有按控制所需要的氣體流量進入離子淋浴槍。氣動閥4控制氮氣氣路與主氣路的通斷，當需要對管路進行清洗時，配合受氣動閥7控制的真空管路工作。整個系統(tǒng)的連接密封均采用不銹鋼管16和密封圈11密封，這樣確保送入氣流的高純度。
本實用新型的特定實施例已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權(quán)利要求1.一種水冷等離子淋浴器的送氣系統(tǒng)，其特征在于包括一個氣瓶、四個氣動閥、兩個壓力表、一個調(diào)壓閥、一個過濾器、一個質(zhì)量流量計；其中所述的氣瓶是氣體容器，裝有供等離子淋浴器工作的高壓氣體；該氣瓶連接一個氣動閥，該氣動閥控制氣瓶氣體的通斷；所述氣動閥連接一個壓力表，該壓力表顯示氣瓶的氣體壓力；所述壓力表后面連接一個調(diào)壓閥，該調(diào)壓閥調(diào)節(jié)主氣路中的氣體壓力；所述壓力表和調(diào)壓閥之間連接一個氣動閥，該氣動閥裝在氮氣旁路上，控制旁路上用于清洗管路的氮氣開關(guān)；所述調(diào)壓閥后連接一個壓力表，該壓力表顯示經(jīng)過調(diào)壓閥后管路中氣體的壓力；所述壓力表后連接一個過濾器，該過濾器對通過的氣體過濾；所述壓力表和過濾器之間連接一個氣動閥，該氣動閥是在主氣路與抽真空設備間的閥門，抽真空時，氣動閥開；所述過濾器后面連接一個氣動閥，該氣動閥控制送氣氣路與離子淋浴槍的通斷；所述氣動閥后面連接質(zhì)量流量計，該質(zhì)量流量計控制流入離子淋浴器的氣流大小。
專利摘要本實用新型公開了一種水冷等離子淋浴器的送氣系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個氣瓶、四個氣動閥、兩個壓力表、一個調(diào)壓閥、一個過濾器、一個質(zhì)量流量計。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，能保證送氣氣體的氣壓恒定，采用氣動閥控制氣路通斷，精密質(zhì)量流量計控制氣流，且設置有氮氣口和真空接口，可實現(xiàn)對送氣管路的凈化清洗。各接口采用高潔凈的不銹鋼金屬密封接頭，確保所送氣體的高純度，安全可靠性高，安裝調(diào)試簡單。
文檔編號H01L21/425GK2914323SQ200620113050
公開日2007年6月20日 申請日期2006年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月24日
發(fā)明者彭立波, 文超, 何科峰, 邱小莎 申請人:北京中科信電子裝備有限公司