專利名稱：夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，尤其涉及一種對有機發(fā)光顯示器件中的基 板進行夾持并翻轉(zhuǎn)的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置。
背景技術(shù)：
隨著社會的發(fā)展、科技的進步，作為各種視頻信號和計算機數(shù)據(jù)信息的終端顯示 器件的平板顯示器件越來越深入人們的生活。平板顯示器件具有薄而輕巧，整機可做成便 攜式，電壓低、無X射線輻射、沒有閃爍抖動、不產(chǎn)生靜電，功耗低、可用電池供電、壽命長等 優(yōu)點，它是將微電子技術(shù)、液晶顯示技術(shù)等相融合的技術(shù)，主要應(yīng)用于筆記本電腦、臺式計 算機、大屏幕彩電、移動通信、數(shù)碼相機、數(shù)碼攝像機等終端產(chǎn)品上。目前，在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示產(chǎn)業(yè)中，企業(yè)為了節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本，都加大投資 研發(fā)力度，不斷地追求節(jié)能的新產(chǎn)品。其中，有機發(fā)光顯示器件是數(shù)碼產(chǎn)品中的一種新產(chǎn) 品，有機發(fā)光顯示器件因為具備輕薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛 應(yīng)用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對有機發(fā)光顯示器件的應(yīng)用都聚焦在平板顯 示器上，因為有機發(fā)光顯示器件是唯一在應(yīng)用上能和液晶顯示器件相提并論的技術(shù)，且是 目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成和 紙張一樣的厚度；但有機發(fā)光顯示器件與傳統(tǒng)的液晶顯示器件并不同，其無需背光燈，采用 非常薄的有機材料涂層和玻璃基片，當(dāng)有電流通過時，這些有機材料就會發(fā)光，而且有機發(fā) 光顯示器件可以做得更輕更薄，可視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省電能；相應(yīng)地，制造有機 發(fā)光顯示器件的所有設(shè)備必須要保證有機發(fā)光顯示器件的精度要求。在制造平板顯示器件的過程中，需要使用翻轉(zhuǎn)裝置來實現(xiàn)對平板顯示器件的基 板等器件的翻轉(zhuǎn)。例如，傳統(tǒng)的液晶顯示器件一般包括液晶顯示面板和背光模塊，液晶顯 示面板是由二基板以及位于此二基板之間的液晶層構(gòu)成的。在將二基板組裝的過程中，需 先通過翻轉(zhuǎn)裝置將其中一個基板翻面，之后再進行基板組裝。另外，以玻璃為基板的平板 顯示器件在制造過程中也需要進行基板的翻轉(zhuǎn)，如有機發(fā)光顯示器件的封裝操作時需要 將以完成各功能層薄膜鍍覆的基板翻轉(zhuǎn)貼合在填充有干燥劑等填充物的背板上。現(xiàn)有的 平板顯示器件的基板翻轉(zhuǎn)裝置主要為吸附式翻轉(zhuǎn)裝置，這個技術(shù)主要體現(xiàn)在專利申請?zhí)?200910128038.6的發(fā)明專利中，該專利公開了一種基板翻轉(zhuǎn)平臺和翻轉(zhuǎn)基板的方法，主要 采用真空吸附的方式對基板進行翻轉(zhuǎn)操作，采用這一專利技術(shù)能夠保證基板在翻轉(zhuǎn)的同時 不會脫落。然而，隨著各種顯示產(chǎn)品的薄型化要求的不斷加強，基板制作得越來越薄，通常 液晶顯示器件玻璃基板厚度為0. 63mm，而有機發(fā)光顯示器件所采用的基板玻璃厚度則小于 0.3mm。隨著基板的厚度變薄其承受變形、破損的能力也隨著降低?，F(xiàn)有技術(shù)的基板翻轉(zhuǎn)平 臺采用真空吸附雖然在設(shè)計上能夠保證平板顯示器件的基板在翻轉(zhuǎn)的過程中不會出現(xiàn)基 板脫落等問題，但是真空吸附裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜具有不穩(wěn)定的因素，如吸嘴破損、真空不足 等會使基板與吸嘴之間相對滑動；此外，采用的真空吸盤會因吸嘴與基板的接觸而磨損基 板，或在基板上留下痕跡影響最終顯示透光效果，因此，對基板沒有很好的保護性能。特別在有機發(fā)光顯示器件的制造過程中，由于有機發(fā)光顯示器件的玻璃基板面積很大、厚度較 薄且基板上鍍覆的膜層較為復(fù)雜，因此有機發(fā)光顯示器件的玻璃基板如采用真空吸附方式 進行翻轉(zhuǎn)的話，不僅存在吸嘴與基板接觸而磨損基板，或在基板上留下痕跡而影響最終顯 示透光效果，而且還會造成基板變形、破損等。因此，急需一種改進型的基板翻轉(zhuǎn)裝置來克服上述缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能對基板進行全方位的夾持、傳送及翻轉(zhuǎn)且在基板的翻轉(zhuǎn)過程中能有效的保持基板的穩(wěn)定和防損傷的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，所述夾持式基板翻轉(zhuǎn) 裝置包括夾持驅(qū)動機構(gòu)、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)及基板夾持機構(gòu)。所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)包括第一驅(qū)動 機構(gòu)、蝸桿、空心傳動軸及渦輪，所述蝸桿設(shè)于所述第一驅(qū)動機構(gòu)上，所述渦輪固定于所述 空心傳動軸上并與所述蝸桿嚙合，所述空心傳動軸的一端的端面上開設(shè)有用于連接所述基 板夾持機構(gòu)的安裝孔，所述空心傳動軸呈中空結(jié)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)提供翻轉(zhuǎn)基板的動 力。所述夾持驅(qū)動機構(gòu)包括第二驅(qū)動機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)軸、安裝座及安裝塊，所述第二驅(qū)動機構(gòu)通 過所述安裝座固定于所述空心傳動軸的另一端，所述旋轉(zhuǎn)軸的一端固定于所述第二驅(qū)動機 構(gòu)上，所述旋轉(zhuǎn)軸的另一端穿過所述空心傳動軸并與所述安裝塊固定連接，所述夾持驅(qū)動 機構(gòu)提供夾緊或松開基板的動力。所述基板夾持機構(gòu)包括驅(qū)動連接機構(gòu)、夾緊機構(gòu)及固定 導(dǎo)向機構(gòu)所述驅(qū)動連接機構(gòu)包括凸輪，所述凸輪對稱開設(shè)有兩個弧形導(dǎo)槽，所述夾持驅(qū)動 機構(gòu)的安裝塊固定連接于所述凸輪上；所述夾緊機構(gòu)包括上、下壓板及至少一對壓條組，所 述壓條組包括上、下壓條，所述上、下壓板的相應(yīng)側(cè)面上各安裝有呈圓形的滾子從動件，所 述滾子從動件分別可滑動的安裝于所述凸輪的兩個弧形導(dǎo)槽內(nèi)，所述上壓板與所述下壓板 之間形成夾持區(qū)域，所述上壓條安裝于所述上壓板上且伸入所述夾持區(qū)域內(nèi)，所述下壓條 安裝于所述下壓板上且伸入所述夾持區(qū)域內(nèi)，并且所述上壓條與所述下壓條正對設(shè)置，基 板夾持于所述上壓條與所述下壓條之間，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述夾緊機構(gòu)夾緊或松開 基板；所述固定導(dǎo)向機構(gòu)包括導(dǎo)軌、滑塊及安裝板，所述安裝板設(shè)置于所述夾持區(qū)域外，所 述導(dǎo)軌與所述滑塊可滑動的卡合連接，并且所述導(dǎo)軌與所述滑塊連接于所述安裝板與所述 上壓板和下壓板之間，所述導(dǎo)軌與所述滑塊的滑動方向與所述上、下壓板垂直，所述固定導(dǎo) 向機構(gòu)固定所述上、下壓板并控制所述上、下壓板始終沿直線運動。較佳地，所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置對提供真空環(huán)境的真空腔室中的基板進行夾持 并翻轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述空心傳動軸之間且靠近所述安裝座端設(shè)有第一密封磁流件，所 述第一磁流體密封件隔斷所述夾持驅(qū)動機構(gòu)與所述真空腔室之間的氣流連通。較佳地，所述真空腔室的腔壁上開設(shè)有置入孔，所述空心傳動軸外套有法蘭座且 所述法蘭座固定安裝于所述安裝孔兩端的腔壁上，所述法蘭座呈中空結(jié)構(gòu)，所述空心傳動 軸的一端依次穿過所述法蘭座及所述置入孔，所述法蘭座與所述空心傳動軸之間設(shè)有第二 密封磁流件，所述第二磁流體密封件隔斷所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)與所述真空腔室之間的氣流連
ο較佳地，所述導(dǎo)軌包括第一上導(dǎo)軌及第一下導(dǎo)軌，所述第一上導(dǎo)軌與所述上壓板 固定連接，所述第一下導(dǎo)軌與所述下壓板固定連接，且所述第一下導(dǎo)軌與所述第一上導(dǎo)軌相互平行，所述滑塊包括與所述安裝板固定連接的第一上滑塊及第一下滑塊，所述第一上 滑塊與所述第一上導(dǎo)軌可滑動的卡合連接，所述一下滑塊與所述第一下導(dǎo)軌可滑動的卡合 連接。通過所述第一上導(dǎo)軌與所述第一上滑塊及所述第一下導(dǎo)軌與所述第一下滑塊的相對 滑動，可以帶動與所述第一上、下導(dǎo)軌固定連接的所述上、下壓板接近或者分開，從而使得 所述夾緊機構(gòu)對所述基板進行夾緊或松開操作。較佳地，所述導(dǎo)軌包括與所述安裝板固定連接的第二上導(dǎo)軌及第二下導(dǎo)軌，且所述第二上導(dǎo)軌及第二下導(dǎo)軌相互平行，所述滑塊包括第二上滑塊及第二下滑塊，所述第二 上滑塊與所述上壓板固定連接，所述第二下滑塊與所述下壓板固定連接，所述第二上滑塊 與所述第二上導(dǎo)軌可滑動的卡合連接，所述第二下滑塊與所述第二下導(dǎo)軌可滑動的卡合連 接。通過所述第二上導(dǎo)軌與所述第二上滑塊及所述第二下導(dǎo)軌與所述第二下滑塊的相對滑 動，可以帶動與所述第二上、下滑塊固定連接的所述上、下壓板接近或者分開，從而使得所 述夾緊機構(gòu)對所述基板進行夾緊或松開操作。較佳地，所述夾緊機構(gòu)還包括至少兩彈簧，兩所述彈簧分別抵觸連接于所述上壓 條和所述上壓板及所述下壓條和所述下壓板之間。較佳地，所述上、下壓板的表面上均開設(shè)有若干個空槽，且所述上、下壓板的所述 相應(yīng)側(cè)面均開設(shè)有凹槽，所述滾子從動件位于所述凹槽內(nèi)，所述空槽和凹槽的設(shè)計很大的 節(jié)約了所述上、下壓板的材料，有利于降低生產(chǎn)成本。較佳地，所述上、下壓條分別具有相互配合的凸臺和凹面。較佳地，所述第一驅(qū)動機構(gòu)和第二驅(qū)動機構(gòu)為伺服電機或氣缸式馬達(dá)?？蛇x地，所 述驅(qū)動機構(gòu)可以由人手驅(qū)動來代替。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置包括夾持驅(qū)動機構(gòu)、翻轉(zhuǎn)驅(qū) 動機構(gòu)和基板夾持機構(gòu)，所述基板夾持機構(gòu)包括驅(qū)動連接機構(gòu)、夾緊機構(gòu)和固定導(dǎo)向機構(gòu)， 所述夾緊機構(gòu)包括上、下壓條，所述上壓條安裝于所述上壓板上且伸入所述夾持區(qū)域內(nèi)及 所述下壓條安裝于所述下壓板上且伸入所述夾持區(qū)域內(nèi)，當(dāng)所述夾持驅(qū)動機構(gòu)的第二驅(qū)動 機構(gòu)帶動所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而帶動與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接的所述凸輪轉(zhuǎn)動時，分別安裝 在所述上、下壓板上的兩個滾子從動件根據(jù)所述凸輪的轉(zhuǎn)動而沿所述凸輪的兩個弧形導(dǎo)槽 的弧形軌跡面運動，同時帶動所述上壓板和上壓條通過所述上導(dǎo)軌在所述上滑塊中滑動及 帶動所述下壓板和下壓條通過所述下導(dǎo)軌在所述下滑塊中滑動，從而控制所述夾緊機構(gòu)的 上、下壓板接近或者分開，進而使得所述上壓板上的上壓條與所述下壓板上的下壓條對所 述基板進行夾緊或者松開操作；當(dāng)所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)的第一驅(qū)動機構(gòu)帶動所述蝸桿旋轉(zhuǎn)， 從而帶動所述渦輪與所述空心傳動軸旋轉(zhuǎn)時，與所述空心傳動軸固定連接的所述基板夾持 機構(gòu)也跟著旋轉(zhuǎn)。因此，所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置可實現(xiàn)對基板全方位的夾持、傳送和翻 轉(zhuǎn)，且在傳送和翻轉(zhuǎn)過程中能夠保持基板的穩(wěn)定；另，又由于所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置為 上、下兩層結(jié)構(gòu)，因此結(jié)構(gòu)較為簡單，且對所述基板具有較好的保護性能。


圖1是本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置中基板夾持機構(gòu)的立體圖。圖2是本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置中夾持驅(qū)動機構(gòu)和翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)的立體圖。圖3為圖1所示夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置中基板夾持機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4是圖3中A部分的放大圖。圖5是本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置的上、下壓條夾緊基板時的狀態(tài)示意圖。圖6是本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置中基板夾持機構(gòu)另一角度的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7是本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置一個具體實施例中基板夾持機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8是本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置另一個具體實施例中基板夾持機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9是本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置應(yīng)用于真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖10是本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置應(yīng)用于真空系統(tǒng)的截面圖。
具體實施例方式現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。參考圖1-3，本發(fā)明的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置1包括夾持驅(qū)動機構(gòu)、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)及 基板夾持機構(gòu)。所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)包括第一驅(qū)動機構(gòu)11、蝸桿12、空心傳動軸13及渦輪 14，所述蝸桿12設(shè)于所述第一驅(qū)動機構(gòu)11上，所述渦輪14固定于所述空心傳動軸13上并 與所述蝸桿12嚙合，所述空心傳動軸13的一端的端面上開設(shè)有用于連接所述基板夾持機 構(gòu)的安裝孔15，所述空心傳動軸13呈中空結(jié)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)提供翻轉(zhuǎn)基板100的動 力。所述夾持驅(qū)動機構(gòu)包括第二驅(qū)動機構(gòu)21、旋轉(zhuǎn)軸22、安裝座23及安裝塊24，所述第二 驅(qū)動機構(gòu)21通過所述安裝座23固定于所述空心傳動軸13的另一端，所述旋轉(zhuǎn)軸22的一 端固定于所述第二驅(qū)動機構(gòu)21上，所述旋轉(zhuǎn)軸22的另一端穿過所述空心傳動軸13并與所 述安裝塊24固定連接，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)提供夾緊或松開基板100的動力。所述基板夾持 機構(gòu)包括驅(qū)動連接機構(gòu)、夾緊機構(gòu)及固定導(dǎo)向機構(gòu)所述驅(qū)動連接機構(gòu)包括凸輪310，所述 凸輪310對稱開設(shè)有兩個弧形導(dǎo)槽311，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)的安裝塊24固定連接于所述凸 輪310上；所述夾緊機構(gòu)包括上、下壓板320a、320b及至少一對壓條組321，所述壓條組321 包括上、下壓條321a、321b，所述上、下壓板320a、320b的相應(yīng)側(cè)面上各安裝有呈圓形的滾 子從動件322a、322b，所述滾子從動件322a、322b分別可滑動的安裝于所述凸輪310的兩 個弧形導(dǎo)槽311內(nèi)，所述上壓板320a與所述下壓板320b之間形成夾持區(qū)域323，所述上壓 條321a安裝于所述上壓板320a上且伸入所述夾持區(qū)域323內(nèi)，所述下壓條321b安裝于所 述下壓板320b上且伸入所述夾持區(qū)域323內(nèi)，并且所述上壓條321a與所述下壓條321b正 對設(shè)置，所述基板100夾持于所述上壓條321a與所述下壓條321b之間，所述夾持驅(qū)動機構(gòu) 驅(qū)動所述夾緊機構(gòu)夾緊或松開所述基板100 ；所述固定導(dǎo)向機構(gòu)包括導(dǎo)軌330、滑塊331及 安裝板332，所述安裝板332設(shè)置于所述夾持區(qū)域323外，所述導(dǎo)軌330與所述滑塊331可 滑動的卡合連接，并且所述導(dǎo)軌330與所述滑塊331連接于所述安裝板332與所述上壓板 320a和下壓板320b之間，所述導(dǎo)軌330與所述滑塊331的滑動方向與所述上、下壓板320a、 320b垂直，所述固定導(dǎo)向機構(gòu)固定所述上、下壓板320a、320b并控制所述上、下壓板320a、 320b始終沿直線運動。具體地，所述第一驅(qū)動機構(gòu)11和第二驅(qū)動機構(gòu)21為伺服電機或者氣缸式馬達(dá)，可 選地，所述第一驅(qū)動機構(gòu)11和第二驅(qū)動機構(gòu)21也可由手動驅(qū)動代替。參考圖4，所述夾緊機構(gòu)還包括至少兩彈簧324a、324b，兩所述彈簧324a、324b分別抵觸連接于所述上壓條321a和所述上壓板320a及所述下壓條321b和所述下壓板320b 之間。具體地，所述彈簧324a、324b由分別穿過所述彈簧324a、324b的螺釘325a、325b固 定，通過調(diào)節(jié)所述螺釘325a、325b旋緊程度可控制所述彈簧324a、325b的阻尼以及所述上、 下壓板320a、320b間的夾緊力和夾緊行程。參考圖4-5，所述上、下壓條321a、321b分別具有相互配合的凸臺3211a、3211b和 凹面3212a、3212b。具體地，所述下壓條321b的凹面3211b用來承載所述基板100，當(dāng)所述 上、下壓條321a、321b相互接近時，所述上、下壓條的凸臺3211a、3211b和凹面3212a、3212b 相互配合，使所述基板100被夾持于所述上、下壓條的凹面3212a、3212b之間。參考圖6，所述上、下壓板320a、320b的表面上均開設(shè)有空槽3201，且所述上、下壓 板320a、320b的相應(yīng)側(cè)面均開設(shè)有凹槽3202a、3202b，所述滾子從動件322a、322b位于所 述凹槽3202a、3202b內(nèi)，可選地，所述空槽3201的大小和個數(shù)可根據(jù)所述上、下壓板320a、 320b的面積大小而定。所述空槽3201和凹槽3202a、3202b的設(shè)計大大的節(jié)約了所述上、下 壓板320a、320b的材料，有利于降低生產(chǎn)成本。參考圖7，在本發(fā)明的一個具體實施例中，所述導(dǎo)軌330包括第一上導(dǎo)軌330a及第 一下導(dǎo)軌330b，所述第一上導(dǎo)軌330a與所述上壓板320a固定連接，所述第一下導(dǎo)軌330b 與所述下壓板320b固定連接，且所述第一下導(dǎo)軌330b與所述第一上導(dǎo)軌330a相互平行， 所述滑塊331包括與所述安裝板332固定連接的第一上滑塊331a及第一下滑塊331b，所述 第一上滑塊331a與所述第一上導(dǎo)軌330a可滑動的卡合連接，所述一下滑塊331b與所述第 一下導(dǎo)軌330b可滑動的卡合連接。通過所述第一上導(dǎo)軌330a與所述第一上滑塊331a及 所述第一下導(dǎo)軌330b與所述第一下滑塊331b的相對滑動，可以帶動與所述第一上、下導(dǎo)軌 3303a、330b固定連接的所述上、下壓板320a、320b接近或者分開，從而使得所述夾緊機構(gòu) 對所述基板100進行夾緊或松開操作。參考圖8，在本發(fā)明的另一個具體實施例中，所述導(dǎo)軌330包括與所述安裝板332 固定連接的第二上導(dǎo)軌3300a及第二下導(dǎo)軌3300b，且所述第二上導(dǎo)軌3300a及第二下導(dǎo) 軌3300b相互平行，所述滑塊331包括第二上滑塊3310a及第二下滑塊3310b，所述第二上 滑塊3310a與所述上壓板320a固定連接，所述第二下滑塊3310b與所述下壓板320b固定 連接，所述第二上滑塊3310a與所述第二上導(dǎo)軌3300a可滑動的卡合連接，所述二下滑塊 3310b與所述第二下導(dǎo)軌3300b可滑動的卡合連接。顯而易見地，這種連接方式也能夠?qū)崿F(xiàn) 所述夾緊機構(gòu)對所述基板100進行夾緊或松開操作。參考圖9-10，在本發(fā)明的基板旋轉(zhuǎn)裝置1應(yīng)用于真空系統(tǒng)的一個具體實施例中，所述基板旋轉(zhuǎn)裝置1的基板夾持機構(gòu)置于真空腔室400中，所述真空腔室的腔壁401上開 設(shè)有一個置入孔(圖未示)，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)的第二驅(qū)動機構(gòu)21通過所述安裝座23和 安裝螺釘402固定在所述空心傳動軸13上；所述旋轉(zhuǎn)軸22的一端與所述第二驅(qū)動機構(gòu)21 固定連接，另一端穿過所述空心傳動軸13及所述腔壁401的置入孔，并通過所述安裝塊24 固定在處于所述真空腔室400內(nèi)的所述凸輪310上，所述旋轉(zhuǎn)軸22通過所述第二驅(qū)動機構(gòu) 21的驅(qū)動帶動所述凸輪310的旋轉(zhuǎn)而實現(xiàn)對所述基板100夾持；在所述空心傳動軸13與 所述旋轉(zhuǎn)軸22之間靠近所述安裝座23端設(shè)有第一磁流體密封件403，所述第一磁流體密封 件403用于隔斷所述夾持驅(qū)動機構(gòu)與所述真空腔室400之間的氣流連通；所述空心傳動軸 13與所述旋轉(zhuǎn)軸22之間且靠近所述置入孔端設(shè)有軸承410，所述軸承410用于保證所述旋轉(zhuǎn)軸22的傳動穩(wěn)定性。所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)的渦輪14固定于所述空心傳動軸13上，所述空 心傳動軸13依次穿過法蘭座404、所述腔壁401的置入孔并由置于所述法蘭座404內(nèi)部的 軸承(圖未示)固定；所述法蘭座404通過螺釘405固定在所述真空腔室的腔壁401上，所 述法蘭座404與所述腔壁401之間還裝有呈“O”型的密封圈(圖未示)，此外，所述法蘭座 404與所述空心傳動軸13之間裝有第二磁流體密封件406，所述第二磁流體密封件406用 于隔斷所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)與所述真空腔室400之間的氣流連通；所述空心傳動軸13的另一 端通過所述安裝孔15和螺釘151固定于一連接板407上，所述連接板407與所述基板夾持 機構(gòu)的安裝板332固定連接；通過所述第一驅(qū)動機構(gòu)11帶動所述蝸桿12轉(zhuǎn)動，繼而帶動所 述渦輪14和所述空心傳動軸13轉(zhuǎn)動，最終帶動所述基板夾持機構(gòu)的翻轉(zhuǎn)，實現(xiàn)對處于所述 基板夾持機構(gòu)內(nèi)部的基板100的翻轉(zhuǎn)。在所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置1工作的過程中，為了 保證整個過程的安全和穩(wěn)定，在所述夾持驅(qū)動機構(gòu)動作時，所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)保持靜止。
現(xiàn)結(jié)合圖1至圖7及圖9至圖10對本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置的工作原理和過 程作一下詳細(xì)的說明本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置處于初始狀態(tài)時，所述上、下壓板320a、320b為相互 分開狀態(tài)；當(dāng)所述夾持驅(qū)動機構(gòu)的第二驅(qū)動機構(gòu)21 (這里用伺服電機來實現(xiàn))帶動傳動軸 22及凸輪310逆時針方向旋轉(zhuǎn)時，分別固定在所述上、下壓板320a、320b上的兩個滾子從 動件322a、322b分別沿所述凸輪310的兩個弧形導(dǎo)槽311a、311b的弧形軌跡面下滑方向滾 動，同時帶動所述上壓板320a和上壓條321a通過所述第一上導(dǎo)軌330a在所述第一上滑塊 331a中滑動而往中間方向滑動，及帶動所述下壓板320b和下壓條321b通過所述第一下導(dǎo) 軌330b在所述第一下滑塊331b中滑動而往中間方向滑動，從而實現(xiàn)所述第一上、下壓條 321a、321b對所述基板100的夾緊功能；夾緊所述基板100后，在對所述基板100進行加工 處理的過程中，通過所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)的第一驅(qū)動機構(gòu)11 (這里用伺服電機來實現(xiàn))帶動 所述蝸桿12旋轉(zhuǎn)，從而帶動所述渦輪14和所述空心傳動軸13轉(zhuǎn)動，最終帶動所述基板夾 持機構(gòu)的翻轉(zhuǎn)，實現(xiàn)對處于所述基板夾持機構(gòu)內(nèi)部的基板100的翻轉(zhuǎn)；對所述基板100加工 處理完畢后，驅(qū)動第二驅(qū)動機構(gòu)21帶動旋轉(zhuǎn)軸22及凸輪310順時針方向旋轉(zhuǎn)，使分別固定 在所述上、下壓板320a、320b上的兩個滾子從動件322a、322b分別沿所述凸輪310的兩個 弧形導(dǎo)槽311a、311b的弧形軌跡面上滑方向滾動，同時帶動所述上壓板320a和上壓條321a 通過所述第一上導(dǎo)軌330a在所述第一上滑塊331a中滑動而往與中間相背的方向滑動，及 帶動所述下壓板320b和下壓條321b通過所述第一下導(dǎo)軌330b在所述第一下滑塊331b中 滑動而往與中間相背的方向滑動，從而實現(xiàn)所述第一上、下壓條321a、321b對所述基板100 的松開功能。同理，本發(fā)明夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置1的另一個具體實施例的工作原理也跟上述一 樣，由于上面已經(jīng)詳細(xì)描述過，這里不在闡述。由上可知，由于本發(fā)明的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置1包括夾持驅(qū)動機構(gòu)、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機 構(gòu)和基板夾持機構(gòu)，所述基板夾持機構(gòu)包括驅(qū)動連接機構(gòu)、夾緊機構(gòu)和固定導(dǎo)向機構(gòu)，所述 夾緊機構(gòu)包括上、下壓條321a、321b，所述上壓條321a安裝于所述上壓板320a上且伸入所 述夾持區(qū)域323內(nèi)及所述下壓條321b安裝于所述下壓板320b上且伸入所述夾持區(qū)域323 內(nèi)，當(dāng)所述夾持驅(qū)動機構(gòu)的第二驅(qū)動機構(gòu)21帶動所述旋轉(zhuǎn)軸22旋轉(zhuǎn)，從而帶動與所述旋 轉(zhuǎn)軸22固定連接的所述凸輪310轉(zhuǎn)動時，分別安裝在所述上、下壓板320a、320b上的兩個滾子從動件322a、322b根據(jù)所述凸輪310的轉(zhuǎn)動而沿所述凸輪310的兩個弧形導(dǎo)槽311a、 311b的弧形軌跡面運動，同時帶動所述上壓板320a和上壓條321a通過所述上導(dǎo)軌330a 在所述上滑塊331a中滑動及帶動所述下壓板320b和下壓條321b通過所述下導(dǎo)軌330b在 所述下滑塊331b中滑動，從而控制所述夾緊機構(gòu)的上、下壓板320a、320b接近或者分開，進 而使得所述上壓板320a上的上壓條321a與所述下壓板320b上的下壓條321b對所述基板 100進行夾緊或者松開操作；當(dāng)所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)的第一驅(qū)動機構(gòu)11帶動所述蝸桿12旋 轉(zhuǎn)，從而帶動所述渦輪14與所述空心傳動軸13旋轉(zhuǎn)時，與所述空心傳動軸13固定連接的 所述基板夾持機構(gòu)也跟著旋轉(zhuǎn)。因此，所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置1可實現(xiàn)對基板100全方 位的夾持、傳送和翻轉(zhuǎn)，且在傳送和翻轉(zhuǎn)過程中能夠保持基板100的穩(wěn)定；另，又由于所述 夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置1為上、下兩層結(jié)構(gòu)，因此結(jié)構(gòu)較為簡單，且對所述基板100具有較好 的保護性能。
以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，適用于對基板進行夾持并翻轉(zhuǎn)，其特征在于，所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置包括翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)包括第一驅(qū)動機構(gòu)、蝸桿、空心傳動軸及渦輪，所述蝸桿設(shè)于所述第一驅(qū)動機構(gòu)上，所述渦輪固定于所述空心傳動軸上并與所述蝸桿嚙合，所述空心傳動軸的一端的端面上開設(shè)有用于連接所述基板夾持機構(gòu)的安裝孔，所述空心傳動軸呈中空結(jié)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)提供翻轉(zhuǎn)基板的動力；夾持驅(qū)動機構(gòu)，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)包括第二驅(qū)動機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)軸、安裝座及安裝塊，所述第二驅(qū)動機構(gòu)通過所述安裝座固定于所述空心傳動軸的另一端，所述旋轉(zhuǎn)軸的一端固定于所述第二驅(qū)動機構(gòu)上，所述旋轉(zhuǎn)軸的另一端穿過所述空心傳動軸并與所述安裝塊固定連接，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)提供夾緊或松開基板的動力；基板夾持機構(gòu)，所述基板夾持機構(gòu)包括驅(qū)動連接機構(gòu)、夾緊機構(gòu)及固定導(dǎo)向機構(gòu)，所述驅(qū)動連接機構(gòu)包括凸輪，所述凸輪對稱開設(shè)有兩個弧形導(dǎo)槽，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)的安裝塊固定連接于所述凸輪上；所述夾緊機構(gòu)包括上、下壓板及至少一對壓條組，所述壓條組包括上、下壓條，所述上、下壓板的相應(yīng)側(cè)面上各安裝有呈圓形的滾子從動件，所述滾子從動件分別可滑動的安裝于所述凸輪的兩個弧形導(dǎo)槽內(nèi)，所述上壓板與所述下壓板之間形成夾持區(qū)域，所述上壓條安裝于所述上壓板上且伸入所述夾持區(qū)域內(nèi)，所述下壓條安裝于所述下壓板上且伸入所述夾持區(qū)域內(nèi)，并且所述上壓條與所述下壓條正對設(shè)置，基板夾持于所述上壓條與所述下壓條之間，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述夾緊機構(gòu)夾緊或松開基板；所述固定導(dǎo)向機構(gòu)包括導(dǎo)軌、滑塊及安裝板，所述安裝板設(shè)置于所述夾持區(qū)域外，所述導(dǎo)軌與所述滑塊可滑動的卡合連接，并且所述導(dǎo)軌與所述滑塊連接于所述安裝板與所述上壓板和下壓板之間，所述導(dǎo)軌與所述滑塊的滑動方向與所述上、下壓板垂直，所述固定導(dǎo)向機構(gòu)固定所述上、下壓板并控制所述上、下壓板始終沿直線運動。
2.如權(quán)利要求1所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置 對提供真空環(huán)境的真空腔室中的基板進行夾持并翻轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述空心傳動軸之間 且靠近所述安裝座端設(shè)有第一密封磁流件，所述第一磁流體密封件隔斷所述夾持驅(qū)動機構(gòu) 與所述真空腔室之間的氣流連通。
3.如權(quán)利要求2所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述真空腔室的腔壁上開 設(shè)有置入孔，所述空心傳動軸外套有法蘭座且所述法蘭座固定安裝于所述安裝孔兩端的腔 壁上，所述法蘭座呈中空結(jié)構(gòu)，所述空心傳動軸的一端依次穿過所述法蘭座及所述置入孔， 所述法蘭座與所述空心傳動軸之間設(shè)有第二密封磁流件，所述第二磁流體密封件隔斷所述 翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)與所述真空腔室之間的氣流連通。
4.如權(quán)利要求1所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌包括第一上導(dǎo)軌 及第一下導(dǎo)軌，所述第一上導(dǎo)軌與所述上壓板固定連接，所述第一下導(dǎo)軌與所述下壓板固 定連接，且所述第一下導(dǎo)軌與所述第一上導(dǎo)軌相互平行，所述滑塊包括與所述安裝板固定 連接的第一上滑塊及第一下滑塊，所述第一上滑塊與所述第一上導(dǎo)軌可滑動的卡合連接， 所述一下滑塊與所述第一下導(dǎo)軌可滑動的卡合連接。
5.如權(quán)利要求1所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌包括與所述安裝 板固定連接的第二上導(dǎo)軌及第二下導(dǎo)軌，且所述第二上導(dǎo)軌及第二下導(dǎo)軌相互平行，所述滑塊包括第二上滑塊及第二下滑塊，所述第二上滑塊與所述上壓板固定連接，所述第二下 滑塊與所述下壓板固定連接，所述第二上滑塊與所述第二上導(dǎo)軌可滑動的卡合連接，所述 第二下滑塊與所述第二下導(dǎo)軌可滑動的卡合連接。
6.如權(quán)利要求1所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述夾緊機構(gòu)還包括至少 兩彈簧，兩所述彈簧分別抵觸連接于所述上壓條和所述上壓板及所述下壓條和所述下壓板 之間。
7.如權(quán)利要求1所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述上、下壓板的表面上均 開設(shè)有若干個空槽，且所述上、下壓板的所述相應(yīng)側(cè)面均開設(shè)有凹槽，所述滾子從動件位于 所述凹槽內(nèi)。
8.如權(quán)利要求1所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述上、下壓條分別具有相 互配合的凸臺和凹面。
9.如權(quán)利要求1所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動機構(gòu)為伺服 電機或氣缸式馬達(dá)。
10.如權(quán)利要求1所述的夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動機構(gòu)為伺服 電機或氣缸式馬達(dá)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置，所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置包括夾持驅(qū)動機構(gòu)、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)及基板夾持機構(gòu)，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)和所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)分別與所述基板夾持機構(gòu)連接，所述基板夾持機構(gòu)具有夾緊和松開基板的結(jié)構(gòu)，所述夾持驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動所述基板夾持機構(gòu)對放置于所述基板夾持機構(gòu)中的基板進行夾緊和松開操作，所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動所述基板夾持機構(gòu)翻轉(zhuǎn)運動，從而使放置于所述基板夾持機構(gòu)中的基板翻轉(zhuǎn)運動。因此，所述夾持式基板翻轉(zhuǎn)裝置可實現(xiàn)對基板的全方位的夾持、傳送和翻轉(zhuǎn)，并在基板的翻轉(zhuǎn)過程中能夠保持基板的穩(wěn)定，且結(jié)構(gòu)簡單、對基板的保護性能好。
文檔編號H01L51/56GK101814586SQ200910246910
公開日2010年8月25日 申請日期2009年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月1日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 雷振宇 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司