專利名稱：電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備及制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備和制造方法，更具體地，涉及一種以母基板為單位粘附FPL膜和保護膜從而使整個制造流水線自動化的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備以及制造方法。
背景技術(shù)：
通常，電泳顯示設(shè)備是利用下述現(xiàn)象的圖像顯示設(shè)備，所述現(xiàn)象即為在施加有電壓的一對電極浸入到膠體溶液中時膠體微粒移動到任一極性電極的現(xiàn)象。不使用背光但是具有諸如寬視角、高反射率、低功耗等等這些特征的電泳顯示設(shè)備因此被廣泛地用作諸如電子紙張這樣的電子設(shè)備。 電泳顯示設(shè)備具有其中電子墨水層介于兩個基板之間這樣的結(jié)構(gòu)，并且這兩個基板中的至少一個是由透明基板制成的并且另一基板設(shè)置有反射板以在入射光被反射的反射模式下顯示圖像。 圖1是用于對典型的電泳顯示設(shè)備進行說明的橫截面視圖。實際上，在電泳顯示設(shè)備中排列有由縱向、橫向排列的多條柵極線和數(shù)據(jù)線所限定并用于接收來自外部的信號的多個像素，但是在該圖中，為了便于說明僅示出了一個像素。 如在圖1中所例示的，電泳顯示設(shè)備1包括第一基板20和第二基板30，并且第一基板20是由玻璃等構(gòu)成的基板，并且第二基板是由諸如柔性PET這樣的透明片構(gòu)成的。
在第一基板20上形成薄膜晶體管和像素電極18，并且通過薄膜晶體管將來自外部的信號施加到像素電極18上。薄膜晶體管包括形成于第一基板20上的柵極10、形成在整個第一基板20上并形成有柵極10的柵極絕緣基板22、形成于柵極絕緣基板22上的半導(dǎo)體層12、以及形成于半導(dǎo)體層12上的源極14和漏極15。在薄膜晶體管上，也即在源極14和漏極15上，形成保護層2。 在保護層24上形成像素電極18，并且像素電極18通過形成于保護層24上的接觸孔與薄膜晶體管的漏極15電連接。 在第二基板30上形成由透明導(dǎo)電材料構(gòu)成的公共電極32和電子墨水層40。電子墨水層40是膜狀，其中散布有在聚合物粘合劑中充滿電子墨水的多個囊體42，并且散布在囊體42中的電子墨水是由白色微粒(或白墨)44和黑色微粒(或黑墨)46組成的。此時，白色微粒44和黑色微粒46分別具有正、負(fù)電荷的特性。換句話說，白色微粒44是帶正電的，并且黑色微粒46是帶負(fù)電的。 公共電極32與第一基板20的像素電極18相面對，并且如果將信號施加到像素電極18上，那么與像素電極18相協(xié)作形成電場以將電場施加到電子墨水層40上。結(jié)果，囊體42中的白色微粒44和黑色微粒46在電場的作用下移動以便顯示圖像。
此外，形成允許施加來自外部的公共信號的公共線26，并且在公共線26上配備與第二基板30的公共電極32相接觸的Ag點部分，以將通過公共線26輸入的公共信號施加到第二基板30的公共電極32。
將具有上述構(gòu)造的第二基板30粘附到第一基板20并且在第一基板20與第二基板30之間提供密封材料29，從而完成電泳顯示設(shè)備1。如上所述，將保護膜36粘附到粘附有第一基板20的第二基板30上，從而防止產(chǎn)生水滲透到電子墨水層40中這樣的缺點。
圖2是用于對根據(jù)相關(guān)技術(shù)的制造電泳顯示設(shè)備的方法進行說明的流程圖，下面將參照附圖對相關(guān)技術(shù)中的制造電泳顯示設(shè)備的方法進行描述。 如圖2所示，首先，在TFT陣列處理中，在形成于母基板上的多個面板區(qū)域的每一個上形成多個薄膜晶體管以及各種布線和電極(請參見步驟S101)。此時，薄膜晶體管以及各種布線和電極是通過典型的光刻工藝形成的。 通過切割設(shè)備對應(yīng)于多個面板區(qū)域切割如上所述的在多個面板區(qū)域上形成有諸如薄膜晶體管(T)這樣的各種元件的母基板，以將其劃分成多個顯示面板(請參見步驟S102)。此后，在所劃分的顯示面板的每一個中的公共線上點上銀點(請參見步驟S103)。
另一方面，在電子墨水層形成流水線裝置中，將透明導(dǎo)電材料層疊在與形成于母基板上的多個面板區(qū)域的數(shù)量相對應(yīng)的多個透明片上以形成公共電極，此后將電子墨水膜粘附到公共電極上以形成前面板層疊(FPL)膜(請參見步驟S104和S105)。
將如上所述的粘附有電子墨水膜的FPL膜粘附到所劃分的顯示面板的每一個上，并且將保護膜粘附到FPL膜上，此后對密封材料進行涂敷并且使密封材料固化以密封FPL膜和保護膜，從而完成電泳顯示設(shè)備(請參見步驟S106和S107)。
然而，上述電泳顯示設(shè)備具有如下問題。 薄膜晶體管形成于形成有多個面板的大型玻璃或大型金屬板上，而電子墨水層40形成于第二基板上，即形成在面板單元中所形成的透明片30上。 因此，根據(jù)相關(guān)技術(shù)的電泳顯示設(shè)備，當(dāng)將第二基板30粘附到第一基板20上時，將母基板劃分成顯示面板單元，此后應(yīng)在所劃分的顯示面板的每一個上將第二基板30和保護膜36粘附到第一基板20。因此，將在切割處理中所切割的多個第一基板20存儲在存放位置，此后應(yīng)將第二基板30和保護膜36粘附到所劃分的第一基板20的每一個。然而，因為無法實現(xiàn)自動化，因此這種過程需要操作者手動地執(zhí)行。其結(jié)果是，在相關(guān)技術(shù)的制造電泳顯示設(shè)備的方法中，存在無法使整個制造處理自動化這樣的問題，因為不能夠?qū)崿F(xiàn)存儲從母基板切割的多個第一基板20以及對所存儲的第一基板20的每一個執(zhí)行后續(xù)處理的過程的自動化。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題提出了本發(fā)明，因此本發(fā)明的目的是提供一種以母基板為單位來粘附透明膜和保護膜以從而使其整個制造流水線自動化的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備以及制造方法。 為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備可包括薄膜晶體管陣列流水線裝置，用于在形成有多個面板區(qū)域的母基板上形成薄膜晶體管；電子墨水流水線裝置，用于在透明片上形成公共電極并且粘附電子墨水膜以形成前面板層疊(FPL)膜；粘附流水線裝置，用于通過分別從薄膜晶體管陣列流水線裝置和電子墨水流水線裝置加載母基板和FPL膜而將FPL膜粘附到形成于母基板上的多個面板區(qū)域；以及保護膜粘附流水線裝置，用于通過從粘附流水線裝置加載粘附有FPL膜的母基板而將保護膜粘附到多個面板區(qū)域，其中多個面板區(qū)域在母基板上排列成M列和N行(M和N均大于或等于2)的矩陣，并且提供N或M個機械手以便以列或行為單位將多個FPL膜和保護膜粘附到形成于母基板上的多個面板區(qū)域。 粘附流水線裝置可包括粘附臺，該粘附臺加載有母基板；至少一個照相機，所述至少一個照相機位于粘附臺的上部以使母基板與FPL膜對準(zhǔn)；以及至少一個機械手，用于將FPL膜加載到粘附于粘附臺的母基板上。 此外，根據(jù)本發(fā)明的電泳顯示設(shè)備的制造方法可包括如下步驟在形成有多個面板區(qū)域的母基板上形成薄膜晶體管；在透明片上形成公共電極并且粘附電子墨水膜以形成前面板層疊(FPL)膜；將FPL膜粘附到形成于母基板上的多個面板區(qū)域；以及將保護膜粘附到母基板上的粘附有FPL膜的多個面板區(qū)域的每一個上，其中多個面板區(qū)域在母基板上排列成M列和N行(M和N均大于或等于2)的矩陣以便以列或行為單位粘附多個FPL膜和保護膜。 根據(jù)本發(fā)明，以母基板為單位執(zhí)行FPL膜和保護膜的粘附以使整個制造流水線自動化，從而降低制造成本并且顯著地減少制造時間。另外，還可消除操作者的人工作業(yè)，從而使其缺陷最小化。


附圖并入本申請中構(gòu)成本申請的一部分，用以對本發(fā)明提供進一步的理解。附解了本發(fā)明的實施方式并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。在附圖中 圖1是用于對典型的電泳顯示設(shè)備進行說明的橫截面視圖； 圖2是用于對根據(jù)相關(guān)技術(shù)的制造電泳顯示設(shè)備的方法進行說明的流程圖； 圖3是用于對根據(jù)本發(fā)明的電泳顯示設(shè)備的制造方法進行說明的流程圖； 圖4是用于對其中通過薄膜晶體管陣列處理形成有多個薄膜晶體管的母基板進
行說明的視圖； 圖5是示意性地對根據(jù)本發(fā)明的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備進行說明的框圖；以及 圖6是根據(jù)本發(fā)明的透明片粘附臺的視圖。
具體實施例方式
下面參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的電泳顯示設(shè)備進行詳細(xì)的描述。
圖3是用于對根據(jù)本發(fā)明的電泳顯示設(shè)備的制造方法進行說明的流程圖。 如在圖3中所例示的，首先，在TFT陣列處理中，在形成于由金屬所制成的母基
板上的多個面板區(qū)域的每一個中形成多個薄膜晶體管以及各種布線和電極(請參見步驟
S201)。此時，透明玻璃基板或金屬板可用作母基板。在使用金屬板的情況下，金屬板自身
的性質(zhì)具有柔韌性，因此可制造柔性的電泳顯示設(shè)備。 在圖4中，公開了通過TFT陣列處理在母基板的每個面板區(qū)域101中形成有多個薄膜晶體管等這樣的結(jié)構(gòu)。盡管在附圖中在母基板100中形成了兩列面板區(qū)域IOI，但是根據(jù)本發(fā)明的母基板100的結(jié)構(gòu)并不限于此。三列或更多面板區(qū)域101可排列在本發(fā)明的母基板100中，并且這種面板區(qū)域101的數(shù)目不受到限制。換句話說，一個或多個面板區(qū)域101可在母基板100上在列或行方向上排列成矩陣形式。 如在圖4中所例示的，顯示面板可通過TFT陣列處理在多個面板區(qū)域101的每一個中形成。每個面板區(qū)域101形成有形成多個像素以實現(xiàn)實際圖像的顯示區(qū)域102、與外部驅(qū)動元件相連以將信號施加到顯示區(qū)域102的襯墊層108、以及用于輸入來自外部的公共信號的公共線126。顯示區(qū)域102形成有縱橫排列的用于限定多個像素的多條柵極線103和數(shù)據(jù)線105、布置在每個像素上并且與柵極線103和數(shù)據(jù)線105相連的薄膜晶體管(T)、以及布置在每個像素上的像素電極118。 雖然附圖中未示出，薄膜晶體管(T)可包括形成在母基板100上的柵極、形成于柵極上的柵極絕緣層、形成于柵極絕緣層上的半導(dǎo)體層、以及形成于半導(dǎo)體層上的源極和漏極。此時，柵極線103是由與薄膜晶體管(T)的柵極的形成相同的工藝形成的，并且數(shù)據(jù)線105是由與薄膜晶體管(T)的源極和漏極的形成相同的工藝形成的。像素電極118與薄膜晶體管的漏極相連，將通過薄膜晶體管輸入的信號施加到像素電極118。此外，公共線126和襯墊層108是由與薄膜晶體管的柵極或源極的形成相同的工藝形成的。
如上所述，在第一母基板(其中在多個多個面板區(qū)域中形成有多個薄膜晶體管以及各種布線和電極)上的每個面板區(qū)域中的公共線126上點上銀(Ag)點(請參見步驟S202)。 另一方面，在電子墨水流水線裝置中，將透明導(dǎo)電材料層疊在PET和透明片上以形成公共電極，然后將電子墨水膜粘附到公共電極上以形成前平面層疊(FPL)膜(請參見步驟S203)。隨后，分別將由透明片制成的多個FPL膜以及粘附到透明片上的電子墨水膜粘附到形成于母基板上的相應(yīng)面板區(qū)域(請參見步驟S204)。此時，F(xiàn)PL膜設(shè)置有粘附層，因此FPL膜通過粘附層粘附到母基板的面板區(qū)域。 隨后，將多個保護膜分別粘附到粘附有FPL膜的母基板的多個面板區(qū)域，然后通過切割設(shè)備切割母基板并且將其劃分成多個顯示面板，從而完成電泳顯示設(shè)備(請參見步驟S205和S206)。 如上所述，根據(jù)本發(fā)明，以母基板為單位執(zhí)行從形成薄膜晶體管到粘附FPL膜和保護膜的所有處理并且在粘附保護膜之后執(zhí)行母基板的切割，因此，在切割母基板之后無需執(zhí)行特定單獨處理的情況下完成各單獨的電泳顯示面板，從而使從薄膜晶體管陣列處理至切割處理的多個處理自動化。 圖5是用于對實現(xiàn)如圖3中所說明的制造方法的、根據(jù)本發(fā)明的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備進行說明的視圖，并且在該圖中例示了自動化的且集成的制造流水線設(shè)備。換句話說，圖5中所例示的制造流水線設(shè)備在所有制造處理期間都不需要操作者的手動作業(yè)。 如在圖5中所例示的，電泳顯示設(shè)備160的制造流水線設(shè)備可包括清洗流水線裝置161，用于通過輸入來自TFT陣列流水線裝置的母基板清洗在多個面板區(qū)域的每一個上形成有多個薄膜晶體管和像素電極等的母基板；粘附流水線裝置162，用于通過加載來自清洗流水線裝置161的已清洗的母基板并且加載來自電子墨水流水線裝置的在透明片上形成有公共電極且粘附有電子墨水膜的FPL膜，將多個FPL膜粘附到形成于母基板上的面板區(qū)域；保護膜粘附流水線裝置164，用于將保護膜粘附到粘附有從粘附流水線裝置162輸入的多個FPL膜的母基板中的多個面板區(qū)域的多個FPL膜上；以及切割流水線裝置166，用于切割粘附有保護膜的母基板并且將其劃分成多個單元面板，從而完成電泳顯示設(shè)備。
雖然圖中未示出，但是在每個處理流水線裝置中在基本上不同的環(huán)境中執(zhí)行不同 處理。因此，在每個處理流水線裝置之間需要用于傳送作為處理對象的母基板100的傳送 裝置，并且在本發(fā)明中可使用傳送帶作為傳送裝置。傳送帶通過將從先前處理流水線裝置 卸載的母基板100傳送到后續(xù)處理流水線裝置來加載母基板100。這種傳送帶與制造流水 線設(shè)備鏈接，從而可使得處理連續(xù)地進行。 此外，雖然附圖中未示出，但是分別在預(yù)設(shè)時間存儲母基板100和FPL膜，從而使 每個處理流水線裝置之間同步并且使母基板100與FPL膜同步。 在清洗流水線裝置161中清洗已經(jīng)通過了 TFT處理流水線裝置的母基板100。在 TFT陣列流水線裝置中，通過利用光致抗蝕劑進行光刻處理來蝕刻金屬層和絕緣層，從而形 成薄膜晶體管、各種布線等等。因此，諸如光致抗蝕劑的渣滓、蝕刻的金屬的渣滓、蝕刻的絕 緣層的渣滓等等這樣的雜質(zhì)留在通過了 TFT陣列流水線裝置的母基板100上。這些雜質(zhì)在 清洗流水線裝置161中被除去。母基板100使用諸如去離子水或空氣這樣的清洗液。此時， 在使用去離子水的情況下，通過將去離子水散布在母基板100上可除去留在母基板100上 的雜質(zhì)。另外，在清洗流水線裝置161中設(shè)置風(fēng)扇加熱器以使清洗了母基板100的去離子 水蒸發(fā)，從而防止?jié)駳饬粼谀富迳稀?在使用空氣的情況下，通過將空氣吹到母基板100上可除去留在母基板100上的 雜質(zhì)。 在TFT陣列流水線裝置中在多個面板區(qū)域上形成薄膜晶體管以及各種布線，并且 在粘附流水線裝置162中分別從清洗流水線裝置161和電子墨水流水線裝置加載形成有上 述構(gòu)造的已清洗的母基板和FPL膜。 圖6是在粘附流水線裝置中所提供的粘附臺180的視圖。如在圖6中所例示的， 將形成有多個面板區(qū)域101的母基板100加載到粘附臺180上。此時，雖然圖中未示出，但 是在待加載有母基板100的區(qū)域中形成了與外部真空設(shè)備(未示出)相連的多個吸附孔以 便吸附作為待加載母基板100的母基板，從而將母基板100固定到粘附臺180上。
此外，在粘附臺180的上部提供了照相機190。照相機190按照使FPL膜130總 是粘附在面板區(qū)域101的預(yù)定位置的方式使母基板100的面板區(qū)域101與粘附到面板區(qū)域 101的FPL膜130對準(zhǔn)。雖然圖中未示出，但是為了對準(zhǔn)，在母基板100上形成對準(zhǔn)標(biāo)記。
可排列一個或多個照相機190。在提供多個照相機190的情況下，可提供對應(yīng)于母 基板100上形成的多個面板區(qū)域101的數(shù)量的照相機190，以使所有面板區(qū)域101與相應(yīng) FPL膜130對準(zhǔn)；或者可提供對應(yīng)于面板區(qū)域101的列數(shù)或行數(shù)的照相機190，以使面板區(qū) 域101的每列或每行與相應(yīng)FPL膜130對準(zhǔn)。此外，在布置有一個照相機190的情況下，以 母基板為單位在面板區(qū)域上對準(zhǔn)照相機190。換句話說，通過一個照相機190對準(zhǔn)多個面板 區(qū)域。 如果將母基板100加載并固定到具有上述配置的粘附臺180上，那么將粘附到電 子墨水膜上的FPL膜130加載到粘附臺180。通過機械手182將FPL膜130加載到母基板 100的相應(yīng)面板區(qū)域101上，然后將FPL膜130放置到通過照相機190所對準(zhǔn)的面板區(qū)域 101上并且之后將其粘附到面板區(qū)域101。 如在圖6中所例示的，母基板IOO排列有NXM個面板區(qū)域IOI(M和N均大于或等于2)。提供了與面板區(qū)域101的總數(shù)即NXM相對應(yīng)的機械手182，因此相應(yīng)FPL膜130可 同時粘附到所有的面板區(qū)域101。然而為了降低成本或提高處理有效性，優(yōu)選地設(shè)置N或M 個機械手182以便以列或行為單位同時將FPL膜130粘附到相應(yīng)面板區(qū)域101。
另一方面，布置在面板區(qū)域101的公共線上的Ag點可在TFT陣列流水線裝置中形 成，或者可在粘附臺180中形成。典型地，通過諸如傳送帶這樣的傳送裝置將通過了 TFT陣 列流水線裝置的母基板傳送到粘附流水線裝置。因此，在傳送處理期間可能有雜質(zhì)等留在 母基板上。在這種雜質(zhì)留在Ag點上的情況下，將阻礙第一基板與第二基板之間的電連接， 從而引起故障。 其結(jié)果是，當(dāng)在粘附臺180上實現(xiàn)了 Ag點時，因為預(yù)先通過清洗流水線裝置161 對母基板100進行了清洗，可抑制上述雜質(zhì)。此外，通過提供于粘附臺180上的照相機190 對Ag點區(qū)域進行對準(zhǔn)以形成Ag點，從而抑制Ag點出故障。 在這里，在將FPL膜130粘附到面板區(qū)域101之前，實施在粘附臺180上Ag點的 形成。 雖然在附圖中未示出，在保護膜粘附流水線裝置164中還提供了諸如FPL膜粘附 臺180這樣的保護膜粘附臺。保護膜粘附臺與FPL膜粘附臺180相類似地配置，由此通過 使用機械手以列或行為單位將多個保護膜粘附到母基板100的排列成NXM矩陣的面板區(qū) 域101上(當(dāng)然，可以單獨粘附，也可以同時粘附)。此時，還通過諸如傳送帶這樣的傳送裝 置將粘附有FPL膜的母基板IOO從粘附流水線裝置162傳送到保護膜粘附流水線裝置164， 然后將其加載到保護膜粘附臺。 此外，如圖6中所例示的，可將保護膜粘附到粘附臺180上。換句話說，在完成將 FPL膜130粘附到粘附臺180上之后，通過機械手加載保護膜來粘附保護膜以便將保護膜放 置到母基板100的面板區(qū)域101上。 按照這種方式，將FPL膜130和保護膜粘附到粘附臺180上，因此不需具有額外的
保護膜粘附臺、照相機等等，從而降低了制造成本并且使制造流水線裝置簡單化。 在切割流水線裝置166中，以面板區(qū)域101為單位來切割母基板100并且將其劃
分成多個單元顯示面板。此時，在切割流水線裝置166中提供了切割輪并且形成預(yù)定切割
線，然后通過壓桿施加壓力以便對預(yù)定切割線進行劃分。此外，可使用激光器來熔化母基板
100以切割母基板100。 對于如上所述的劃分的單元顯示面板而言，通過除氣設(shè)備除去包含在電子墨水膜 或保護膜之內(nèi)的氣泡，然后通過諸如目測檢查或照明檢查這樣的各種檢查來檢查是否在單 元顯示面板中發(fā)現(xiàn)任何疵點。如果在上述檢查中沒有發(fā)現(xiàn)疵點，那么在其外壁區(qū)域上涂敷 密封材料，然后將密封材料暴露于固化臺上的熱量或光中以便使密封材料固化。隨后，密封 顯示面板并且使其容納在其下殼或上殼中，從而完成電泳顯示設(shè)備。 如上所述，以母基板為單位執(zhí)行諸如形成薄膜晶體管和各種布線、粘附FPL膜、以 及粘附保護膜這樣的處理，因為FPL膜和保護膜粘附到形成于母基板上的多個面板區(qū)域 上。在相關(guān)技術(shù)的先對母基板進行切割然后將FPL膜和保護膜粘附到所劃分的電泳顯示設(shè) 備上的制造電泳顯示設(shè)備的方法中，在母基板上執(zhí)行薄膜晶體管陣列處理，然后應(yīng)當(dāng)分別 對多個所劃分的顯示面板執(zhí)行后續(xù)處理，因此，應(yīng)當(dāng)在將顯示面板中的一些傳送到后續(xù)處 理的同時存儲其他的多個劃分的顯示面板，從而不可能使整個流水線自動化。相反地，根據(jù)
9本發(fā)明，以母基板為單位執(zhí)行整個處理，因此，如果完成了一個處理，那么通過諸如傳送帶 這樣的傳送裝置將相關(guān)母基板傳送到后續(xù)處理流水線裝置以執(zhí)行相關(guān)處理，從而可使整個 流水線自動化。其結(jié)果是，根據(jù)本發(fā)明，由于自動化可快速地執(zhí)行處理，并且因此可由最少 數(shù)目的人員管理所述處理。 另一方面，雖然以上述特定的結(jié)構(gòu)描述了粘附臺或電泳顯示設(shè)備，但是根據(jù)本發(fā) 明的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備及制造方法并不局限于這種特定結(jié)構(gòu)。例如，本發(fā)明 還可適用于具有用于實現(xiàn)彩色的濾色器的電泳顯示設(shè)備、具有單獨反射板的電泳顯示設(shè)備 等等。此外，還可適用于各種類型的粘附臺。換句話說，本發(fā)明并不局限于具有特定結(jié)構(gòu)的 制造流水線設(shè)備，而是可適用于以母基板為單位執(zhí)行處理以使其整個制造流水線自動化的 所有制造流水線設(shè)備或制造方法。 雖然已經(jīng)如上所述對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行了描述，但是所屬領(lǐng)域普通技術(shù) 人員應(yīng)當(dāng)理解，對本發(fā)明作出的各種修改以及等效的其他實施方式皆落入本發(fā)明的范圍。
因此，應(yīng)該注意的是本發(fā)明的范圍不應(yīng)局限于這些具體實施方式
，在不脫離本發(fā) 明的精神并且在所附權(quán)利要求的范圍之內(nèi)所作出的各種修改和改進也包含在本發(fā)明的范 圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備，包括薄膜晶體管陣列流水線裝置，用于在具有多個面板區(qū)域的母基板上形成薄膜晶體管；電子墨水流水線裝置，用于在透明片上形成公共電極并且將電子墨水膜粘附到該公共電極以形成前面板層疊(FPL)膜；粘附流水線裝置，用于通過分別從所述薄膜晶體管陣列流水線裝置和電子墨水流水線裝置加載母基板和FPL膜而將所述FPL膜粘附到所述母基板上的多個面板區(qū)域；以及保護膜粘附流水線裝置，用于通過從所述粘附流水線裝置加載粘附有FPL膜的母基板而將保護膜粘附到所述多個面板區(qū)域，其中所述多個面板區(qū)域在該母基板上排列成M列和N行的矩陣，并且提供N或M個機械手以便以列或行為單位將多個FPL膜和保護膜粘附到形成于該母基板上的所述多個面板區(qū)域，其中M和N均大于或等于2。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備，其中所述粘附流水線裝置 包括粘附臺，在該粘附臺上加載母基板；至少一個照相機，所述至少一個照相機位于所述粘附臺的上部以使該母基板與FPL膜 對準(zhǔn)；以及至少一個機械手，用于將FPL膜加載到粘附于該粘附臺的母基板上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備，其中所述保護膜粘附流水 線裝置包括粘附臺，在該粘附臺上加載母基板；至少一個照相機，所述至少一個照相機位于該粘附臺的上部以使該母基板與FPL膜對 準(zhǔn)；以及至少一個機械手，用于將FPL膜加載到粘附于粘附臺的母基板上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備，其中在該粘附臺上將該保 護膜粘附到母基板上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備，其中提供N或M個照相機 以執(zhí)行對形成于母基板上的多個面板區(qū)域的對準(zhǔn)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備，還包括傳送帶，該傳送帶布置在每個處理流水線裝置之間以將母基板傳送到后續(xù)的處理流水 線裝置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備，還包括緩沖器，該緩沖器布置在每個處理流水線裝置之間以使一處理流水線裝置與后續(xù)的處 理流水線裝置同步。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備，還包括切割流水線裝置，用于切割從所述保護膜粘附流水線裝置加載的母基板并且將該母基板劃分成電泳顯示面板單元。
9. 一種電泳顯示設(shè)備的制造方法，包括如下步驟 在具有多個面板區(qū)域的母基板上形成薄膜晶體管；在透明片上形成公共電極并且將電子墨水膜粘附到該公共電極上以形成前面板層疊(FPL)膜;將FPL膜粘附到形成于母基板上的所述多個面板區(qū)域的每一個；以及將保護膜粘附到該母基板上的粘附有該FPL膜的所述多個面板區(qū)域的每一個，其中所述多個面板區(qū)域在該母基板上排列成M列和N行的矩陣以便以列或行為單位粘附多個FPL膜和保護膜，其中M和N均大于或等于2。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的電泳顯示設(shè)備的制造方法，還包括如下步驟對形成有所述薄膜晶體管的母基板進行清洗；以及除去粘附有保護膜的母基板中的氣泡。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的電泳顯示設(shè)備的制造方法，還包括如下步驟在粘附透明片之前在該母基板的所述多個面板區(qū)域的每一個中形成Ag點。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的電泳顯示設(shè)備的制造方法，還包括如下步驟對所劃分的電泳顯示設(shè)備進行檢查；在所劃分的電泳顯示設(shè)備上涂敷密封材料；以及使所劃分的電泳顯示設(shè)備上的密封材料固化。
全文摘要
本發(fā)明提供電泳顯示設(shè)備的制造流水線設(shè)備及制造方法。該方法包括在具有多個面板區(qū)域的母基板上形成薄膜晶體管；在透明片上形成公共電極并且將電子墨水膜粘附到該公共電極上以形成前面板層疊(FPL)膜；將FPL膜粘附到形成于母基板上的所述多個面板區(qū)域的每一個；以及將保護膜粘附到該母基板上的粘附有該FPL膜的所述多個面板區(qū)域的每一個，其中所述多個面板區(qū)域在該母基板上排列成M列和N行的矩陣以便以列或行為單位粘附多個FPL膜和保護膜，其中M和N均大于或等于2。在粘附FRL膜和保護膜之后可以執(zhí)行母基板的切割。本發(fā)明通過以母基板為單位粘附FPL膜和保護膜而使整個制造流水線自動化。
文檔編號H01L21/82GK101750835SQ20091025355
公開日2010年6月23日 申請日期2009年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月9日
發(fā)明者李昌焄 申請人:樂金顯示有限公司