專利名稱：液晶顯示設(shè)備及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示(LCD)設(shè)備及其制造方法，具體地，涉及能夠通過保持從 奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線發(fā)生的充電電流與從偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線發(fā)生的充電電流相等來避免由于充 電電流差而引起的次等的薄膜晶體管(TFT)的LCD設(shè)備及其制造方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示(LCD)設(shè)備是透射型平板顯示設(shè)備，其主要應(yīng)用于諸如筆記本型計算 機、個人數(shù)字助理(PDA)、和移動電話的各種類型的電子設(shè)備。近來，由于其輕且薄的 特性以及高畫面質(zhì)量，這種LCD設(shè)備與其它平板顯示設(shè)備相比得到了更加積極的應(yīng)用。 隨著對高清晰度電視機(HDTV)、數(shù)字電視機、和壁掛式電視機的需求的增大，對可以 應(yīng)用于電視機的大尺寸LCD設(shè)備的研究正在積極進行中。
通常，LCD設(shè)備根據(jù)驅(qū)動液晶分子的方法可以分為若干種類型。目前，由于快 速響應(yīng)速度和較少的殘留圖像，主要使用有源矩陣型TFT-LCD設(shè)備。
圖1是示意性地示出了根據(jù)常規(guī)技術(shù)的TFT-LCD設(shè)備的LC板1的結(jié)構(gòu)的圖。
如圖1所示，在LC板1上形成了通過在水平和垂直方向上布置而限定多個像素 的多條選通線3和數(shù)據(jù)線5。在各個像素中布置了作為開關(guān)器件的薄膜晶體管(TFT) 7。 當通過選通線3向TFT輸入掃描信號時，將TFT切換為把通過數(shù)據(jù)線5輸入的信號施加 到像素9。
選通驅(qū)動部11與數(shù)據(jù)驅(qū)動部15布置在LC板1外面。多個選通驅(qū)動電路12布置 在選通驅(qū)動部11處，由此通過焊盤(未示出)向選通線3輸入掃描信號。該掃描信號被 施加到TFT 7的柵極以激活TFT 7的半導(dǎo)體層。多個數(shù)據(jù)驅(qū)動電路16布置在數(shù)據(jù)驅(qū)動部 15處，由此通過焊盤(未示出)向數(shù)據(jù)線5輸入圖像信號。當半導(dǎo)體層被激活時(即， 在半導(dǎo)體層形成了溝道時)，通過TFT 7的源極和漏極將該圖像信號施加到像素9。
像素9形成在選通線3和數(shù)據(jù)線5之間的交叉處，并且設(shè)置有一個TFT 7。因 此，在各列形成的像素都連接到一條數(shù)據(jù)線5，并且接收通過對應(yīng)的數(shù)據(jù)線5施加的信 號。
在常規(guī)的LCD設(shè)備中，一條數(shù)據(jù)線連接到在各列形成的一個像素。因此，當 ‘N’條數(shù)據(jù)線布置在LC板1處且‘η’條數(shù)據(jù)線連接到數(shù)據(jù)驅(qū)動電路16時，總共需要 ‘Ν/η’個數(shù)據(jù)驅(qū)動電路16。這里，數(shù)據(jù)驅(qū)動電路16是昂貴的集成電路。因此，當一條數(shù)據(jù)線連接到在各列形成的一個像素并且向該數(shù)據(jù)線施加信號時，需要大量的數(shù)據(jù)驅(qū) 動電路16。這會增加LCD設(shè)備的制造成本。
近來，隨著多晶TFT技術(shù)的發(fā)展，實現(xiàn)了用于在LC板上將數(shù)據(jù)驅(qū)動部與像素集 成起來的板上系統(tǒng)60P: system on panel)的結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)中，大量的數(shù)據(jù)驅(qū)動電路 必須形成在LC板中。這會增加制造成本，并且增大LC板的面積。
為了解決這些問題，已經(jīng)提出了能夠由兩個像素來共用一條數(shù)據(jù)線的LCD設(shè) 備。在這種LCD設(shè)備中，由于兩個像素被連接到一條數(shù)據(jù)線，因此兩列像素被連接到一條數(shù)據(jù)線。
但是，這種LCD設(shè)備具有以下問題。
在制造該LCD設(shè)備時，當在連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的像素的TFT與連接到偶數(shù) 編號數(shù)據(jù)線的像素的TFT之間出現(xiàn)了閾值電壓差時，連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的像素的亮 度與連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的像素的亮度不同。這會導(dǎo)致圖像質(zhì)量惡化。
即使當一條數(shù)據(jù)線連接到一個像素時也可能出現(xiàn)這個問題。在此情況下，由于 一列像素連接到對應(yīng)的數(shù)據(jù)線，因此人眼不能很容易地識別出亮度差。另一方面，當兩 個像素共用一條數(shù)據(jù)線時，由兩列像素發(fā)生的亮度差很容易被人眼識別出。發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種液晶顯示(LCD)設(shè)備及其制造方法，該液晶顯 示(LCD)設(shè)備能夠通過分別將第一數(shù)據(jù)短路棒和第二數(shù)據(jù)短路棒與奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線 和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線斷開，保持從奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線發(fā)生的充電電流與從偶數(shù)編號數(shù)據(jù) 線發(fā)生的充電電流相等，來防止連接到數(shù)據(jù)線的薄膜晶體管(TFT)之間的閾值電壓差。
為了實現(xiàn)這些和其它優(yōu)點，按照本發(fā)明的目的，作為具體和廣義的描述，提供 了一種液晶顯示(LCD)設(shè)備，該液晶顯示設(shè)備包括具有由多條選通線和多條數(shù)據(jù)線限 定的多個像素的液晶板；布置在所述液晶板外面的一個或更多個選通短路棒，所述一個 或更多個選通短路棒用于通過選通線向所述液晶板施加測試信號；布置在所述液晶板外 面的第一數(shù)據(jù)短路棒和第二數(shù)據(jù)短路棒，所述第一數(shù)據(jù)短路棒和第二數(shù)據(jù)短路棒用于分 別向奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線施加測試信號；連接到所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的奇 數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線，所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述第一數(shù)據(jù)短路棒隔開預(yù)定距離；連 接到所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線，所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述第二 數(shù)據(jù)短路棒隔開預(yù)定距離；以及連接線，所述連接線用于通過接觸孔將所述奇數(shù)編號數(shù) 據(jù)鏈接線與所述第一數(shù)據(jù)短路棒彼此電連接，并且將所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述第 二數(shù)據(jù)短路棒彼此電連接，其中，所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線的長度等于所述偶數(shù)編號數(shù) 據(jù)鏈接線的長度。
所述液晶板可以包括用于向所述像素施加掃描信號的多條選通線；與所述選 通線交叉的多條數(shù)據(jù)線，各條數(shù)據(jù)線被兩個相鄰的像素共用以向?qū)?yīng)的像素施加圖像信 號；形成在各所述像素處的薄膜晶體管(TFT)；形成在各所述像素處的像素電極；以及 形成在不共用所述數(shù)據(jù)線的像素之間的界面處的金屬層，其中，所述薄膜晶體管包括 形成在第一基板上的柵極；形成在所述柵極上的柵絕緣層；形成在所述柵絕緣層上的半 導(dǎo)體層；形成在所述半導(dǎo)體層上的源極和漏極；以及形成在所述第一基板的整個區(qū)域上 的鈍化層。
所述第一數(shù)據(jù)短路棒可以由與所述源極相同的材料形成，所述第二數(shù)據(jù)短路棒 由與所述柵極相同的材料形成，所述連接線由銦錫氧化物(ITO)或銦鋅氧化物(IZO)形 成。
第二等電位電路可以布置在所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接 線之間。并且，通過所述第二等電位電路連接到所述數(shù)據(jù)線的金屬線可以布置在所述數(shù) 據(jù)線的端部。
為了實現(xiàn)這些和其它優(yōu)點，按照本發(fā)明的目的，作為具體和廣義的描述，提供 了一種制造液晶顯示設(shè)備(LCD)的方法，該方法包括以下步驟在基板上形成包括薄 膜晶體管以及限定多個像素的選通線和數(shù)據(jù)線的液晶板、設(shè)置在所述液晶板外面以通過 選通線向所述液晶板施加測試信號的至少一個選通短路棒、設(shè)置在所述液晶板外面以分 別向奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線施加測試信號的第一數(shù)據(jù)短路棒和第二數(shù)據(jù)短路 棒、連接到所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線并與所述第一數(shù)據(jù)短路棒隔開預(yù)定距離的奇數(shù)編號數(shù)據(jù) 鏈接線、以及連接到所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線并與所述第二數(shù)據(jù)短路棒隔開預(yù)定距離的偶數(shù) 編號數(shù)據(jù)鏈接線；形成連接線，所述連接線用于通過接觸孔將所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線 與所述第一數(shù)據(jù)短路棒彼此電連接，并且將所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述第二數(shù)據(jù)短 路棒彼此電連接；
通過第一選通短路棒和第二選通短路棒以及所述第一數(shù)據(jù)短路棒和所述第二數(shù) 據(jù)短路棒，向所述選通線和所述數(shù)據(jù)線輸入測試信號，并且執(zhí)行對所述液晶板的測試；
通過切割裝置來切割并去除所述第一選通短路棒和所述第二選通短路棒、所述 第一數(shù)據(jù)短路棒和所述第二數(shù)據(jù)短路棒、以及所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線和所述偶數(shù)編號 數(shù)據(jù)鏈接線。
本發(fā)明可以具有以下優(yōu)點。
首先，通過分別將第一數(shù)據(jù)短路棒和第二數(shù)據(jù)短路棒與奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線和 偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線斷開，保持從奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線發(fā)生的充電電流與從偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線 發(fā)生的充電電流相等，可以防止連接到數(shù)據(jù)線的薄膜晶體管(TFT)之間的閾值電壓差。
第二，通過將第一等電位電路布置在奇數(shù)編號和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線處，并且 在數(shù)據(jù)線的端部形成第二等電位電路和金屬線，數(shù)據(jù)線可以一直具有相同的等電位。
本發(fā)明的上述和其它目的、特征、方面和優(yōu)點將從下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的詳 細描述中變得明顯。


附圖被包括在本說明書中以提供對本發(fā)明的進一步理解，并結(jié)合到本說明書中 且構(gòu)成本說明書的一部分，附圖示出了本發(fā)明的實施方式，且與說明書一起用于解釋本 發(fā)明的原理。
在附圖中
圖1是示意性地示出了根據(jù)常規(guī)技術(shù)的液晶顯示(LCD)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的圖2是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的液晶顯示(LCD)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的圖3A是示出了根據(jù)本發(fā)明的LCD設(shè)備的LC板的結(jié)構(gòu)的平面圖3B是沿圖3A中的線‘1-1’截取的截面圖4是示出了根據(jù)本發(fā)明的LCD設(shè)備的數(shù)據(jù)短路棒的連接結(jié)構(gòu)的圖；以及
圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明的LCD設(shè)備的數(shù)據(jù)線的下端部的結(jié)構(gòu)的圖。
具體實施方式
現(xiàn)在將參照附圖詳細地描述本發(fā)明。
為了參照附圖進行簡要的描述，將對相同或等同的部件提供相同的標號，并且將不對其進行重復(fù)說明。
下文中，將參照附圖更加詳細地描述本發(fā)明。
本發(fā)明提供了具有由兩個像素共用一條數(shù)據(jù)線的結(jié)構(gòu)的液晶顯示(LCD)設(shè)備， 該設(shè)備能夠防止圖像質(zhì)量由于連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的像素的TFT與連接到偶數(shù)編號數(shù) 據(jù)線的像素的TFT之間的閾值電壓差而惡化。
在連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的像素的TFT與連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的像素的TFT 之間出現(xiàn)閾值電壓差的原因如下。
在制造LCD設(shè)備時的第四次掩模工藝中，在源極、漏極和數(shù)據(jù)線下面布置了在 源極和漏極下形成的有源層。
在顯示區(qū)外面形成的短路棒連接到LCD設(shè)備的數(shù)據(jù)線。該短路棒用于通過數(shù)據(jù) 線向像素施加測試信號，并且是在制造LCD設(shè)備的成品時將被切除的部分?？傮w上，奇 數(shù)編號數(shù)據(jù)線與偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線連接到不同的數(shù)據(jù)短路棒。當數(shù)據(jù)短路棒的面積彼此不 同時，布置在數(shù)據(jù)短路棒下的有源層也具有彼此不同的面積。
通過等離子體對有源層進行干蝕刻，其中在有源層上使用金屬層作為遮擋。這 里，沒有對有源層進行鉆蝕(under-etch)，而是通過濕蝕刻對金屬層的端部進行鉆蝕。這 可以使得有源層具有從金屬層的端部伸出預(yù)定距離的尾部。在工藝中電荷累積在有源層 的尾部上，導(dǎo)致了充電電流的流動。由于連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的數(shù)據(jù)短路棒的面積與 連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的數(shù)據(jù)短路棒的面積不同，因此連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的有源層 的整體面積和尾部面積與連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的有源層的整體面積和尾部面積不同。 因此，從奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線發(fā)生的充電電流與從偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線發(fā)生的充電電流不同。這 會造成在連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT與連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT之間的閾值電壓 差。
此外，由于奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線與偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線連接到不同的數(shù)據(jù)短路棒，因此 奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的長度與偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的長度不同。奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線與偶數(shù)編號數(shù)據(jù) 線之間的長度差異造成了其下的有源層的長度差異。因此，沿著奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線流動的 充電電流的大小與沿著偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線流動的充電電流的大小不同。這會造成在連接到 奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT與連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT之間的閾值電壓差。
為了解決上述問題，本發(fā)明提供了能夠防止連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT與連 接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT之間的閾值電壓差的LCD設(shè)備。
圖2是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的LCD設(shè)備的結(jié)構(gòu)的圖。
如圖2所示，在LC板101上形成了通過在水平和垂直方向上布置而限定了多個 像素的多條選通線103和數(shù)據(jù)線105。在各個像素處都布置了作為開關(guān)器件的薄膜晶體管 (TFT) 107。當通過選通線103向TFT輸入掃描信號時，將TFT切換以將通過數(shù)據(jù)線105 輸入的數(shù)據(jù)信號施加到像素109。
數(shù)據(jù)短路棒182和184、選通短路棒186和188被布置在LC板101的外圍處，并 且分別連接到數(shù)據(jù)線105和選通線103。數(shù)據(jù)短路棒182和184、以及選通短路棒186和 188是用于通過在數(shù)據(jù)線105和選通線103的端部形成的數(shù)據(jù)焊盤和選通焊盤(未示出) 向LC板101輸入測試信號的附加線。通過所輸入的測試信號，可以檢查像素109內(nèi)的 TFT 107。
盡管沒有示出，但是選通短路棒186和188連接到選通測試信號生成器，由此向 選通線103提供從該選通測試信號生成器輸出的選通測試信號。并且，數(shù)據(jù)短路棒182 和184連接到數(shù)據(jù)測試信號生成器，由此向數(shù)據(jù)線105提供從該數(shù)據(jù)測試信號生成器輸出 的數(shù)據(jù)測試信號。
在數(shù)量上形成了兩個數(shù)據(jù)短路棒182和184、以及選通短路棒186和188，它們 分別連接到奇數(shù)編號的線和偶數(shù)編號的線。更具體地說，奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線連接到第一數(shù) 據(jù)短路棒182，而偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線連接到第二數(shù)據(jù)短路棒184。并且，奇數(shù)編號選通線連 接到第一選通短路棒186，而偶數(shù)編號選通線連接到第二選通短路棒188。
盡管沒有示出，但選通驅(qū)動部與數(shù)據(jù)驅(qū)動部被布置在LC板101外面。掃描信號 通過選通線103輸入到TFT 107，并且輸入到數(shù)據(jù)線105的圖像信號通過TFT 107被施加 到像素電極。
圖3A是示出了根據(jù)本發(fā)明的LCD設(shè)備的像素結(jié)構(gòu)的平面圖，并且圖3B是沿圖 3A中的線‘Ι-Γ截取的截面圖。通常，多個像素形成在LCD設(shè)備處。但是，為了方 便，在圖中僅示出了一個像素。
如圖3A所示，由彼此交叉的一條選通線和一條數(shù)據(jù)線在LC板上限定了一個像 素。兩個像素布置在選通線103a和103b與數(shù)據(jù)線105之間。各列像素都設(shè)置有第一 選通線103a和第二選通線103b。薄膜晶體管(TFT) 107a形成在設(shè)置在選通線103a和數(shù) 據(jù)線105之間的像素處，并且薄膜晶體管(TFT) 107b形成在設(shè)置在選通線103b和數(shù)據(jù)線 105之間的像素處。這里，在其間插入了數(shù)據(jù)線105的情況下形成在彼此相鄰的像素處 的TFT 107a和107b共用一條數(shù)據(jù)線105，并且TFT 107a和107b通過被連接到第一選通 線103a和第二選通線103b而向像素施加不同的圖像信號。
TFT 107a和107b分別包括連接到選通線103a和103b的柵極113a和113b、形 成在柵極113a和113b上并且在通過選通線103a和103b向柵極113a和113b施加掃描信 號時形成電流溝道的半導(dǎo)體層IHa和114b、形成在半導(dǎo)體層IHa和114b上并向像素施 加通過數(shù)據(jù)線105而輸入的信號的源極117a和117b、以及漏極118a和118b。
像素電極109形成在像素中。像素電極109設(shè)置在與數(shù)據(jù)線105相鄰的像素處 (即，由一條數(shù)據(jù)線共用的像素)。但是，當像素彼此相鄰而沒有數(shù)據(jù)線105時，將像素 電極109布置成彼此相對。
金屬層132布置在未由數(shù)據(jù)線105共用的像素之間(即，尚未布置數(shù)據(jù)線105的 像素)。金屬層132通過金屬層連接圖案13 電連接到相鄰像素的金屬層132。
將參照圖3B更加詳細地描述該LC板的結(jié)構(gòu)。
如圖3B所示，柵極113a形成在由諸如玻璃的透明材料形成的第一基板150上， 柵絕緣層152形成在其上形成了柵極113a的第一基板150上。半導(dǎo)體層114a形成在柵 絕緣層152上，并且源極117a和漏極118a形成在半導(dǎo)體層114a上。鈍化層巧4形成在 其上形成有源極117a和漏極118a的第一基板150上。由諸如銦錫氧化物(ITO)或銦鋅 氧化物(IZO)的透明導(dǎo)電材料形成的像素電極109形成在鈍化層巧4上。接觸孔形成在 鈍化層1 處，像素電極109通過該接觸孔電連接到漏極118a。在由諸如玻璃的透明絕 緣材料形成的第二基板160上，形成有黑底162和濾色層164。黑底162用于防止光泄漏 到圖像非顯示區(qū)(例如，TFT區(qū))或像素之間的空間，并且濾色層164用于實質(zhì)地實現(xiàn)色彩。在其自身與像素電極109之間形成電場的公共電極166形成在濾色層164上。
LC層170形成在第一基板150與第二基板160之間，由此完成了 LCD設(shè)備。用 于排列LC分子的配向?qū)?未示出)形成在第一基板150和第二基板160上。
圖4是示出了形成在根據(jù)本發(fā)明的LCD設(shè)備的外圍的上端處的數(shù)據(jù)短路棒的連 接結(jié)構(gòu)的圖。
如圖4所示，奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a連接到第一數(shù)據(jù)短路棒182，并且偶數(shù)編 號數(shù)據(jù)鏈接線191b連接到第二數(shù)據(jù)短路棒184。盡管沒有示出，但是奇數(shù)編號數(shù)據(jù)焊盤 連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a，而奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)焊盤。并且， 偶數(shù)編號數(shù)據(jù)焊盤連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b，而偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線連接到偶數(shù)編號 數(shù)據(jù)焊盤。如圖所示，連接線193形成在第二數(shù)據(jù)短路棒184處，偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線 191b通過該連接線193連接到第二數(shù)據(jù)短路棒184。
第一數(shù)據(jù)短路棒182由與TFT的源極117a和117b相同的金屬材料形成，而第二 數(shù)據(jù)短路棒184由與TFT的柵極113a和113b相同的金屬材料形成。
如圖4所示，奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b分別與第一 數(shù)據(jù)短路棒182和第二數(shù)據(jù)短路棒184斷開，接著分別通過由ITO或IZO形成的第一和 第二透明電極194a和194b電連接到第一數(shù)據(jù)短路棒182和第二數(shù)據(jù)短路棒184。在形 成LC板的像素電極109時，同時形成第一和第二透明電極194a和194b。第一透明電極 IMa通過第一數(shù)據(jù)短路棒182的接觸孔198a和奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a的接觸孔199a 電連接到第一數(shù)據(jù)短路棒182和奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a，由此將第一數(shù)據(jù)短路棒182和 奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a彼此電連接。第二透明電極194b通過第二數(shù)據(jù)短路棒184的 接觸孔19 和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b的接觸孔199b電連接到第二數(shù)據(jù)短路棒184和 偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b，由此將第二數(shù)據(jù)短路棒184和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b彼此 電連接。
數(shù)據(jù)鏈接線191a和191b與第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184斷開，并接著通過 透明電極194a和194b間接地連接到第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184的原因如下。
如果數(shù)據(jù)鏈接線191a和191b不與第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184斷開而是彼 此連接，則第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184的位置彼此不同。這會造成連接到第一數(shù) 據(jù)短路棒182的奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a的長度與連接到第二數(shù)據(jù)短路棒184的偶數(shù)編 號數(shù)據(jù)鏈接線191b的長度不同。
如上所述，在連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT與連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT 之間出現(xiàn)閾值電壓差，這是由于布置在數(shù)據(jù)線和數(shù)據(jù)鏈接線191a和191b下面的有源層 (即，半導(dǎo)體層)具有彼此不同的大小。如果數(shù)據(jù)鏈接線191a和191b不與數(shù)據(jù)短路棒 182和184斷開，而是直接地連接到數(shù)據(jù)短路棒182和184，則奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a 的長度變得與偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b的長度不同。結(jié)果，有源層的大小彼此不同，并 且有源層的充電量變得彼此不同。這會造成連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT與連接到偶數(shù) 編號數(shù)據(jù)線的TFT之間的閾值電壓差。
在本發(fā)明中，數(shù)據(jù)鏈接線191a和191b與第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184斷 開，由此使得奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a的長度與偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b的長度相等。 這使得有源層的充電量彼此相等。因此，在連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線191a的TFT與連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線191b的TFT之間不出現(xiàn)閾值電壓差。
此外，數(shù)據(jù)鏈接線191a和191b與第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184斷開，由此 防止將第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184的電荷引入到奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a和偶數(shù) 編號數(shù)據(jù)鏈接線191b中。這可以防止由于第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184之間的面積 差異而引起不同量的電荷流入到數(shù)據(jù)線中。
總體上，當有源層被等離子體蝕刻時從有源層產(chǎn)生電荷。因此，即使數(shù)據(jù)鏈接 線191a和191b通過在稍后的工序中形成的透明電極194a和194b而連接到第一和第二數(shù) 據(jù)短路棒182和184，充電電流也不通過透明電極194a和194b流動到數(shù)據(jù)線。在使用透 明電極IMa和194b完成了 LC板之后，向數(shù)據(jù)線輸入測試信號以執(zhí)行測試。
第一等電位電路196設(shè)置在彼此相鄰的數(shù)據(jù)鏈接線191a和191b之間。第一等 電位電路196用于在工序中恒定地保持彼此相鄰的數(shù)據(jù)線的電位，并且由TFT等形成。
一旦在完成LC板之后執(zhí)行了測試，則可以利用激光或切割輪來去除數(shù)據(jù)短路棒 和連接結(jié)構(gòu)。
圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明的LCD設(shè)備的外圍的下端部的結(jié)構(gòu)的圖。
如圖5所示，數(shù)據(jù)線105的端部通過第二等電位電路212連接到金屬線210。第 二等電位電路212由TFT形成，并且用于形成具有相同電位的數(shù)據(jù)線105。連接到數(shù)據(jù) 線105的第二等電位電路212連接到金屬線210。由于金屬線210由TFT的源極117a和 117b組成，因此所有的數(shù)據(jù)線105都可以保持相同的電位。這里，金屬線210可以接地。
第二等電位電路212與金屬線210執(zhí)行與在LCD設(shè)備的外圍的上端處形成的第 一等電位電路196相同的功能。在本發(fā)明中，第一和第二等電位電路196和197成雙地 布置(duallyarranged)。這可以使得即使在兩個等電位電路中的一個發(fā)生故障的情況下， 數(shù)據(jù)線也一直保持恒定的電位。
如上所述，奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b與第一和第二 數(shù)據(jù)短路棒182和184斷開，由此防止將第一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184產(chǎn)生的充電電 流引入到數(shù)據(jù)線中。此外，奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b與第 一和第二數(shù)據(jù)短路棒182和184斷開，由此使得奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a的長度與偶數(shù) 編號數(shù)據(jù)鏈接線191b的長度相同。這使得從奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191a產(chǎn)生的充電電流 量與從偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線191b產(chǎn)生的充電電流量相等。因此，在連接到奇數(shù)編號數(shù)據(jù) 線的TFT與連接到偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的TFT之間不會產(chǎn)生閾值電壓差。
在該LCD設(shè)備中，圖3中示出的LC板的像素、設(shè)置在圖4和圖5中示出的LC 板的外圍上的選通短路棒186和188與數(shù)據(jù)短路棒182和184通過TFT制造工序形成在 母玻璃基板上。接著，數(shù)據(jù)鏈接線191a和191b通過透明電極連接到數(shù)據(jù)短路棒182和 184，并且通過數(shù)據(jù)短路棒182和184與選通短路棒186和188向LC板施加測試信號。 在對LC板進行測試之后，通過使用激光或諸如切割輪的切割裝置將母玻璃基板切割成單 位LC板。接著，沿著切割線將單位LC板彼此分開，并且從各個單位LC板去除短路棒 連接結(jié)構(gòu)。由此，完成了 LCD設(shè)備。
本發(fā)明不僅可以應(yīng)用于在本詳細描述中公開的特定結(jié)構(gòu)，而且還可以應(yīng)用于不 同的結(jié)構(gòu)。
例如，LC板具有兩個像素共用一條數(shù)據(jù)線的結(jié)構(gòu)。但是，LC板可以具有一個像素連接到一條數(shù)據(jù)線的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的LC板具有兩個像素共用一條數(shù)據(jù)線的結(jié)構(gòu)的原 因是，本發(fā)明可以從該結(jié)構(gòu)中獲得最大化的效果。顯然，本發(fā)明也可以從具有一個像素 連接到一條數(shù)據(jù)線的結(jié)構(gòu)中獲得效果。
此外，第一等電位電路或第二等電位電路不僅可以應(yīng)用于具有特定結(jié)構(gòu)的電 路。而且還可以應(yīng)用于任意類型的等電位電路。
上述實施方式和優(yōu)點僅是示例性的，并且不應(yīng)當被理解為對本公開的限制。這 些教導(dǎo)可容易地應(yīng)用于其它類型的裝置。本描述是說明性的，并不限制權(quán)利要求的范 圍。許多替換、修改和變型對于本領(lǐng)域技術(shù)人員將是明顯的。此處描述的示例性實施方 式的特征、結(jié)構(gòu)、方法和其它特性可通過各種方式結(jié)合以獲得附加的和/或可選的示例 性實施方式。
由于本發(fā)明特征可通過多種形式來實現(xiàn)而不脫離其特性，應(yīng)當理解上述實施方 式不受限于上述描述的任何細節(jié)，除非另有規(guī)定，而應(yīng)在所附權(quán)利要求限定的范圍內(nèi)寬 泛地進行理解，并且因此落入權(quán)利要求的邊界和范圍內(nèi)的或落入所述邊界和范圍的等同 物內(nèi)的全部變化和修改由所附權(quán)利要求包含。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示設(shè)備，該液晶顯示設(shè)備包括具有由多條選通線和多條數(shù)據(jù)線限定的多個像素的液晶板；布置在所述液晶板外面的至少一個選通短路棒，所述至少一個選通短路棒用于通過 選通線向所述液晶板施加測試信號；布置在所述液晶板外面的第一數(shù)據(jù)短路棒和第二數(shù)據(jù)短路棒，所述第一數(shù)據(jù)短路棒 和第二數(shù)據(jù)短路棒用于分別向奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線施加測試信號；連接到所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線的奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線，所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所 述第一數(shù)據(jù)短路棒隔開預(yù)定距離；連接到所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線的偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線，所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所 述第二數(shù)據(jù)短路棒隔開預(yù)定距離；以及透明電極，所述透明電極用于通過接觸孔將所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述第一數(shù) 據(jù)短路棒彼此電連接，并且將所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述第二數(shù)據(jù)短路棒彼此電連 接，其中，所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線的長度等于所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線的長度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示設(shè)備，其中，所述液晶板包括 用于向所述像素施加掃描信號的多條選通線；與所述選通線交叉的多條數(shù)據(jù)線，各條數(shù)據(jù)線被兩個相鄰的像素共用以向?qū)?yīng)的像 素施加圖像信號；位于各所述像素處的薄膜晶體管；位于各所述像素處的像素電極；以及位于不共用所述數(shù)據(jù)線的像素之間的邊界區(qū)域處的金屬層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶顯示設(shè)備，其中，所述薄膜晶體管包括 位于第一基板上的柵極；位于所述柵極上的柵絕緣層； 位于所述柵絕緣層上的半導(dǎo)體層； 位于所述半導(dǎo)體層上的源極和漏極；以及 位于所述第一基板的整個區(qū)域上的鈍化層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液晶顯示設(shè)備，其中，所述第一數(shù)據(jù)短路棒由與所述源極相 同的材料形成，所述第二數(shù)據(jù)短路棒由與所述柵極相同的材料形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示設(shè)備，其中，所述透明電極由銦錫氧化物或銦鋅氧 化物形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示設(shè)備，該液晶顯示設(shè)備還包括第一等電位電路，所 述第一等電位電路布置在所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線之間，以 將所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線的電位與所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線的電位保持為彼此相等。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示設(shè)備，該液晶顯示設(shè)備還包括 連接到所述數(shù)據(jù)線的端部的第二等電位電路；以及布置在所述數(shù)據(jù)線下面的金屬線，所述金屬線通過所述第二等電位電路連接到所述 數(shù)據(jù)線。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液晶顯示設(shè)備，其中，所述金屬線由與所述薄膜晶體管的所述源極相同的材料形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示設(shè)備，該液晶顯示設(shè)備還包括第一等電位電路，所述第一等電位電路布置在所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述偶數(shù) 編號數(shù)據(jù)鏈接線之間，以將所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線的電位與所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線 的電位保持為彼此相等；連接到所述數(shù)據(jù)線的端部的第二等電位電路；以及布置在所述數(shù)據(jù)線下面的金屬線，所述金屬線通過所述第二等電位電路連接到所述 數(shù)據(jù)線。
10.一種制造液晶顯示設(shè)備的方法，該方法包括以下步驟在基板上形成包括薄膜晶體管以及用于限定多個像素的選通線和數(shù)據(jù)線的液晶板、 位于所述液晶板外面以通過選通線向所述液晶板施加測試信號的至少一個選通短路棒、 位于所述液晶板外面以分別向奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線和偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線施加測試信號的第一數(shù) 據(jù)短路棒和第二數(shù)據(jù)短路棒、連接到所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)線并與所述第一數(shù)據(jù)短路棒隔開 預(yù)定距離的奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線、以及連接到所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)線并與所述第二數(shù)據(jù)短 路棒隔開預(yù)定距離的偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線；形成透明電極，所述透明電極用于通過接觸孔將所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述第 一數(shù)據(jù)短路棒彼此電連接，并且將所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述第二數(shù)據(jù)短路棒彼此 電連接；通過第一選通短路棒和第二選通短路棒以及所述第一數(shù)據(jù)短路棒和所述第二數(shù)據(jù)短 路棒，向所述選通線和所述數(shù)據(jù)線輸入測試信號，并且執(zhí)行對所述液晶板的測試；通過切割裝置來切割并去除所述第一選通短路棒和所述第二選通短路棒、所述第一 數(shù)據(jù)短路棒和所述第二數(shù)據(jù)短路棒、以及所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線和所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù) 鏈接線。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，該方法還包括以下步驟在所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線與所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線之間形成第一等電位電路， 以將所述奇數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線的電位與所述偶數(shù)編號數(shù)據(jù)鏈接線的電位保持為彼此相 等；以及形成連接到所述數(shù)據(jù)線的端部的第二等電位電路和通過所述第二等電位電路連接到 所述數(shù)據(jù)線的金屬線，所述金屬線布置在所述數(shù)據(jù)線下面。
全文摘要
液晶顯示設(shè)備及其制造方法。公開了能防止連到奇數(shù)和偶數(shù)數(shù)據(jù)線的薄膜晶體管(TFT)之間的閾值電壓差的液晶顯示設(shè)備(LCD)。該LCD設(shè)備包括有由多條選通線和數(shù)據(jù)線限定的多個像素的LC板；布置在LC板外的一個或多個選通短路棒，以通過選通線向LC板施加測試信號；布置在LC板外的第一和第二數(shù)據(jù)短路棒，以分別向奇數(shù)和偶數(shù)數(shù)據(jù)線施加測試信號；連到奇數(shù)數(shù)據(jù)線的奇數(shù)數(shù)據(jù)鏈接線，與第一數(shù)據(jù)短路棒隔開預(yù)定距離；連到偶數(shù)數(shù)據(jù)線的偶數(shù)數(shù)據(jù)鏈接線，與第二數(shù)據(jù)短路棒隔開預(yù)定距離；連接線，用于通過接觸孔將奇數(shù)數(shù)據(jù)鏈接線與第一數(shù)據(jù)短路棒彼此電連接，將偶數(shù)數(shù)據(jù)鏈接線與第二數(shù)據(jù)短路棒彼此電連接，奇數(shù)數(shù)據(jù)鏈接線的長度等于偶數(shù)數(shù)據(jù)鏈接線的長度。
文檔編號H01L23/528GK102023444SQ20101028159
公開日2011年4月20日 申請日期2010年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月15日
發(fā)明者千載二, 曺碩鎬, 閔地淑 申請人:樂金顯示有限公司