專利名稱：攝像裝置以及固體攝像元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及固體攝像元件的高靈敏度化以及彩色化的技術(shù)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，對(duì)使用C⑶或CMOS等的固體攝像元件(以下，有時(shí)也稱為“攝像元件”) 的數(shù)字照相機(jī)或數(shù)字?jǐn)z像機(jī)的高功能化、高性能化引人注目。特別是由于半導(dǎo)體制造技術(shù)的 快速進(jìn)步，攝像元件中的像素結(jié)構(gòu)的細(xì)微化不斷發(fā)展。其結(jié)果是，正力圖實(shí)現(xiàn)攝像元件的像素以及驅(qū)動(dòng)電路的高集成化以及攝像元件的高性能化。特別是最近，還開發(fā)出了使用不在形成固體攝像元件的布線層的一面(表面)，而在背面?zhèn)冉邮展獾谋趁嬲丈湫?Backside illumination)的攝像元件的照相機(jī)，其高靈敏度特性等備受關(guān)注。另一方面，隨著攝像元件的多像素化，1個(gè)像素所接收的光量降低，因此，產(chǎn)生照相機(jī)靈敏度降低的問(wèn)題。照相機(jī)的靈敏度降低除了多像素化之外，使用用于色分離的濾色器也是一個(gè)原因。由于通常的濾色器吸收所利用的顏色分量以外的光，因此，在使用這種濾色器的情況下，照相機(jī)的光利用率會(huì)降低。作為具體的例子，在使用拜耳型的濾色器的彩色照相機(jī)中， 由于在攝像元件的各光敏部上配置了使有機(jī)顏料成為色素的減色型的濾色器，因此，光利用率相當(dāng)?shù)?。拜耳型的濾色器排列是將紅(R) 1要素、綠(G)2要素和藍(lán)(B) 1要素作為基本構(gòu)成的排列。R濾光器使R光透過(guò)，而吸收G光、B光。G濾光器使G光透過(guò)，而吸收R光、 B光。B濾光器使B光透過(guò)，而吸收R光、G光。即，透過(guò)濾色器的光是RGB三種顏色中的一種顏色，其他的兩種顏色被濾色器吸收。因此，被利用的光是入射光的大約1/3。為了解決該靈敏度降低的問(wèn)題，專利文獻(xiàn)1中公開了通過(guò)在攝像元件的光接收部安裝微透鏡陣列來(lái)增加接收的光量的方法。根據(jù)該方法，通過(guò)用微透鏡聚光能實(shí)質(zhì)上提高光開口率?，F(xiàn)在，該方法用于幾乎所有的固體攝像元件中。雖然使用該方法可以提高實(shí)質(zhì)上的開口率，但其并不能解決濾色器造成的光利用率降低的問(wèn)題。因此，作為同時(shí)解決光利用率降低和靈敏度降低的問(wèn)題的方法，專利文獻(xiàn)2公開了具有將多層膜的濾色器(分色鏡)和微透鏡組合，從而最大限度地獲取光的結(jié)構(gòu)的攝像元件。在該攝像元件中使用不吸收光而選擇性地使特定波段的光透過(guò)并將其他波段的光反射的多個(gè)分色鏡。各分色鏡只將所需要的光選擇性地入射到對(duì)應(yīng)的光敏部上，而使其他的光透過(guò)。圖8顯示了專利文獻(xiàn)2公開的攝像元件的剖視圖。根據(jù)圖8所示的固體攝像元件，入射到聚光微透鏡11的光在通過(guò)內(nèi)透鏡12被調(diào)整光束之后，入射到第1分色鏡13。第1分色鏡13雖然使紅色(R)光透過(guò)，但是將其他顏色的光反射。第2分色鏡14雖然將綠色(G)光反射，但是使其他顏色的光透過(guò)。第3分色鏡15雖然將藍(lán)色(B)光反射，但是使其他顏色的光透過(guò)。透過(guò)第1分色鏡13的光入射到正下方的光敏單元2。由第1分色鏡13反射的光入射到相鄰的第2分色鏡14。第2分色鏡14反射綠色(G)光，透過(guò)藍(lán)色(B)光。由第2分色鏡14反射的綠色的光入射到正下方的光敏單元2。透過(guò)第2分色鏡14的藍(lán)色光被第3分色鏡15反射，入射到正下方的光敏單元2。根據(jù)這種固體攝像元件，入射到聚光微透鏡11的可見光不會(huì)被濾色器吸收，RGB各種顏色的光會(huì)被光敏單元毫無(wú)浪費(fèi)地檢測(cè)。除了上述現(xiàn)有技術(shù)，在專利文獻(xiàn)3中公開了能通過(guò)使用微棱鏡來(lái)防止光損失的攝像元件。該攝像元件具有用不同的光敏單元分別接收通過(guò)微棱鏡而分離成紅色、綠色和 藍(lán)色的光的結(jié)構(gòu)。在使用這種攝像元件的情況下也能防止光損失。但是，在專利文獻(xiàn)2、3中公開的技術(shù)中，使用多少分色鏡或分光的數(shù)量有多少，就需要設(shè)置多少光敏單元。例如，為了接收紅色、綠色和藍(lán)色的光，與使用濾色器的情況下的光敏單元的數(shù)量相比必須增加3倍的光敏單元。這是一個(gè)需要解決的課題。另一方面，在專利文獻(xiàn)4中公開了一種從攝像元件的兩側(cè)獲取光的與上述現(xiàn)有技術(shù)不同的技術(shù)。在該技術(shù)中，配置光學(xué)系統(tǒng)以及濾色器，以使可見光和非可見光(紅外線或紫外線)分別入射到攝像元件的表面一側(cè)和背面一側(cè)。根據(jù)該技術(shù)，雖然能用一個(gè)攝像元件獲取可見光以及非可見光的圖像，但該技術(shù)并不是用來(lái)解決由濾色器引起的光利用率降低的問(wèn)題。另外，在專利文獻(xiàn)5中公開了一種彩色化技術(shù)，該彩色化技術(shù)通過(guò)使用與各光敏單元對(duì)應(yīng)配置的微棱鏡等的構(gòu)造物(分光要素)，可無(wú)需大規(guī)模地增加光敏單元就能提高光利用率。根據(jù)該技術(shù)，由于與光敏單元對(duì)應(yīng)配置的分光要素的緣故，光會(huì)根據(jù)波段而入射到不同的光敏單元。各個(gè)光敏單元從多個(gè)分光要素接收不同波段的分量被重疊的光。其結(jié)果是，能根據(jù)使用從各光敏單元輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)的信號(hào)運(yùn)算來(lái)生成顏色信號(hào)。專利文獻(xiàn)1 JP特開昭59-90467號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 JP特開2000-151933號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 JP特開2001-309395號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 JP特開2008-072423號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 國(guó)際公開第2009/153937號(hào)在現(xiàn)有技術(shù)中，如果使用光吸收型的濾色器，則雖然能不用大幅度地增加光敏單元，但是光利用率會(huì)變低。另一方面，如果使用光選擇透過(guò)型的濾色器(分色鏡)或微棱鏡， 則雖然光利用率很高，但是必須大幅度地增加光敏單元。另一方面，根據(jù)專利文獻(xiàn)5公開的技術(shù)，從理論上來(lái)講，的確能獲得光利用率高的彩色圖像，但是，與攝像元件的像素對(duì)應(yīng)且高密度地配置微棱鏡等構(gòu)造物是具有很高難度的。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種實(shí)現(xiàn)可分光的構(gòu)造物的低密度化，并且無(wú)需大幅度地增加光敏單元就能進(jìn)行顏色分離的彩色攝像技術(shù)。本發(fā)明的攝像裝置具有固體攝像元件和在上述固體攝像元件的攝像面上成像的光學(xué)系統(tǒng)。上述固體攝像元件具有半導(dǎo)體層，其具有第1面以及位于上述第1面的相反側(cè)的第2面；光敏單元陣列，其形成在上述半導(dǎo)體層中，且從上述第1面一側(cè)以及上述第2面一側(cè)接收光；和分光要素陣列，其與上述光敏單元陣列相對(duì)置地形成在上述第1面一側(cè)以及上述第2面一側(cè)中的至少一側(cè)。上述光敏單元陣列具有分別包括第1光敏單元以及第2 光敏單元的多個(gè)單元塊。上述分光要素陣列使不同波段的光入射到上述第1光敏單元以及上述第2光敏單元。
在一實(shí)施方式中，上述光學(xué)系統(tǒng)將光的各一半分別入射到上述第1面以及上述第 2面。在一個(gè)實(shí)施方式中，上述分光要素陣列具有第1分光要素陣列，其與上述光敏單元陣列相對(duì)置地形成在上述第1面一側(cè)；和第2分光要素，其與上述光敏單元陣列相對(duì)置地形成在上述第2面一側(cè)。上述第1分光要素陣列使第1波段的光入射到上述第1光敏單元；使上述第1波段以外的光入射到上述第2光敏單元。上述第2分光要素陣列使與上述第1波段不同的第2波段的光入射到上述第1光敏單元；使上述第2波段以外的光入射到上述第2光敏單元。在一個(gè)實(shí)施方式中，在將入射光分類成第1顏色分量的光、 第2顏色分量的光以及第3顏色分量的光時(shí)，上述第1分光要素陣列具有第1分光要素，該第1分光要素是與上述第1光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第1分光要素，并使上述第1顏色分量的光入射到上述第1光敏單元，使上述第2以及第3顏色分量的光入射到上述第2光敏單元。另外，上述第2分光要素陣列具有第2分光要素，該第2分光要素是與上述第2光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第2分光要素，并使上述第2顏色分量的光入射到上述第1光敏單元，使上述第1以及第3顏色分量的光入射到上述第2光敏單元。在一個(gè)實(shí)施方式中，在將入射光分類成第1顏色分量的光、第2顏色分量的光以及第3顏色分量的光時(shí)，上述第1分光要素陣列具有第1分光要素，該第1分光要素是與上述第1光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第1分光要素，并使上述第1顏色分量的光入射到上述第1光敏單元，使上述第2顏色分量的光入射到上述第2光敏單元，使上述第3顏色分量的光入射到包括在相鄰的第1相鄰單元塊中的1個(gè)光敏單元。另外，上述第2分光要素陣列具有第2 分光要素，該第2分光要素是與上述第2光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第2分光要素，并使上述第3 顏色分量的光的各一半分別入射到上述第1光敏單元以及包括在相鄰的第2相鄰單元塊中的1個(gè)光敏單元，使上述第1以及第2顏色分量的光入射到上述第2光敏單元。上述第1 光敏單元接收從上述第1分光要素入射的上述第1顏色分量的光、和從上述第2分光要素以及包括在上述第1相鄰單元塊中的分光要素入射的上述第3顏色分量的光。上述第2光敏單元接收從上述第1分光要素入射的上述第2顏色分量的光、從包括在上述第2相鄰單元塊中的分光要素入射的上述第3顏色分量的光、以及從上述第2分光要素入射的上述第 1以及第2顏色分量的光。在一個(gè)實(shí)施方式中，各單元塊包括第3光敏單元以及第4光敏單元，上述第1分光要素陣列具有第3分光要素，該第3分光要素是與上述第3光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第3分光要素，并使上述第1顏色分量的光入射到上述第3光敏單元，使上述第2以及第3顏色分量的光入射到上述第4光敏單元。上述第2分光要素陣列具有第4分光要素，該第4分光要素是與上述第4光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第4分光要素，并使上述第2顏色分量的光入射到上述第3光敏單元，使上述第1以及第3顏色分量的光入射到上述第4光敏單元。在一個(gè)實(shí)施方式中，各單元塊包括第3光敏單元以及第4光敏單元，上述第1分光要素陣列具有第3分光要素，該第3分光要素是與上述第3光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第3分光要素，并使上述第1顏色分量的光入射到上述第3光敏單元，使上述第3顏色分量的光入射到上述第4光敏單元，使上述第2顏色分量的光入射到包括在上述第2相鄰單元塊中的1個(gè)光敏單元。上述第2分光要素陣列具有第4分光要素，該第4分光要素是與包括在各單元塊中的上述第4光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第4分光要素，并使上述第2顏色分量的光的各一半分別入射到上述第3光敏單元以及包括在上述第1相鄰單元塊中的1個(gè)光敏單元，使上述第1以及第3顏色分量的光入射到上述第4光敏單元。上述第3光敏單元接收從上述第3 分光要素入射的上述第1顏色分量的光、和從上述第4分光要素以及包括在上述第2相鄰單元要素中的分光要素入射的上述第2顏色分量的光。上述第4光敏單元接收從上述第3 分光要素入射的上述第3波段的光、從包括在上述第1相鄰單元要素中的分光要素入射的上述第2波段的光、以及從上述 第4分光要素入射的上述第1波段以及上述第3波段的光。在一個(gè)實(shí)施方式中，上述第1光敏單元、上述第2光敏單元、上述第3光敏單元以及上述第4光敏單元配置成行列式，上述第1光敏單元與上述第2光敏單元相鄰，上述第3 光敏單元與上述第4光敏單元相鄰。在一個(gè)實(shí)施方式中，上述固體攝像元件具有第1微透鏡陣列，其與上述第1分光要素陣列相對(duì)置地形成，并包括分別聚光于上述第1分光要素以及上述第3分光要素的多個(gè)微透鏡；和第2微透鏡陣列，其與上述第2分光要素陣列相對(duì)置地形成，并包括分別聚光于上述第2分光要素以及上述第4分光要素的多個(gè)微透鏡。在一個(gè)實(shí)施方式中，攝像裝置還具有信號(hào)處理部，上述信號(hào)處理部根據(jù)從上述第1 光敏單元以及上述第2光敏單元分別輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)生成一種顏色信號(hào)。在一個(gè)實(shí)施方式中，上述信號(hào)處理部根據(jù)從上述第1光敏單元、上述第2光敏單元、上述第3光敏單元以及上述第4光敏單元分別輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)生成三種顏色信號(hào)。本發(fā)明的固體攝像元件具有半導(dǎo)體層，其包括第1面以及位于上述第1面的相反側(cè)的第2面；光敏單元陣列，其形成在上述半導(dǎo)體層中，且從上述第1面一側(cè)以及上述第 2面一側(cè)接收光；和分光要素陣列，其與上述光敏單元陣列相對(duì)置地形成在上述第1面一側(cè)以及上述第2面一側(cè)中的至少一側(cè)上。上述光敏單元陣列具有分別包括第1光敏單元以及第2光敏單元的多個(gè)單元塊。上述分光要素陣列使不同波段的光入射到上述第1光敏單元以及上述第2光敏單元。(發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明的固體攝像元件以及攝像裝置，由于光敏單元陣列從表面?zhèn)纫约氨趁鎮(zhèn)冉邮展?，并且使用不吸收光的分光要素陣列，因此，能提高光利用率。另外，如果在兩面?zhèn)扰渲梅止庖仃嚵?，則能減小每一面的分光要素的密度，使制造變得容易。而且，通過(guò)恰當(dāng)?shù)嘏渲酶鞣止庖啬塬@得三種顏色分量的信號(hào)。


圖1是表示本發(fā)明的攝像裝置的概略構(gòu)成的框圖。圖2A是表示本發(fā)明的攝像元件的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的示意圖。圖2B是表示本發(fā)明的攝像元件的其他例子的示意圖。圖2C是表示本發(fā)明的攝像元件的另外一個(gè)例子的示意圖。圖3是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的攝像裝置的整體構(gòu)成的框圖。圖4是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的攝像裝置的光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)成的示意圖。圖5A是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的像素結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的圖。圖5B是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的像素結(jié)構(gòu)的其他例子的圖。
圖6A是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的攝像元件的基本結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖6B是表示圖6A中的AA，線剖視圖。圖6C是表示圖6A中的BB’線剖視圖。圖7A是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的攝像元件的基本結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖7B是圖7A中的CC’線剖視圖。圖7C是圖7A中的DD，線剖視圖。圖8是使用微透鏡和多層膜濾色器(分色鏡)的以往的固體攝像元件的剖視圖。
具體實(shí)施例方式在對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明之前，首先說(shuō)明本發(fā)明的基本原理。并且，在以下的說(shuō)明中，有時(shí)會(huì)將對(duì)波段或者顏色分量不同的光進(jìn)行空間性分離稱為“分光”。另外， 在以下的說(shuō)明中，2個(gè)光的波段不同是指包含在2個(gè)光中的主要顏色分量不同。例如，如果一種光為品紅色(Mg)光，另一種為紅色(R)光，則前者的主要顏色分量為紅色(R)以及藍(lán)色(B)，與作為后者的主要顏色分量的紅色(R)不同。因此，品紅色光和紅色光具有不同的波段。圖1是表示本發(fā)明的攝像裝置的基本構(gòu)成的框圖。本發(fā)明的攝像裝置具有成像被攝體的光學(xué)系統(tǒng)20和固體攝像元件8。固體攝像元件8具有半導(dǎo)體層7，能利用半導(dǎo)體層 7的第1面7a和位于第1面的相反側(cè)的第2面7b這兩個(gè)面來(lái)接收光。在第1面7a和第2 面7b之間二維狀地排列包括多個(gè)光敏單元(在本說(shuō)明書中有時(shí)也稱為“像素”)的光敏單元陣列。各光敏單元從第1面7a以及第2面7b兩個(gè)面接收入射光。在第1面7a以及第2 面7b的至少一側(cè)設(shè)置與光敏單元陣列相對(duì)置的分光要素陣列100。在圖1所示的例子中， 雖然在第1面7a —側(cè)配置了分光要素陣列100，但分光要素陣列100既可以配置在第2面 7b—側(cè)，也可以配置在兩個(gè)面?zhèn)?。光學(xué)系統(tǒng)20將入射光分離成第1光和第2光，并構(gòu)成為將第1光以及第2光分別入射到半導(dǎo)體層7的第1面7a以及第2面7b上。本發(fā)明的分光要素陣列100將波段彼此不同的光入射到包括在光敏單元陣列中的第1光敏單元以及第2光敏單元中。其結(jié)果是，通過(guò)基于從2個(gè)光敏單元輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)的運(yùn)算，能獲得顏色信息。 圖2A是示意性地表示攝像元件8的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的一例的剖視圖。在該例子中，在半導(dǎo)體層7的第1面7a的一側(cè)形成有布線層5。光敏單元陣列具有分別包括光敏單元2a以及光敏單元2b的多個(gè)單元塊40。在該例子中，從光敏單元陣列看，在第1面7a —側(cè)形成具有多個(gè)分光要素1的分光要素陣列100。另外，在光敏單元陣列的相反側(cè)形成與分光要素陣列100相對(duì)置的透明基板6。利用透明基板6來(lái)支撐半導(dǎo)體層7或分光要素陣列100等的構(gòu)造物。由于具有這種結(jié)構(gòu)，各光敏單元2a、2b能接收透過(guò)透明基板6以及分光要素陣列 100而從第1面7a入射到半導(dǎo)體層7的光和從第2面7b入射到半導(dǎo)體層7的光。排列在半導(dǎo)體層7的內(nèi)部的多個(gè)光敏單元分別接收從第1面7a以及第2面7b 這兩個(gè)面入射的光，并輸出與接收的光量對(duì)應(yīng)的電信號(hào)(稱為“光電轉(zhuǎn)換信號(hào)”或“像素信號(hào)”)。在本發(fā)明中，對(duì)各構(gòu)成要素進(jìn)行配置，以使由第1光在光敏單元的配置面形成的圖像與由第2光形成的圖像重合。以下，對(duì)圖2A所示的例子中的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)進(jìn)行說(shuō)明。
首先，在攝像元件8中從兩側(cè)分別入射具有相同強(qiáng)度以及分光分布的可見光(入射光)，且用W表示該可見光。在此，用W表示的可見光不局限于白色光，可以是與被攝體相適應(yīng)的各種顏色的光。在本說(shuō)明書中，可見光W被分類成三種顏色分量C1、C2和C3。三種顏色分量雖然是典型的紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)，但不一定必須是R、G和B的顏色分量。在圖2A所示的例子中，分光要素1與光敏單元2a相對(duì)置，將入射光(W)分離成Cl 光和包含在Cl光的補(bǔ)色的波段中的光Cl 。被分離的Cl光入射到光敏單元2b，Cl 光入射到光敏單元2a。在此，由于Cl 光是混合了 C2光和C3光的光，因此，在以下的說(shuō)明中，有時(shí)將Cl 表示為C2+C3。另外，由于Cl 光是從W光中除去了 Cl光的光，因此，有時(shí)也將Cl 表示為W-Cl。以下，關(guān)于表示其他顏色分量的符號(hào)也使用同樣的方法。由于具有這種構(gòu)成，光敏單元2a接收從第1面7a —側(cè)的分光要素1入射的Cl 光和從第2面7b 一側(cè)入射的光(W)。光敏單元2b接收從第1面7a —側(cè)的分光要素1入射的Cl光和不經(jīng)由分光要素1而從第1面7a —側(cè)、第2面7b 一側(cè)這兩側(cè)分別入射的光 (2W)。在此，符號(hào)2W表示從單面入射的W光的2倍的量。

如果將從光敏單元2a、2b輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)分別設(shè)為S2a、S2b，將相當(dāng)于W光、 Cl光、C2光和C3光的強(qiáng)度的信號(hào)分別表示為Ws、Cls、C2s和C3s，則S2a以及S2b能分別用以下的公式1和2表示。(公式 1) S2a = 2ffs-Cls = Cls+2C2s+2C3s(公式 2) S2b = 2ffs+Cls = 3Cls+2Cls+2C3s通過(guò)將S2b減去S2a可獲得以下公式(公式 3)S2b_S2a = 2ClsS卩，通過(guò)2像素的信號(hào)計(jì)算可獲得相當(dāng)于顏色分量Cl的強(qiáng)度的Cls信號(hào)。通過(guò)針對(duì)其他的單元塊40反復(fù)進(jìn)行上述信號(hào)運(yùn)算，能求出每個(gè)像素的顏色分量 Cl的強(qiáng)度分布。換句話說(shuō)，通過(guò)上述信號(hào)運(yùn)算，能獲得顏色分量Cl的圖像。關(guān)于其他的顏色分量C2、C3，也能通過(guò)相同的構(gòu)成來(lái)獲得對(duì)應(yīng)的顏色信號(hào)。例如， 如果將把入射光分離成C2光和包含在其補(bǔ)色的波段中的光C2 ( = W-C2)的分光要素配置在與配置了上述分光要素1的行相鄰的行，并將4個(gè)像素作為1個(gè)單元塊，則也能通過(guò)同樣的信號(hào)運(yùn)算來(lái)獲得表示C2光的強(qiáng)度的信號(hào)C2s。根據(jù)公式1和2，由于將S2a和S2b相加能獲得4Ws，因此，如果進(jìn)行Ws-Cls-C2s的運(yùn)算，則也能獲得表示C3光的強(qiáng)度的信號(hào)C3s。 艮口，由于能通過(guò)4像素的信號(hào)運(yùn)算來(lái)獲得三種顏色信號(hào)，因此，能生成彩色圖像。并且，本發(fā)明的攝像元件的基本結(jié)構(gòu)不局限于圖2A所示的例子，也可以通過(guò)多種方式實(shí)現(xiàn)。以下，對(duì)能夠在本發(fā)明中使用的攝像元件的幾個(gè)基本結(jié)構(gòu)通過(guò)舉例進(jìn)行說(shuō)明。圖2B表示與光敏單元陣列相對(duì)應(yīng)地配置了微透鏡陣列的例子。在該例子中，在第 1面7a —側(cè)配置了與光敏單元2a相對(duì)置的微透鏡4，；在第2面7b 一側(cè)配置了與光敏單元 2b相對(duì)置的微透鏡5。各微透鏡4和5構(gòu)成為將入射到相當(dāng)于2像素份的區(qū)域的光聚光成 1像素。因此，入射到分光要素1的光量相當(dāng)于采用圖2A的構(gòu)成的情況的2倍，被分光的 Cl光、Cl 光量也相當(dāng)于圖2A的構(gòu)成中的Cl光、Cl 光量的2倍。同樣，從第2面7b — 側(cè)入射到光敏單元2b的光量也相當(dāng)于圖2B的構(gòu)成中的光量的2倍。由于具有這種構(gòu)成，從光敏單元2a、2b輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)S2a、S2b能分別用以下的公式4和5表示。(公式 4) S2a = 2ffs-2Cls (公式 5) S2b = 2ffs+2Cls因此，在該例中也能通過(guò)2像素的差分運(yùn)算來(lái)獲得表示顏色分量Cl的強(qiáng)度的信號(hào) Cls0在以上的例子中，雖然分光要素陣列100相對(duì)于光敏單元陣列只配置在第1面7a 一側(cè)，但是既可以配置在第2面7b —側(cè)，也可以配置在兩側(cè)。圖2C表示分光要素陣列配置在光敏單元陣列的兩側(cè)的例子。如圖中所示，在第1 面7a —側(cè)形成與光敏單元陣列相對(duì)置的第1分光要素陣列100a，在第2面7b 一側(cè)形成第 2分光要素陣列100b。在該例子中，第1分光要素陣列IOOa具有與光敏單元2a相對(duì)置的分光要素1，第2分光要素陣列IOOb也具有與光敏單元2a相對(duì)置的分光要素1。配置在光敏單元2a的兩側(cè)的分光要素1都將Cl光入射到光敏單元2b，將Cl 光入射到光敏單元 2a。其結(jié)果是，光敏單元2a接收從2個(gè)分光要素1入射的光2C1 (=2W-2C1)。光敏單元2b接收從2個(gè)分光要素1入射的光(2C1)和不經(jīng)由分光要素1而從兩側(cè)直接入射的光 (2W)。由于具有以上構(gòu)成，因此從光敏單元2a、2b輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)S2a、S2b與具有圖2B所示的構(gòu)成的信號(hào)同樣，分別用公式4和公式5表示。因此，在采用圖2C的構(gòu)成的情況下，也能通過(guò)上述信號(hào)運(yùn)算來(lái)獲得顏色信息。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的攝像元件8，由于無(wú)需使用吸收光的濾色器就能利用分光要素來(lái)生成顏色信息，因此，能提高光利用率。另外，由于本發(fā)明的攝像元件8從兩側(cè)接收光，因此，與只用單側(cè)接收光的以往的攝像元件相比，制造的自由程度提高。具體而言，由于不僅僅能從一側(cè)而是能從兩側(cè)形分量光要素陣列等的構(gòu)造物，因此，可降低在一側(cè)形成的分光要素的配置密度。以下，參照附圖3 6C對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在以下的說(shuō)明中，對(duì)在所有附圖中共同的要素標(biāo)注相同的符號(hào)。(實(shí)施方式1)首先，對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖3是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的攝像裝置的整體構(gòu)成的框圖。本實(shí)施方式的攝像裝置是數(shù)字式電子照相機(jī)，具有攝像部300 和根據(jù)從攝像部300發(fā)送的信號(hào)生成表示圖像的信號(hào)(圖像信號(hào))的信號(hào)處理部400。并且，攝像裝置既可以只生成靜止圖像，也可以具有生成動(dòng)態(tài)圖像的功能。攝像部300具有光學(xué)系統(tǒng)20，其用于成像被攝體；固體攝像元件8(圖像傳感器)，其通過(guò)光電轉(zhuǎn)換將光信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；和信號(hào)生成/接收部21，其生成用于驅(qū)動(dòng)攝像元件8的基本信號(hào)，并接收來(lái)自攝像元件8的輸出信號(hào)，然后發(fā)送給信號(hào)處理部400。光學(xué)系統(tǒng)20具有光學(xué)透鏡12、半透明反射鏡11、2個(gè)反射鏡10和2個(gè)光學(xué)濾光器16。光學(xué)透鏡12是眾所周知的透鏡，且可以是具有多個(gè)透鏡的透鏡單元。光學(xué)濾光器16是使得用于降低由于像素排列的原因而產(chǎn)生的莫爾圖案的水晶低通濾光器與用于除去紅外線的紅外濾光器組合為一體的濾光器。攝像元件8是典型的CMOS或(XD，且通過(guò)眾所周知的半導(dǎo)體制造技術(shù)制造。攝像元件8與未圖示的包括驅(qū)動(dòng)電路或信號(hào)處理電路的處理部電連接。 信號(hào)生成/接收部13以及元件驅(qū)動(dòng)部14由例如CCD驅(qū)動(dòng)器等的LSI構(gòu)成。
信號(hào)處理部400具有圖像信號(hào)生成部25，其處理從攝像部300發(fā)送的信號(hào)，從而 生成圖像信號(hào)；存儲(chǔ)器23，其保存在圖像信號(hào)的生成過(guò)程所產(chǎn)生的各種數(shù)據(jù)；和圖像信號(hào)輸出部27，其將生成的圖像信號(hào)發(fā)送到外部。圖像信號(hào)生成部25可通過(guò)將眾所周知的數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)等的硬件和執(zhí)行包括圖像信號(hào)生成處理的圖像處理的軟件進(jìn)行組合而很好地實(shí)現(xiàn)。存儲(chǔ)器23由DRAM等構(gòu)成。存儲(chǔ)器23記錄從攝像部300發(fā)送的信號(hào)，并將通過(guò)圖像信號(hào)生成部25生成的圖像數(shù)據(jù)或被壓縮的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行暫時(shí)記錄。這些圖像數(shù)據(jù)通過(guò)圖像信號(hào)輸出部27被發(fā)送到圖中未圖示的記錄介質(zhì)或顯示部等中。并且，本實(shí)施方式的攝像裝置可具有電子快門、取景器、電源(電池)和閃光燈等的眾所周知的構(gòu)成要素，但是，由于并不特別需要這些構(gòu)成要素的說(shuō)明以用于理解本發(fā)明， 因此省略。另外，以上的構(gòu)成也僅是一個(gè)例子，在本發(fā)明中，對(duì)于除了攝像元件8以及圖像信號(hào)生成部25以外的構(gòu)成要素，能適當(dāng)?shù)亟M合眾所周知的要素來(lái)使用。以下，對(duì)本實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)20的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。圖4是示意性地表示本實(shí)施方式的光學(xué)系統(tǒng)20的構(gòu)成的圖。光學(xué)系統(tǒng)20包括 將從被攝體入射的光聚光的透鏡12 ；和將透過(guò)透鏡12的光分離成透射光和反射光的半透明反射鏡11 ；和將通過(guò)半透明反射鏡11分離的兩種光分別反射的兩個(gè)反射鏡10。并且，雖然光學(xué)系統(tǒng)20可以包括上述光學(xué)濾光器16等的其他要素，但是在圖4中省略了透鏡12、 半透明反射鏡11和反射鏡10以外的構(gòu)成要素的記載。光學(xué)系統(tǒng)20的各構(gòu)成要素的構(gòu)成方式為，通過(guò)兩個(gè)反射鏡10反射的光分別在攝像元件8中從兩側(cè)開始成像。在此，攝像元件8具有支撐半導(dǎo)體層的透明基板，能從設(shè)置了布線層的面(表面)以及沒有設(shè)置布線層的面(背面)兩側(cè)接收光。光學(xué)系統(tǒng)20以及攝像元件8被容納并保存在透明封裝件9中。 透明封裝件9是通過(guò)將兩個(gè)透明容器連接而形成的。并且，在圖4中，雖然為了方便而將透鏡12描述為單一的透鏡，但是透鏡12 —般上可以由在光軸方向排列的多個(gè)透鏡構(gòu)成。另夕卜，光學(xué)系統(tǒng)20不局限于圖4所示的構(gòu)成，只要在攝像元件8中從兩側(cè)開始成像，就可以以任意的方式構(gòu)成。接下來(lái)，對(duì)本實(shí)施方式的攝像元件8進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的攝像元件8具有包括表面和背面的半導(dǎo)體層。在表面和背面之間配置有包括以二維狀排列的多個(gè)光敏單元(像素)的光敏單元陣列。利用兩個(gè)反射鏡10反射的光通過(guò)表面或背面入射到光敏單元陣列。各光敏單元是典型的光電二極管，通過(guò)光電轉(zhuǎn)換將與入射光量對(duì)應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)(像素信號(hào))輸出。圖5A是表示本實(shí)施方式的像素排列的例子的俯視圖。光敏單元陣列200包括例如圖5A所示的在攝像面上以正方形晶格狀排列的多個(gè)光敏單元2。光敏單元陣列200由多個(gè)單元塊40構(gòu)成，各單元塊40包括4個(gè)光敏單元2a、2b、2c和2d。并且，光敏單元的排列可以不是這種正方形晶格狀的排列，而既可以是如圖5B所示的斜交型的排列，也可以是其他的排列。另外，雖然包含在各單元塊中的4個(gè)光敏單元2a 2d優(yōu)選如圖5A和5B所示彼此貼近，但是，即使他們相互隔開，也能通過(guò)對(duì)后面要提到的分光要素陣列采取適當(dāng)?shù)臉?gòu)成而獲得顏色信息。另外，各單元塊也可以包含5個(gè)以上的光敏單元。在本實(shí)施方式中，在表面?zhèn)纫约氨趁鎮(zhèn)确謩e配置與光敏單元陣列200相對(duì)置且包括多個(gè)分光要素的分光要素陣列。以下，對(duì)本實(shí)施方式的分光要素進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的分光要素是利用在折射率不同的兩種透光性部件的邊界生成的光的衍射，根據(jù)波段使入射光朝向不同方向的光學(xué)元件。這種類型的分光要素具有用折射率相對(duì)高的材料形成的高折射率透明部件(芯部)和用折射率相對(duì)低的材料形成并且與芯部的各個(gè)側(cè)面相接的低折射率透明部件(包層部)。由于在芯部和包層部之間存在折射率差，因此在透過(guò)兩者的光之間產(chǎn)生相位差，因此發(fā)生衍射。由于該相位差根據(jù)光的波長(zhǎng)的不同而不同，因此，可根據(jù)波段(顏色分量)將光進(jìn)行空間性分離。例如，可使第1顏色分量的光朝向第1方向，使第1顏色分量以外的光朝向第2方向。另外，能將第1顏色分量的光的一半朝向第1方向，將另一半朝向第2方向，將第1顏色分量以外的光朝向第3方向。而且，還能將彼此不同顏色分量的光朝向3個(gè)方向。由于能利用芯部和包層部的折射率差進(jìn)行分光，因此，在本說(shuō)明書中，有時(shí)將高折射率透明部件稱為“分光要素”。關(guān)于這種衍射型的分光要素的詳細(xì)內(nèi)容，例如日本專利第4264465號(hào)公報(bào)中進(jìn)行了公開。

具有以上的分光要素的分光要素陣列可以利用眾所周知的半導(dǎo)體制造技術(shù)，通過(guò)執(zhí)行薄膜的沉積以及構(gòu)圖來(lái)制造。通過(guò)對(duì)分光要素的材質(zhì)(折射率)、形狀、尺寸和排列模式等進(jìn)行適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)，能在各自的光敏單元中將所希望的波段的光進(jìn)行分離/合并后入射。其結(jié)果是，根據(jù)各光敏單元所輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)組，能計(jì)算出相當(dāng)于所需的顏色分量的信號(hào)。以下，參照?qǐng)D6A 6C對(duì)本實(shí)施方式的攝像元件10的基本結(jié)構(gòu)以及分光要素的作用進(jìn)行說(shuō)明。圖6A是從表面?zhèn)瓤磾z像元件10的基本結(jié)構(gòu)的情況下的俯視圖。在本實(shí)施方式中， 將2行2列的像素構(gòu)成作為信號(hào)處理的基本單位。在表面?zhèn)确謩e配置與光敏單元2a、2d各自相對(duì)置的分光要素la、Id。另外，在背面?zhèn)确謩e配置與光敏單元2b、2c各自相對(duì)置的分光要素lb、lc。具有這種基本結(jié)構(gòu)的多個(gè)圖案重復(fù)地形成于攝像元件8的攝像面上。并且，在以下的說(shuō)明中，使用圖中所示的xy坐標(biāo)，將χ軸方向稱為“水平方向”，將y軸方向稱為“垂直方向”。圖6B、6C是分別表示圖6A中的AA，線截面以及BB，線截面的圖。攝像元件8具有由硅等的材料構(gòu)成的半導(dǎo)體層7 ；配置在半導(dǎo)體層7的內(nèi)部的光敏單元2a 2d ；由在半導(dǎo)體層7的表面?zhèn)刃纬傻牟季€層5以及低折射率透明部件構(gòu)成的透明層17 ；和由配置在透明層17的內(nèi)部的高折射率透明部件構(gòu)成的分光要素la、ld以及配置在半導(dǎo)體層7的內(nèi)部的分光要素lb、lc。在此，分光要素la、ld具有彼此相同的特性。另外，在分光要素la、ld 中分別聚光的微透鏡4隔著透明層17配置在半導(dǎo)體層7的表面?zhèn)?。同樣，在分光要素lb、 Ic中分別聚光的微透鏡3配置在半導(dǎo)體層7的背面層。在半導(dǎo)體層7的表面?zhèn)刃纬闪酥伟雽?dǎo)體層7或布線層5等的透明基板6。透明基板6隔著透明層17與半導(dǎo)體層7接合。圖6B、6C所示的結(jié)構(gòu)是通過(guò)眾所周知的半導(dǎo)體工序制造的。例如，可使用以下的方法制造。首先，在具有一定程度的厚度的半導(dǎo)體基板的表面內(nèi)部形成光敏單元陣列以及分光要素lb、lc，在表面上形成布線層5、分光要素la、ld以及微透鏡4等構(gòu)造物。接下來(lái)， 隔著透明層17將半導(dǎo)體基板和透明基板6接合。然后，通過(guò)進(jìn)行研磨或蝕刻將半導(dǎo)體基板從背面?zhèn)乳_始打薄，例如達(dá)到厚度為數(shù)微米的程度，形成半導(dǎo)體層7。在形成半導(dǎo)體層7之后，在背面?zhèn)刃纬晌⑼哥R3等。在此，背面?zhèn)鹊姆止庖豯b、lc以及微透鏡3配合表面?zhèn)鹊臉?gòu)造物的配置而形成，以便當(dāng)光從兩個(gè)面入射時(shí)形成在光敏單元陣列上的2個(gè)圖像重疊。如圖6B所示的分光要素la、lb由折射率比透明層17以及半導(dǎo)體層7還高的透明材料形成，在光出射一側(cè)的頂端具有梯級(jí)。由于透明層17或半導(dǎo)體層7的折射率之差的緣故，將入射光分成O次、1次和-1次等的衍射光。由于它們的衍射角根據(jù)波長(zhǎng)的不同而不同，因此，能根據(jù)顏色分量將光分成2個(gè)方向。分光要素Ia將綠色光(G)入射到其正下方 (相對(duì)置)的光敏單元2a，將包含在品紅色光的波段中的光(R+B)入射到相鄰的光敏單元 2b。分光要素Ib將包含在黃色光的波段中的光(R+G)入射到其正下方(相對(duì)置)的光敏單元2b，將藍(lán)色光(B)入射到相鄰的光敏單元2a。微透鏡3、4是將水平方向的2像素份和垂直方向的1像素份的光聚光的微透鏡，它們?cè)谒椒较蛏媳舜讼喔?像素間距而配置。如圖6C所示的分光要素lc、ld也由折射率比透明層17以及半導(dǎo)體層7還高的透明材料形成，在光出射一側(cè)的頂端具有梯級(jí)。在表面?zhèn)扰渲玫呐c光敏單元2d相對(duì)置的分光要素Id與分光要素Ia相比，在水平方向上錯(cuò)開1個(gè)像素份配置。在背面?zhèn)扰渲玫呐c光敏單元2c相對(duì)置的分光要素Ic將包含在青綠色光的波段中的光(G+B)入射到其正下方(相對(duì)置)的光敏單元2c，將紅光(R)入射到相鄰的光敏單元2d。分光要素Id與分光要素Ia 同樣，將綠色光(G)入射到相對(duì)置的光敏單元2d，將包含在品紅色光的波段中的光(R+B)入射到相鄰的光敏單元2c。另外，與分光要素2c的配置相對(duì)應(yīng)地在背面?zhèn)扰渲昧宋⑼哥R3， 與分光要素2d的配置相對(duì)應(yīng)地在表面?zhèn)扰渲昧宋⑼哥R4。如上所述，本實(shí)施方式的分光要素并不是都配置在攝像元件的攝像面的一側(cè)，而是分開配置在攝像元件的兩側(cè)。通過(guò)利用這種分散配置進(jìn)行顏色分離，能將分光要素的配置密度降低為采用現(xiàn)有技術(shù)的情況下的大約1/2。其結(jié)果是，能期待彩色攝像元件制造中的構(gòu)圖等的性能的提高。根據(jù)以上的構(gòu)成，通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)20被分成2份的光入射到攝像元件8的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊臄z像面上。由于透明基板6通過(guò)光，因此，攝像元件8中的各光敏單元2a 2c!接收從表面?zhèn)纫约氨趁鎮(zhèn)热肷涞墓狻ｋm然入射到攝像面的一側(cè)的光量由于半透明反射鏡的原因而減半，但是，由于微透鏡的尺寸相當(dāng)于2個(gè)像素份的尺寸，因此，向各分光要素Ia Id 入射相當(dāng)于在沒有設(shè)置半透明反射鏡的情況下的對(duì)1個(gè)像素入射的光量的量的光。以下， 對(duì)各光敏單元的光接收量進(jìn)行說(shuō)明。首先，對(duì)光敏單元2a、2b所接收的光進(jìn)行說(shuō)明。從攝像元件8的表面?zhèn)热肷涞墓馔ㄟ^(guò)透明基板6和微透鏡4，被分光要素Ia分光為綠色光(G)和綠色光以外(R+B)的光，這些光分別入射到光敏單元2a和2b。另一方面，從攝像元件8的背面?zhèn)热肷涞墓馔ㄟ^(guò)微透鏡 3，被分光要素1b分光成藍(lán)色光(B)和藍(lán)色光以外的光(R+G)，這些光分別入射到光敏單元 2a 禾口 2b。接下來(lái)，對(duì)光敏單元2c、2d所接收的光進(jìn)行說(shuō)明。從攝像元件8的表面?zhèn)热肷涞墓馔ㄟ^(guò)透明基板6和微透鏡4，被分光要素Id分光為綠色光以外的光(R+B)和綠色光(G)， 這些光分別入射到光敏單元2c和2d。另一方面，從攝像元件8的背面?zhèn)热肷涞墓馔ㄟ^(guò)微透鏡3，被分光要素1c分光成紅色光以外的光(G+B)和紅色光(R)，這些光分別入射到光敏單元2c和2d。通過(guò)以上的構(gòu)成，從光敏單元2a 2d輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)S2a、S2b、S2c和S2d 分別用以下的公式6 9表示，其中，將相當(dāng)于入射光(可見光)、紅光、綠光和藍(lán)光的強(qiáng)度的信號(hào)分別表示為Ws、Rs、Gs和Bs。(公式 6) S2a = Ws-Rs = Gs+Bs
(公式 7) S2b = ffs+Rs = 2Rs+Gs+Bs (公式 8) S2c = ffs+Bs = Rs+Gs+2Bs(公式 9) S2d = Ws-Bs = Rs+Gs根據(jù)公式6 9進(jìn)行加減運(yùn)算可獲得以下的公式10 13。(公式 10) S2b-S2a = 2Rs(公式 ll)S2a+S2b = 2Rs+2Gs+2Bs = 2ffs(公式 12) S2c-S2d = 2Bs(公式 13) S2c+S2d = 2Rs+2Gs+2Bs = 2ffs圖像信號(hào)生成部25(圖3)通過(guò)使用以公式6 9表示的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)并執(zhí)行用公式10 13表示的運(yùn)算從而生成顏色信息。這樣，可通過(guò)水平方向(X方向)的光敏單元之間的信號(hào)的減法運(yùn)算來(lái)獲得R信號(hào)以及B信號(hào)，可通過(guò)水平方向的光敏單元的信號(hào)的加法運(yùn)算來(lái)獲得W信號(hào)。并且，通過(guò)從W信號(hào)中減去R信號(hào)以及B信號(hào)可獲得G信號(hào)。通過(guò)以上的信號(hào)運(yùn)算可獲得由RGB信號(hào)組成的彩色信號(hào)。圖像信號(hào)生成部15通過(guò)針對(duì)光敏單元陣列200的每個(gè)單元塊40分別執(zhí)行以上的信號(hào)運(yùn)算，生成表示R、G、B的各顏色分量的圖像的信號(hào)(稱為“彩色圖像信號(hào)”)。所生成的彩色圖像信號(hào)通過(guò)圖像信號(hào)輸出部16被輸出到未圖示的記錄介質(zhì)或顯示部中。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的攝像裝置，能通過(guò)使用從4個(gè)光敏單元輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)的簡(jiǎn)單運(yùn)算進(jìn)行顏色分離。另一方面，關(guān)于像素的分辨率，由于在垂直方向(y方向)上對(duì)1個(gè)像素以1個(gè)單位配置微透鏡，因此，不會(huì)產(chǎn)生分辨率變差的問(wèn)題。但是，由于在水平方向(χ方向)上對(duì)2個(gè)像素以1個(gè)單位配置微透鏡，因此會(huì)出現(xiàn)分辨率變差的問(wèn)題。但是，在本實(shí)施方式中，由于微透鏡的水平方向的配置是采用每一行錯(cuò)開1個(gè)像素份的像素錯(cuò)開的方式，因此，即使是水平方向，也能確保與在對(duì)1個(gè)像素以1個(gè)單位配置微透鏡的情況相同程度的分辨率。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的攝像裝置，由于使用無(wú)光吸收的分光要素，因此，能進(jìn)行光利用率高、靈敏度高的攝像。另外，能使用分光成綠色光(G)和綠色光以外的光 (R+B)的分光要素Ia以及分光成藍(lán)色光⑶和藍(lán)色光以外的光(R+G)的分光要素Ib的組合。同樣，能使用分光成紅色光(R)和紅色光以外的光(G+B)的分光要素Ic以及分光成綠色光(G)和綠色光以外的光(R+B)的分光要素Id的組合。根據(jù)這種分光要素的組合，能以高靈敏度進(jìn)行顏色分離，并能獲得分辨率也沒有問(wèn)題的圖像。而且，由于分光要素在水平方向和垂直方向上都以隔1個(gè)像素的方式分散配置在攝像元件8的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)?，因此?每個(gè)面的分光要素的配置密度都比現(xiàn)有技術(shù)的情況減少，其結(jié)果是，具有能提高攝像元件8 的制造中的分光要素的構(gòu)圖特性。并且，圖像信號(hào)生成部15可以不用生成所有的三種顏色分量的圖像信號(hào)。也可以根據(jù)用途只生成一種顏色或兩種顏色的圖像信號(hào)。另外，根據(jù)需要可以進(jìn)行信號(hào)的放大、合成和修改。另外，雖然理想的是各分光要素嚴(yán)格地具有上述分光性能，但是這些分光性能也可以多少有些偏差。即，從各光敏單元輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)也可以與公式6 9表示的信號(hào)多少有些不同。即使各分光要素的分光性能與理想的性能相比有些偏差，也能通過(guò)根據(jù)偏差的程度對(duì)信號(hào)進(jìn)行校正而獲得良好的顏色信息。
而且，本實(shí)施方式中的圖像信號(hào)生成部15進(jìn)行的信號(hào)運(yùn)算也可以不在攝像裝置本身而在其他的設(shè)備中執(zhí)行。例如，通過(guò)在接收到從攝像元件8輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)的輸入的外部設(shè)備中執(zhí)行規(guī)定本實(shí)施方式的信號(hào)運(yùn)算處理的程序也能生成顏色信息。 另外，光學(xué)系統(tǒng)中的半透明反射鏡11不局限于將光2等分的透鏡，透射率和反射率也可以不同。在這種情況下，能通過(guò)根據(jù)透射光和反射光的強(qiáng)度的比率對(duì)運(yùn)算公式進(jìn)行適當(dāng)修正來(lái)生成顏色信息。在以上的說(shuō)明中，雖然將分光要素Ia Id設(shè)為分別與光敏單元2a 2d相對(duì)置，但并不一定需要相對(duì)置。各分光要素也可以以覆蓋2個(gè)光敏單元的方式配置。另外， 上述說(shuō)明的分光要素Ia Id雖然利用衍射將光根據(jù)顏色分量進(jìn)行分離，但也可以采用其他的手段進(jìn)行分光。例如，作為分光要素Ia ld，也可以使用眾所周知的微棱鏡或分色鏡 (dichroic mirror)0并且，通過(guò)各分光要素進(jìn)行的分光的模式不局限于上述例子。如果是使用將光分光成原色的波段的光(原色光)和其補(bǔ)色的波段的光(補(bǔ)色光)的多個(gè)分光要素，各光敏單元能接收兩種原色光或兩種補(bǔ)色光的構(gòu)成以及構(gòu)造，則能通過(guò)與上述相同的處理進(jìn)行顏色分離。以下，對(duì)將本實(shí)施方式的顏色分離處理進(jìn)行了一般化的情況下的顏色分離處理進(jìn)行說(shuō)明。在以下的說(shuō)明中，入射光(可見光)W被分類成三種原色光Ci、Cj和Ck，它們的補(bǔ)色光分別為(Cj+Ck)、(Ci+Ck)和(Ci+Cj)。另外，將相當(dāng)于原色光Ci、Cj和Ck的強(qiáng)度的信號(hào)分別設(shè)為Cis、Cjs和Cks。在像這樣進(jìn)行了一般化的情況下，各構(gòu)成要素可以設(shè)置成光敏單元2a從表面?zhèn)冉邮誄j光，且從背面?zhèn)冉邮誄k光。在這種情況下，光敏單元2b從表面?zhèn)冉邮?Ci+Ck)光， 且從背面?zhèn)冉邮?Ci+Cj)光。另外，光敏單元2c從表面?zhèn)冉邮?Ci+Ck)光，且從背面?zhèn)冉邮?Cj+Ck)光。光敏單元2d從表面?zhèn)冉邮誄j光，且從背面?zhèn)冉邮誄i光。根據(jù)以上的構(gòu)成，各光敏單元2a 2d的信號(hào)S2a S2d分別用以下的公式14 17表示。(公式 14)S2a = Cjs+Cks(公式 15)S2b = 2Cis+Cjs+Cks(公式 I6) S2C = Cis+Cjs+2Cks(公式 17)S2d = Cis+Cjs通過(guò)公式14 17的加減法運(yùn)算可獲得以下的公式18 21。(公式 18) S2b-S2a = 2Cis(公式 19)S2a+S2b = 2Cis+2Cjs+2Cks = 2ffs(公式 20) S2c-S2d = 2Cks(公式 21)S2c+S2d = 2Cis+2Cjs+2Cks = 2ffsS卩，通過(guò)對(duì)水平方向的光敏單元之間的信號(hào)進(jìn)行減法運(yùn)算可獲得表示Ci光和Ck 光的強(qiáng)度的信號(hào)Cis和Cks，通過(guò)對(duì)水平方向的光敏單元的信號(hào)進(jìn)行加法運(yùn)算可獲得表示W(wǎng) 光的強(qiáng)度的信號(hào)Ws ( = Cis+Cjs+Cks)。通過(guò)從獲得的Ws中減去Cis以及Cks可獲得表示 Cj光的強(qiáng)度的信號(hào)Cjs。其結(jié)果是，可獲得三種顏色的彩色信號(hào)。從以上的結(jié)果可知，如果是1個(gè)光敏單元能接收兩種原色光以及兩種補(bǔ)色光的構(gòu)成以及構(gòu)造，則能通過(guò)與本實(shí)施方式的信號(hào)運(yùn)算處理相同的處理進(jìn)行顏色分離。(實(shí)施方式2) 接下來(lái)，參照?qǐng)D7A 7C對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的攝像裝置與實(shí)施方式1的攝像裝置相比，各分光要素的特性不同，其他的構(gòu)成要素相同。因此， 在以下的說(shuō)明中，以與實(shí)施方式1的攝像裝置的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，省略重復(fù)的說(shuō)明。圖7A是從表面?zhèn)瓤幢緦?shí)施方式的攝像元件8的像素構(gòu)成的圖。在本實(shí)施方式中也以2行2列的像素構(gòu)成作為信號(hào)處理的基本單位。在表面?zhèn)确謩e配置了與光敏單元2a 和2d相對(duì)置的分光要素Ie和If。另外，在背面?zhèn)确謩e配置了與光敏單元2b和2c相對(duì)置的分光要素Ig和lh。在此，分光要素Ie和分光要素Ig具有相同的特性。并且，在圖7A中省略了分光要素Ie Ih的記載。圖7B是圖7A的CC’線剖視圖。分光要素le、lf由折射率比透明層17以及半導(dǎo)體層7還高的透明材料形成，由于透明層17或半導(dǎo)體層7的折射率之差的緣故，將入射光分離成0次、1次和-1次等的衍射光。由于它們的衍射角根據(jù)波長(zhǎng)的不同而不同，因此，能根據(jù)顏色分量將光分成3個(gè)方向。在此，分光要素Ie在光出射一側(cè)的頂端具有梯級(jí)。另一方面，分光要素If在頂端沒有梯級(jí)，是正方體形狀。分光要素Ie將綠色光(G)入射到其正下方(相對(duì)置)的光敏單元2a，將紅色光(R)入射到相鄰的一個(gè)光敏單元2b，將藍(lán)色光(B) 入射到相鄰的另一個(gè)光敏單元。在此，相鄰的另一個(gè)光敏單元屬于相鄰的單元塊(第1相鄰單元塊)，分光要素If將包含在黃色光的波段中的光(R+G)入射到其正下方(相對(duì)置) 的光敏單元2b，將藍(lán)色光(B)的各一半入射到光敏單元2a以及包含在相鄰的其他單元塊 (第2相鄰單元塊)中的光敏單元。并且，分光要素以外的構(gòu)成要素與實(shí)施方式1相同，微透鏡3和4的配置關(guān)系、尺寸也與實(shí)施方式1相同。圖7C是圖7A的DD’線剖視圖。分光要素lg、lh也與分光要素le、lf相同，由透明的高折射率的材料形成，且利用衍射根據(jù)顏色分量將光分離成3個(gè)方向。配置在表面?zhèn)鹊呐c光敏單元2d相對(duì)置的分光要素Ig與分光要素Ie具有相同的特性，并且以相對(duì)于分光要素Ie在水平方向上錯(cuò)開1個(gè)像素份的方式配置。分光要素Ih配置在背面?zhèn)扰c光敏單元 2c相對(duì)置的位置。分光要素Ig將綠色光(G)入射到相對(duì)置的光敏單元2d，將藍(lán)色光(B) 入射到光敏單元2c，將紅色光(R)入射到包含在第2相鄰單元塊中的光敏單元。分光要素 Ih將包含在青綠色光的波段中的光(G+B)入射到相對(duì)置的光敏單元2c，將紅色光(R)的各一半分別入射到光敏單元2d以及包含在第1相鄰單元塊中的光敏單元。并且，根據(jù)分光要素Ig和Ih的配置，微透鏡3和4分別以相對(duì)置的方式配置。如上所述，在本實(shí)施方式中，分光要素也不是都配置在攝像元件的攝像面的單側(cè)， 而是分開配置在攝像元件的兩側(cè)。通過(guò)以這種分散配置的方式進(jìn)行顏色分離，能將分光要素的配置密度縮小為采用現(xiàn)有技術(shù)的情況下的大約1/2。其結(jié)果是，可期待在彩色攝像元件的制造中提高構(gòu)圖案等的性能。根據(jù)以上構(gòu)成，被攝像光學(xué)系統(tǒng)20分成2份的光與實(shí)施方式1的情況相同，入射到攝像元件8的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊臄z像面上。雖然入射到攝像面的一側(cè)的光量通過(guò)半透明反射鏡而減半，但是，由于微透鏡的尺寸相當(dāng)于2像素份的尺寸，因此，在各分光要素Ie Ih中入射相當(dāng)于對(duì)不設(shè)置半透明反射鏡的情況下的1個(gè)像素入射的光量的量的光。以下， 對(duì)各光敏單元的光接收量進(jìn)行說(shuō)明。
首先，對(duì)光敏單元2a、2b接收的光進(jìn)行說(shuō)明。光敏單元2a從表面?zhèn)冉邮胀高^(guò)分光要素Ie的綠色光(G)，從背面?zhèn)冉邮胀高^(guò)2個(gè)分光要素1f的藍(lán)色光(B/2+B/2)。在此，2個(gè)分光要素1f中的一個(gè)與屬于第1相鄰單元塊的1個(gè)光敏單元相對(duì)置。另一方面，光敏單元 2b從表面?zhèn)冉邮胀高^(guò)分光要素1e的紅色光(R)和透過(guò)與屬于第2相鄰單元塊的1個(gè)光敏單元相對(duì)置的分光要素的藍(lán)色光(B)，從背面?zhèn)冉邮胀高^(guò)用于分光的If的紅色光以及綠色光(R+G)。接下來(lái)，對(duì)光敏單元2c、2d所接收的光進(jìn)行說(shuō)明。光敏單元2c從表面?zhèn)冉邮胀高^(guò)分光要素Ig的藍(lán)色光(B)和透過(guò)與屬于第1相鄰單元塊的1個(gè)光敏單元相對(duì)置的分光要素Ig的紅色光(R)，從背面?zhèn)冉邮胀高^(guò)分光要素Ih的綠色光以及藍(lán)色光(G+B)。光敏單元 2d從表面?zhèn)冉邮胀高^(guò)分光要素Ig的綠色光(G)，從背面?zhèn)冉邮胀高^(guò)2個(gè)分光要素Ih的紅色光(B/2+B/2)。在此，2個(gè)分光要素Ih中的一個(gè)與屬于第2相鄰單元塊的1個(gè)光敏單元相對(duì)置。根據(jù)以上的構(gòu)成，光敏單元2a 2d的生成信號(hào)與實(shí)施方式1的生成信號(hào)完全相同，分別用公式6 公式9表示。其結(jié)果是，與實(shí)施方式1相同，能通過(guò)4個(gè)像素的簡(jiǎn)單的信號(hào)運(yùn)算進(jìn)行顏色分離。另外，關(guān)于像素的分辨率，由于在垂直方向上對(duì)1個(gè)像素以1個(gè)單位配置微透鏡，因此，不會(huì)出現(xiàn)分辨率變差的問(wèn)題。另外，由于在水平方向上對(duì)2個(gè)像素以1 個(gè)單位配置微透鏡，因此會(huì)出現(xiàn)分辨率變差的問(wèn)題。但是，在本實(shí)施方式中，由于微透鏡的水平方向的配置是采用每一行錯(cuò)開1個(gè)像素份的像素錯(cuò)開的方式，因此，即使是水平方向也能確保與在對(duì)1個(gè)像素以1個(gè)單位配置微透鏡的情況相同程度的分辨率。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的攝像裝置，由于使用無(wú)光吸收的分光要素，因此，可進(jìn)行光利用率高、靈敏度高的攝像。在本實(shí)施方式中，可使用分光成RGB的三種分量的分光要素1e以及分光成藍(lán)色光(B)和藍(lán)色光以外的光(R+G)的分光要素1f的組合。同樣，可使用分光成RGB的分光要素Ih以及分光成紅色光(R)和紅色光以外的光(G+B)的分光要素Ig的組合。根據(jù)這種分光要素的組合，能以高靈敏度進(jìn)行顏色分離，并能獲得分辨率也沒有問(wèn)題的圖像。而且，由于分光要素在水平方向和垂直方向上都以隔1個(gè)像素的方式分散配置在攝像元件8的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)?，因此，每個(gè)面的分光要素的配置密度都比現(xiàn)有技術(shù)的情況減少，其結(jié)果是，具有能提高攝像元件8的制造中的分光要素的構(gòu)圖特性的效果。在以上的說(shuō)明中，雖然分光要素1e 1h分別與光敏單元2a 2d相對(duì)置設(shè)置，但并不一定需要相對(duì)置設(shè)置。各分光要素也可以以覆蓋2個(gè)光敏單元的方式配置。另外，上述說(shuō)明中的分光要素1e 1h雖然利用衍射根據(jù)顏色分量將光進(jìn)行分離，但是也可以通過(guò)其他的方法進(jìn)行分光。例如，作為分光要素1e 1h，也可以使用眾所周知的微棱鏡或分色 fe等。并且，在本實(shí)施方式中，各分光要素的分光模式不局限于上述模式。例如，既可以分別使用實(shí)施方式1的分光要素lb、lc來(lái)代替分光要素lf、lh，也可以分別使用實(shí)施方式1 的分光要素la、Id來(lái)代替分光要素le、lg。如上所述，如果使用分光成RGB的分光要素以及分光成原色和補(bǔ)色的分光要素，則能獲得與本實(shí)施方式完全相同的效果。在本實(shí)施方式中， 如果是光敏單元能接收兩種原色光或兩種補(bǔ)色光的構(gòu)成以及構(gòu)造，則也能通過(guò)與上述相同的處理進(jìn)行顏色分離，并能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)施方式1所示的一般化。(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)
本發(fā)明的固體攝像元件以及攝像裝置對(duì)使用固體攝像元件的所有照相機(jī) 都有效。 例如，可用于數(shù)字照相機(jī)或數(shù)字?jǐn)z像機(jī)等民用照相機(jī)或工業(yè)用的固體監(jiān)視照相機(jī)等。(附圖標(biāo)記的說(shuō)明)l、la、lb、lc、ld、le、lf、lg、lh 分光要素2、2a、2b、2c、2d、攝像元件的光敏單元3、4 微透鏡5攝像元件的布線層6攝像元件的透明基板7攝像元件的半導(dǎo)體層8攝像元件9透明封裝件10 反射鏡11 半透明反射鏡12 透鏡13 反射紅色(R)以外的多層膜濾色器14 只反射綠色(G)的多層膜濾色器15 只反射藍(lán)色(B)的多層膜濾色器16 光學(xué)濾光器17 透明層20 光學(xué)系統(tǒng)21 信號(hào)生成/接收部23 存儲(chǔ)器25 圖像信號(hào)生成部27 圖像信號(hào)輸出部40 單元要素100 分光要素陣列200 光敏單元陣列300 攝像部400 信號(hào)處理部
權(quán)利要求
1.一種攝像裝置，具有固體攝像元件和在上述固體攝像元件的攝像面上成像的光學(xué)系統(tǒng)，其中，上述固體攝像元件具有半導(dǎo)體層，其具有第1面以及位于上述第1面的相反側(cè)的第2面； 光敏單元陣列，其是形成在上述半導(dǎo)體層中且從上述第1面一側(cè)以及上述第2面一側(cè)接收光的光敏單元陣列，且具有分別包括第1光敏單元以及第2光敏單元的多個(gè)單元塊；和分光要素陣列，其是與上述光敏單元陣列相對(duì)置地形成在上述第1面一側(cè)以及上述第 2面一側(cè)中的至少一側(cè)的分光要素陣列，且使不同波段的光入射到上述第1光敏單元以及上述第2光敏單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攝像裝置，其中，上述光學(xué)系統(tǒng)將光的各一半分別入射到上述第1面以及上述第2面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的攝像裝置，其中， 上述分光要素陣列具有第1分光要素陣列，其與上述光敏單元陣列相對(duì)置地形成在上述第1面一側(cè)；和第2分光要素陣列，其與上述光敏單元陣列相對(duì)置地形成在上述第2面一側(cè)， 上述第1分光要素陣列使第1波段的光入射到上述第1光敏單元；使上述第1波段以外的光入射到上述第2光敏單元，上述第2分光要素陣列使與上述第1波段不同的第2波段的光入射到上述第1光敏單元；使上述第2波段以外的光入射到上述第2光敏單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的攝像裝置，其中，在將入射光分類成第1顏色分量的光、第2顏色分量的光以及第3顏色分量的光時(shí)， 上述第1分光要素陣列具有第1分光要素，該第1分光要素是與上述第1光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第1分光要素，且使上述第1顏色分量的光入射到上述第1光敏單元，使上述第2 以及第3顏色分量的光入射到上述第2光敏單元，上述第2分光要素陣列具有第2分光要素，該第2分光要素是與上述第2光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第2分光要素，且使上述第2顏色分量的光入射到上述第1光敏單元，使上述第1 以及第3顏色分量的光入射到上述第2光敏單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的攝像裝置，其中，在將入射光分類成第1顏色分量的光、第2顏色分量的光以及第3顏色分量的光時(shí)， 上述第1分光要素陣列具有第1分光要素，該第1分光要素是與上述第1光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第1分光要素，且使上述第1顏色分量的光入射到上述第1光敏單元，使上述第2 顏色分量的光入射到上述第2光敏單元，使上述第3顏色分量的光入射到包括在相鄰的第 1相鄰單元塊中的1個(gè)光敏單元，上述第2分光要素陣列具有第2分光要素，該第2分光要素是與上述第2光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第2分光要素，且使上述第3顏色分量的光的各一半分別入射到上述第1光敏單元以及包括在相鄰的第2相鄰單元塊中的1個(gè)光敏單元，使上述第1以及第2顏色分量的光入射到上述第2光敏單元，上述第1光敏單元接收從上述第1分光要素入射的上述第1顏色分量的光、和從上述第2分光要素以及包括在上述第1相鄰單元塊中的分光要素入射的上述第3顏色分量的光，上述第2光敏單元接收從上述第1分光要素入射的上述第2顏色分量的光、從包括在上述第2相鄰單元塊中的分光要素入射的上述第3顏色分量的光、以及從上述第2分光要素入射的上述第1以及第2顏色分量的光。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的攝像裝置，其中，各單元塊包括第3光敏單元以及第4光敏單元，上述第1分光要素陣列具有第3分光要素，該第3分光要素是與上述第3光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第3分光要素，且使上述第1顏色分量的光入射到上述第3光敏單元，使上述第2 以及第3顏色分量的光入射到上述第4光敏單元，上述第2分光要素陣列具有第4分光要素，該第4分光要素是與上述第4光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第4分光要素，且使上述第2顏色分量的光入射到上述第3光敏單元，使上述第1 以及第3顏色分量的光入射到上述第4光敏單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的攝像裝置，其中，各單元塊包括第3光敏單元以及第4光敏單元，上述第1分光要素陣列具有第3分光要素，該第3分光要素是與上述第3光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第3分光要素，且使上述第1顏色分量的光入射到上述第3光敏單元，使上述第3 顏色分量的光入射到上述第4光敏單元，使上述第2顏色分量的光入射到包括在上述第2 相鄰單元塊中的1個(gè)光敏單元，上述第2分光要素陣列具有第4分光要素，該第4分光要素是與包括在各單元塊中的上述第4光敏單元對(duì)應(yīng)配置的第4分光要素，且使上述第2顏色分量的光的各一半分別入射到上述第3光敏單元以及包括在上述第1相鄰單元塊中的1個(gè)光敏單元，使上述第1以及第3顏色分量的光入射到上述第4光敏單元，上述第3光敏單元接收從上述第3分光要素入射的上述第1顏色分量的光、和從上述第4分光要素以及包括在上述第2相鄰單元要素中的分光要素入射的上述第2顏色分量的光，上述第4光敏單元接收從上述第3分光要素入射的上述第3波段的光，從包括在上述第1相鄰單元要素中的分光要素入射的上述第2波段的光、以及從上述第4分光要素入射的上述第1波段以及上述第3波段的光。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的攝像裝置，其中，上述第1光敏單元、上述第2光敏單元、上述第3光敏單元以及上述第4光敏單元配置成行列狀，上述第1光敏單元與上述第2光敏單元相鄰，上述第3光敏單元與上述第4光敏單元相鄰。
9.根據(jù)權(quán)利要求6 8的任意1項(xiàng)所述的攝像裝置，其中，上述固體攝像元件具有第1微透鏡陣列，其與上述第1分光要素陣列相對(duì)置地形成，并包括分別聚光于上述第 1分光要素以及上述第3分光要素的多個(gè)微透鏡；和第2微透鏡陣列，其與上述第2分光要素陣列相對(duì)置地形成，并包括分別聚光于上述第 2分光要素以及上述第4分光要素的多個(gè)微透鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 9的任意1項(xiàng)所述的攝像裝置，其中， 該攝像裝置還具有信號(hào)處理部，上述信號(hào)處理部根據(jù)從上述第1光敏單元以及上述第2光敏單元分別輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)生成一種顏色信號(hào)。
11.根據(jù)權(quán)利要求6 9的任意1項(xiàng)所述的攝像裝置，其中，上述信號(hào)處理部根據(jù)從上述第1光敏單元、上述第2光敏單元、上述第3光敏單元以及上述第4光敏單元分別輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)生成三種顏色信號(hào)。
12.—種固體攝像元件，具有半導(dǎo)體層，其包括第1面以及位于上述第1面的相反側(cè)的第2面； 光敏單元陣列，其是形成在上述半導(dǎo)體層中且從上述第1面一側(cè)以及上述第2面一側(cè)接收光的光敏單元陣列，且具有分別包括第1光敏單元以及第2光敏單元的多個(gè)單元塊；和分光要素陣列，其是與上述光敏單元陣列相對(duì)置地形成在上述第1面一側(cè)以及上述第 2面一側(cè)中的至少一側(cè)上的分光要素陣列，且使不同波段的光入射到上述第1光敏單元以及上述第2光敏單元。
全文摘要
本發(fā)明提供一種攝像裝置以及固體攝像元件。固體攝像元件具有半導(dǎo)體層(7)，其具有第1面以及位于上述第1面的相反側(cè)的第2面；光敏單元陣列，其形成在半導(dǎo)體層(7)中，且從第1面一側(cè)以及第2面一側(cè)接收光；和分光要素陣列，其與光敏單元陣列相對(duì)置，且形成在第1面一側(cè)以及第2面一側(cè)中的至少一側(cè)。光敏單元陣列包括第1光敏單元(2a)以及第2光敏單元(2b)。分光要素陣列使不同波段的光入射到第1光敏單元(2a)以及第2光敏單元(2b)。
文檔編號(hào)H01L27/14GK102160180SQ201080002638
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2010年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月24日
發(fā)明者平本政夫, 物部祐亮, 西脅青兒, 鈴木正明, 阮康 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社