專利名稱：確定工藝模塊級失控事件的裝置及其方法
確定工藝模塊級失控事件的裝置及其方法
背景技術(shù)：
等離子體處理的發(fā)展提供了半導(dǎo)體行業(yè)的增長。為具有競爭力，制造公司需要能將基底加工成優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體器件。在基底加工期間，一般需要嚴格控制工藝參數(shù)來實現(xiàn)令人滿意的結(jié)果。當工藝參數(shù)(例如射頻功率、壓力、偏置電壓、離子流、等離子體密度等)落在預(yù)定義的窗口之外時，可能會產(chǎn)生不理想的處理結(jié)果(例如，蝕刻輪廓差、低選擇性、損害基底、損害處理室等)。因此，在半導(dǎo)體器件的制造中，識別在工藝參數(shù)處于預(yù)定義的窗口之外時的狀況的能力是重要的。在基底加工期間，可能會發(fā)生損壞基底和/或給處理室組件造成損壞的某些失控事件可能。為識別失控事件，可能會在基底加工期間收集數(shù)據(jù)。在基底加工期間，可能采用諸如傳感器之類監(jiān)控設(shè)備來收集與各種工藝參數(shù)(諸如偏置電壓、反射功率、壓力等)有關(guān)的數(shù)據(jù)。在本文所討論的，傳感器是指可以用來檢測等離子體處理組件的狀況和/或信號的設(shè)備。為了便于討論，將使用術(shù)語“組件”來指處理室中的原子組件或多部分組件。近年來，通過傳感器收集的數(shù)據(jù)的類型和數(shù)量正在增加。通過分析與工藝模塊數(shù)據(jù)和工藝背景數(shù)據(jù)(室事件數(shù)據(jù))有關(guān)的由傳感器收集的數(shù)據(jù)，就可以確定在預(yù)定義的窗口之外的參數(shù)。因此，就可以提供糾正性措施(如方法調(diào)整等)來中止失控事件，從而防止對基底和/或處理室組件產(chǎn)生進一步的損害。
發(fā)明概述在一實施方式中，本發(fā)明涉及配置為便于等離子體處理系統(tǒng)中的基底加工的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)(PLTA)。所述體系結(jié)構(gòu)包括工藝模塊控制器。所述體系結(jié)構(gòu)還包括多個傳感器，其中所述多個傳感器中的每一個傳感器與所述工藝模塊控制器通信以收集關(guān)于一種或多種工藝參數(shù)的檢測到的數(shù)據(jù)。所述體系結(jié)構(gòu)還包括一個工藝模塊級分析服務(wù)器， 其中所述工藝模塊級分析服務(wù)器與所述多個傳感器和所述工藝模塊控制器直接通信。所述工藝模塊級分析服務(wù)器配置用于接收數(shù)據(jù)，其中所述數(shù)據(jù)包括來自所述多個傳感器的檢測數(shù)據(jù)和來自所述工藝模塊控制器的工藝模塊和室數(shù)據(jù)中的至少一種。所述工藝模塊級分析服務(wù)器也配置用于在基底加工期間識別出問題時分析數(shù)據(jù)并且將禁止數(shù)據(jù)直接發(fā)送給所述工藝模塊控制器。上述概述僅涉及本發(fā)明公開的多個實施方式之一，并不旨在限制本發(fā)明的范圍， 本發(fā)明的范圍是在權(quán)利要求書中規(guī)定的。下面將在本發(fā)明的詳細說明中結(jié)合附圖更詳細地說明本發(fā)明的這些和其它特征。


本發(fā)明在附圖的圖中是通過例示式的方式而不是限制式的方式說明的，其中類似的參考數(shù)字是指類似的部件，其中圖1示出了帶有主機級分析服務(wù)器的互連工具環(huán)境的現(xiàn)有技術(shù)的整體邏輯圖。圖2示出了用于關(guān)聯(lián)在傳感器和工藝模型控制器之間的數(shù)據(jù)的、帶有群集工具級解決方案的互連工具環(huán)境的簡化的框圖。圖3示出了在本發(fā)明的一種實施方式中的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)的簡化的邏輯概要圖。圖4示出了在本發(fā)明的一種實施方式中的工藝模塊級分析服務(wù)器的簡化的功能框圖。
具體實施例方式現(xiàn)在將參考在附圖中所示的幾個實施方式來具體說明本發(fā)明。在下面的說明中， 對許多具體細節(jié)進行了詳細地解釋以提供對本發(fā)明的全面了解。然而，顯而易見的是，對本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，本發(fā)明可以在不帶有這些特定細節(jié)的一部分或全部的情況下實現(xiàn)。 在其它情況下，對公知的工藝步驟和/或結(jié)構(gòu)沒有詳細說明，以免不必要地模糊本發(fā)明。下文說明了包括方法和技術(shù)的各種實施方式。應(yīng)該牢記的是，本發(fā)明可能還涵蓋其中包括計算機可讀介質(zhì)的制品，在計算機可讀介質(zhì)上存儲有用于實施本發(fā)明技術(shù)的實施方式的計算機可讀指令。計算機可讀介質(zhì)可包括例如半導(dǎo)體、磁、光磁、光或其它形式的用于存儲計算機可讀代碼的計算機可讀介質(zhì)。此外，本發(fā)明也可涵蓋用于實施本發(fā)明的實施方式的設(shè)備。這樣的設(shè)備可包括電路(專用電路和/或可編程電路)來開展與本發(fā)明的實施方式有關(guān)的任務(wù)。這樣的設(shè)備的例子包括通用計算機和/或適當編程的專用計算裝置， 并且可包括適合于與本發(fā)明的實施方式有關(guān)的各項任務(wù)的計算機/計算設(shè)備和專用電路/ 可編程電路的組合。如前所述，為獲得競爭優(yōu)勢，制造商們必須能夠切實有效地解決在基底加工期間可能出現(xiàn)的問題。故障排除通常涉及到分析在加工期間收集到的大量數(shù)據(jù)。為了便于討論， 圖1示出了帶有主機級分析服務(wù)器的互連工具環(huán)境的現(xiàn)有技術(shù)的整體邏輯視圖?？紤]其中例如一家制造公司可能有一種或多種群集工具(諸如蝕刻工具、清潔工具、剝離工具等)的情況。每一種群集工具可能有多個工藝模塊，其中每一個工藝模塊配置用于一個或多個特定工藝。每一種群集工具可為諸如CTC 104、CTC 106和CTC 108之類群集工具控制器(CTC)控制。每一種群集工具控制器可與諸如PMC 110、112、114和116之類一個或多個工藝模塊控制器(PMC)交互。為了便于討論，將提供與PMC 110有關(guān)的例子。為了辨識可能需要干預(yù)的狀況，可在基底加工期間采用傳感器收集與工藝參數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)(檢測數(shù)據(jù))。在一個例子中，在基底加工期間，多個傳感器(諸如傳感器118、 120、122、124、126、128、130、132、134、136、138和140之類)可能與工藝模塊控制器交互，以收集與一種或多種工藝參數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)?？衫玫膫鞲衅鞯念愋涂扇Q于可能要收集的數(shù)據(jù)的類型。例如，傳感器118可配置為收集電壓數(shù)據(jù)。在另一個例子中，傳感器120可配置為收集壓力數(shù)據(jù)。一般地，可能會被用來從工藝模塊收集數(shù)據(jù)的傳感器可以是不同的品牌、 制造和/或型號。因此，一個傳感器可以幾乎不與或不與另一個傳感器交互。通常，傳感器配置為收集關(guān)于一種或多種特定參數(shù)的測量數(shù)據(jù)。由于絕大多數(shù)傳感器不被配置為執(zhí)行處理，每一個傳感器可以與一個計算模塊(諸如計算機、用戶界面等) 耦合。計算模塊通常配置為處理模擬數(shù)據(jù)和將原始的模擬數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式。在一個例子中，傳感器118通過傳感器電纜144從PMCl 10收集電壓數(shù)據(jù)。傳感器 118接收到的模擬電壓數(shù)據(jù)被計算模塊118b進行處理。由傳感器收集的數(shù)據(jù)被發(fā)送給主機級分析服務(wù)器(如數(shù)據(jù)框14 。在通過網(wǎng)絡(luò)連接向前發(fā)送數(shù)據(jù)給數(shù)據(jù)框142之前，先由計算模塊將數(shù)據(jù)從模擬格式轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式。在一個例子中，在將數(shù)據(jù)通過網(wǎng)絡(luò)路徑146發(fā)送給數(shù)據(jù)框142之前，計算模塊118b先將由傳感器118收集的模擬數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式。數(shù)據(jù)框142可以是配置為收集、處理和分析來自包括傳感器和工藝模塊的多個源的數(shù)據(jù)的中央分析服務(wù)器。通常情況下，可用一個數(shù)據(jù)框來處理在基底加工期間由單一的制造公司的所有群集工具所收集的數(shù)據(jù)?？蓚鬏?shù)綌?shù)據(jù)框142的實際數(shù)據(jù)量可能比傳感器收集到的數(shù)據(jù)量顯著地少。通常，傳感器可以收集大量數(shù)據(jù)。在一個例子中，一個傳感器可以以高達每秒1兆字節(jié)的速率收集數(shù)據(jù)。然而，由傳感器收集的數(shù)據(jù)只有小部分發(fā)送給數(shù)據(jù)框142。不將由傳感器收集到的整個數(shù)據(jù)流傳輸給數(shù)據(jù)框142的原因之一是由于使用效能成本合算的商用通信協(xié)議時的網(wǎng)絡(luò)帶寬的限制。到數(shù)據(jù)框142的網(wǎng)絡(luò)管道可能不能處理從多個源(諸如傳感器 118、120、122、124、126、128、130、132、134、136、138 和 140 之類)發(fā)送給一個接收器(如數(shù)據(jù)框14 的大容量數(shù)據(jù)。換句話說，當數(shù)據(jù)框142試圖接收來自所有傳感器配置的大量數(shù)據(jù)時，在傳感器配置(傳感器和計算模塊)和數(shù)據(jù)框142之間的網(wǎng)絡(luò)路徑可能會遇到嚴重的傳輸堵塞。由上可以理解的是，如果數(shù)據(jù)框142無法處理輸入的信息，被發(fā)送的數(shù)據(jù)包可能會被丟棄，并可能不得不再次發(fā)送，從而給已經(jīng)嚴重擁塞的網(wǎng)絡(luò)管道增添了額外負擔。此外，數(shù)據(jù)框142可能不能在執(zhí)行諸如數(shù)據(jù)處理和分析數(shù)據(jù)之類的其它重要功能的同時而處理來自多個源的高容量的傳入數(shù)據(jù)。如前所述，數(shù)據(jù)框142不僅配置為接收傳入的數(shù)據(jù)包，數(shù)據(jù)框142例如還配置為處理和分析所有輸入數(shù)據(jù)流。由于數(shù)據(jù)框142是用于收集的不同數(shù)據(jù)流的分析服務(wù)器，數(shù)據(jù)框142需要有足夠的處理能力來執(zhí)行大量數(shù)據(jù)流的分析。由于數(shù)據(jù)框142具有有限的處理資源，從每一個傳感器收集的數(shù)據(jù)只有一小部分被發(fā)送給數(shù)據(jù)框142。在一個例子中，在可由單一的傳感器收集的數(shù)以千計的數(shù)據(jù)項中，只有10-15個數(shù)據(jù)項被以1-5赫茲轉(zhuǎn)發(fā)給數(shù)據(jù)框142。在一個例子中，只有由傳感器118收集的數(shù)據(jù)匯總可被發(fā)送給數(shù)據(jù)框142。除了接收來自多個傳感器的數(shù)據(jù)外，數(shù)據(jù)框142還可從工藝模塊控制器接收數(shù)據(jù)。在一個例子中，工藝模塊數(shù)據(jù)和工藝背景數(shù)據(jù)(室事件數(shù)據(jù))可以由每一個工藝模塊控制器收集并轉(zhuǎn)發(fā)給數(shù)據(jù)框142。為了便于討論，工藝模塊數(shù)據(jù)和工藝背景數(shù)據(jù)也可稱為工藝模塊和室數(shù)據(jù)。例如，工藝模塊數(shù)據(jù)和工藝背景數(shù)據(jù)可由PMC 110收集，并通過路徑148 發(fā)送給CTC 104。CTC 104不僅管理來自PMC 110的數(shù)據(jù)，還可處理來自群集工具中的其它工藝模塊控制器(諸如PMC 112、PMC114和PMC 116之類)的數(shù)據(jù)。群集工具控制器收集的數(shù)據(jù)然后通過半導(dǎo)體設(shè)備通信標準/通用設(shè)備模塊 (SECS/GEM)接口傳輸給 fab 主機 102 (fab host)。在一個例子中，CTC 104 將從 PMC 110、 112、114和/或116收集的數(shù)據(jù)通過路徑150通過SECS/GEM 156傳輸給fab主機102。fab 主機102可能不僅從CTC 104接收數(shù)據(jù)，還可例如從諸如CTC 106和108之類其它群集工具控制器接收數(shù)據(jù)。fab主機102所收集的數(shù)據(jù)然后通過路徑158轉(zhuǎn)發(fā)給數(shù)據(jù)框142。由于所收集的數(shù)據(jù)有極大的數(shù)量，并不是將所有發(fā)送給fab主機102的數(shù)據(jù)都轉(zhuǎn)發(fā)給數(shù)據(jù)框 142。在許多情況下，只可將數(shù)據(jù)匯總傳輸給數(shù)據(jù)框142。
數(shù)據(jù)框142可以處理、分析和/或關(guān)聯(lián)由傳感器和工藝模塊控制器收集的數(shù)據(jù)。如果識別出異常，數(shù)據(jù)框120就可隨后確定問題的根源，例如是諸如與正在PMC 110執(zhí)行的方法步驟不一致的參數(shù)之類。一旦問題的根源已經(jīng)確定，數(shù)據(jù)框142就以以太網(wǎng)信息的格式將禁止發(fā)送給fab主機102。fab主機102接到信息后，可通過SECS/GEM 156將信息轉(zhuǎn)發(fā)給CTC 104。群集工具控制器然后可將信息轉(zhuǎn)發(fā)給期望的工藝模塊控制器，在此例中是PMC 110。不幸的是，禁止通常不是實時提供的。相反，期望的工藝模塊通常是在受影響的基底已經(jīng)被處理甚至是整個基底塊已退出工藝模塊之后才收到禁止。因此，不僅是基底/基底塊已被損壞，而且一個或多個處理室組件也可能已受到負面影響，從而增加了浪費并提高了擁有成本。延遲的原因之一是從多個源接收的大量數(shù)據(jù)。即使數(shù)據(jù)框142可配置有快速處理器并有足夠的內(nèi)存來處理大量的數(shù)據(jù)流，數(shù)據(jù)框142可能也需要時間來處理、關(guān)聯(lián)和/或分析所收集的數(shù)據(jù)。工藝模塊延遲接收禁止的另一個原因是數(shù)據(jù)框142正在接收的數(shù)據(jù)流不完整。由于數(shù)據(jù)框142從多個源接收數(shù)據(jù)，正在發(fā)送給數(shù)據(jù)框142的實際數(shù)據(jù)比收集的數(shù)據(jù)顯著要少。在一個例子中，實際上只有一小部分(約1-5赫茲)數(shù)據(jù)正在發(fā)送，而不是發(fā)送由傳感器118收集的1千兆赫的數(shù)據(jù)流。因此，即使數(shù)據(jù)框142正在從其所有的源接收大量的數(shù)據(jù)，所接收到的數(shù)據(jù)通常是不完整的。因此，考慮到數(shù)據(jù)框142可能無法訪問來自所有源的完整數(shù)據(jù)集，確定一個失控事件可能需要時間。此外，將數(shù)據(jù)發(fā)送給數(shù)據(jù)框142的路徑可有所不同。在一個例子中，在模擬數(shù)據(jù)已轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)后直接從傳感器配置(即傳感器及其計算模塊)發(fā)送數(shù)據(jù)。與之相比，由工藝模塊收集的數(shù)據(jù)在較長的網(wǎng)絡(luò)路徑上(至少通過群集工具控制器和fab主機)傳輸。 相應(yīng)地，數(shù)據(jù)框142在所有相關(guān)的數(shù)據(jù)流已被接收到之前無法完成其分析。在工藝模塊和數(shù)據(jù)框142之間的網(wǎng)絡(luò)路徑不僅較長，通過這一路徑發(fā)送的數(shù)據(jù)流還通常面臨至少兩個瓶頸。第一個瓶頸是群集工具控制器。因為由群集工具內(nèi)的工藝模塊收集的數(shù)據(jù)被發(fā)送給單一的群集工具控制器，來自各個工藝模塊的數(shù)據(jù)流都必須通過單一的群集工具控制器處理，所以，第一個瓶頸出現(xiàn)。鑒于可以從每個工藝模塊傳輸?shù)臄?shù)據(jù)的數(shù)量巨大，到群集工具控制器的網(wǎng)絡(luò)路徑通常經(jīng)歷了嚴重的傳輸堵塞。一旦群集工具控制器接收到數(shù)據(jù)，就將數(shù)據(jù)傳送到fab主機102。第二個瓶頸可能發(fā)生在fab主機102。鑒于fab主機102可接收來自各個群集工具控制器的數(shù)據(jù)，由于所接收到的數(shù)據(jù)的量極大，到fab主機102的傳輸也會遇到堵塞。由于數(shù)據(jù)框142需要來自不同源的數(shù)據(jù)以確定失控事件，在工藝模塊和數(shù)據(jù)框 142之間的傳輸狀況阻止了數(shù)據(jù)流及時傳輸給數(shù)據(jù)框142。結(jié)果，數(shù)據(jù)框142收集所有必要的數(shù)據(jù)來進行分析之前，寶貴的時間即已喪失。此外，一旦準備好禁止，禁止在能應(yīng)用以執(zhí)行糾正措施之前必須經(jīng)過同一冗長的路徑回到受影響的工藝模塊。導(dǎo)致延遲的另一個因素是關(guān)聯(lián)來自各個數(shù)據(jù)源的數(shù)據(jù)的挑戰(zhàn)。由于數(shù)據(jù)框142接收的數(shù)據(jù)流通常是從每一個傳感器和/或工藝模塊收集的數(shù)據(jù)匯總，可用的數(shù)據(jù)流可能是在不同的時間間隔，所以，關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)可能是一項艱巨的任務(wù)。在一個例子中，所選擇的從傳感器118傳遞到數(shù)據(jù)框142的數(shù)據(jù)流可以是一秒鐘的間隔，而來自PMC 110的數(shù)據(jù)流可能會是兩秒鐘的間隔。因此，在失控事件可最終確定之前關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)流可能需要時間。關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)的另一個挑戰(zhàn)是由于將數(shù)據(jù)發(fā)送給數(shù)據(jù)框142的路徑不同。由于數(shù)據(jù)是通過不同的計算機和服務(wù)器等而傳輸，數(shù)據(jù)可能會面臨計算機漂移、網(wǎng)絡(luò)延遲和網(wǎng)絡(luò)加載等。結(jié)果，數(shù)據(jù)框142關(guān)聯(lián)來自各個源的數(shù)據(jù)可能會有困難。鑒于緊密關(guān)聯(lián)需要迅速識別失控事件，在失控事件可被準確識別前可能需要進行更多分析。圖1提供的解決方案的另一缺點是用戶成本。除了保持群集工具系統(tǒng)的成本外， 額外費用還與傳感器配置相關(guān)聯(lián)。由于每個傳感器可以是不同的品牌、制造和/或型號，每個傳感器配置通常包括一個傳感器和一個計算模塊。通常需要物理空間來容納每一個傳感器配置。因此，容納傳感器配置的成本可以變得價格昂貴，特別是在房地產(chǎn)價格高的地區(qū)。為了減少工藝模塊中的失控事件的實際發(fā)生與工藝模塊的禁止接收之間的實際時間延遲，提供了群集級分析服務(wù)器。圖2示出了用于關(guān)聯(lián)在傳感器和工藝模型控制器之間的數(shù)據(jù)的、帶有群集工具級解決方案的互連工具環(huán)境的簡化的框圖。與圖1類似，群集工具可包括多個工藝模塊(如PMC210、PMC 212,PMC 214和PMC 216)。為了收集數(shù)據(jù)進行分析，每個工藝模塊可與多個傳感器(如傳感器218、220、222、 2對、2洸、2沘、230、232、2；34、236、238和M0)耦合。每個傳感器可通過傳感器電纜(如傳感器電纜M4)與其相應(yīng)的工藝模塊控制器進行交互以收集處理參數(shù)數(shù)據(jù)。由傳感器收集的數(shù)據(jù)可以是模擬格式。計算模塊(如計算模塊218b)可以在通過路徑246將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)給群集級分析服務(wù)器(如遠程控制器之前處理數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式。類似于圖1，每一個工藝模塊控制器也可將數(shù)據(jù)(如工藝模塊數(shù)據(jù)和工藝背景數(shù)據(jù))傳輸給群集工具控制器(如CTC 204和206)。在一個例子中，由PMC 210收集的數(shù)據(jù)可通過路徑248傳輸給CTC 204。除了從PMC 210接收數(shù)據(jù)，CTC 204也可從其它工藝模塊控制器(如PMC 212、214和216)接收數(shù)據(jù)。群集工具控制器接收到的數(shù)據(jù)然后通過路徑 250轉(zhuǎn)發(fā)給fab主機202。在fab主機202和CTC 204之間，串行分接頭可連接到網(wǎng)絡(luò)路徑250以復(fù)制轉(zhuǎn)發(fā)給fab主機202的數(shù)據(jù)。在一個例子中，串行分接頭208可攔截由CTC204轉(zhuǎn)發(fā)給fab主機 202的數(shù)據(jù)。復(fù)制數(shù)據(jù)，將一份數(shù)據(jù)流通過路徑2M發(fā)送給遠程控制器M2。如果fab主機連接到多于一個的群集工具控制器，則對每個群集工具控制器而言，一個專用的遠程控制器與群集工具控制器相關(guān)。在一個例子中，從CTC 206通過路徑252發(fā)給fab主機202的數(shù)據(jù)被另一個串行分接頭(256)截獲。該數(shù)據(jù)被復(fù)制，并通過路徑258發(fā)送給與和CTC 204 關(guān)聯(lián)的遠程控制器( 不同的遠程控制器060)。因此，不是用一個單一的數(shù)據(jù)框處理來自各個群集工具的所有數(shù)據(jù)，可用多個遠程控制器來處理來自各個群集工具的數(shù)據(jù)。換句話說，每個群集工具都與它自己的遠程控制器關(guān)聯(lián)。由于每個遠程控制器處理來自較少數(shù)目的數(shù)據(jù)源(如工藝模塊控制器和與單個群集工具相關(guān)聯(lián)的傳感器)的數(shù)據(jù)，所以每個遠程控制器能夠處理來自每個源的更大量的數(shù)據(jù)。在一個例子中，現(xiàn)在可以由每一個遠程控制器以10赫茲接收約40kB-100kB的數(shù)據(jù)項，而不是被發(fā)送的30-100個數(shù)據(jù)項。從傳感器和工藝模塊控制器接收的數(shù)據(jù)由遠程控制器進行分析。如果發(fā)現(xiàn)問題， 遠程控制器就可發(fā)送禁止給群集工具控制器。在一個例子中，遠程控制器242在PMC 210 內(nèi)發(fā)現(xiàn)問題。禁止通過路徑邪4和250經(jīng)由串行分接頭208發(fā)送給CTC 204。一旦收到禁止，CTC 204就將禁止轉(zhuǎn)發(fā)給預(yù)期的工藝模塊控制器，在這個例子中是PMC 210。由于遠程控制器只負責處理從一個群集工具而不是多個群集工具來的數(shù)據(jù)(如數(shù)據(jù)框142所執(zhí)行的)，所以可分析更多的數(shù)據(jù)，在不同的數(shù)據(jù)集之間可以存在更好的相關(guān)性。結(jié)果，遠程控制器可以執(zhí)行更好和更快的分析，從而提供更及時的干預(yù)以糾正工藝模塊中的失控事件。在一個例子中，不是接收禁止以防止確定的失控事件在下一基底塊(lot) 處發(fā)生(如由數(shù)據(jù)框142提供的禁止)，例如由遠程控制器242發(fā)送的禁止可以使工藝工程師搶救設(shè)定要處理的基底塊的至少一部分。雖然遠程控制器的解決方案是一個比數(shù)據(jù)框解決方案更好的解決方案，但遠程控制器的解決方案仍然取決于匯總數(shù)據(jù)執(zhí)行其分析。因此，在基底加工期間可能發(fā)生的問題可能保持未確定。而且，工藝模塊和遠程控制器之間的路徑仍然不是直接路徑。因此，計算機漂移、網(wǎng)絡(luò)延遲和/或網(wǎng)絡(luò)負荷可能會造成時間誤差，這可能使遠程控制器難以將來自傳感器的數(shù)據(jù)與來自工藝模塊的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)。因此，即使遠程控制器解決方案提高了禁止的時效性，遠程控制器解決方案仍有不足。充其量，禁止可能能夠防止受影響的基底經(jīng)歷的問題在下一基底加工期間發(fā)生。在成本必須最小化的激烈競爭的市場，由于損壞的基底的廢物和/或由于損壞的處理室組件的停機時間可能會轉(zhuǎn)化為市場損失。因此，期望用于確定失控事件的實時解決方案。按照本發(fā)明的一種實施方式，提供了工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)(PLTA)，其中在工藝模塊級執(zhí)行故障排除。本發(fā)明的實施方式包括提供了有實時禁止的實時分析的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的實施方式還包括用于傳感器之間的負載均衡和容錯的配置。在本發(fā)明的一種實施方式，工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)是分析服務(wù)器與單一工藝模塊及其相應(yīng)的傳感器通信的網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)。在一種實施方式中，在網(wǎng)絡(luò)上交換的信息是雙向的。 在一個例子中，分析服務(wù)器可不間斷地接收來自工藝模塊和傳感器的工藝數(shù)據(jù)。相反，傳感器可接收來自工藝模塊的數(shù)據(jù)，且工藝模塊可以從分析服務(wù)器接收到指令?？紤]其中例如基底正在處理的情況。在基底加工期間，可收集多個數(shù)據(jù)。在一個例子中，每100毫秒收集關(guān)于壓力的數(shù)據(jù)。如果處理需要一個小時，那么，對壓力參數(shù)，36000 個數(shù)據(jù)項已收集到。然而，除了壓力數(shù)據(jù)外，多個其它的工藝數(shù)據(jù)(例如偏置電壓和溫度等)也可能被收集。因此，大量的數(shù)據(jù)正在被收集直到基底加工已完成為止。在現(xiàn)有技術(shù)中，數(shù)據(jù)傳送給分析服務(wù)器，所述分析服務(wù)器可配置為服務(wù)如果不是從多個群集工具(如數(shù)據(jù)框14 收集就是從多個工藝模塊(如圖2的遠程控制器M2)收集的數(shù)據(jù)。因為數(shù)據(jù)流是來自多個源，所以需要時間來分析和/或關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。此外，由于現(xiàn)有技術(shù)的分析服務(wù)器可能不能處理和分析所有收集的數(shù)據(jù)，只有一部分從每個源收集的數(shù)據(jù)被傳輸給分析服務(wù)器。因此，協(xié)調(diào)、處理、關(guān)聯(lián)和/或分析數(shù)據(jù)流的復(fù)雜的任務(wù)需要可能并不總是便利可用的時間。在本發(fā)明的一方面，這里的發(fā)明者意識到，如果有更精細的數(shù)據(jù)可供分析，就可以執(zhí)行更準確和更快的分析。為了分析來自單一源的更多的數(shù)據(jù)，分析服務(wù)器必須分析來自更少的源的數(shù)據(jù)。在一種實施方式中，提供了用于在工藝模塊級處理和/或分析數(shù)據(jù)的配置。換句話說，提供了為每個工藝模塊及其相應(yīng)的傳感器進行分析的工藝模塊級分析服務(wù)
ο在一種實施方式中，工藝模塊級分析服務(wù)器包括一個可能包括一個或多個處理器的共享內(nèi)存主干。每個處理器可以配置為與一個或多個傳感器進行交互。在一個例子中， 由傳感器1收集的數(shù)據(jù)可能是由處理器1處理，而由傳感器2收集的數(shù)據(jù)是由處理器2處理。與現(xiàn)有技術(shù)不同，處理器可能彼此分享其處理能力以執(zhí)行負載均衡和容錯。在現(xiàn)有技術(shù)中，計算模塊配置為處理由傳感器收集的數(shù)據(jù)。由于每個計算模塊是單個單元，并通常不彼此交互，負載均衡通常不會執(zhí)行。與現(xiàn)有技術(shù)不同，在工藝模塊級分析服務(wù)器內(nèi)的該組處理器可以執(zhí)行負載均衡。在一個例子中，如果處理器1正在經(jīng)歷數(shù)據(jù)過載而處理器2 接收很少或沒有數(shù)據(jù)，那么可能招募處理器2協(xié)助處理器1處理從傳感器1來的數(shù)據(jù)。此外，在現(xiàn)有技術(shù)中，如果一個計算模塊發(fā)生故障，其它計算模塊就無法接管由故障計算模塊進行的處理，因為所述計算模塊往往是不同品牌/制造/型號的。與現(xiàn)有技術(shù)不同，工作量可以在處理器之間按需重新分配。例如，如果處理器2不能執(zhí)行其職能，工作量就可能會重新分配給其它處理器，直至處理器2修好為止。從上面可以理解，處理器消除了對單個計算模塊的需要，從而也減少了容納計算模塊所需的物理空間。在本發(fā)明的一種實施方式中，處理器可分為兩種類型的處理器主處理器和次級處理器。主處理器和次級處理器都配置為處理來自傳感器的數(shù)據(jù)。在一個例子中，如果次級處理器1與傳感器1相關(guān)，那么次級處理器1通常只處理來自傳感器1的數(shù)據(jù)。類似地， 如果次級處理器2與傳感器2和3相關(guān)，那么次級處理器2通常只處理從這兩個傳感器O 和3)來的數(shù)據(jù)。在一種實施方式中，共享內(nèi)存主干可包括一個或多個主處理器。該組所述主處理器可配置為不僅處理來自傳感器的數(shù)據(jù)，還可配置為處理來自工藝模塊的數(shù)據(jù)。此外，該組主處理器是配置為將在各個源(如傳感器和工藝模塊)之間的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)和進行分析。如果需要禁止，該組主處理器就配置為發(fā)送禁止給工藝模塊控制器。參考下面的附圖和討論，本發(fā)明的特點和優(yōu)勢可以得到更好地理解。圖3示出了在本發(fā)明的一種實施方式中的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)的簡化的邏輯概圖。雖然制造公司可能有超過一種的群集工具，但作為本發(fā)明的一種實施方式的說明是使用單個的群集工具。雖然群集工具可能有不同數(shù)目的工藝模塊，但在圖3中所示的例子包括有4個工藝模塊的單個群集工具。由每個工藝模塊收集的數(shù)據(jù)由其相應(yīng)的工藝模塊控制器(PMC 306、PMC 308、PMC 310和PMC 312)收集，并通過群集工具控制器(CTC) 304傳送給fab主機302?？赡苡蒔MC 傳送的數(shù)據(jù)可能是與已在現(xiàn)有技術(shù)中發(fā)送的相同類型的數(shù)據(jù)(工藝模塊數(shù)據(jù)和工藝背景數(shù)據(jù))。與現(xiàn)有技術(shù)不同，工藝模塊進行故障排除不依賴于傳送到fab主機302的數(shù)據(jù)。相反，所述數(shù)據(jù)可以歸檔保存和可供將來分析使用。在一種實施方式中，提供了一個工藝模塊級分析服務(wù)器(APECS 314)以執(zhí)行故障排除所需的分析?？紤]在PMC 308中蝕刻一個基底的情況。在基底加工期間，傳感器316、 318和320收集從PMC 308來的數(shù)據(jù)。在一個例子中，傳感器316配置為收集從PMC 308來的偏置電壓數(shù)據(jù)。從PMC 308收集的模擬數(shù)據(jù)通過傳感器電纜3 發(fā)送給傳感器316。類似地，傳感器318和320可以分別通過傳感器電纜330和332收集數(shù)據(jù)。由傳感器收集的數(shù)據(jù)然后通過路徑322、3M和326中的一個傳輸給APECS 314進行處理和/或分析。與現(xiàn)有技術(shù)不同，由傳感器收集的數(shù)據(jù)在傳送給分析服務(wù)器(APECS 314)之前不是必須要進行預(yù)處理(例如匯總之類)。在一種實施方式中，每個傳感器可包括可用來在將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)給APECS 314之前將模擬數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)的簡化的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器，而不是具有對數(shù)據(jù)進行處理的計算模塊?？商鎿Q地，在一種實施方式中，諸如現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA) 之類的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器可建在APECS 314中。在一個例子中，每個處理器可包括一個數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器算法來將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式作為其處理的一部分。從上述可以理解，通過消除對計算模塊的需求，需要更少的物理空間容納群集工具及其硬件。結(jié)果，所有權(quán)的成本可以降低。因為APECS 314是專用于處理只從一個工藝模塊及其相應(yīng)的傳感器來的數(shù)據(jù)，所以APECS 314能夠處理從單一源來的更大容量的數(shù)據(jù)。換言之，不是必須要削減從每個傳感器傳輸?shù)臄?shù)據(jù)量，APECS 314配置為處理絕大多數(shù)的、如果不是所有的由每個傳感器所收集的數(shù)據(jù)。在一個例子中，不是只發(fā)送10-15個數(shù)據(jù)項進行分析，現(xiàn)在有從每個傳感器來的兩千多數(shù)據(jù)項可用于被APECS 314分析。因此，可用于APECS 314進行處理和分析的數(shù)據(jù)流是更完整的數(shù)據(jù)集。在一種實施方式中，APECS 314還配置為處理從工藝模塊來的數(shù)據(jù)。與現(xiàn)有技術(shù)不同，其中數(shù)據(jù)流在由分析服務(wù)器(諸如數(shù)據(jù)框或遠程控制器之類)接收到之前通過不同的服務(wù)器(如群集工具控制器、fab主機等)經(jīng)過冗長的數(shù)據(jù)路徑傳輸，由工藝模塊收集的數(shù)據(jù)直接發(fā)送給APECS 314，而無需通過其它服務(wù)器。在一個例子中，工藝模塊數(shù)據(jù)可通過路徑334從PMC 308發(fā)送到APECS 314。如果識別出失控的事件，可通過路徑336直接發(fā)送禁止給PMC 308,而無需先通過其它服務(wù)器。圖4提供了有關(guān)工藝模塊級分析服務(wù)器的進一步細節(jié)。圖4示出了在本發(fā)明的一種實施方式中的工藝模塊級分析服務(wù)器的簡化的功能框圖。一個工藝模塊級分析服務(wù)器 (諸如APECS 400之類)可能被分配給每個工藝模塊。APECS 400是雙向服務(wù)器，配置為處理傳入的數(shù)據(jù)和在識別出失控事件時發(fā)送禁止。數(shù)據(jù)源可能來自兩個主要源，由傳感器收集的數(shù)據(jù)和由工藝模塊收集的數(shù)據(jù)流。 在一種實施方式中，APECS 400配置為接收從多個傳感器(傳感器410、412、414、416、420、 422、似4和426)傳入的數(shù)據(jù)。鑒于一些群集工具所有人可能已將大量資金投入到傳統(tǒng)的傳感器配置(帶有計算模塊的傳感器)JfAPECS 400配置為從傳統(tǒng)的傳感器配置和改進的傳感器(不需要計算模塊的傳感器)接收數(shù)據(jù)。在一種實施方式中，APECS 400可包括諸如以太網(wǎng)交換機418之類接口以與傳統(tǒng)傳感器配置(諸如傳感器410、412、414和416)交互。在一個例子中，由傳感器410收集的數(shù)據(jù)首先用計算模塊410b從模擬格式轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式，再將數(shù)字數(shù)據(jù)傳輸給APECS 400 (通過路徑430、432、434或436)。將以太網(wǎng)交換機418配置為與傳統(tǒng)的傳感器配置交互以接受數(shù)據(jù)流。然后將數(shù)據(jù)流(通過路徑446、448、450或45 傳遞給APECS 400內(nèi)的處理器 (402,404,406和408)中的一個進行處理?？墒褂酶倪M的傳感器(沒有計算模塊的傳感器)測量工藝參數(shù)，而不是使用傳統(tǒng)的傳感器配置。由于收集到的數(shù)據(jù)不是必須要匯總，所以不再需要計算模塊進行處理。相反，在一種實施方式中，改進的傳感器可包括諸如價廉的FPGA之類數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器(未示出) 來將數(shù)據(jù)從模擬格式轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式?？商鎿Q地，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器(未示出)可安裝在APECS 400內(nèi)，而不是在傳感器內(nèi)安裝數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器。無論數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器是安裝在APECS 400的外部或內(nèi)部，計算模塊的去除都提供了群集工具所有權(quán)的成本節(jié)省。在一個例子中，購買、容納和維護計算模塊的成本大幅減少。在本發(fā)明的一種實施方式中，APECS 400包括一組處理器002、404、406和408)來處理輸入的數(shù)據(jù)。該組處理器可以是物理處理單元、虛擬處理器或其組合。每一個處理器負責處理來自與所述處理器相關(guān)的源的數(shù)據(jù)流。在一個例子中，通過路徑440從傳感器422 流入的數(shù)據(jù)流由處理器404處理。在另一個例子中，由傳感器似4收集的數(shù)據(jù)流通過路徑 442傳輸?shù)教幚砥?06進行處理。處理器的個數(shù)及其與傳感器之間的關(guān)系可取決于用戶的配置。在一個例子中，即使圖4只示出了處理器和傳感器之間的一一對應(yīng)的關(guān)系，其它關(guān)系也可能存在。在一個例子中，可配置一個處理器來處理來自不止一個源的數(shù)據(jù)。在另一個例子中，可配置不止一個處理器來處理從一個傳感器來的數(shù)據(jù)流。在一種實施方式中，每個處理器共享一個共享內(nèi)存主干428。因此，當一個或多個處理器超載時，可能會執(zhí)行負載均衡。在一個例子中，如果從傳感器似6通過路徑444流入的數(shù)據(jù)流超過處理器408的處理能力，就可能采用其它處理器以幫助減少處理器408上的負載。除了負載均衡外，共享內(nèi)存主干還提供了一個容錯環(huán)境。換句話說，如果一個處理器不能正常工作，那么，先前由故障處理器支持的處理就被重新分配給其它處理器。在一個例子中，如果處理器406不正常運行和不能處理來自傳感器似4的數(shù)據(jù)流，就可能指示處理器404處理來自傳感器424的數(shù)據(jù)流。因此，重新分配工作量的能力使運作不當?shù)奶幚砥鞯靡蕴鎿Q，而不致使整個服務(wù)器停機。在一種實施方式中，在APECS 400內(nèi)可能存在兩種類型的處理器。第一種類型的處理器是次級處理器(如處理器404、406或408)。每一個次級處理器配置為處理從其相應(yīng)的傳感器接收的數(shù)據(jù)流。此外，在一種實施方式中，每一個處理器配置為分析數(shù)據(jù)和找出可能與相應(yīng)的傳感器一起存在的任何潛在問題。第二種類型的處理器是主處理器002)。雖然圖4只示出了一個主處理器，但主處理器的數(shù)量可取決于用戶的配置。在一種實施方式中，主處理器可配置處理來自一個或多個傳感器的數(shù)據(jù)流。在一個例子中，由傳感器420收集的數(shù)據(jù)流通過路徑438發(fā)送給主處理器402進行處理。用于主處理器的另一數(shù)據(jù)源是工藝模塊。換句話說，將由工藝模塊收集的工藝模塊數(shù)據(jù)和工藝背景數(shù)據(jù)由主處理器進行處理。在一個例子中，由工藝模塊收集的數(shù)據(jù)通過工藝控制總線經(jīng)由路徑妨4傳遞給APECS 400。數(shù)據(jù)在經(jīng)由路徑446流到主處理器402之前先遍歷通過以太網(wǎng)交換機418。除了處理數(shù)據(jù)外，主處理器還配置為分析從多個源來的數(shù)據(jù)。在一個例子中，從傳感器422和似4來的數(shù)據(jù)流之間的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)由主處理器402執(zhí)行。在另一個例子中，從一個或多個傳感器來的數(shù)據(jù)流與從工藝模塊來的數(shù)據(jù)流之間的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)也由主處理器402 執(zhí)行。由于用于每一個數(shù)據(jù)源的數(shù)據(jù)路徑現(xiàn)在都有大約類似的長度，關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)比現(xiàn)有技術(shù)中所經(jīng)歷的挑戰(zhàn)性顯著地小。在一個例子中，因為數(shù)據(jù)從工藝模塊流向APECS 400而不必經(jīng)過其它服務(wù)器(如群集工具控制器和/或fab主機)，從工藝模塊來的數(shù)據(jù)流不因如圖1和圖2所示當數(shù)據(jù)流必須通過其它服務(wù)器(諸如群集工具控制器、fab主機等之類)傳送時可能發(fā)生的計算機和/或網(wǎng)絡(luò)狀況(如計算機漂移、網(wǎng)絡(luò)延遲、網(wǎng)絡(luò)負載等)而經(jīng)歷變化。此外，此時用于接收需要進行關(guān)聯(lián)和分析的所有相關(guān)數(shù)據(jù)流的等待時間顯著減少。因此，當外部條件(諸如計算機漂移、網(wǎng)絡(luò)延遲、網(wǎng)絡(luò)負載等之類)已基本消除時，關(guān)聯(lián)從不同源來的數(shù)據(jù)顯著簡化。除了數(shù)據(jù)路徑外，可以執(zhí)行更快和更準確的分析，因為從單一源來的具有更細化的更大量的數(shù)據(jù)提供了更多數(shù)據(jù)點來執(zhí)行相關(guān)。在現(xiàn)有技術(shù)中，因為現(xiàn)有技術(shù)的分析服務(wù)器不能處理從多個數(shù)據(jù)源來的大量數(shù)據(jù)，所以可供分析的數(shù)據(jù)通常是不完整的，因而數(shù)據(jù)源之間的相關(guān)通常是很困難的。與現(xiàn)有技術(shù)不同，因為每一個分析服務(wù)器現(xiàn)在只負責分析從有限數(shù)量的源(工藝模塊和與工藝模塊關(guān)聯(lián)的傳感器)來的數(shù)據(jù)，所以數(shù)據(jù)源的數(shù)量顯著減少。由于數(shù)據(jù)源的數(shù)目已顯著減少，分析服務(wù)器具有處理從單一源來的較多量數(shù)據(jù)的能力。鑒于提供了更精細的細節(jié)，可以在各個源的數(shù)據(jù)流之間取得更好的關(guān)聯(lián)性。如果一個問題(如失控事件)被確認，那么，主處理器配置為向工藝模塊發(fā)送禁止。在一種實施方式中，采用直接數(shù)字信號輸出線456來將從APECS 400來的禁止發(fā)送給工藝模塊。使用在兩個設(shè)備之間的直接數(shù)字輸出線，禁止不必在能夠被傳輸之前先轉(zhuǎn)換成以太網(wǎng)信息。因此，適當?shù)馗袷交谷缓笤俎D(zhuǎn)換回來所需的時間被大幅度降低。因此， APECS 400能夠向工藝模塊提供實時禁止或接近實時禁止以處理失控事件。在一種實施方式中，主處理器也可被配置為通過路徑458與其它設(shè)備交互。在一個例子中，如果群集工具控制器發(fā)送請求給APECS 400，請求就可通過路徑458發(fā)送和由主處理器402處理。在另一個例子中，可通過路徑458和群集工具控制器向fab主機發(fā)送通知。如同可以從本發(fā)明的一個或多個實施方式所理解的那樣，提供了工藝級的故障排除體系結(jié)構(gòu)。通過在工藝模塊級本地化分析服務(wù)器，為分析提供了數(shù)據(jù)粒度(data granularity)，導(dǎo)致了更快和更準確的分析結(jié)果。隨著用于各種數(shù)據(jù)源的一個類似的數(shù)據(jù)路徑，在各種數(shù)據(jù)流之間存在更好的關(guān)聯(lián)性。隨著更快和更準確的分析，可以更加及時地提供排除故障，及時提供禁止以提供可采用的糾正措施來不僅防止下一基底損壞還提供糾正措施解決影響到受影響基底的失控事件，從而挽救了受影響的基底免受損壞。因此，較少數(shù)目的基底被浪費，對處理室組件的損害可能會大幅減少。雖然根據(jù)幾個優(yōu)選實施方式說明了本發(fā)明，但也有落在本發(fā)明的范圍內(nèi)的改變、 置換和等同形式。雖然此處提供了各種例子，但目的在于，這些例子對本發(fā)明而言是說明性的而不是限制性的。此外，此處提供了標題和摘要是為了方便起見，不應(yīng)該用來解釋本權(quán)利要求書的范圍。此外，摘要是以高度縮寫的形式寫成的，在這里提供是為了方便，因此不應(yīng)該用來解釋或限制在權(quán)利要求書中表達的整體發(fā)明。如果此處使用術(shù)語“組(集)”，這樣的術(shù)語旨在具有其通常理解的數(shù)學意義包括零、一或多個。還應(yīng)指出，有多種可替代的方式來實施本發(fā)明的方法和裝置。因此，旨在將后面所附的權(quán)利要求書解釋為包括落在本發(fā)明的真實精神和范圍內(nèi)的所有這樣的改變、置換和等同形式。
權(quán)利要求
1.配置為方便等離子處理系統(tǒng)中的基底加工的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)(PLTA)，包括工藝模塊控制器；多個傳感器，其中所述多個傳感器中的每個傳感器與所述工藝模塊控制器通信以收集關(guān)于一種或多種工藝參數(shù)的檢測數(shù)據(jù)；和工藝模塊級分析服務(wù)器，其中所述工藝模塊級分析服務(wù)器與所述多個傳感器和所述工藝模塊控制器直接通信，其中所述工藝模塊級分析服務(wù)器配置用于接收數(shù)據(jù)，其中所述數(shù)據(jù)包括來自所述多個傳感器的所述檢測數(shù)據(jù)和來自所述工藝模塊控制器的工藝模塊和室數(shù)據(jù)中的至少一種， 分析所述數(shù)據(jù)，和當在所述基底加工期間識別出問題時將禁止數(shù)據(jù)直接發(fā)送給所述工藝模塊控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述多個傳感器中的第一傳感器包括用于在發(fā)送至少一部分所述檢測數(shù)據(jù)給所述工藝模塊級分析服務(wù)器前執(zhí)行預(yù)處理的計算模塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述工藝模塊級分析服務(wù)器包括以太網(wǎng)交換機，其中所述以太網(wǎng)交換機使所述工藝模塊級分析服務(wù)器能與所述第一傳感器通信。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述多個傳感器中的第一傳感器發(fā)送直接來自所述第一傳感器的所述檢測數(shù)據(jù)的至少一部分給所述工藝模塊級分析服務(wù)器而沒有預(yù)處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述工藝模塊級分析服務(wù)器包括用于將所述第一傳感器發(fā)送的所述檢測數(shù)據(jù)由模擬格式轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換ο
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述工藝模塊級分析服務(wù)器包括共享內(nèi)存主干，其中所述共享內(nèi)存主干由多個處理器訪問，其中所述多個處理器中的每個處理器配置為至少通過所述共享內(nèi)存主干與所述多個傳感器中的一個傳感器進行交互。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述共享內(nèi)存主干配置為執(zhí)行在所述多個處理器之間的負載均衡。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述共享內(nèi)存主干配置為提供在所述多個處理器之間的容錯。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述多個處理器中的至少一個處理器是次級處理器，其中所述次級處理器配置為至少從所述多個傳感器中的至少一個傳感器接收所述檢測數(shù)據(jù)并且處理所述檢測數(shù)據(jù)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)，其中所述多個處理器中的至少一個處理器是主處理器，其中所述主處理器配置為至少執(zhí)行以下的一個接收來自所述工藝模塊控制器的所述工藝模塊和室數(shù)據(jù)， 接收來自所述多個傳感器中的至少一個傳感器的所述檢測數(shù)據(jù)， 將所述工藝模塊和室數(shù)據(jù)與所述檢測數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)，和通過直接數(shù)字輸出線將大體上為實時的禁止數(shù)據(jù)發(fā)送給所述工藝模塊控制器。
11.配置為在等離子處理系統(tǒng)的基底加工期間執(zhí)行評價的裝置，其中所述裝置是直接與工藝模塊控制器和多個傳感器耦合，所述裝置包括用于處理數(shù)據(jù)的多個處理器，其中所述數(shù)據(jù)包括由所述多個傳感器采集的檢測數(shù)據(jù)和由所述工藝模塊控制器采集的工藝模塊和室數(shù)據(jù)中的至少一種，其中所述處理包括以下的至少一種接收所述數(shù)據(jù)、 分析所述數(shù)據(jù)、 執(zhí)行數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)，和當識別出問題時將禁止數(shù)據(jù)發(fā)送給所述工藝模塊控制器； 共享內(nèi)存主干，其中所述共享內(nèi)存主干由所述多個處理器訪問； 網(wǎng)絡(luò)接口，其中所述網(wǎng)絡(luò)接口配置為至少接收所述數(shù)據(jù)；以及直接數(shù)字輸出線，其中所述直接數(shù)字輸出線是所述多個處理器和所述工藝模塊控制器之間的通信路徑。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述網(wǎng)絡(luò)接口配置為從所述多個傳感器中的至少第一子集的傳感器接收所述檢測數(shù)據(jù)，其中所述第一子集的傳感器中的每個傳感器包括用于在通過所述網(wǎng)絡(luò)接口發(fā)送所述檢測數(shù)據(jù)的至少一部分給所述多個處理器前執(zhí)行預(yù)處理的計算模塊。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述網(wǎng)絡(luò)接口是以太網(wǎng)交換機。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，還包括用于將由所述多個傳感器發(fā)送的所述檢測數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器，其中所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器配置為在發(fā)送所述檢測數(shù)據(jù)的至少一部分給所述多個處理器之前至少將所述檢測數(shù)據(jù)從模擬格式轉(zhuǎn)換成數(shù)字格式。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器是現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述共享內(nèi)存主干配置為執(zhí)行多個處理器之間的負載均衡。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述共享內(nèi)存主干配置為提供在所述多個處理器之間的容錯。
18.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述多個處理器中的每個處理器配置為與所述多個傳感器中的至少一個傳感器直接通信。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的裝置，其中所述多個處理器中的至少一個處理器是次級處理器，其中所述次級處理器配置為至少從所述多個傳感器中的至少一個傳感器接收檢測數(shù)據(jù)并且處理所述檢測數(shù)據(jù)。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置，其中所述多個處理器中的至少一個處理器是主處理器，其中所述主處理器配置為至少執(zhí)行以下中的一種接收來自所述工藝模塊控制器的所述工藝模塊和室數(shù)據(jù)， 接收來自所述多個傳感器中的至少一個傳感器的所述檢測數(shù)據(jù)， 將所述檢測數(shù)據(jù)與所述工藝模塊和室數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)，和通過直接數(shù)字輸出線將禁止數(shù)據(jù)發(fā)送給所述工藝模塊控制器。
全文摘要
本發(fā)明提供了配置為方便等離子處理系統(tǒng)中的基底加工的工藝級故障排除體系結(jié)構(gòu)(PLTA)。所述體系結(jié)構(gòu)包括工藝模塊控制器。所述體系結(jié)構(gòu)還包括多個傳感器，其中多個傳感器中的每個傳感器與工藝模塊控制器通信以收集關(guān)于一種或多種工藝參數(shù)的檢測數(shù)據(jù)。所述體系結(jié)構(gòu)還包括工藝模塊級分析服務(wù)器，其中工藝模塊級分析服務(wù)器與多個傳感器和工藝模塊控制器直接通信。所述工藝模塊級分析服務(wù)器配置為接收數(shù)據(jù)，其中所述數(shù)據(jù)包括來自多個傳感器的檢測數(shù)據(jù)和來自工藝模塊控制器的工藝模塊和室數(shù)據(jù)的至少一種。所述工藝模塊級分析服務(wù)器還配置用于分析數(shù)據(jù)并且當在基底加工期間識別出問題時將禁止數(shù)據(jù)直接發(fā)送給工藝模塊控制器。
文檔編號H01L21/00GK102473589SQ201080027273
公開日2012年5月23日 申請日期2010年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者康妮·蘭姆, 德拉甘·波德萊斯尼克, 維甲壓庫馬爾·C·凡尼高泊, 鐘河·黃 申請人:朗姆研究公司