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      一種雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法

      文檔序號(hào):6998448閱讀:246來源:國知局
      專利名稱:一種雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明是關(guān)于一種雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法,特別是關(guān)于一種簡單可靠的雙端面泵浦激光器或激光放大器的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法。
      背景技術(shù)
      自20世紀(jì)90年代以來,端面泵浦全固態(tài)激光器的發(fā)展日新月異,成為國際國內(nèi)激光技術(shù)的研究熱點(diǎn)。根據(jù)激光二極管及其陣列輸出光功率的大小及輸出光束的特點(diǎn),通常有端面泵浦(縱向泵浦)和側(cè)面泵浦(橫向泵浦)兩種方式。端面泵浦是中小功率LD泵浦固體激光器常用的一種泵浦方式。具有結(jié)構(gòu)緊湊,整體效率高,空間模式好的特點(diǎn)。端面泵浦全固態(tài)激光器中,LD輸出的空間相干光束,沿著光學(xué)諧振腔的軸向泵浦,光束聚焦在增益介質(zhì)的一個(gè)小體積內(nèi)。諧振腔的參數(shù)保證泵浦光和諧振腔模的激發(fā)空間能很好地重疊在一起,達(dá)到模式匹配,因此可以獲得非常好的激光光束質(zhì)量。同時(shí),端面泵浦在入射方向的穿透度很大,增益介質(zhì)對(duì)泵浦光吸收充分,因而泵浦閾值功率低,斜效率較高。請(qǐng)參照?qǐng)D1,圖1示出的是一種傳統(tǒng)的單端面泵浦激光器。單端面泵浦激光器包括一個(gè)泵浦源(圖未示)、一個(gè)泵浦激光傳輸光纖1、一個(gè)泵浦整形透鏡組2、一個(gè)后腔鏡3、一個(gè)激光晶體4和一個(gè)輸出鏡5。泵浦激光傳輸光纖1的一端連接泵浦源,另一端連接泵浦整形透鏡組2。自泵浦源發(fā)出的泵浦激光6依次經(jīng)過泵浦激光傳輸光纖1、泵浦整形透鏡組 2和后腔鏡3輸入到激光晶體4的端面,經(jīng)過諧振腔的振蕩后,從激光晶體4的另一個(gè)端面出射為振蕩激光7,最終從輸出鏡5出射。光路中還可以設(shè)置其他光學(xué)元件,例如調(diào)Q晶體等。為了達(dá)到模式匹配條件,單端面泵浦激光器裝調(diào)的時(shí)候,除了要精細(xì)的調(diào)節(jié)后腔鏡3和輸出鏡5以外,還需要調(diào)節(jié)泵浦透鏡組2的位置,以使得泵浦激光6和振蕩激光7達(dá)到最佳的重合狀態(tài)。另外,公開號(hào)為CN101132108A發(fā)明名稱為“半導(dǎo)體泵浦高重頻固體激光器”的中國發(fā)明專利申請(qǐng)公布說明書、專利號(hào)為200510005309. 0發(fā)明名稱為“主被動(dòng)調(diào)Q單縱模激光器”也公開了現(xiàn)有的單端面泵浦激光器。然而,由于晶體的熱效應(yīng)的存在,即受晶體中的熱效應(yīng)所產(chǎn)生的熱應(yīng)力不能超過激光晶體的斷裂應(yīng)力的限制,增益介質(zhì)單位面積上存在最大泵浦功率不能很高,過高的泵浦功率將導(dǎo)致晶體的損壞,因此單端面泵浦激光器通常只能獲得較低的激光輸出功率,并由此產(chǎn)生的熱透鏡效應(yīng)嚴(yán)重影響了激光器的光束質(zhì)量,同時(shí)長期運(yùn)行穩(wěn)定性也會(huì)受到很大影響。這使得單端面泵浦在實(shí)際激光應(yīng)用中受到一定的限制。為了進(jìn)一步提高端面泵浦激光器的輸出功率,雙端面泵浦激光器應(yīng)用而生。請(qǐng)參照?qǐng)D2,圖2示出的是一種傳統(tǒng)的雙端面泵浦激光器10。雙端面泵浦激光器10包括一個(gè)第一泵浦源(圖未示)、一個(gè)第二泵浦源(圖未示)、一個(gè)第一泵浦激光傳輸光纖11、一個(gè)第二泵浦激光傳輸光纖17、一個(gè)第一泵浦整形透鏡組12、一個(gè)第二泵浦整形透鏡組16、一個(gè)第一腔鏡18、一個(gè)第二腔鏡19、一個(gè)后腔鏡110、一個(gè)輸出鏡111和一個(gè)激光晶體112。第一腔鏡18、第二腔鏡19、后腔鏡110和輸出鏡111組成諧振腔。第一泵浦激光傳輸光纖11的一端連接該第一泵浦源,另一端連接到第一泵浦整形透鏡組12。第二泵浦激光傳輸光纖 17的一端連接該第二泵浦源,另一端連接到第二泵浦整形透鏡組16。第一泵浦激光傳輸光纖11用于將第一泵浦源產(chǎn)生的泵浦激光13耦合到第一泵浦整形透鏡組12,第一泵浦整形透鏡組12用于對(duì)該泵浦激光13準(zhǔn)直聚焦,該泵浦激光13經(jīng)過第一腔鏡18后輸入到激光晶體112的一個(gè)端面。第二泵浦激光傳輸光纖17用于將第二泵浦源產(chǎn)生的泵浦激光15耦合到第二泵浦整形透鏡組16,第二泵浦整形透鏡組16用于對(duì)該泵浦激光15準(zhǔn)直聚焦,該泵浦激光15經(jīng)過第二腔鏡19后輸入到激光晶體112的另一個(gè)端面。由于泵浦激光13、15是從激光晶體112的兩個(gè)端面分別注入,因此晶體在端面損失閾值的極限范圍內(nèi)所允許的泵浦功率比單端面泵浦整整提高了一倍,因此雙端面泵浦激光器在保持好的模式質(zhì)量的同時(shí)輸出功率可以大幅度的提高。相對(duì)于單端面泵浦激光器,雙端面泵浦激光器為了達(dá)到模式匹配條件,結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜,調(diào)節(jié)起來也比較麻煩不僅要調(diào)節(jié)第一泵浦整形透鏡組12和第二泵浦整形透鏡組16 使泵浦激光13和15與振蕩激光14重合以外,還需要調(diào)節(jié)泵浦激光13和泵浦激光15嚴(yán)格同軸,這樣才能達(dá)到最好的模式匹配,獲得最好的光束質(zhì)量和最高的輸出激光功率。通常的做法是分別把第一泵浦整形透鏡組12和第二泵浦整形透鏡組16安裝在五維調(diào)節(jié)架上,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)輸出激光的功率和光斑模式,在線分別調(diào)整兩個(gè)泵浦透鏡組12、16的五維自由度和前后兩個(gè)腔鏡110和111,直到激光功率和光斑模式同時(shí)達(dá)到最佳狀態(tài),然后固定五維調(diào)整架。這樣的調(diào)試過程需要調(diào)節(jié)的環(huán)節(jié)非常多,整個(gè)調(diào)試過程非常繁瑣,要花費(fèi)大量的時(shí)間。 而且由于必須要在是激光器出光的時(shí)候在線調(diào)試,很容易造成激光晶體的損壞。

      發(fā)明內(nèi)容
      為了解決現(xiàn)有技術(shù)雙端面泵浦激光器泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法較為繁瑣、容易損壞激光晶體的問題,本發(fā)明提供一種較為簡單且不容易損壞激光晶體的雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法,所述雙端面泵浦激光裝置包括依序設(shè)置的第一泵浦激光傳輸光纖、第一泵浦整形透鏡組、第二泵浦整形透鏡組和第二泵浦激光傳輸光纖,其特征在于,該方法包括下列步驟a.從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端輸入泵浦激光,該泵浦激光依次經(jīng)第一泵浦整形透鏡組、第二泵浦整形透鏡組后從第二泵浦激光傳輸光纖輸出,從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量輸出功率;b.調(diào)節(jié)第一泵浦整形透鏡組的位置,直到從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率最大;c.從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端輸入泵浦激光,該泵浦激光依次經(jīng)第二泵浦整形透鏡組、第一泵浦整形透鏡組后從第一泵浦激光傳輸光纖輸出,從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量輸出功率;d.調(diào)節(jié)第二泵浦整形透鏡組的位置,直到從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率最大;e.重復(fù)步驟a至步驟d,直到從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端和從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率都達(dá)到最大。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中,所述步驟a還包括調(diào)節(jié)所述第二泵浦整形透鏡組的位置,使得從第二泵浦激光傳輸光纖的一端測(cè)量到激光輸出功率為非零數(shù)值。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中,所述步驟c還包括調(diào)節(jié)所述第一泵浦整形透鏡組的位置,使得從第一泵浦激光傳輸光纖的一端測(cè)量到激光輸出功率為非零數(shù)值。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中,所述泵浦激光使用泵浦二極管產(chǎn)生。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中,所述測(cè)量輸出功率是使用激光功率計(jì)來測(cè)量的。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中,所述第一泵浦激光傳輸光纖的頭端耦合到所述第一泵浦整形透鏡組,所述第二泵浦激光傳輸光纖的頭端耦合到所述第二泵浦整形透鏡組。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中,所述雙端面泵浦激光裝置的第一泵浦整形透鏡組和第二泵浦整形透鏡組之間設(shè)置具有激光晶體的諧振腔。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中,所述諧振腔包括一個(gè)第一腔鏡、一個(gè)第二腔鏡、一個(gè)后腔鏡和一個(gè)輸出鏡,所述第一腔鏡位于第一泵浦整形透鏡組與所述激光晶體的一個(gè)端面之間,所述第二腔鏡位于第二泵浦整形透鏡組與所述激光晶體的另一個(gè)端面之間,所述后腔鏡在所述第一腔鏡的反射光路上,所述輸出鏡在所述第二腔鏡的反射光路上。本發(fā)明雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法無需在線調(diào)試,從而可以避免損壞激光晶體。并且本發(fā)明調(diào)節(jié)方法簡單,容易操作且節(jié)省調(diào)試時(shí)間。


      圖1是一種傳統(tǒng)的單端面泵浦激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是一種傳統(tǒng)的雙端面泵浦激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明同軸度調(diào)節(jié)方法較佳實(shí)施方式所調(diào)節(jié)的雙端面泵浦激光裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明雙端面泵浦激光裝置的同軸度調(diào)節(jié)方法較佳實(shí)施方式的流程圖。
      具體實(shí)施例方式下面介紹本發(fā)明雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法的一種較佳實(shí)施方式。請(qǐng)參照?qǐng)D3,圖3示出的是本發(fā)明同軸度調(diào)節(jié)方法較佳實(shí)施方式所調(diào)節(jié)的雙端面泵浦激光裝置20。雙端面泵浦激光器20包括一個(gè)第一泵浦激光傳輸光纖21、一個(gè)第二泵浦激光傳輸光纖27、一個(gè)第一泵浦整形透鏡組22、一個(gè)第二泵浦整形透鏡組沈、一個(gè)諧振腔(未標(biāo)號(hào))和一個(gè)激光晶體212。諧振腔包括一個(gè)第一腔鏡觀、一個(gè)第二腔鏡四、一個(gè)后腔鏡210和一個(gè)輸出鏡211。第一泵浦激光傳輸光纖21具有一個(gè)頭端214和一個(gè)尾端 216,頭端214耦合到第一泵浦整形透鏡組22,尾端216在正常工作時(shí)耦合到一個(gè)第一泵浦源,但目前為了后續(xù)的同軸度調(diào)節(jié)暫且預(yù)先自由懸置。第二泵浦激光傳輸光纖27具有一個(gè)頭端274和一個(gè)尾端276,頭端274耦合到第二泵浦整形透鏡組沈,尾端276在正常工作時(shí)耦合到一個(gè)第二泵浦源,但目前為了后續(xù)的同軸度調(diào)節(jié)暫且預(yù)先自由懸置。第一腔鏡28位于第一泵浦整形透鏡組22與激光晶體212的第一端面2121之間, 第二腔鏡四位于第二泵浦整形透鏡組沈與激光晶體212的與第一端面2121相對(duì)的第二端面2122之間。后腔鏡210在第一腔鏡觀的反射光路上,輸出鏡211在第二腔鏡四的反射光路上。第一泵浦激光傳輸光纖21用于將正常工作時(shí)該第一泵浦源產(chǎn)生的泵浦激光23耦合到第一泵浦整形透鏡組22,第一泵浦整形透鏡組22用于對(duì)該泵浦激光23準(zhǔn)直聚焦,該泵浦激光23經(jīng)過第一腔鏡觀后輸入到激光晶體212的第一端面2121。第二泵浦激光傳輸光纖27用于將正常工作時(shí)該第二泵浦源產(chǎn)生的泵浦激光25耦合到第二泵浦整形透鏡組 26,第二泵浦整形透鏡組沈用于對(duì)該泵浦激光25準(zhǔn)直聚焦,該泵浦激光25經(jīng)過第二腔鏡 29后輸入到激光晶體212的第二端面2122。激光晶體212可以是Nd:YV04,也可以是Nd:GdV04或Nd:YLF等晶體。第一、第二泵浦整形透鏡組22、26的每一個(gè)透鏡的左右曲率根據(jù)需要可以不同。請(qǐng)結(jié)合參照?qǐng)D3和圖4,下面介紹利用本發(fā)明同軸度調(diào)整方法調(diào)整雙端面泵浦激光裝置20的步驟。步驟a 從第一泵浦激光傳輸光纖21的尾端輸入泵浦激光,從第二泵浦激光傳輸光纖27的尾端測(cè)量輸出功率;在第一泵浦激光傳輸光纖21的尾端216接上泵浦二極管,在第二泵浦激光傳輸光纖27的尾端276用激光功率計(jì)監(jiān)測(cè)第二泵浦激光傳輸光纖27的輸出功率。調(diào)節(jié)第二泵浦整形透鏡組沈的上下、左右、前后位置,使泵浦二極管發(fā)出的泵浦激光在經(jīng)過激光晶體212 吸收以后的剩余部分可以通過第二泵浦整形透鏡組26進(jìn)入第二泵浦激光傳輸光纖27而從尾端276輸出。在本實(shí)施方式中,第二泵浦整形透鏡組沈安放在五維調(diào)節(jié)架進(jìn)行位置調(diào)節(jié), 但通常熟練操作以后可以用手直接調(diào)節(jié)。步驟b 調(diào)節(jié)第一泵浦整形透鏡組22的位置,直到從第二泵浦激光傳輸光纖27的尾端測(cè)量到的輸出功率最大;在本實(shí)施方式中,第一泵浦整形透鏡組22安放在五維調(diào)節(jié)架進(jìn)行位置調(diào)節(jié),但通常熟練操作以后可以用手直接調(diào)節(jié)。通過監(jiān)測(cè)激光功率計(jì)的讀數(shù),優(yōu)化調(diào)節(jié)第一泵浦整形透鏡組22的位置,直到功率計(jì)達(dá)到最高的讀數(shù)。調(diào)節(jié)的時(shí)候第一泵浦整形透鏡組22不斷的逼近最佳位置,輸出功率會(huì)逐漸提高,到了最佳位置以后輸出功率達(dá)到最大值,再繼續(xù)調(diào)節(jié)功率則會(huì)下降,因此很容易找到最佳位置,即最高功率處。步驟c 從第二泵浦激光傳輸光纖27的尾端輸入泵浦激光,從第一泵浦激光傳輸光纖21的尾端測(cè)量輸出功率;將該泵浦二極管和激光功率計(jì)的位置互換,即,在第二泵浦激光傳輸光纖27的尾端276接上泵浦二極管,在第一泵浦激光傳輸光纖21的尾端216用激光功率計(jì)監(jiān)測(cè)第一泵浦激光傳輸光纖21的輸出功率。調(diào)節(jié)第一泵浦整形透鏡組22的上下、左右、前后位置,使泵浦二極管發(fā)出的泵浦激光在經(jīng)過激光晶體212吸收以后的剩余部分可以通過第一泵浦整形透鏡組22進(jìn)入第一泵浦激光傳輸光纖21而從尾端216輸出。步驟d 調(diào)節(jié)第二泵浦整形透鏡組沈的位置,直到從第一泵浦激光傳輸光纖21的尾端測(cè)量到的輸出功率最大;類似于步驟b,通過監(jiān)測(cè)激光功率計(jì)的讀數(shù),優(yōu)化調(diào)節(jié)第二泵浦整形透鏡組沈的位置,直到功率計(jì)達(dá)到最高的讀數(shù)。步驟e 重復(fù)步驟a至步驟d,直到從第一泵浦激光傳輸光纖21的尾端和從第二泵浦激光傳輸光纖27的尾端測(cè)量到的輸出功率都達(dá)到最大。通過多次重復(fù)步驟a至步驟d,最終使得第一、第二泵浦激光傳輸光纖21、27尾端 216、276的輸出功率都達(dá)到最高狀態(tài),這時(shí)右側(cè)泵浦激光23和左側(cè)的泵浦激光25達(dá)到了最佳的重合狀態(tài),分別固定第一泵浦整形透鏡組22和第二泵浦整形透鏡組26。另外,最后調(diào)節(jié)后腔鏡210和輸出鏡211,激光器就可以獲得最佳的輸出狀態(tài)。值得指出的是,本發(fā)明雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法可以在還沒有安裝諧振腔和激光晶體212的時(shí)候進(jìn)行,待調(diào)節(jié)完畢后再將諧振腔和激光晶體212安裝使用。本發(fā)明雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法可以用于調(diào)節(jié)雙端面泵浦激光器、激光放大器等。本發(fā)明雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法所調(diào)節(jié)的雙端面泵浦激光裝置可以具有多種諧振腔。綜上所述,本發(fā)明雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法無需在線調(diào)試,從而可以避免損壞激光晶體。并且本發(fā)明調(diào)節(jié)方法簡單,容易操作且節(jié)省調(diào)試時(shí)間。為了舉例說明本發(fā)明的實(shí)現(xiàn),描述了上述的具體實(shí)施方式
      。但是本發(fā)明的其他變化和修改,對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員是顯而易見的,在本發(fā)明所公開的實(shí)質(zhì)和基本原則范圍內(nèi)的任何修改/變化或者仿效變換都屬于本發(fā)明的權(quán)利要求保護(hù)范圍。
      權(quán)利要求
      1.一種雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法,所述雙端面泵浦激光裝置包括依序設(shè)置的第一泵浦激光傳輸光纖、第一泵浦整形透鏡組、第二泵浦整形透鏡組和第二泵浦激光傳輸光纖,其特征在于,該方法包括下列步驟a.從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端輸入泵浦激光,該泵浦激光依次經(jīng)第一泵浦整形透鏡組、第二泵浦整形透鏡組后從第二泵浦激光傳輸光纖輸出,從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量輸出功率;b.調(diào)節(jié)第一泵浦整形透鏡組的位置,直到從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率最大;c.從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端輸入泵浦激光,該泵浦激光依次經(jīng)第二泵浦整形透鏡組、第一泵浦整形透鏡組后從第一泵浦激光傳輸光纖輸出,從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量輸出功率;d.調(diào)節(jié)第二泵浦整形透鏡組的位置,直到從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率最大;e.重復(fù)步驟a至步驟d,直到從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端和從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率都達(dá)到最大。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述步驟a還包括調(diào)節(jié)所述第二泵浦整形透鏡組的位置,使得從第二泵浦激光傳輸光纖的一端測(cè)量到激光輸出功率為非零數(shù)值。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述步驟c還包括調(diào)節(jié)所述第一泵浦整形透鏡組的位置,使得從第一泵浦激光傳輸光纖的一端測(cè)量到激光輸出功率為非零數(shù)值。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述泵浦激光使用泵浦二極管產(chǎn)生。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述測(cè)量輸出功率是使用激光功率計(jì)來測(cè)量的。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述第一泵浦激光傳輸光纖的頭端耦合到所述第一泵浦整形透鏡組,所述第二泵浦激光傳輸光纖的頭端耦合到所述第二泵浦整形透鏡組。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于所述雙端面泵浦激光裝置的第一泵浦整形透鏡組和第二泵浦整形透鏡組之間設(shè)置具有激光晶體的諧振腔。
      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于所述諧振腔包括一個(gè)第一腔鏡、一個(gè)第二腔鏡、一個(gè)后腔鏡和一個(gè)輸出鏡,所述第一腔鏡位于第一泵浦整形透鏡組與所述激光晶體的一個(gè)端面之間,所述第二腔鏡位于第二泵浦整形透鏡組與所述激光晶體的另一個(gè)端面之間,所述后腔鏡在所述第一腔鏡的反射光路上,所述輸出鏡在所述第二腔鏡的反射光路上。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種雙端面泵浦激光裝置的泵浦同軸度調(diào)節(jié)方法,包括步驟a.從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端輸入泵浦激光,從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量輸出功率;b.調(diào)節(jié)第一泵浦整形透鏡組的位置,直到從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率最大;c.從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端輸入泵浦激光,從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量輸出功率;d.調(diào)節(jié)第二泵浦整形透鏡組的位置,直到從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率最大;e.重復(fù)步驟a至步驟d,直到從第一泵浦激光傳輸光纖的尾端和從第二泵浦激光傳輸光纖的尾端測(cè)量到的輸出功率都達(dá)到最大。
      文檔編號(hào)H01S3/0941GK102544986SQ20111008558
      公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月7日
      發(fā)明者康治軍, 樊仲維, 王培峰, 石朝輝 申請(qǐng)人:北京國科世紀(jì)激光技術(shù)有限公司
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