專利名稱：薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能利用技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝。
背景技術(shù)：
薄膜太陽(yáng)能電池是薄膜化的將太陽(yáng)的光能轉(zhuǎn)化成直流(DC)電的光電器件，透明導(dǎo)電薄膜是薄膜太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)中必需的，透明導(dǎo)電薄膜在薄膜太陽(yáng)能電池中作為前電極即把太陽(yáng)能電池所發(fā)的電收集引出，又必須做到最大化的容許太陽(yáng)光的透過(guò)。這就要求作為薄膜太陽(yáng)能電池前電極的透明導(dǎo)電薄膜對(duì)太陽(yáng)光要有高的透過(guò)率，同時(shí)本身又必須是低的方塊電阻，以降低歐姆接觸的損失。為了最大程度的提高薄膜太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率， 必須盡可能提高電池對(duì)太陽(yáng)光的吸收利用，也就是減少進(jìn)入薄膜太陽(yáng)能電池內(nèi)的太陽(yáng)光的損失，提高薄膜太陽(yáng)能電池對(duì)陽(yáng)光的吸收利用，這就要求透明導(dǎo)電薄膜與薄膜太陽(yáng)能電池接觸的一面絨面化，通過(guò)絨面技術(shù)，使電池內(nèi)的光線產(chǎn)生漫反射，增加光線在薄膜太陽(yáng)能電池的路程，以提高電池對(duì)太陽(yáng)光的吸收利用，提高薄膜太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。絨面的衡量標(biāo)準(zhǔn)是絨度、表面粗糙度和表面均勻性絨度是指在波長(zhǎng)為700nm的入射光由薄膜的非絨面的照射下，光線在薄膜的絨面分散的透過(guò)率與入射光線總的透過(guò)率的比值；表面粗糙度則是指絨面的均方根粗糙度；而均勻性則是特指絨面的絨度及表面粗糙度在單位面積內(nèi)的均勻程度。薄膜太陽(yáng)能電池所需的前電極透明導(dǎo)電薄膜通常采用物理氣相沉積法或者化學(xué)氣相沉積法制備?；瘜W(xué)氣相沉積法制備得透明導(dǎo)電薄膜在薄膜沉積時(shí)就已經(jīng)形成了相應(yīng)的絨面，所以不需要在后續(xù)的制絨工序。而物理氣相沉積法制備薄膜太陽(yáng)能電池所需的透明導(dǎo)電薄膜能夠大規(guī)模的展開(kāi)，物理氣相沉積法制備薄膜太陽(yáng)能電池所需的透明導(dǎo)電薄膜表面幾乎沒(méi)有絨度，必須另增一道薄膜的表面制絨工序才能滿足薄膜太陽(yáng)能電池對(duì)透明導(dǎo)電薄膜所需的要求。物理氣相沉積法制備薄膜太陽(yáng)能電池所需的透明導(dǎo)電薄膜的表面制絨有干法制絨和濕法制絨，其中干法制絨為物理法，工業(yè)化大面積生產(chǎn)難度大，目前很少。而濕法制絨為化學(xué)法刻蝕，是目前薄膜太陽(yáng)能電池所需的透明導(dǎo)電薄膜的表面制絨的首選工業(yè)化方向。濕法制絨主要有浸泡刻蝕和噴淋刻蝕兩種通用工藝。浸泡刻蝕表面絨度易于控制，表面粗糙度的均勻性好，制絨過(guò)程便于自主掌控，多用于手工單件生產(chǎn)，產(chǎn)能低，工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)難度大；噴淋刻蝕則便于連續(xù)工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)，產(chǎn)量大，但是噴淋刻蝕表面絨度不易控制，表面粗糙度的均勻性波動(dòng)較大，制絨過(guò)程難于掌控。無(wú)論是浸泡刻蝕還是噴淋刻蝕對(duì)生產(chǎn)的工藝技術(shù)和相應(yīng)的操作的熟練成度要求高，工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的產(chǎn)品的一致性穩(wěn)定性都難以達(dá)到薄膜太陽(yáng)能電池對(duì)所需的透明導(dǎo)電薄膜的要求。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝，綜合現(xiàn)有的浸泡刻蝕和噴淋刻蝕兩種通用工藝的優(yōu)缺點(diǎn)，將噴淋刻蝕易于采用連續(xù)工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)與浸泡刻蝕表面絨度易于控制、表面粗糙度的均勻性好、制絨過(guò)程便于自主掌控相結(jié)合優(yōu)點(diǎn)結(jié)合，實(shí)現(xiàn)薄膜太陽(yáng)能電池所需透明導(dǎo)電薄膜的工業(yè)化自動(dòng)連續(xù)浸泡刻蝕生產(chǎn)。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案
本發(fā)明的薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝，包括浸泡、清洗、烘干三個(gè)依次進(jìn)行的工序步驟，所述的浸泡、清洗、烘干工序采用自動(dòng)控制方法進(jìn)行自動(dòng)連續(xù)浸泡刻蝕制絨；其中，透明導(dǎo)電薄膜蝕刻的溶液由草酸、鹽酸、表面活性穩(wěn)定劑和去離子水按如下的重量比比例配制而成草酸0. lwt% 1. 5wt% ；鹽酸0. 3wt% 2. 5wt% ；表面活性穩(wěn)定劑 0. 01wt% 0. 5wt% ；其余為去離子水；所述表面活性穩(wěn)定劑為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑、脂肪醇聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑、脂肪酸聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑中的一種或者幾種的混合物；在浸泡、清洗、烘干工序中上下料采用自動(dòng)控制手段，通過(guò)對(duì)不同規(guī)格和基體材料的已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的物料進(jìn)行自動(dòng)識(shí)別和分料，來(lái)確定各工序的工藝參數(shù)和選用相對(duì)應(yīng)的透明導(dǎo)電薄膜刻蝕溶液；在浸泡、清洗、烘干工序中采用自動(dòng)控制手段根據(jù)不同的環(huán)境溫度自主調(diào)節(jié)控制浸泡工序、清洗工序的溫度，確保透明導(dǎo)電薄膜制絨過(guò)程中浸泡工序和清洗工序的溫度穩(wěn)定在20°C 25°C之間；烘干工序干燥的溫度根據(jù)已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的不同規(guī)格和基體材料自動(dòng)控制在40°C 75V ；在浸泡、清洗、烘干工序中采用自動(dòng)監(jiān)測(cè)手段，進(jìn)行自動(dòng)反饋和異常報(bào)警，并及時(shí)紀(jì)錄或者自動(dòng)停止運(yùn)行。進(jìn)一步，在浸泡工序中，采用自動(dòng)控制手段根據(jù)不同規(guī)格和不同基體材料上已經(jīng)沉積好的透明導(dǎo)電薄膜的刻蝕要求，實(shí)現(xiàn)透明導(dǎo)電薄膜浸泡過(guò)程的同步、均一，確保已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜浸泡刻蝕時(shí)間的精確、可靠；浸泡工序中整個(gè)已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的物料在數(shù)秒內(nèi)同時(shí)浸入或者同時(shí)離開(kāi)刻蝕溶液；已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的物料始終水平浸入或者水平離開(kāi)刻蝕溶液；透明導(dǎo)電薄膜浸泡刻蝕時(shí)間調(diào)整范圍是20秒 100秒。進(jìn)一步，在清洗工序中，采用自動(dòng)控制手段根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)刻蝕好透明導(dǎo)電薄膜自動(dòng)選擇清洗次數(shù)和清洗溫度，清洗的次數(shù)控制在3 5次。進(jìn)一步，在烘干工序中，采用自動(dòng)控制手段根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)清洗好的透明導(dǎo)電薄膜表面所含的清洗液的程度，自主選擇和調(diào)節(jié)自動(dòng)烘干干燥的風(fēng)速和風(fēng)量的大小，并能自動(dòng)調(diào)整烘干干燥的風(fēng)向；根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)清洗好的透明導(dǎo)電薄膜表面的潮濕程度和已經(jīng)清洗好的透明導(dǎo)電薄膜烘干干燥的不同階段，靈活匹配已經(jīng)清洗好透明導(dǎo)電薄膜烘干干燥進(jìn)口階段、烘干干燥的中間階段和烘干干燥的出口階段的不同溫度，烘干干燥的溫度調(diào)節(jié)范圍是40°C 75°C。本發(fā)明的有益效果是
本發(fā)明的本薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的工業(yè)化制絨工藝是在工業(yè)化自動(dòng)連續(xù)浸泡刻蝕生產(chǎn)工藝，所生產(chǎn)的產(chǎn)品具有一定的工業(yè)產(chǎn)量，針對(duì)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的制絨，所生產(chǎn)的產(chǎn)品刻蝕后的透明導(dǎo)電薄膜表面絨度數(shù)值均一且可自由調(diào)節(jié)，表面粗糙度符合薄膜太陽(yáng)能電池對(duì)前電極透明導(dǎo)電薄膜的要求，表面均勻性能好，大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)產(chǎn)品的一致性穩(wěn)定性達(dá)到要求，可靠度高。通過(guò)采用自動(dòng)上下料技術(shù)手段來(lái)實(shí)現(xiàn)透明導(dǎo)電薄膜制絨的可靠性和穩(wěn)定性。自動(dòng)上下料手段是通過(guò)對(duì)不同規(guī)格和基體材料的已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的自動(dòng)識(shí)別和分料，來(lái)確定相應(yīng)的自動(dòng)連續(xù)浸泡刻蝕生產(chǎn)線的各項(xiàng)工藝參數(shù)和選用相對(duì)應(yīng)的透明導(dǎo)電薄膜刻蝕溶液。同時(shí)，自動(dòng)上下料技術(shù)還能做到已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的不同規(guī)格和基體材料的自主上下自動(dòng)連續(xù)浸泡刻蝕生產(chǎn)線，減少對(duì)透明導(dǎo)電薄膜刻蝕過(guò)程中薄膜表面的損傷和人為因素，提高生產(chǎn)品質(zhì)和生產(chǎn)效率。自動(dòng)上下料技術(shù)同樣能夠做到根據(jù)對(duì)應(yīng)的產(chǎn)能產(chǎn)量來(lái)調(diào)節(jié)和配置整條生產(chǎn)線的生產(chǎn)節(jié)拍和生產(chǎn)過(guò)程的優(yōu)化。通過(guò)采用自動(dòng)溫度調(diào)節(jié)技術(shù)手段進(jìn)一步提高透明導(dǎo)電薄膜制絨的可靠性和穩(wěn)定性，能夠根據(jù)生產(chǎn)的產(chǎn)能產(chǎn)量自動(dòng)控制透明導(dǎo)電薄膜制絨過(guò)程中自動(dòng)浸泡工序和自動(dòng)清洗工序的溫度在技術(shù)指標(biāo)所設(shè)定的范圍內(nèi)，也同樣能夠保證自動(dòng)烘干干燥的溫度在技術(shù)指標(biāo)所設(shè)定的范圍內(nèi)。自動(dòng)溫度調(diào)節(jié)技術(shù)還能夠根據(jù)不同的環(huán)境溫度自主調(diào)節(jié)控制自動(dòng)浸泡工序、自動(dòng)清洗工序的溫度和自動(dòng)烘干干燥的溫度在技術(shù)指標(biāo)所設(shè)定的范圍內(nèi)。在浸泡工序，采用自動(dòng)浸泡技術(shù)手段能夠根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜刻蝕的具體要求，實(shí)現(xiàn)透明導(dǎo)電薄膜自動(dòng)浸泡過(guò)程的同步、均一，確保已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜浸泡刻蝕時(shí)間的精確、可靠。本技術(shù)所采用的薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜刻蝕的自動(dòng)浸泡技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)整個(gè)已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜表面在數(shù)秒內(nèi)同時(shí)浸入或者同時(shí)離開(kāi)刻蝕溶液。本技術(shù)所采用的薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜刻蝕的自動(dòng)浸泡技術(shù)能夠確保已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜始終水平浸入或者水平離開(kāi)刻蝕溶液。在清洗工序，自動(dòng)清洗技術(shù)手段能夠?qū)崿F(xiàn)根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)刻蝕好透明導(dǎo)電薄膜自動(dòng)選擇刻蝕好透明導(dǎo)電薄膜的清洗次數(shù)和清洗溫度。并且可以做到清洗時(shí)，立即去除透明導(dǎo)電薄膜整個(gè)表面刻蝕后殘留的刻蝕溶液，確保刻蝕好透明導(dǎo)電薄膜品質(zhì)穩(wěn)定均一。同時(shí)，又能避免刻蝕好透明導(dǎo)電薄膜在清洗時(shí)局部清洗液的流速不均勻，使整個(gè)刻蝕好透明導(dǎo)電薄膜清洗過(guò)程均勻穩(wěn)定。在烘干工序，通過(guò)自動(dòng)烘干干燥技術(shù)手段根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)清洗好透明導(dǎo)電薄膜表面所含的清洗液的程度，自主選擇和調(diào)節(jié)自動(dòng)烘干干燥的風(fēng)速和風(fēng)量的大小，并能自動(dòng)調(diào)整烘干干燥的風(fēng)向。實(shí)現(xiàn)根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)清洗好透明導(dǎo)電薄膜表面的潮濕程度和已經(jīng)清洗好透明導(dǎo)電薄膜烘干干燥的階段，靈活匹配已經(jīng)清洗好透明導(dǎo)電薄膜烘干干燥進(jìn)口、烘干干燥的中間階段和烘干干燥的出口的不同溫度，以防止已經(jīng)烘干干燥好的制絨透明導(dǎo)電薄膜的表面重新吸附潮氣。在整個(gè)工序過(guò)程中，自動(dòng)監(jiān)測(cè)控制手段僅對(duì)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜制絨的整個(gè)工序所包括的刻蝕溶液溶度和用量進(jìn)行采樣、記錄和監(jiān)測(cè)；對(duì)自動(dòng)上下料的節(jié)拍、不同規(guī)格和尺寸的分選和不同基體材料的鑒別，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)反饋和異常報(bào)警， 并設(shè)有及時(shí)紀(jì)錄和自動(dòng)停止功能。本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)、目標(biāo)和特征在某種程度上將在隨后的說(shuō)明書中進(jìn)行闡述，并且在某種程度上，基于對(duì)下文的考察研究對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言將是顯而易見(jiàn)的，或者可以從本發(fā)明的實(shí)踐中得到教導(dǎo)。本發(fā)明的目標(biāo)和其他優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)下面的說(shuō)明書中所特別指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。實(shí)例1、在室溫的條件下采用工業(yè)化自動(dòng)連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線，在普通的玻璃上沉積了薄膜太陽(yáng)能電池所需的透明導(dǎo)電薄膜，并進(jìn)行了相應(yīng)的制絨，其產(chǎn)品性能穩(wěn)定，制絨時(shí)，刻蝕溶液中草酸(乙二酸)的配比重量比范圍是0. 15wt%;鹽酸的配比重量比范圍是 0. 3wt% ；表面活性穩(wěn)定劑的配比重量比范圍是0. 015wt% ；其余為去離子水，表面活性穩(wěn)定劑為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑。自動(dòng)浸泡時(shí)間為35秒、溫度穩(wěn)定在22°C，自動(dòng)清洗4次、溫度穩(wěn)定在25°C。烘干干燥的溫度及本調(diào)節(jié)范圍是55°C。制絨后薄膜的透光率在550nm波長(zhǎng)是大于83%，表面方塊電阻在7 Ω，絨度在700nm波長(zhǎng)可達(dá)到40%，表面粗糙度達(dá)到120nm和表面均勻性在2. 7%以內(nèi)。實(shí)例2、在室溫的條件下采用工業(yè)化自動(dòng)連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線，在先鋼化好的玻璃上沉積了薄膜太陽(yáng)能電池所需的透明導(dǎo)電薄膜，并進(jìn)行了相應(yīng)的制絨，其產(chǎn)品性能穩(wěn)定，制絨時(shí)，刻蝕溶液中草酸(乙二酸)的配比重量比范圍是0. 25wt%;鹽酸的配比重量比范圍是 0. 35wt% ；表面活性穩(wěn)定劑的配比重量比范圍是0. 015wt% ；其余為去離子水，表面活性穩(wěn)定劑為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑。自動(dòng)浸泡時(shí)間為45秒、溫度穩(wěn)定在22°C，自動(dòng)清洗4次、溫度穩(wěn)定在25°C。烘干干燥的溫度及本調(diào)節(jié)范圍是65°C。制絨后薄膜的透光率在550nm波長(zhǎng)是大于84%，表面方塊電阻在8 Ω，絨度在700nm波長(zhǎng)可達(dá)到45%。表面粗糙度達(dá)到128nm和表面均勻性在2. 9%以內(nèi)。實(shí)例3、在室溫的條件下采用工業(yè)化自動(dòng)連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線，在普通的有機(jī)玻璃上沉積了薄膜太陽(yáng)能電池所需的透明導(dǎo)電薄膜，并進(jìn)行了相應(yīng)的制絨，其產(chǎn)品性能穩(wěn)定，制絨時(shí)，刻蝕溶液中草酸(乙二酸)的配比重量比范圍是0. 15wt%;鹽酸的配比重量比范圍是 0. 3wt% ；表面活性穩(wěn)定劑的配比重量比范圍是0. 015wt% ；其余為去離子水，表面活性穩(wěn)定劑為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑。自動(dòng)浸泡時(shí)間為35秒、溫度穩(wěn)定在22°C，自動(dòng)清洗5次、溫度穩(wěn)定在25°C。烘干干燥的溫度及本調(diào)節(jié)范圍是50°C。制絨后薄膜的透光率在550nm波長(zhǎng)是大于81%，表面方塊電阻在9Ω，絨度在700nm波長(zhǎng)可達(dá)到30%。表面粗糙度達(dá)到118nm和表面均勻性在3. 2%以內(nèi)。實(shí)例4、在室溫的條件下采用工業(yè)化自動(dòng)連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線，在普通的PET薄膜上沉積了薄膜太陽(yáng)能電池所需的透明導(dǎo)電薄膜，并進(jìn)行了相應(yīng)的制絨，其產(chǎn)品性能穩(wěn)定，制絨時(shí)，刻蝕溶液中草酸(乙二酸)的配比重量比范圍是0. 15wt%;鹽酸的配比重量比范圍是 0. 3wt% ；表面活性穩(wěn)定劑的配比重量比范圍是0. 015wt% ；其余為去離子水，表面活性穩(wěn)定劑為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑。自動(dòng)浸泡時(shí)間為45秒、溫度穩(wěn)定在22°C，自動(dòng)清洗5次、溫度穩(wěn)定在25°C。烘干干燥的溫度及本調(diào)節(jié)范圍是50°C。制絨后薄膜的透光率在550nm波長(zhǎng)是大于80%，表面方塊電阻在8 Ω，絨度在700nm波長(zhǎng)可達(dá)到28%。表面粗糙度達(dá)到130nm和表面均勻性在3. 4%以內(nèi)。最后說(shuō)明的是，以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案所做的其他修改或者等同替換，只要不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的精神和范圍，均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求
1.薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝，包括浸泡、清洗、烘干三個(gè)依次進(jìn)行的工序步驟，其特征在于，所述的浸泡、清洗、烘干工序采用自動(dòng)控制方法進(jìn)行自動(dòng)連續(xù)浸泡刻蝕制絨； 透明導(dǎo)電薄膜蝕刻的溶液由草酸、鹽酸、表面活性穩(wěn)定劑和去離子水按如下的重量比比例配制而成草酸0. lwt% 1. 5wt% ；鹽酸0. 3wt% 2. 5wt% ；表面活性穩(wěn)定劑0. 01wt% 0. 5wt% ；其余為去離子水；所述表面活性穩(wěn)定劑為烷基酚聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑、脂肪醇聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑、脂肪酸聚氧乙烯醚系列表面活性穩(wěn)定劑中的一種或者幾種的混合物；在浸泡、清洗、烘干工序中上下料采用自動(dòng)控制手段，通過(guò)對(duì)不同規(guī)格和基體材料的已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的物料進(jìn)行自動(dòng)識(shí)別和分料，來(lái)確定各工序的工藝參數(shù)和選用相對(duì)應(yīng)的透明導(dǎo)電薄膜刻蝕溶液；在浸泡、清洗、烘干工序中采用自動(dòng)控制手段根據(jù)不同的環(huán)境溫度自主調(diào)節(jié)控制浸泡工序、清洗工序的溫度，確保透明導(dǎo)電薄膜制絨過(guò)程中浸泡工序和清洗工序的溫度穩(wěn)定在 20°C 25°C之間；烘干工序干燥的溫度根據(jù)已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的不同規(guī)格和基體材料自動(dòng)控制在40°C 75°C ；在浸泡、清洗、烘干工序中采用自動(dòng)監(jiān)測(cè)手段，進(jìn)行自動(dòng)反饋和異常報(bào)警，并及時(shí)紀(jì)錄或者自動(dòng)停止運(yùn)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝，其特征在于在浸泡工序中，采用自動(dòng)控制手段根據(jù)不同規(guī)格和不同基體材料上已經(jīng)沉積好的透明導(dǎo)電薄膜的刻蝕要求，實(shí)現(xiàn)透明導(dǎo)電薄膜浸泡過(guò)程的同步、均一，確保已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜浸泡刻蝕時(shí)間的精確、可靠；浸泡工序中整個(gè)已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的物料在數(shù)秒內(nèi)同時(shí)浸入或者同時(shí)離開(kāi)刻蝕溶液；已經(jīng)沉積好透明導(dǎo)電薄膜的物料始終水平浸入或者水平離開(kāi)刻蝕溶液；透明導(dǎo)電薄膜浸泡刻蝕時(shí)間調(diào)整范圍是20秒 100秒。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝，其特征在于在清洗工序中，采用自動(dòng)控制手段根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)刻蝕好透明導(dǎo)電薄膜自動(dòng)選擇清洗次數(shù)和清洗溫度，清洗的次數(shù)控制在3 5次。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝，其特征在于在烘干工序中，采用自動(dòng)控制手段根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)清洗好的透明導(dǎo)電薄膜表面所含的清洗液的程度，自主選擇和調(diào)節(jié)自動(dòng)烘干干燥的風(fēng)速和風(fēng)量的大小，并能自動(dòng)調(diào)整烘干干燥的風(fēng)向；根據(jù)不同規(guī)格和基體材料上已經(jīng)清洗好的透明導(dǎo)電薄膜表面的潮濕程度和已經(jīng)清洗好的透明導(dǎo)電薄膜烘干干燥的不同階段，靈活匹配已經(jīng)清洗好透明導(dǎo)電薄膜烘干干燥進(jìn)口階段、烘干干燥的中間階段和烘干干燥的出口階段的不同溫度，烘干干燥的溫度調(diào)節(jié)范圍是40°C 75°C。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜太陽(yáng)能電池前電極透明導(dǎo)電薄膜的制絨工藝，包括浸泡、清洗、烘干三個(gè)依次進(jìn)行的工序步驟，所述的浸泡、清洗、烘干工序采用自動(dòng)控制方法進(jìn)行自動(dòng)連續(xù)浸泡刻蝕制絨；透明導(dǎo)電薄膜蝕刻的溶液由草酸、鹽酸、表面活性穩(wěn)定劑和去離子水按如下的重量比比例配制而成草酸0.1wt%～1.5wt%；鹽酸0.3wt%～2.5wt%；表面活性穩(wěn)定劑0.01wt%～0.5wt%；其余為去離子水；通過(guò)采用自主配制的刻蝕溶液、自動(dòng)上下料技術(shù)、自動(dòng)溫度調(diào)節(jié)技術(shù)、自動(dòng)浸泡技術(shù)、自動(dòng)清洗技術(shù)、自動(dòng)烘干干燥技術(shù)和自動(dòng)監(jiān)測(cè)控制技術(shù)等眾多技術(shù)的綜合配套，實(shí)現(xiàn)了薄膜太陽(yáng)能電池所需透明導(dǎo)電薄膜的工業(yè)化自動(dòng)連續(xù)浸泡刻蝕生產(chǎn)。
文檔編號(hào)H01L31/18GK102306682SQ201110273560
公開(kāi)日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2011年9月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月15日
發(fā)明者周鈞 申請(qǐng)人:周鈞