專利名稱：晶片翻轉(zhuǎn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型關(guān)于一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置，尤其是一種藉由呈放射狀所設(shè)置的翻轉(zhuǎn)輪片，用以使輸送帶所承載運送的晶片能夠進行翻轉(zhuǎn)的處理。
背景技術(shù)：
目前許多半導(dǎo)體晶片廠為了提高生產(chǎn)力或保持競爭優(yōu)勢，皆已采用自動化方式進行晶片的制造與搬運，如此的自動化運作流程能夠有效地節(jié)省人事成本以及提高生產(chǎn)效率，因此工廠自動化已經(jīng)是半導(dǎo)體必然的趨勢了，另外為了因應(yīng)工廠自動化，有許多工廠輸送系統(tǒng)的設(shè)計是非常重要的；因此在工廠中的晶片制造流程或是晶片檢測流程中，當晶片進行雙面制程時，先利用包含有沉積、微影與蝕刻等半導(dǎo)體制程的正面制程于晶片的正面形成正面圖案，接著再將晶片翻轉(zhuǎn)并利用背面制程于晶片的背面形成背面圖案，藉以制作出所需的元件結(jié)構(gòu)； 其中習用的晶片翻轉(zhuǎn)裝置2如圖1所示，需要于輸送帶1兩側(cè)設(shè)制一旋轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)21以及四支懸臂結(jié)構(gòu)221，222，223，224，而每一支懸臂結(jié)構(gòu)上設(shè)置了至少兩個吸嘴結(jié)構(gòu)23，因此當晶片3經(jīng)由該輸送帶1到達其中一組懸臂結(jié)構(gòu)021，222或是223，224)時，該吸嘴結(jié)構(gòu)23 能夠吸附于該晶片3背面的周緣部，并經(jīng)由該旋轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)21使其中兩支懸臂結(jié)構(gòu)021，222 或是223，224)進行180度的翻轉(zhuǎn)，同時使該晶片3正面直接與另一端輸送帶1表面接觸， 而導(dǎo)致該晶片3的背面朝上，以便進行晶片3背面的制程與檢測；然而于晶片3翻轉(zhuǎn)的過程中，若是吸嘴結(jié)構(gòu)23無法將該晶片3的背面完全吸附， 或是任何一個吸嘴結(jié)構(gòu)23無法使用，于晶片3翻轉(zhuǎn)的過程中所產(chǎn)生的甩力將會使該晶片3 整片飛出，因此很容易導(dǎo)致輸送過程中產(chǎn)生晶片3受損的情況發(fā)生；或是晶片3輸送速度過快的情況下，目前所習用的懸臂結(jié)構(gòu)021，222或是223，224)很難進行配合，因此會造成晶片3堵塞于輸送帶1上，進而會導(dǎo)致制程中斷的情況發(fā)生。因此，若能提供一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置，能夠于晶片翻轉(zhuǎn)的過程中，使晶片能夠經(jīng)由更穩(wěn)定的翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)進行翻面，以避免輸送過程中晶片發(fā)生受損的情況發(fā)生，應(yīng)為一最佳解決方案。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的即在于，提供一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置，能夠于晶片翻轉(zhuǎn)的過程中，用以避免晶片甩出發(fā)生受損或是制程中斷的情況發(fā)生?？蛇_成上述實用新型目的的一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置，設(shè)置于兩個晶片承載裝置的輸送帶間，該輸送帶用于承載運送晶片，而該晶片翻轉(zhuǎn)裝置包括了一晶片翻轉(zhuǎn)架及一驅(qū)動裝置， 其中該晶片翻轉(zhuǎn)架包含有一組翻轉(zhuǎn)輪片，而該組翻轉(zhuǎn)輪片跨設(shè)于輸送帶間，且該組翻轉(zhuǎn)輪片具有多個扇面，并于該相鄰扇面之間形成多個槽位，用以提供晶片置放而形成至少一容置晶片空間；另外該晶片翻轉(zhuǎn)架通過一中軸呈放射狀設(shè)置該翻轉(zhuǎn)輪片，而該驅(qū)動機構(gòu)能夠用以驅(qū)動該中軸而帶動翻轉(zhuǎn)輪片轉(zhuǎn)動，并進一步帶動該晶片翻轉(zhuǎn)架作動。[0008]更具體的說，所述輸送帶上更具有一用以感應(yīng)輸送帶上晶片狀態(tài)的感測器，藉以送出一驅(qū)動訊號并驅(qū)動該驅(qū)動機構(gòu)作動。更具體的說，所述晶片翻轉(zhuǎn)架具有一可允許晶片通過的通道，使輸送帶上承載運送的晶片直接通過該通道。更具體的說，所述槽位用于置放相同尺寸的晶片。更具體的說，所述相鄰扇面之間形成多個槽位相異，用于容納不同尺寸的晶片。更具體的說，所述相鄰扇面之間形成多個槽位，其槽位內(nèi)側(cè)設(shè)置有一用以防止晶片碰撞而破裂的緩沖墊結(jié)構(gòu)。本實用新型所提供的一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置，其有益效果在于1.本實用新型能夠于晶片翻轉(zhuǎn)的過程中，有效地避免輸送中晶片被甩出發(fā)生受損或是制程中斷的情況發(fā)生。2.本實用新型能夠用于相同尺寸或是不同尺寸的晶片使用，更能夠經(jīng)由輸送帶的配置，進行不同尺寸晶片的制程或檢測流程調(diào)整。

圖1 :為習用晶片翻轉(zhuǎn)裝置的立體結(jié)構(gòu)圖；圖2 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的立體結(jié)構(gòu)圖；圖3 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第一實施例示意圖；圖4A 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第一實施例側(cè)面示意圖；圖4B 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第一實施例側(cè)面示意圖；圖4C 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第一實施例側(cè)面示意圖；圖4D 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第一實施例側(cè)面示意圖；圖5 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第二實施例示意圖；圖6A 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第二實施例側(cè)面示意圖；圖6B 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第二實施例側(cè)面示意圖；以及圖6C 為本實用新型一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第二實施例側(cè)面示意圖。
具體實施方式
有關(guān)于本實用新型的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點與功效，在以下配合參考圖式的較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現(xiàn)。請參閱圖2、圖3、圖4A至圖4D，為本實用新型晶片翻轉(zhuǎn)裝置的立體結(jié)構(gòu)圖、第一實施例示意圖及第一實施例側(cè)面示意圖，而該晶片翻轉(zhuǎn)裝置設(shè)置于兩個晶片承載裝置的輸送帶4間，該輸送帶4用于承載運送晶片，由圖中可知，該晶片翻轉(zhuǎn)裝置包含一晶片翻轉(zhuǎn)架6，包含有一組翻轉(zhuǎn)輪片61，而該組翻轉(zhuǎn)輪片61跨設(shè)于輸送帶4間， 并通過一中軸62呈放射狀設(shè)置該組翻轉(zhuǎn)輪片61，其中該組翻轉(zhuǎn)輪片61具有多個扇面611， 并于該相鄰扇面611之間形成多個槽位612，用以提供晶片置放而形成至少一容置晶片空間；另外該晶片翻轉(zhuǎn)架6具有一可允許晶片通過的通道63，使輸送帶4上承載運送的晶片直接通過該通道63 ；一驅(qū)動機構(gòu)7，能夠驅(qū)動該中軸62而帶動該組翻轉(zhuǎn)輪片61轉(zhuǎn)動，并進一步帶動該晶片翻轉(zhuǎn)架6作動；另外該輸送帶4上更具有一用以感應(yīng)輸送帶4上晶片狀態(tài)的感測器41， 能夠送出一驅(qū)動訊號并驅(qū)動該驅(qū)動機構(gòu)7作動；因此晶片能夠經(jīng)由該晶片翻轉(zhuǎn)裝置進行翻轉(zhuǎn)，如圖3、圖4A至圖4D所示，當該第一片晶片51尚未需要翻轉(zhuǎn)時，該晶片翻轉(zhuǎn)架6的通道63會直接朝向該第一片晶片51 (如圖3及圖4A所示)；而當要進行晶片翻轉(zhuǎn)作業(yè)時，該驅(qū)動機構(gòu)7開始驅(qū)動該中軸62而帶動該組翻轉(zhuǎn)輪片61轉(zhuǎn)動，并使該組翻轉(zhuǎn)輪片61的第一槽位6121會朝向該輸送帶4上的第一片晶片51，因此當該第一片晶片51通過于該輸送帶4的感測器41時，該第一片晶片51會逐漸進入該第一槽位6121內(nèi)(如圖4B所示)，而當該第一片晶片51完全容置于該第一槽位6121內(nèi)后，該第一片晶片51會離開該輸送帶4的感測器41，該驅(qū)動機構(gòu)7會再驅(qū)動該中軸62而帶動該組翻轉(zhuǎn)輪片61轉(zhuǎn)動，以使該第二槽位6122朝向該輸送帶4上的第二片晶片 52(如圖4C所示)；接著該組翻轉(zhuǎn)輪片61的槽位會陸續(xù)接收晶片53，54，55 (如圖4C所示)，而當該容置于第一槽位6121內(nèi)的第一片晶片51被翻轉(zhuǎn)180度后，并與該輸送帶4接觸時，會由該輸送帶4將該第一片晶片51移出該第一槽位6121內(nèi)，因此該第一片晶片51的正面被翻轉(zhuǎn)成了背面(如圖4D所示)。值得一提的是，該槽位612可用于置放相同尺寸的晶片。值得一提的是，該相鄰扇面611之間可形成多個槽位612相異，用于容納不同尺寸的晶片。值得一提的是，該相鄰扇面611之間形成多個槽位612，其槽位612內(nèi)側(cè)能夠額外添加設(shè)置有一用以防止晶片碰撞而破裂的緩沖墊結(jié)構(gòu)。請參閱圖5、圖6A至圖6C，為本實用新型晶片翻轉(zhuǎn)裝置的第二實施例示意圖及第二實施例側(cè)面示意圖，由圖中可知，當該晶片5不需要翻轉(zhuǎn)時，該晶片翻轉(zhuǎn)架6的通道63能夠直接朝向該輸送帶4上的該晶片5 (當該晶片5通過于該輸送帶4的感測器41時，該驅(qū)動機構(gòu)7不會開始驅(qū)動該組翻轉(zhuǎn)輪片61轉(zhuǎn)動)，使該輸送帶4上承載運送的晶片5直接通過該通道63。藉由以上較佳具體實施例的詳述，希望能更加清楚描述本實用新型的特征與精神，而并非以上述所揭露的較佳具體實施例來對本實用新型的范疇加以限制。相反地，其目的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排于本實用新型所欲申請的專利范圍的范疇內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置，設(shè)置于兩個晶片承載裝置的輸送帶間，該輸送帶用于承載運送該些晶片，其特征在于，該晶片翻轉(zhuǎn)裝置包括一晶片翻轉(zhuǎn)架，其中包含有一組翻轉(zhuǎn)輪片，該組翻轉(zhuǎn)輪片跨設(shè)于輸送帶間，該組翻轉(zhuǎn)輪片具有多個扇面，相鄰扇面之間形成用以提供晶片置放而形成至少一容置晶片空間的多個槽位；以及一用以帶動該晶片翻轉(zhuǎn)架作動的驅(qū)動裝置。
2.如權(quán)利要求1所述晶片翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，該輸送帶上更具有一用以感應(yīng)輸送帶上晶片狀態(tài)，藉以送出一驅(qū)動訊號并驅(qū)動該驅(qū)動機構(gòu)作動的感測器。
3.如權(quán)利要求1所述晶片翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，該晶片翻轉(zhuǎn)架具有一允許晶片通過的通道。
4.如權(quán)利要求1所述晶片翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，該相鄰扇面之間形成用于置放相同尺寸晶片的槽位。
5.如權(quán)利要求1所述晶片翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，該相鄰扇面之間形成用于容納不同尺寸晶片的多個相異槽位。
6.如權(quán)利要求1所述晶片翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，該相鄰扇面之間形成多個槽位，其槽位內(nèi)側(cè)設(shè)置有一用以防止晶片碰撞而破裂的緩沖墊結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求1所述晶片翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，該晶片翻轉(zhuǎn)架通過一中軸呈放射狀設(shè)置該翻轉(zhuǎn)輪片，該翻轉(zhuǎn)輪片由該驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動該中軸而帶動其轉(zhuǎn)動。
專利摘要一種晶片翻轉(zhuǎn)裝置，設(shè)置于兩個晶片承載裝置的輸送帶間，該輸送帶用于承載運送晶片，而該晶片翻轉(zhuǎn)裝置包括了一晶片翻轉(zhuǎn)架及一驅(qū)動裝置，其中該晶片翻轉(zhuǎn)架包含有一組翻轉(zhuǎn)輪片，而該組翻轉(zhuǎn)輪片跨設(shè)于輸送帶間，且該組翻轉(zhuǎn)輪片具有多個扇面，并于該相鄰扇面之間形成多個槽位，用以提供晶片置放而形成至少一容置晶片空間；另外該晶片翻轉(zhuǎn)架通過一中軸呈放射狀設(shè)置該翻轉(zhuǎn)輪片，而該驅(qū)動機構(gòu)能夠用以驅(qū)動該中軸而帶動翻轉(zhuǎn)輪片轉(zhuǎn)動，并進一步帶動該晶片翻轉(zhuǎn)架作動。本實用新型能夠于晶片翻轉(zhuǎn)的過程中，有效地避免輸送中晶片被甩出發(fā)生受損或是制程中斷的情況發(fā)生。
文檔編號H01L21/683GK202150447SQ201120082448
公開日2012年2月22日 申請日期2011年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月25日
發(fā)明者李耕毅 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司