專利名稱：雙排二十工位手動制絨與清洗設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能光伏產業(yè)技術領域的設備，具體是一種晶體硅太陽能電池工藝中的研發(fā)用制絨與清洗設備。
背景技術：
太陽能電池生產工藝流程中，有很多因素都會降低光電轉換效率；如由于表面的反射而沒有進入電池片內的可以產生電子空穴對的光帶來的光損失，整個工藝流程中的太陽能電池片的表面潔凈度，酸洗及二次清洗的質量等都會降低太陽能電池片的轉換效率。 而高效率太陽能電池工藝中，硅墨印刷前清洗、擴散前清洗等工藝流程中的效果和潔凈度都直接關系到選擇性發(fā)射極性能，從而影響太陽能電池片的轉化效率。光伏工藝中為了減少光損失，采用制絨對單晶太陽能電池片表面進行各向同性腐蝕，形成倒金字塔微結構來減少表面反射，提升光的利用率，所以制絨是太陽能工藝中非常重要的一個流程。而為了提高選擇性發(fā)射極性能、從而提高電池片的轉換效率，高效率太陽能電池工藝中對整個流程中的潔凈度、特別是對避免金屬雜質污染有很高的要求。傳統(tǒng)的制絨、擴散前清洗、或二次清洗等設備達不到晶體硅高效率太陽能電池工藝研發(fā)對制絨質量及潔凈度的要求，而且會帶來金屬離子污染及含有潛在的污染源，降低了太陽能電池片的潔凈度，從而降低了電池片的光電轉換效率；制絨與酸洗、腐蝕等不在一個設備中，對研發(fā)帶來了不便，同時增加了二次污染。
發(fā)明內容本實用新型的目的在于提供一種結構合理，能夠滿足高效率太陽能電池研發(fā)對制絨質量和工藝流程中潔凈度的要求的雙排二十工位手動制絨與清洗設備。本實用新型的技術解決方案是—種雙排二十工位手動制絨與清洗設備，其特征是包括固定在機架上的三個分體，第一個分體包括各自獨立裝于機架上的二個堿性制絨槽、二個酸洗槽及二個去離子水清洗槽，第二個分體包括各自獨立裝于機架上的三個去金屬離子清洗槽、三個酸洗槽及二個去離子水清洗槽，第三個分體包括各自獨立裝于機架上的二個酸性制絨槽、一個堿性槽、 一個酸洗清洗槽及二個去離子水清洗槽；三個分體間設置間隔，各槽均為非金屬槽體；每個分體中的槽均呈雙排設置形式。各去離子水清洗槽的進水和出水口均安裝有電阻率量表。第三個分體中的酸性制絨槽為硝酸制絨槽，硝酸制絨槽的槽體和與制冷機組連接的交換副槽連接。各槽中設有容積標尺。本實用新型結構合理，能夠滿足高效率太陽能電池研發(fā)對制絨質量和工藝流程中潔凈度的要求，盡量避免金屬離子污染及減少潛在污染源，提高晶體硅制絨質量，從而提高太陽能電池光電轉換效率，并能滿足多種研發(fā)需求。以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

圖1是本實用新型一個實施例的結構示意圖。
具體實施方式
一種雙排二十工位手動制絨與清洗設備，包括固定在機架上的三個分體，第一個分體包括各自獨立裝于機架上的二個堿性制絨槽(氫氧化鉀制絨槽)2、6、二個酸洗槽(鹽酸槽)1、5及二個去離子水清洗槽3、4，第二個分體包括各自獨立裝于機架上的三個去金屬離子清洗槽8、10、14(分別為一號液槽8、二號液槽10及濃硫酸槽14)、三個酸洗槽(氫氟酸槽) 7、9、13及二個去離子水清洗槽11、12，第三個分體包括各自獨立裝于機架上的二個酸性制絨槽(硝酸制絨槽)16、20、一個堿性槽(5%氫氧化鉀槽)15、一個酸洗清洗槽(氫氟酸槽)19 及二個去離子水清洗槽17、18 ；三個分體間設置間隔，各槽均為非金屬槽體，如實需金屬材質，外包覆非金屬材質(如特氟龍等)處理；每個分體中的槽均呈雙排設置形式。各去離子水清洗槽的進水和出水口均安裝有電阻率量表，出水測試電阻率正常后自動停止進水；每組去離子水清洗槽(雙排)安裝三個去離子水電阻率量程為10ΚΩ IOM Ω的電阻率量表。第三個分體中的酸性制絨槽為硝酸制絨槽，硝酸制絨槽的槽體和與制冷機組連接的交換副槽連接。各槽中設有容積標尺。單個KOH槽及HNO3槽的單槽尺寸為300 X 300 X 300mm，其它槽體的單槽尺寸為 250 X 250X300mmo所有去離子水清洗槽具有快排和兩極溢流兩種功能，回水設計，去掉傳統(tǒng)副槽，以提高去離子水的潔凈度；去離子水清洗槽最大的溢流速率可達到10 15LPM，為了達到且穩(wěn)定溢流速率，設備上水安裝增壓泵。一、二號液槽體及硫酸槽體使用石英缸。濃硫酸及一、二號液都為去金屬離子清洗，濃硫酸槽體必須使用石英缸，為了滿足研發(fā)需求，一、二號液槽體也使用石英缸；石英缸上有提手可以將槽體提出，便于清潔；一、二號液槽體采用外覆式加熱，溫度通過操作面板控制及調節(jié)，加熱電阻絲或爐盤放于缸底，耐強酸、強堿。硝酸槽體使用制冷機組及交換副槽制冷。硝酸槽體采用制冷功率為15KW，體積為 500L的交換副槽制冷，控制溫度為5 7°C，溫控精度為士 1°C。KOH槽控溫范圍為40 100°C，低溫范圍穩(wěn)定，控溫范圍內溫控精度為士3°C。酸、堿制絨附加循環(huán)及鼓泡，確保制絨的均勻性及質量。整體設備采用上、下推拉式窗口密封，并采用上、后部式排風方式。設備包含較多酸、堿液體，特別是包含硝酸槽體的分體有較大酸霧，為了確保操作人員的安全，采用上部、 后側式排風，并在有硝酸槽的分體后側安裝兩個Φ 200風筒。為確保整個流程的潔凈度，每個槽體排廢管口有耐腐蝕、可取出的過濾網，方便清理晶體硅碎片和結晶物；可防止酸堿濺出潔凈，槽體之間保持足夠的花籃移動空間且便于清潔。整體設備排廢管路使用相應硬管材質。排廢管根據酸堿性質，使用PP、PVDF等硬塑料材質，并盡量避免接點，便于修理和確保安全。
權利要求1.一種雙排二十工位手動制絨與清洗設備，其特征是包括固定在機架上的三個分體，第一個分體包括各自獨立裝于機架上的二個堿性制絨槽、二個酸洗槽及二個去離子水清洗槽，第二個分體包括各自獨立裝于機架上的三個去金屬離子清洗槽、三個酸洗槽及二個去離子水清洗槽，第三個分體包括各自獨立裝于機架上的二個酸性制絨槽、一個堿性槽、 一個酸洗清洗槽及二個去離子水清洗槽；三個分體間設置間隔，各槽均為非金屬槽體；每個分體中的槽均呈雙排設置形式。
2.根據權利要求1所述的雙排二十工位手動制絨與清洗設備，其特征是各去離子水清洗槽的進水和出水口均安裝有電阻率量表。
3.根據權利要求1或2所述的雙排二十工位手動制絨與清洗設備，其特征是第三個分體中的酸性制絨槽為硝酸制絨槽，硝酸制絨槽的槽體和與制冷機組連接的交換副槽連接。
4.根據權利要求1或2所述的雙排二十工位手動制絨與清洗設備，其特征是各槽中設有容積標尺。
專利摘要本實用新型公開了一種雙排二十工位手動制絨與清洗設備，第一個分體包括各自獨立裝于機架上的二個堿性制絨槽、二個酸洗槽及二個去離子水清洗槽，第二個分體包括各自獨立裝于機架上的三個去金屬離子清洗槽、三個酸洗槽及二個去離子水清洗槽，第三個分體包括各自獨立裝于機架上的二個酸性制絨槽、一個堿性槽、一個酸洗清洗槽及二個去離子水清洗槽；三個分體間設置間隔，各槽均為非金屬槽體；每個分體中的槽均呈雙排設置形式。本實用新型結構合理，能夠滿足高效率太陽能電池研發(fā)對制絨質量和工藝流程中潔凈度的要求，提高太陽能電池光電轉換效率，并能滿足多種研發(fā)需求。
文檔編號H01L31/18GK202183408SQ20112030245
公開日2012年4月4日 申請日期2011年8月19日 優(yōu)先權日2011年8月19日
發(fā)明者史大建, 周曉東, 沈專, 金佳源, 馬躍 申請人:韓華新能源(啟東)有限公司