專利名稱：一種密封型射頻激勵的二氧化碳激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光的散熱領(lǐng)域，特別涉及一種密封型射頻激勵的二氧化碳激光器的散熱機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前所有密封型射頻激勵的二氧化碳激光器都有一個特點(diǎn)，那就是其在結(jié)構(gòu)上散熱的對稱性。這樣做是因?yàn)榧す馄鞯墓馇话惭b在激光器的外殼結(jié)構(gòu)上面，而其外殼結(jié)構(gòu)也是真空密封腔體，所有的熱量都是從真空密封腔體里面的放電電極產(chǎn)生，而且必須經(jīng)過這個外殼結(jié)構(gòu)傳導(dǎo)出來。如果機(jī)構(gòu)上面沒有散熱的對稱性，就會由于熱脹冷縮的不均勻?qū)е聝?nèi)部零件或/和外殼結(jié)構(gòu)的變形，從而導(dǎo)致激光光學(xué)腔體變形，造成功率和模式變化，這一 點(diǎn)對水冷和風(fēng)冷的激光器都一樣適用。對稱性對于激光器的設(shè)計是一種限制，對使用者也是一種限制。當(dāng)外界條件不允許對稱性時，激光器設(shè)計師就必須用復(fù)雜的方法將外界的不對稱轉(zhuǎn)變?yōu)閮?nèi)部的對稱。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種密封型射頻激勵的二氧化碳激光器，該激光器的散熱器由于激光器本身的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)決定可以不采用對稱散熱器，克服了現(xiàn)有技術(shù)中對稱性對于激光器的設(shè)計使用的限制。本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)其技術(shù)目的而采用的技術(shù)方案是一種密封型射頻激勵的二氧化碳激光器，包括設(shè)置在真空密封腔內(nèi)的放電管和光腔以及放電電極，所述的放電電極設(shè)置在所述的真空密封腔外，所述的放電電極與所述的放電管之間形成滑動的活動連接結(jié)構(gòu)，在所述的放電電極上設(shè)置散熱裝置。具體的，上述的一種密封型射頻激勵的二氧化碳激光器中。所述的放電管為陶瓷放電管。本實(shí)用新型的有益效果是由于排出了對于結(jié)構(gòu)上對稱性的要求，從而提供了激光器設(shè)計、制造和使用中更多的選擇和便利。主要熱量通過一個表面導(dǎo)出，該表面溫度可高可低而不會造成激光器的光路結(jié)構(gòu)變形，這樣就降低了對使用中散熱的要求；散熱/電路部分和光學(xué)/真空部分相對分離，有利于生產(chǎn)過程的簡單化；單面導(dǎo)熱可以充分利用激光設(shè)備的結(jié)構(gòu)或外殼形成激光器的熱沉，從而降低激光器和激光設(shè)備的制造成本，提高系統(tǒng)集成度。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作較為詳細(xì)的描述。

圖I是本實(shí)用新型實(shí)施例I結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0012]實(shí)施例一如圖I所示，本實(shí)施例是一種將放電電極2設(shè)置在放置有放電管和光腔的真空密封腔3外的激光器，該結(jié)構(gòu)的激光器突破了傳統(tǒng)的激光器由于本身結(jié)構(gòu)的原因需要設(shè)計對稱的散熱器的限制，該密封型射頻激勵的二氧化碳激光器，包括設(shè)置在真空密封腔3內(nèi)的陶瓷放電管和光腔31以及放電電極2，所述的放電電極2設(shè)置在所述的真空密封腔3外，所述的放電電極2與所述的放電管之間形成滑動的活動連接結(jié)構(gòu)，在所述的放電電極上設(shè)置散熱器I。本實(shí)施例的激光器具有以下特點(diǎn)將放電電極2安置在真空密封腔3體之外，通過陶瓷放電管和激光氣體耦合放電；允許放電電極2和放電管之間有相對滑動；主要熱量從放電電極2的安裝組件排出，只有少量熱量通過放電管釋放；放電管和激光光腔形成光路部分，和真空密封腔3合為另外一個組件。將放電電極2的安裝組件和放電管、光路組件熱分離。電極部分強(qiáng)力冷卻，光路組件輕微冷卻即可，甚至不用冷卻。權(quán)利要求1.一種密封型射頻激勵的二氧化碳激光器，包括設(shè)置在真空密封腔內(nèi)的放電管和光腔以及放電電極，其特征在于所述的放電電極設(shè)置在所述的真空密封腔外，所述的放電電極與所述的放電管之間形成滑動的活動連接結(jié)構(gòu)，在所述的放電電極上設(shè)置散熱裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的密封型射頻激勵的二氧化碳激光器，其特征在于所述的放電管為陶瓷放電管。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種密封型射頻激勵的二氧化碳激光器，包括設(shè)置在真空密封空腔內(nèi)的放電管和光腔以及放電電極，所述的放電電極設(shè)置在所述的真空密封空腔外，所述的放電電極與所述的放電管之間形成滑動的活動連接結(jié)構(gòu)，在所述的放電電極上設(shè)置散熱裝置。本實(shí)用新型的有益效果是由于排出了對于結(jié)構(gòu)上對稱性的要求，從而提供了激光器設(shè)計、制造和使用中更多的選擇和便利。
文檔編號H01S3/223GK202434883SQ20112050919
公開日2012年9月12日 申請日期2011年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月8日
發(fā)明者張永方 申請人:深圳恒光機(jī)電有限公司