專利名稱：膜轉(zhuǎn)移框架的制作方法
膜轉(zhuǎn)移框架
背景技術(shù)：
本公開內(nèi)容大致涉及半導(dǎo)體裝置制造工藝領(lǐng)域，且更具體涉及半導(dǎo)體裝置傳送框架領(lǐng)域。如圖IA所示，太陽(yáng)能電池的制造工藝涉及將多個(gè)層連續(xù)沉積到基板上。在一個(gè)實(shí)施方案中，如圖IA所示，多個(gè)層包括犧牲層、外延層、金屬層和聚酯(PET)膜層。如圖IB所示，當(dāng)犧牲層被蝕刻掉時(shí)，剩余層(例如，外延層、金屬層和PET膜層)隨后可進(jìn)行進(jìn)一步處理，例如清洗和其它處理步驟。所得帶聚酯(PET)膜和砷化鎵層的小的、單一薄塑料片太脆弱無法被傳送穿過標(biāo)準(zhǔn)的處理工具。膜對(duì)于輸送系統(tǒng)來說質(zhì)量和尺寸穩(wěn)定性不足；其容易浮在化學(xué)水浴中；且其無法承受氣體或流體的撞擊流。但是，框架賦予膜足夠的大小和尺寸穩(wěn)定性以供自動(dòng)化設(shè)備處理并且通過處理設(shè)備在環(huán)境中將膜保持任意定向。 過去，使用例如圖2所示的帶兩件式夾子204的框架202裝載這些膜進(jìn)行處理。過去，使用在每個(gè)相對(duì)邊緣上具有夾子204的兩件式總成。這需要將PET膜總成裝入兩件式總成中的手動(dòng)過程。這個(gè)過程耗勞力并且限制制作太陽(yáng)能電池的速度。其并不適合自動(dòng)化。其它實(shí)施方案也使用PET膜中的孔，該孔隨后與框架上的附件對(duì)齊。這也導(dǎo)致耗勞力的手動(dòng)過程，其非常耗時(shí)，同時(shí)還不適合自動(dòng)化。發(fā)明概述本發(fā)明針對(duì)處理單一膜，例如其上方具有一層砷化鎵的PET膜所固有的困難提供解決方案。在根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的系統(tǒng)中，公開一種用于將膜固定在單件式框架上的系統(tǒng)。系統(tǒng)包括具有帶大于膜的中心開放區(qū)域的形狀的框架，該框架包括在框架上延伸到開放區(qū)域中的多個(gè)指狀物和定位在多個(gè)指狀物中的每一個(gè)的末端上的倒刺，其中倒刺固定膜。系統(tǒng)還包括末端執(zhí)行器，該末端執(zhí)行器包括第一多個(gè)真空管線開口和第二多個(gè)真空管線開口，其中末端執(zhí)行器用第一多個(gè)真空管線開口固定到膜上并且用第二多個(gè)真空管線開口固定到框架上，其中末端執(zhí)行器用第一多個(gè)真空管線開口拾起膜并且將膜壓到框架上，其中將膜壓到框架上將膜固定在倒刺上。在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案的方法中，公開一種用于將膜固定在單件式框架上的方法。用于將膜固定在單件式框架上的方法從用末端執(zhí)行器拾起膜開始，其中末端執(zhí)行器用第一多個(gè)真空管線開口拾起膜。接下來，末端執(zhí)行器用末端執(zhí)行器將膜移動(dòng)到單件式框架并且將膜壓到框架上以固定膜，其中框架包括具有帶大于膜的中心開放區(qū)域的形狀，框架包括在框架上延伸到開放區(qū)域中的多個(gè)指狀物和其定位在多個(gè)指狀物中的每一個(gè)的末端上的倒刺，其中倒刺通過刺穿膜而固定膜。用于將膜固定在單件式框架上的系統(tǒng)包括具有帶大于膜的中心開放區(qū)域的形狀的框架，框架包括在框架上延伸到開放區(qū)域中的多個(gè)指狀物和定位在多個(gè)指狀物中的每一個(gè)的末端上的倒刺，其中倒刺固定膜。系統(tǒng)還包括末端執(zhí)行器，該末端執(zhí)行器包括第一多個(gè)真空管線開口和第二多個(gè)真空管線開口，其中末端執(zhí)行器用第一多個(gè)真空管線開口固定到膜上并且用第二多個(gè)真空管線開口固定到框架上，其中末端執(zhí)行器用第一多個(gè)真空管線開口拾起膜并且將膜壓到框架上，其中將膜壓到框架上將膜固定在倒刺上。附圖
簡(jiǎn)述
閱讀下文結(jié)合附圖(其中相同附圖標(biāo)記指示相同元件)進(jìn)行的詳細(xì)描述可以更好地了解本發(fā)明。第IA示了根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的半導(dǎo)體裝置的示意橫截面。第IB示了根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的半導(dǎo)體裝置的示意橫截面。第2示了帶夾子的單膜現(xiàn)有技術(shù)固定框架的俯視圖；第3示了根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的帶用于固定膜的多個(gè)微型倒刺的單膜固定框架的俯視圖；第4示了根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的帶附接到微型倒刺的膜的第3圖的固定框架的俯視圖；第5示了根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的第3圖的固定框架的微型倒刺的 特與圖；第6示了根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的帶用于固定膜的多個(gè)真空管線開口的末端執(zhí)行器和固定框架的俯視圖；第7示了根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的固定框架和末端執(zhí)行器的俯視圖；和第8示了流程圖，其圖示了根據(jù)本公開內(nèi)容的一個(gè)實(shí)施方案的方法的步驟。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將更詳細(xì)地參考本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案，其實(shí)施例圖示在附圖中。雖然將結(jié)合優(yōu)選實(shí)施方案描述本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)了解其不旨在將本發(fā)明限于這些實(shí)施方案。相反，本發(fā)明旨在覆蓋替代例、修改例和等效例，其可包括在如隨附權(quán)利要求所定義的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)。此外，在下文對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方案的詳細(xì)描述中，說明許多特定細(xì)節(jié)以提供本發(fā)明的徹底理解。但是，本技術(shù)領(lǐng)域的一般人員了解本發(fā)明可在沒有這些特定細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐。在其它實(shí)例中，未詳細(xì)描述眾所周知的方法、程序、組件和電路從而不不必要地模糊本發(fā)明的實(shí)施方案的各個(gè)方面的理解。示出本發(fā)明的實(shí)施方案的附圖是半概略的，且未按比例繪制，特別在附圖中一些尺寸只為了展示的明了起見而且夸大示出。類似地，雖然為方便描述起見，附圖中的圖通常顯示類似的定向，但是附圖中的這種描繪多數(shù)是隨意的。通常，本發(fā)明可在通過任意定向操作。下文詳細(xì)描述中的一部分是針對(duì)計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器內(nèi)的數(shù)據(jù)位運(yùn)算的程序、步驟、邏輯塊、處理和其它符號(hào)表示而提出。這些描述和表示是數(shù)據(jù)處理技術(shù)人員向本技術(shù)領(lǐng)域的其它技術(shù)人員傳達(dá)其工作實(shí)質(zhì)的最有效方法。本文中通常將程序、計(jì)算機(jī)執(zhí)行步驟、邏輯塊、處理等設(shè)想成導(dǎo)致所要結(jié)果的自我一致的步驟順序或指令。步驟是需要物理量的物理操作的步驟。通常(但不一定)，這些量采用能夠在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中存儲(chǔ)、轉(zhuǎn)移、組合、比較以及另外操作的電信號(hào)或磁信號(hào)的形式。已證實(shí)有時(shí)(主要是為了普遍使用)可以方便地將這些信號(hào)稱作比特、值、元素、符號(hào)、標(biāo)志、術(shù)語(yǔ)、號(hào)碼或類似物。但是，應(yīng)當(dāng)記得，所有這些和類似術(shù)語(yǔ)與合適的物理量相關(guān)并且僅僅是對(duì)這些量應(yīng)用的便捷標(biāo)記。除非如從下文說明可知另有具體規(guī)定，否則應(yīng)當(dāng)了解在本發(fā)明中，使用術(shù)語(yǔ)(例如“處理”或“存取”或“執(zhí)行”或“存儲(chǔ)”或“提供”或類似術(shù)語(yǔ))的說明指的是將表示成計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的寄存器和存儲(chǔ)器和其它計(jì)算機(jī)可讀媒體內(nèi)的物理(電子)量操作并且轉(zhuǎn)化成類似地表示成計(jì)算機(jī)系統(tǒng)存儲(chǔ)器或寄存器或其它此類信息存儲(chǔ)、傳輸或顯示裝置內(nèi)的物理量的其它數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)或類似電子計(jì)算裝置的行動(dòng)和處理。當(dāng)一個(gè)組件出現(xiàn)在幾個(gè)實(shí)施方案中時(shí)，使用相同的附圖標(biāo)記表明該組件與原實(shí)施方案中所示的組件相同。本發(fā)明針對(duì)處理單一膜，例如其上方具有太陽(yáng)能材料(例如，砷化鎵)層的PET膜所固有的日益增大的困難提供解決方案。本公開內(nèi)容的不同實(shí)施方案提供單件式框架，該單件式框架在濕法清洗和烘焙過程中固定膜，其中框架提供用于將膜固定到框架的多個(gè)倒刺。在單一膜的濕法處理期間，需要在濕法清洗工具、烘爐中將膜牢固地固定成水平和垂直定向；保持框架與氣刀型干燥的兼容性而無需二次干燥操作的單件式框架。此外，框架需保持低剖面以在標(biāo)準(zhǔn)濕法清洗水浴中操作。最后，框架需用自調(diào)節(jié)過程允許膜的快速、自動(dòng)化裝載而無需精密對(duì)準(zhǔn)或預(yù)切割裝置。此類需求可用一種框架滿足，該框架包括在倒刺支撐臂上固定膜而無需第二工件來固定膜或無需膜中存在預(yù)先存在的裝置的多個(gè)微型倒刺。微型倒刺形成膜中的固定裝置并且固定膜。微型倒刺可以將膜固定成任意定向并且可在一個(gè)處理定向中容易地在水平固定的同時(shí)用一維機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝載。微型倒刺和微型倒刺 支撐臂的大小和形狀使接觸最小化以更好地進(jìn)行干燥，同時(shí)還允許穿過縫隙進(jìn)入濕法水浴中。如第3圖所示，示例性框架300具有帶大于聚酯(PET)膜的中心開放區(qū)域的矩形形狀。在末端304上帶微型倒刺的短指狀物302延伸到開放區(qū)域中?？蚣?00由化學(xué)相容的、高溫聚合物制成。示例性實(shí)施方案包括由聚醚醚酮(PEEK)或聚偏二氟乙烯(PVDF)組成的框架300。利用由PEEK形成的框架300的實(shí)施方案可以承受暴露到超過150攝氏度的溫度但對(duì)長(zhǎng)期HF暴露更敏感，而利用由PVDF形成的框架300的實(shí)施方案適于140到150攝氏度的更有限的最高溫度，但也與所有的處理/清洗化學(xué)試劑相容。通過第6圖所示的機(jī)械末端執(zhí)行器600將膜(第3圖中未示出)壓到框架中。真空將膜(未示出)固定到末端執(zhí)行器600的下側(cè)。在末端執(zhí)行器600的底部的每個(gè)倒刺位置上的是圓形腔606。在將末端執(zhí)行器600抵著框架300向下推時(shí)，膜偏轉(zhuǎn)進(jìn)入圓形腔606中直到其停止且倒刺304穿透它。末端執(zhí)行器600將膜推到倒刺304的下切口中，固定膜。倒刺304的下切口圖示在第5圖中。在一個(gè)實(shí)施方案中，框架300在每個(gè)邊角中包括一個(gè)微型倒刺304。在又一實(shí)施方案中,在每個(gè)邊角提供兩個(gè)倒刺304備用，框架300的每個(gè)邊角中的兩個(gè)倒刺304在一個(gè)倒刺304破損的情況下提供備用件。微型倒刺304的高度必須夠短使得總框架300高度的高度小于3. 5mm。在一個(gè)實(shí)施方案中，通過清洗水浴的槽開口尺寸限制最大總框架300高度。對(duì)于選擇性適應(yīng)(組裝或關(guān)節(jié)連接的)機(jī)械臂(SCARA型自動(dòng)機(jī)械)而言，小于3. 5mm的框架300也可以更容易地堆疊。此外，較小的微型倒刺304是優(yōu)選的，而較大的倒刺304可能損壞膜。不超過3. 5mm的框架300高度也可以協(xié)助框架的堆疊。第4示了將膜400放置到框架300的倒刺304上。在一個(gè)實(shí)施方案中，膜400的外側(cè)部分是犧牲材料，膜400的內(nèi)側(cè)部分含太陽(yáng)能材料(例如，砷化鎵層)。微型倒刺304可以是任意構(gòu)造，優(yōu)選實(shí)施方案圖示在第5圖中。使用倒刺支撐臂302將微型倒刺304固定到框架300上。在一個(gè)實(shí)施方案中，無需將膜400與托盤300對(duì)齊。在這樣一個(gè)實(shí)施方案中，在PET膜400的周圍存在足夠的犧牲空間，無需精確對(duì)齊。通過微型倒刺304固定的膜400隨后可穿過處理設(shè)備，特別是輸送帶型水平濕法清洗工具。形成框架300的高溫聚合物還可以用于將膜也固定烘爐中。此外，如下文所述，本公開內(nèi)容的框架300與自動(dòng)化裝載相容并且提供較少遮蔽以供更好地干燥并且提供更好的膜固定。與傳統(tǒng)方法和裝置相比，根據(jù)本公開內(nèi)容的實(shí)施方案的帶微型倒刺304的框架300允許快速的自動(dòng)化裝載和卸載；使膜400與框架300之間的接觸面積最小化以更好地干燥；提供更少的化學(xué)試劑夾帶量并且對(duì)膜400與框架300之間的未對(duì)準(zhǔn)不那么敏感。第6示了帶真空管線開口 602、604的末端執(zhí)行器600以提供用于固定和移動(dòng)膜400和/或框架300的真空吸盤。如第6圖所示，末端執(zhí)行器600包括被定位成固定到膜400上的真空管線開口 602的內(nèi)環(huán)和用于固定到框架300上的真空管線開口 604的外環(huán)。如上所述，末端執(zhí)行器600的部分包括位于每個(gè)倒刺304位置上的圓形腔606。在將末端執(zhí)行器600抵著框架300和微型倒刺304向下推時(shí)，膜400偏轉(zhuǎn)進(jìn)入圓形腔606中直到膜400停止且微型倒刺304穿透膜400。末端執(zhí)行器600將膜400推到倒刺304的下切口中，固定膜400。如第7圖所示，真空管線開口 604的外環(huán)用于固定到框架300上(在第7圖中其 被框架300遮擋)。如第7圖所示，在膜400附接到微型倒刺304 (膜400未示出)后末端執(zhí)行器600還可以用于移動(dòng)框架300和膜400總成。示例性過程從其中帶太陽(yáng)能材料(例如，砷化鎵層)的單一 PET400膜開始。PET膜總成400必須能夠穿過清洗器、烘爐和上游其它處理步驟。但是PET膜400無法自行穿過清洗器或任意其它處理工具。它太脆弱。它的硬度不夠。PET膜400需裝載到框架300 (即一些機(jī)構(gòu))上以固持PET膜400。如上所述，在一個(gè)實(shí)施方案中，PET膜400由附接到框架300的邊角的微型倒刺304固定。自動(dòng)機(jī)械通過末端執(zhí)行器600拾起PET膜，真空管線開口 602、604充當(dāng)真空吸盤并且用微型倒刺304將膜400壓到框架300上。當(dāng)微型倒刺304被壓到PET膜400中時(shí)，真空將膜400緊緊固定。在一個(gè)實(shí)施方案中，PET膜總成400是一個(gè)六英寸正方形，示例性砷化鎵太陽(yáng)能材料在六英寸正方形的中心占據(jù)四英寸的正方形。外側(cè)幾英寸部分供犧牲。必須避免遮蔽，即掩藏膜400使其不被干燥或沖洗。此外，來自不同水浴的不同化學(xué)試劑不得從一個(gè)水浴攜帶到另一個(gè)水浴。在一個(gè)實(shí)施方案中，倒刺304向下傾斜以幫助防止水浴材料被攜帶到微型倒刺支撐臂302上。臂302的向下斜度還可以在沖洗期間協(xié)助清洗掉水浴液體?？赏ㄟ^將化學(xué)試劑從一個(gè)水浴攜帶到另一個(gè)水浴而蝕刻示例性PET膜400的砷化鎵層。PET膜總成400從氫氟酸水浴開始、經(jīng)歷沖洗且隨后進(jìn)入過氧化氫水浴，之后進(jìn)入氫氧化銨水浴。將氫氟酸(HF)攜帶到過氧化物水浴將蝕刻砷化鎵層，將過氧化物水浴攜帶到氫氧化銨水浴也將蝕刻砷化鎵層。第8示了用于使用框架上的微型倒刺裝配框架/膜總成的示例性過程的步驟。在步驟802中，具有帶真空吸盤總成602、604的末端執(zhí)行器600的機(jī)械臂拾起框架300 ；將其放置到規(guī)定位置上。在步驟804中，具有帶真空吸盤總成602、604的末端執(zhí)行器600的機(jī)械臂拾起PET膜總成400并將PET膜400放置到框架300上(其中框架300上的微型倒刺304刺穿膜400并且固定到膜400上)。在步驟806中，具有帶真空吸盤總成602、604的末端執(zhí)行器600的機(jī)械臂拾起框架300和膜400總成并且將框架/膜總成放進(jìn)清洗器的進(jìn)口中。在一個(gè)實(shí)施方案中，框架300可與一系列酸、堿和氧化劑化學(xué)相容?？蚣?00應(yīng)當(dāng)能夠承受高至150攝氏度的烘爐溫度?？蚣?00應(yīng)當(dāng)與按高至每分鐘20個(gè)膜的速率移動(dòng)框架和負(fù)載或卸載膜400的自動(dòng)化設(shè)備相容。框架300應(yīng)當(dāng)具有3. 5mm或更小的剖面以與標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備相容。框架300應(yīng)當(dāng)在攜載膜400時(shí)容易地裝載到卡式盒中進(jìn)行工具外傳送或在沒有膜400的情況下裝載到堆疊盒中用于工具外傳送。本公開內(nèi)容的不同實(shí)施方案可以實(shí)現(xiàn)當(dāng)由PEEK形成時(shí)框架300可再使用大約5000個(gè)循環(huán)而由PVDF形成的框架300可再使用大約2000個(gè)循環(huán)。此類需求可通過上述實(shí)施方案用一種框架滿足，該框架包括在倒刺支撐臂上固定膜而無需第二工件來固定膜或無需膜中存在預(yù)先存在的裝置的多個(gè)微型倒刺。雖然本文中已公開某些優(yōu)選實(shí)施方案和方法，但是本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員從上述公開內(nèi)容中可以了解可在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下對(duì)這些實(shí)施方案和方法進(jìn) 行變型和修改。本發(fā)明旨在僅受限于隨附權(quán)利要求所規(guī)定的范圍和相關(guān)法律的規(guī)定和原則。
權(quán)利要求
1.一種用于固定膜的單件式裝置，其包括 框架，其具有帶大于所述膜的中心開放區(qū)域的形狀； 多個(gè)指狀物，其在所述框架上延伸到所述開放區(qū)域中；和 倒刺，其定位在所述多個(gè)指狀物中的每一個(gè)的末端上，其中所述倒刺固定所述膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單件式裝置，其中所述倒刺通過刺穿所述膜固定所述膜，且其中所述倒刺包括下切口。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單件式裝置，其中用于固定所述膜的所述單件式裝置的厚度不超過3. 5mm，且其中所述框架由包括聚醚醚酮和聚偏二氟乙烯中的一個(gè)的高溫聚合物形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單件式裝置，其中所述框架具有矩形形狀且其中所述多個(gè)指狀物中的至少一個(gè)位于所述框架的每個(gè)邊角中，且其中所述指狀物具有向下斜度。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單件式裝置，其中所述膜包括其上帶砷化鎵層的單一聚酯膜。
6.一種用于將膜固定在單件式框架上的系統(tǒng)，其包括 框架，其具有帶大于所述膜的中心開放區(qū)域的形狀，所述框架包括 多個(gè)指狀物，其在所述框架上延伸到所述開放區(qū)域中；和 倒刺，其定位在所述多個(gè)指狀物中的每一個(gè)的末端上，其中所述倒刺固定所述膜；和 末端執(zhí)行器，其包括第一多個(gè)真空管線開口和第二多個(gè)真空管線開口，其中所述末端執(zhí)行器用所述第一多個(gè)真空管線開口固定到所述膜上并且用所述第二多個(gè)真空管線開口固定到所述框架上，其中所述末端執(zhí)行器用所述第一多個(gè)真空管線開口拾起所述膜并且將所述膜壓到所述框架上，其中將所述膜壓到所述框架上將所述膜固定在所述倒刺上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中所述末端執(zhí)行器用所述第二多個(gè)真空管線開口拾起帶所述固定膜的所述框架并且將所述框架/膜總成定位進(jìn)行處理。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中所述末端執(zhí)行器用所述第二多個(gè)真空管線開口拾起所述框架并且在用所述第一多個(gè)真空管線開口拾起所述膜之前將所述框架預(yù)定位以將所述膜壓到所述框架上。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單件式裝置，其中所述倒刺通過刺穿所述膜固定所述膜，且其中所述末端執(zhí)行器包括對(duì)應(yīng)于每個(gè)倒刺位置的圓形腔，使得當(dāng)所述末端執(zhí)行器抵著所述框架和所述倒刺向下推時(shí)，所述膜偏轉(zhuǎn)進(jìn)入所述圓形腔中直到所述膜停止且所述倒刺穿過。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單件式裝置，其中用于固定所述膜的所述單件式裝置的厚度不超過3. 5mm，且其中所述膜包括其上帶砷化鎵層的單一聚酯膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單件式裝置，其中所述框架具有矩形形狀，且其中所述多個(gè)指狀物中的至少一個(gè)位于所述框架的每個(gè)邊角中，且其中所述指狀物具有向下斜度且所述倒刺包括下切口。
12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單件式裝置，其中所述框架由包括聚醚醚酮和聚偏二氟乙烯中的一個(gè)的高溫聚合物形成。
13.一種用于將膜固定在單件式框架上的方法，其包括 用末端執(zhí)行器拾起所述膜，其中所述末端執(zhí)行器用第一多個(gè)真空管線開口拾起所述膜； 用所述末端執(zhí)行器將所述膜移動(dòng)到單件式框架并且將所述膜壓到所述框架上以固定所述膜，其中所述框架包括帶大于所述膜的中心開放區(qū)域的形狀，所述框架包括 多個(gè)指狀物，其在所述框架上延伸到所述開放區(qū)域中；和 倒刺，其定位在所述多個(gè)指狀物中的每一個(gè)的末端上，其中所述倒刺通過刺穿所述膜而固定所述膜。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述框架具有矩形形狀，且其中所述多個(gè)指狀物中的至少一個(gè)位于所述框架的每個(gè)邊角中。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述末端執(zhí)行器包括對(duì)應(yīng)于每個(gè)倒刺位置的圓形腔，使得當(dāng)所述末端執(zhí)行器抵著所述框架和所述倒刺向下推時(shí)，所述膜偏轉(zhuǎn)進(jìn)入所述圓形腔中直到所述膜停止且所述倒刺穿過。
全文摘要
一種用于將膜固定在單件式框架上的系統(tǒng)包括具有帶大于該膜的中心開放區(qū)域的形狀的框架，該框架包括在框架上延伸到該開放區(qū)域中的多個(gè)指狀物和定位在該多個(gè)指狀物中的每一個(gè)的末端上的倒刺，其中該倒刺固定該膜。系統(tǒng)還包括末端執(zhí)行器，該末端執(zhí)行器包括第一多個(gè)真空管線開口和第二多個(gè)真空管線開口，其中該末端執(zhí)行器用該第一多個(gè)真空管線開口固定到該膜上并且用該第二多個(gè)真空管線開口固定到該框架上，其中該末端執(zhí)行器用該第一多個(gè)真空管線開口拾起該膜并且將該膜壓到該框架上，其中將該膜壓到該框架上將該膜固定在該倒刺上。
文檔編號(hào)H01L21/67GK102738035SQ201210085259
公開日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2012年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者J·S·弗蘭克爾 申請(qǐng)人:埃爾塔設(shè)備公司