專利名稱：石英槳的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)工具領(lǐng)域，特別是涉及一種石英槳。
技術(shù)背景石英槳主要應(yīng)用于集成電路半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線的關(guān)鍵工序，是高溫?cái)U(kuò)散及硅片氧化擴(kuò)散工藝中配套使用的搬運(yùn)工具。近年來(lái)，隨著電子信息產(chǎn)業(yè)及微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展，對(duì)石英制品的市場(chǎng)需求與日俱增。實(shí)用新型專利懸臂石英槳(ZL2007202007161)，公開(kāi)了一種包含有承載部分、結(jié)合部分和懸臂部分的三段式懸臂石英槳，為了可以多承載石英舟，將承載部分的體積及壁厚增大，而且三部分是通過(guò)連接的方式固定在一起的，這種石英槳雖可以多承載石英舟，但制作工藝復(fù)雜，且浪費(fèi)原材料。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述領(lǐng)域中的不足，本發(fā)明提供一種一體式的石英槳，這三部分由一根整體石英管加工而成，承重加強(qiáng)，且制作工藝簡(jiǎn)單。石英槳，其特征在于它包括承載段、結(jié)合段和懸臂段一體式的連續(xù)三段，所述懸臂段為石英管一端的空心管；承載段為弧形管殼，所述弧形夾角小于180度；所述結(jié)合段為從弧形管殼到空心管的過(guò)渡段，所述弧形管殼內(nèi)的底部固定有一加強(qiáng)板。所述過(guò)渡段為圓弧段形狀。所述空心管內(nèi)部有一石英隔板，所述石英隔板上開(kāi)一通氣孔。所述空心管與弧形管殼底部同側(cè)方向的外壁上固定有限位小管。本實(shí)用新型采用石英管制成一體式石英槳，三部分之間沒(méi)有焊縫，其承載能力本身就有所加強(qiáng)，不需要在承載段加大壁厚，承載段由石英管切割成弧形，結(jié)合段的形狀可以隨意，本實(shí)用新型優(yōu)選弧形連接，在承載段內(nèi)底部的加強(qiáng)板可以進(jìn)一步提高承載能力，同時(shí)加強(qiáng)板的設(shè)計(jì)也可以防止石英舟在運(yùn)載或是爐內(nèi)氧化時(shí)的輕微晃動(dòng)。空心管內(nèi)部的石英隔板，可以防止氧化爐內(nèi)的物質(zhì)污染懸臂段，而通氣孔的開(kāi)啟是為了防止懸臂段成為密封的空間，在溫度升高時(shí)以防懸臂段炸裂?？招墓芡獗谏系南尬恍」?，可以與外部的設(shè)備連接，起到固定限位的作用。本實(shí)用新型采用一體式的石英槳設(shè)計(jì)，提高了承載能力，同時(shí)在弧形管殼底部設(shè)置加強(qiáng)板進(jìn)一步提高了承載能力，且制作工藝簡(jiǎn)單方便。

圖I本實(shí)用新型的俯視圖，圖2本實(shí)用新型的主剖視圖，圖3本實(shí)用新型的左側(cè)視圖，圖中各標(biāo)號(hào)列示如下[0017]I—懸臂段,2 —結(jié)合段，3—承載段，4一加強(qiáng)板，5 —隔板,6—通氣孔,7 —限位小管，8—空心管，9 一弧形管殼，10—過(guò)渡段。
具體實(shí)施方式
如圖所示，本實(shí)用新型的石英槳，其特征在于它包括承載段3、結(jié)合段2和懸臂段I 一體式的連續(xù)三段，所述懸臂段I為石英管一端的空心管8 ;承載段為弧形管殼9，所述弧形夾角小于180度；所述結(jié)合段2為從弧形管殼9到空心管8的過(guò)渡段10，該過(guò)渡段10優(yōu)選為圓弧段形狀，可以為任意形狀，所述弧形管殼9內(nèi)的底部固定有一加強(qiáng)板4。本實(shí)用新型采用石英管制成一體式石英槳，三部分之間沒(méi)有焊縫，其承載能力本身就有所加強(qiáng)，不需要在承載段加大壁厚，承載段3由石英管切割成弧形，在承載段3內(nèi)底部的加強(qiáng)板4可以進(jìn)一步提高承載能力，同時(shí)加強(qiáng)板4的設(shè)計(jì)也可以防止石英舟在運(yùn)載或是爐內(nèi)氧化時(shí)的輕微晃動(dòng)。 所述空心管8內(nèi)部有一石英隔板5，可以防止氧化爐內(nèi)的物質(zhì)污染懸臂段I ;所述石英隔板5上開(kāi)一通氣孔6，通氣孔6的開(kāi)啟是為了防止懸臂段I成為密封的空間，在溫度升高時(shí)以防懸臂段I炸裂。所述空心管8與弧形管殼9底部同側(cè)方向的外壁上固定有限位小管7，可以與外部的設(shè)備連接，起到固定限位的作用。本實(shí)用新型采用一體式的石英槳設(shè)計(jì)，提高了承載能力，同時(shí)在弧形管殼9底部設(shè)置加強(qiáng)板進(jìn)一步提高了承載能力，且制作工藝簡(jiǎn)單方便。
權(quán)利要求1.石英槳，其特征在于它包括承載段、結(jié)合段和懸臂段一體式的連續(xù)三段，所述懸臂段為石英管一端的空心管；承載段為弧形管殼，所述弧形夾角小于180度；所述結(jié)合段為從弧形管殼到空心管的過(guò)渡段，所述弧形管殼內(nèi)的底部固定有一加強(qiáng)板。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英槳，其特征在于所述過(guò)渡段為圓弧段形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英槳，其特征在于所述空心管內(nèi)部有一石英隔板，所述石英隔板上開(kāi)一通氣孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英槳，其特征在于所述空心管與弧形管殼底部同側(cè)方向的外壁上固定有限位小管。
專利摘要本實(shí)用新型涉及石英槳，屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)工具領(lǐng)域，它包括承載段、結(jié)合段和懸臂段一體式的連續(xù)三段，所述懸臂段為石英管一端的空心管；承載段為弧形管殼，所述弧形夾角小于180度；所述結(jié)合段為從弧形管殼到空心管的過(guò)渡段，所述弧形管殼內(nèi)的底部固定有一加強(qiáng)板。本實(shí)用新型采用一體式的石英槳設(shè)計(jì)，提高了承載能力，同時(shí)在弧形管殼底部設(shè)置加強(qiáng)板進(jìn)一步提高了承載能力，且制作工藝簡(jiǎn)單方便。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202678296SQ201220301999
公開(kāi)日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月25日
發(fā)明者張忠恕, 楊繼盛, 陳強(qiáng), 韋冬寒, 于洋, 張娟, 張連興, 趙小亮, 李翔星, 劉文靜 申請(qǐng)人:北京凱德石英有限公司