專利名稱：磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及涉及半導(dǎo)體分立器件和太陽能電池片的制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
磷擴(kuò)散是半導(dǎo)體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結(jié)所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術(shù)是熱擴(kuò)散技術(shù)。半導(dǎo)體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)有上百億的銷售額，產(chǎn)能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運(yùn)用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經(jīng)實(shí)現(xiàn)25GW的產(chǎn)能，多晶用量達(dá)到18萬噸是半導(dǎo)體用量的6倍，因此太陽能的產(chǎn)量比半導(dǎo)體產(chǎn)量更大。國(guó)內(nèi)能夠生產(chǎn)太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產(chǎn)半導(dǎo)體分立器件擴(kuò)散片的廠家也達(dá)到幾十家。用于磷擴(kuò)散的擴(kuò)散爐每個(gè)廠家基本有幾十臺(tái)到上百臺(tái)，市場(chǎng)需求量很大。目前市場(chǎng)上技術(shù)成熟的磷擴(kuò)散技術(shù)主要有三種:1、采用液態(tài)三氯氧磷源擴(kuò)散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散；3、采用磷源紙夾層后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散。這三種磷擴(kuò)散的方法以液態(tài)磷源擴(kuò)散的方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結(jié)均勻、平整和擴(kuò)散層表面良好等優(yōu)點(diǎn)，因此運(yùn)用范圍最廣，生產(chǎn)廠家普遍采用該方法進(jìn)行大批量生產(chǎn)。磷擴(kuò)散方法的結(jié)構(gòu)圖如

圖1所示，磷擴(kuò)散的化學(xué)反應(yīng)方程式如下:
權(quán)利要求
1.磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管，其特征在于:該抽風(fēng)管為U形管，抽風(fēng)管一端設(shè)置開口方向與抽風(fēng)管左側(cè)管道垂直的進(jìn)風(fēng)口，抽風(fēng)管另一端設(shè)有高于進(jìn)風(fēng)口的出風(fēng)口，該出風(fēng)口開口向上并連接抽風(fēng)機(jī)，抽風(fēng)管的管道內(nèi)壁設(shè)有特氟龍涂層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管，其特征在于:所述特氟龍涂層噴涂厚度為0.2-10mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管，其特征在于:所述抽風(fēng)管的左側(cè)管道頂壁上設(shè)有噴淋氨水的氨水噴嘴。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管，其特征在于:所述抽風(fēng)機(jī)為混流風(fēng)機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管，其特征在于:所述抽風(fēng)管包括橫截面為方形的管道本體，所述管道本體內(nèi)設(shè)有一豎直的中間隔板將抽風(fēng)管分隔成U形結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求 5所述的磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管，其特征在于:所述管道本體底端開口并連接一密封水箱。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管，該抽風(fēng)管為U形管，抽風(fēng)管一端設(shè)置開口方向與抽風(fēng)管左側(cè)管道垂直的進(jìn)風(fēng)口，抽風(fēng)管另一端設(shè)有高于進(jìn)風(fēng)口的出風(fēng)口，該出風(fēng)口開口向上并連接抽風(fēng)機(jī)，抽風(fēng)管的管道內(nèi)壁設(shè)有特氟龍涂層，所述抽風(fēng)管的左側(cè)管道頂壁上設(shè)有噴淋氨水的氨水噴嘴，所述管道本體底端開口并連接一密封水箱。本發(fā)明采用U形抽風(fēng)管，且抽風(fēng)管的管道內(nèi)壁設(shè)有特氟龍涂層，因而抽風(fēng)管耐腐蝕，同時(shí)U形抽風(fēng)管的左側(cè)管道頂壁上設(shè)有噴淋氨水的氨水噴嘴，可以利用霧狀稀釋氨水迅速冷卻擴(kuò)散爐管中排除的尾氣，防止熔化抽風(fēng)管的特氟龍涂層，同時(shí)使三氯氧磷在抽風(fēng)管內(nèi)迅速液化。
文檔編號(hào)H01L21/223GK103103617SQ20131001830
公開日2013年5月15日 申請(qǐng)日期2013年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月17日
發(fā)明者陳功 申請(qǐng)人:陳功