本發(fā)明屬于半導(dǎo)體發(fā)光器件領(lǐng)域,涉及一種發(fā)光二極管芯片及其制造方法。
背景技術(shù):發(fā)光二極管(LightEmittingDiode,LED)是一種將電能轉(zhuǎn)化為光能的電子器件,可以通過采用不同的化合物半導(dǎo)體材料使其波長可以覆蓋整個可視光區(qū)及部分紅外和紫外波段。LED具有節(jié)能、綠色環(huán)保、壽命長、重量輕、體積小、效率高、耐振動、響應(yīng)時間快、色彩鮮明和辨識性優(yōu)等優(yōu)點,在交通指示、戶外全色顯示等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。尤其是利用大功率發(fā)光二極管可能實現(xiàn)半導(dǎo)體固態(tài)照明,引起人類照明史的革命,從而逐漸成為目前電子學(xué)領(lǐng)域的研究熱點。為了獲得高亮度的LED,關(guān)鍵要提高器件的內(nèi)量子效率和外量子效率。目前,芯片光提取效率是限制器件外量子效率的主要因素,其主要原因是外延材料、襯底材料以及空氣之間的折射率差別較大,導(dǎo)致有源區(qū)產(chǎn)生的光在不同折射率材料界面發(fā)生全反射而不能導(dǎo)出芯片。目前已經(jīng)提出了幾種提高芯片光提取效率的方法,主要包括:改變芯片的幾何外形,減少光在芯片內(nèi)部的傳播路程,降低光的吸收損耗,如采用倒金字塔結(jié)構(gòu);控制和改變自發(fā)輻射,通常采用諧振腔或光子晶體等結(jié)構(gòu);采用表面粗糙方法,使光在粗糙的半導(dǎo)體和空氣界面發(fā)生漫射,增加其投射的機(jī)會等。隨著亮度要求不斷的提高,現(xiàn)有技術(shù)已不能滿足要求。鑒于此,實有必要提供一種提高芯片亮度的方法,以制備出一種高效出光發(fā)光二極管芯片。
技術(shù)實現(xiàn)要素:鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,本發(fā)明的目的在于提供一種發(fā)光二極管芯片及其制造方法,用于解決現(xiàn)有技術(shù)中發(fā)光二極管芯片亮度不高的問題。為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本發(fā)明提供一種發(fā)光二極管芯片的制造方法,所述發(fā)光二極管芯片的制造方法至少包括以下步驟:1)提供一基板,所述基板自下而上依次包括襯底、N型半導(dǎo)體層、發(fā)光層及P型半導(dǎo)體層;2)對所述基板進(jìn)行部分刻蝕,在所述基板中形成一凹陷區(qū)域,所述凹陷區(qū)域底部到達(dá)所述N型半導(dǎo)體層中;3)在步驟2)形成的結(jié)構(gòu)上沉積光反射層,并對所述光反射層進(jìn)行刻蝕,在所述P型半導(dǎo)體層上形成P電極區(qū)光反射層、在所述凹陷區(qū)域的N型半導(dǎo)體層上形成N電極區(qū)光反射層,然后進(jìn)行退火處理;4)在其余P型半導(dǎo)體層及所述P電極區(qū)光反射層上形成透明導(dǎo)電層,所述透明導(dǎo)電層覆蓋所述P電極區(qū)光反射層;5)在所述透明導(dǎo)電層上制作P電極及P電極引線,在所述凹陷區(qū)域的N型半導(dǎo)體層上制作N電極及N電極引線;所述P電極與所述P電極區(qū)光反射層相對,所述N電極覆蓋所述N電極區(qū)光反射層并與N型半導(dǎo)體層接觸??蛇x地,所述P電極與所述P電極區(qū)光反射層在水平面上的投影面積百分比為x1,其中80%≤x1≤190%,所述N電極區(qū)光反射層與所述N電極在水平面上的投影面積百分比為y2,其中50%≤y2≤80%。可選地,于所述步驟3)中沉積光反射層之后、進(jìn)行退火處理之前,還包括在所述P型半導(dǎo)體層上形成P電極引線區(qū)光反射層、在所述凹陷區(qū)域的N型半導(dǎo)體層上形成N電極引線區(qū)光反射層的步驟;于所述步驟5)中,所述P電極引線與所述P電極區(qū)光反射層相對,所述N電極引線與所述N電極連接的前段部分形成于所述N電極區(qū)光反射層上,后段部分形成于所述N型半導(dǎo)體層上??蛇x地,所述P電極引線與所述P電極引線區(qū)光反射層在水平面上的投影面積百分比為x2,其中80%≤x2≤190%;位于所述N電極引線區(qū)光反射層上的N電極引線與所述N電極引線區(qū)光反射層在水平面上的投影面積百分比為y1,其中50%≤y1≤80%。可選地,所述光反射層的厚度范圍是600~8000埃。可選地,所述退火處理的溫度范圍是300~600℃,時間范圍是5~30min,氣氛為氮氣或氧氣??蛇x地,所述光反射層的材料為SiO2或Si3N4。本發(fā)明還提供一種發(fā)光二極管芯片,所述發(fā)光二極管芯片至少包括基板,所述基板自下而上依次包括襯底、N型半導(dǎo)體層、發(fā)光層及P型半導(dǎo)體層;所述基板上形成有一底部到達(dá)所述N型半導(dǎo)體層中的凹陷區(qū)域;所述P型半導(dǎo)體層上形成有P電極區(qū)光反射層;所述凹陷區(qū)域內(nèi)的N型半導(dǎo)體層上形成有N電極區(qū)光反射層;所述P電極區(qū)光反射層以及其余P型半導(dǎo)體層上覆蓋有透明導(dǎo)電層;所述透明導(dǎo)電層上形成有P電極及P電極引線;所述P電極與所述P電極區(qū)光反射層相對;所述N電極區(qū)光反射層上設(shè)有N電極,所述N電極覆蓋所述N電極區(qū)光反射層并與所述N型半導(dǎo)體層接觸,所述N電極連接有N電極引線。可選地,所述透明導(dǎo)電層內(nèi)還形成有P電極引線區(qū)光反射層,所述P電極引線區(qū)光反射層與所述P型半導(dǎo)體層接觸;所述P電極引線區(qū)光反射層與所述P電極引線相對;所述N電極引線與所述N電極接觸的前段部分下方形成有N電極引線區(qū)光反射層,所述N電極引線區(qū)光反射層與所述N型半導(dǎo)體層接觸??蛇x地,所述P電極與所述P電極區(qū)光反射層在水平面上的投影面積百分比為x1,其中80%≤x1≤190%,所述N電極區(qū)光反射層與所述N電極在水平面上的投影面積百分比為y2,其中50%≤y2≤80%。如上所述,本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片及其制造方法,具有以下有益效果:P電極、N電極、P電極引線及N電極引線底部區(qū)域設(shè)有光反射層,該光反射層可以將發(fā)光層到達(dá)電極區(qū)域的光反射回去,再傳導(dǎo)到其它區(qū)域發(fā)射出去,防止發(fā)射到電極區(qū)域的光被電極及電極引線吸收掉,從而提高了發(fā)光二極管的出光效率,提高芯片的亮度。附圖說明圖1顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的制造方法中基板的剖面示意圖。圖2顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的制造方法中在基板中形成凹陷區(qū)域的示意圖。圖3顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的制造方法中沉積光反射層的示意圖。圖4顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的制造方法中對光反射層進(jìn)行刻蝕形成P電極區(qū)光反射層及N電極區(qū)光反射層的示意圖。圖5顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的制造方法中形成透明導(dǎo)電層的示意圖。圖6顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的剖面示意圖。圖7顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片在實施例一中的俯視圖。圖8顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片在實施例二中的俯視圖。元件標(biāo)號說明1基板11襯底12N型半導(dǎo)體層13發(fā)光層14P型半導(dǎo)體層15凹陷區(qū)域2光反射層21P電極區(qū)光反射層22N電極區(qū)光反射層23P電極引線區(qū)光反射層24N電極引線區(qū)光反射層3透明導(dǎo)電層4P電極5N電極6P電極引線7N電極引線具體實施方式以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應(yīng)用,本說明書中的各項細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點與應(yīng)用,在沒有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。實施例一請參閱圖1至圖8。需要說明的是,本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構(gòu)想,遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制,其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變,且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。本發(fā)明提供一種發(fā)光二極管芯片的制造方法,所述發(fā)光二極管芯片的制造方法至少包括以下步驟:步驟1),請參閱圖1,提供一基板1,所述基板自下而上依次包括襯底11、N型半導(dǎo)體層12、發(fā)光層13及P型半導(dǎo)體層14;具體的,所述襯底11可以是藍(lán)寶石襯底,也可以是其它半導(dǎo)體襯底。所述N型半導(dǎo)體層12為N-GaN層,所述發(fā)光層13為多重量子阱,其材料可為In摻雜的GaN,所述P型半導(dǎo)體層14為P-GaN層。步驟2),請參閱圖2,對所述基板1進(jìn)行部分刻蝕,在所述基板1中形成一凹陷區(qū)域15,所述凹陷區(qū)域15底部到達(dá)所述N型半導(dǎo)體層12中;具體的,采用常規(guī)的MESA(平臺)刻蝕在所述基板1中形成所述凹陷區(qū)域15,所述N型半導(dǎo)體層12部分被刻蝕掉。步驟3),先請參閱圖3,在步驟2)形成的結(jié)構(gòu)上沉積光反射層2,再請參閱圖4,對所述光反射層2進(jìn)行刻蝕,在所述P型半導(dǎo)體層14上形成P電極區(qū)光反射層21、在所述凹陷區(qū)域15的N型半導(dǎo)體層12上形成N電極區(qū)光反射層22,然后進(jìn)行退火處理;具體的,所述光反射層2的材料為SiO2或Si3N4,本實施例中,所述光反射層2的材料優(yōu)選為SiO2,所述光反射層2的厚度范圍是600~8000埃。采用BOE(BufferedOxideEtch)腐蝕工藝,將P電極區(qū)域及N電極區(qū)域的SiO2保留下來。具體的,所述退火處理的溫度范圍是300~600℃,時間范圍是5~30min,氣氛為氮氣或氧氣。退火處理的目的是為了提高P電極區(qū)光反射層21及N電極區(qū)光反射層22的粘附性,并改變其折射率,使得光更容易被反射回來。步驟4),請參閱圖5,在其余P型半導(dǎo)體層14及所述P電極區(qū)光反射層21上形成透明導(dǎo)電層3,所述透明導(dǎo)電層3覆蓋所述P電極區(qū)光反射層21;具體的,所述透明導(dǎo)電層3的材料可為常規(guī)的ITO(IndiumTinOxide(In2O3+SnO2)),所述透明導(dǎo)電層3作為透明電極。在沉積所述透明導(dǎo)電層3之后通常還包括常規(guī)的透明電極刻蝕,此為本領(lǐng)域的公知常識,此處不再贅述。步驟5),請參閱圖6,在所述透明導(dǎo)電層3上制作P電極4及P電極引線(未圖示,可參見后續(xù)俯視圖),在所述凹陷區(qū)域15的N型半導(dǎo)體層12上制作N電極5及N電極引線(未圖示,可參見后續(xù)俯視圖);所述P電極4與所述P電極區(qū)光反射層21相對,所述N電極5覆蓋所述N電極區(qū)光反射層22并與N型半導(dǎo)體層12接觸。具體的,所述P電極4及N電極5為金屬電極,本實施例中,所述為P電極4及N電極5均為Cr/Pt/Au三層結(jié)構(gòu)。所述P電極引線及N電極引線的材料亦為金屬。具體的,所述P電極4與所述P電極區(qū)光反射層21在水平面上的投影面積百分比為x1,其中80%≤x1≤190%,所述N電極區(qū)光反射層22與所述N電極5在水平面上的投影面積百分比為y2,其中50%≤y2≤80%。即所述P電極區(qū)光反射層21面積既可大于也可小于所述P電極4的面積(相對面),本實施例中,所述P電極區(qū)光反射層21的面積優(yōu)選為大于所述P電極4的面積,更有利于電流擴(kuò)散。而所述N電極區(qū)光反射層22的面積要小于所述N電極的面積,所述N電極5覆蓋所述N電極區(qū)光反射層22的同時還有部分與N型半導(dǎo)體層12接觸,從而保證導(dǎo)電性。請參閱圖7,顯示為利用本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的制作方法制作出的發(fā)光二極管芯片的俯視圖。本實施例中,所述P電極引線6為一根,所述N電極引線7為兩根。需要指出的是,圖7側(cè)重顯示了P電極4、P電極區(qū)光反射層21、N電極5及N電極區(qū)光反射層22的相對位置,而對于其余部分的細(xì)節(jié)并沒有詳細(xì)展示,所述P電極引線6及N電極引線7的數(shù)量根據(jù)器件大小等因素可有所調(diào)整,此處特別說明,不應(yīng)過分限制本專利的保護(hù)范圍。本發(fā)明還提供一種發(fā)光二極管芯片,請參閱圖6,顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的剖面示意圖,所述發(fā)光二極管芯片至少包括基板,所述基板自下而上依次包括襯底11、N型半導(dǎo)體層12、發(fā)光層13及P型半導(dǎo)體層14;所述基板上形成有一底部到達(dá)所述N型半導(dǎo)體層12中的凹陷區(qū)域;所述P型半導(dǎo)體層14上形成有P電極區(qū)光反射層21;所述凹陷區(qū)域內(nèi)的N型半導(dǎo)體層12上形成有N電極區(qū)光反射層22;所述P電極區(qū)光反射層21以及其余P型半導(dǎo)體層14上覆蓋有透明導(dǎo)電層3;所述透明導(dǎo)電層3上形成有P電極4及P電極引線(圖6中未顯示);所述P電極4與所述P電極區(qū)光反射層21相對;所述N電極區(qū)光反射層22上設(shè)有N電極5,所述N電極5覆蓋所述N電極區(qū)光反射層22并與所述N型半導(dǎo)體層12接觸,所述N電極5連接有N電極引線(圖6中未顯示)。具體的,所述光反射層2的材料為SiO2或Si3N4,所述光反射層2的厚度范圍是600~8000埃。所述P電極與所述P電極區(qū)光反射層在水平面上的投影面積百分比為x1,其中80%≤x1≤190%,所述N電極區(qū)光反射層與所述N電極在水平面上的投影面積百分比為y2,其中50%≤y2≤80%。請參閱圖7,顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的俯視圖。本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片及其制作方法在P電極及N電極底部區(qū)域設(shè)有光反射層,該光反射層可以將發(fā)光層發(fā)射的到達(dá)電極區(qū)域的光反射回去,再傳導(dǎo)到其它區(qū)域發(fā)射出去,防止發(fā)射到電極區(qū)域的光被電極吸收掉,從而提高了發(fā)光二極管的出光效率,提高芯片的亮度。實施例二請參閱圖8,本實施例采用與實施例一基本相同的方案,不同之處在于光反射層的設(shè)置不同。在實施例一中,只有P電極及N電極底部區(qū)域設(shè)有光反射層,而本實施例中,P電極、N電極、P電極引線及N電極引線底部區(qū)域均設(shè)有光反射層,可以進(jìn)一步提高芯片的出光效率。本發(fā)明提供一種發(fā)光二極管芯片的制造方法,所述發(fā)光二極管芯片的制造方法至少包括以下步驟:步驟1),提供一基板1,所述基板自下而上依次包括襯底11、N型半導(dǎo)體層12、發(fā)光層13及P型半導(dǎo)體層14;具體的,所述襯底11可以是藍(lán)寶石襯底,也可以是其它半導(dǎo)體襯底。所述N型半導(dǎo)體層12為N-GaN層,所述發(fā)光層13為多重量子阱,其材料可為In摻雜的GaN。所述P型半導(dǎo)體層14為P-GaN層。步驟2),對所述基板1進(jìn)行部分刻蝕,在所述基板1中形成一凹陷區(qū)域15,所述凹陷區(qū)域15底部到達(dá)所述N型半導(dǎo)體層12中;具體的,采用常規(guī)的MESA(平臺)刻蝕在所述基板1中形成所述凹陷區(qū)域15,所述N型半導(dǎo)體層12部分被刻蝕掉。步驟3),在步驟2)形成的結(jié)構(gòu)上沉積光反射層2,然后對所述光反射層2進(jìn)行刻蝕,在所述P型半導(dǎo)體層14上形成P電極區(qū)光反射層21及P電極引線區(qū)光反射層23、在所述凹陷區(qū)域15的N型半導(dǎo)體層12上形成N電極區(qū)光反射層22及N電極引線區(qū)光反射層24,再進(jìn)行退火處理;具體的,所述光反射層2的材料為SiO2或Si3N4,本實施例中,所述光反射層2的材料優(yōu)選為SiO2,所述光反射層2的厚度范圍是600~8000埃。采用BOE(BufferedOxideEtch)腐蝕工藝,將P電極區(qū)域及N電極區(qū)域的SiO2保留下來。具體的,所述退火處理的溫度范圍是300~600℃,時間范圍是5~30min,氣氛為氮氣或氧氣。退火處理的目的是為了提高P電極區(qū)光反射層21、N電極區(qū)光反射層22、P電極引線區(qū)光反射層23及N電極引線區(qū)光反射層24的粘附性,并改變其折射率,使得光更容易被反射回來。步驟4),請參閱圖5,在其余P型半導(dǎo)體層14及所述P電極區(qū)光反射層21上形成透明導(dǎo)電層3,所述透明導(dǎo)電層3覆蓋所述P電極區(qū)光反射層21;具體的,所述透明導(dǎo)電層3的材料可為常規(guī)的ITO(IndiumTinOxide(In2O3+SnO2)),所述透明導(dǎo)電層3作為透明電極。在沉積所述透明導(dǎo)電層3之后通常還包括常規(guī)的透明電極刻蝕,此為本領(lǐng)域的公知常識,此處不再贅述。步驟5),在所述透明導(dǎo)電層3上制作P電極4及P電極引線6,所述P電極引線6連接于所述P電極4,在所述凹陷區(qū)域15的N型半導(dǎo)體層12上制作N電極5及N電極引線7,所述N電極引線7連接于所述N電極5;所述P電極4與所述P電極區(qū)光反射層21相對,所述N電極5覆蓋所述N電極區(qū)光反射層22并與N型半導(dǎo)體層12接觸,所述P電極引線6與所述P電極區(qū)光反射層23相對,所述N電極引線7與所述N電極連接的前段部分形成于所述N電極區(qū)光反射層24上,后段部分形成于所述N型半導(dǎo)體層12上。具體的,所述P電極4及N電極5為金屬電極,本實施例中,所述為P電極4及N電極5均為Cr/Pt/Au三層結(jié)構(gòu)。所述P電極引線及N電極引線的材料亦為金屬。具體的,所述P電極4與所述P電極區(qū)光反射層21在水平面上的投影面積百分比為x1,其中80%≤x1≤190%,所述N電極區(qū)光反射層22與所述N電極5在水平面上的投影面積百分比為y2,其中50%≤y2≤80%。即所述P電極區(qū)光反射層21面積既可大于也可小于所述P電極4的面積(相對面),本實施例中,所述P電極區(qū)光反射層21面積優(yōu)選為大于所述P電極4的面積,更有利于電流擴(kuò)散。而所述N電極區(qū)光反射層22的面積要小于所述N電極的面積,所述N電極5覆蓋所述N電極區(qū)光反射層22的同時還有部分與N型半導(dǎo)體層12接觸,從而保證導(dǎo)電性。具體的,所述P電極引線與所述P電極引線區(qū)光反射層在水平面上的投影面積百分比為x2,其中80%≤x2≤190%;位于所述N電極引線區(qū)光反射層上的N電極引線與所述N電極引線區(qū)光反射層在水平面上的投影面積百分比為y1,其中50%≤y1≤80%。所述N電極引線7與所述N電極5連接的前段部分形成于所述N電極區(qū)光反射層24上,后段部分形成于所述N型半導(dǎo)體層12上的目的是為了將電流引導(dǎo)到N電極引線7的頂端(前段部分),更有利于電流的擴(kuò)散,使得電流分布更均勻。請參閱圖8,顯示為利用本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的制作方法制作出的發(fā)光二極管芯片的俯視圖。本實施例中,所述P電極引線6為一根,所述N電極引線7為兩根。需要指出的是,圖8側(cè)重顯示了P電極4、P電極引線6、P電極區(qū)光反射層21、P電極引線區(qū)光反射層23、N電極5、N電極引線7、N電極區(qū)光反射層22、N電極引線區(qū)光反射層24的相對位置,而對于其余部分的細(xì)節(jié)并沒有詳細(xì)展示,所述P電極引線6及N電極引線7的數(shù)量根據(jù)器件大小等因素可有所調(diào)整,此處特別說明,不應(yīng)過分限制本專利的保護(hù)范圍。對于一個電極連接多根電極引線的情況,可在其中至少一根電極引線底部區(qū)域設(shè)置光反射層,本實施例中,所述N電極引線7為兩根,本實施例中在其中較長的一根底部區(qū)域設(shè)置了光反射層,在其它實施例中,也可以在每根電極引線底部區(qū)域均設(shè)置光反射層。本發(fā)明還提供一種發(fā)光二極管芯片,所述發(fā)光二極管芯片至少包括基板,所述基板自下而上依次包括襯底11、N型半導(dǎo)體層12、發(fā)光層13及P型半導(dǎo)體層14;所述基板上形成有一底部到達(dá)所述N型半導(dǎo)體層12中的凹陷區(qū)域;所述P型半導(dǎo)體層14上形成有P電極區(qū)光反射層21及P電極引線區(qū)光反射層23;所述凹陷區(qū)域內(nèi)的N型半導(dǎo)體層12上形成有N電極區(qū)光反射層22及N電極引線區(qū)光反射層24;所述P電極區(qū)光反射層21、P電極引線區(qū)光反射層23以及其余P型半導(dǎo)體層14上覆蓋有透明導(dǎo)電層3,即所述透明導(dǎo)電層內(nèi)還形成有P電極引線區(qū)光反射層,所述P電極引線區(qū)光反射層與所述P型半導(dǎo)體層接觸;所述透明導(dǎo)電層3上形成有P電極4及P電極引線;所述P電極4與所述P電極區(qū)光反射層21相對,所述P電極引線區(qū)光反射層與所述P電極引線相對;所述N電極區(qū)光反射層22上設(shè)有N電極5,所述N電極5覆蓋所述N電極區(qū)光反射層22并與所述N型半導(dǎo)體層12接觸,所述N電極5連接有N電極引線,所述N電極引線與所述N電極接觸的前段部分形成于所述N電極引線區(qū)光反射層上,后段部分與所述N型半導(dǎo)體層接觸。具體的,所述光反射層2的材料為SiO2或Si3N4,所述光反射層2的厚度范圍是600~8000埃。所述P電極與所述P電極區(qū)光反射層在水平面上的投影面積百分比為x1,其中80%≤x1≤190%,所述N電極區(qū)光反射層與所述N電極在水平面上的投影面積百分比為y2,其中50%≤y2≤80%。請參閱圖7,示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片的俯視圖。請參閱表1,顯示為本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片樣品與常規(guī)樣品(P、N電極及引線底部區(qū)域無光反射層)的性能對比??梢姡景l(fā)明的發(fā)光二極管芯片能夠提高6.46%的亮度表1本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片及其制作方法在P電極、N電極、P電極引線及N電極引線底部區(qū)域均設(shè)有光反射層,該光反射層可以將發(fā)光層發(fā)射的到達(dá)電極區(qū)域的光反射回去,再傳導(dǎo)到其它區(qū)域發(fā)射出去,防止發(fā)射到電極區(qū)域的光被電極及電極引線吸收掉,從而提高了發(fā)光二極管的出光效率,提高芯片的亮度。綜上所述,本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片及其制作方法采取在P電極、N電極、P電極引線及N電極引線底部區(qū)域設(shè)置光反射層的技術(shù)手段,將原本會被P、N電極及P、N電極引線吸收的光開發(fā)出來,達(dá)到提高芯片亮度的目的,并且本發(fā)明的發(fā)光二極管芯片及其制作方法中,所述N電極引線只有前段部分形成于所述N電極區(qū)光反射層上,N電極區(qū)光反射層不導(dǎo)電,有利于將電流引導(dǎo)到N電極引線的頂端(前段部分),更有利于電流的擴(kuò)散,使得芯片電流分布更均勻,提升芯片性能。所以,本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。上述實施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效,而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下,對上述實施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。