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      一種垂直方向納米網格結構的制備方法

      文檔序號:7010947閱讀:589來源:國知局
      一種垂直方向納米網格結構的制備方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種垂直方向納米網格結構的制備方法。該方法包括如下步驟:(1)通過化學氣相沉積法,在Si襯底表面上生長SiO2薄膜;(2)在所述SiO2薄膜上旋涂光刻膠,并對所述光刻膠依次進行前烘、曝光、后烘和顯影,即在所述SiO2薄膜上得到電子束光刻對準標記圖形;(3)根據(jù)電子束光刻對準標記圖形進行電子束曝光,得到納米量級的線條;(4)刻蝕所述SiO2薄膜,則在所述SiO2薄膜上得到所述納米量級的線條;(5)通過深反應離子刻蝕所述Si襯底,即獲得垂直方向上的納米網格結構。本發(fā)明采用電子束光刻和DRIE刻蝕的方法,首次通過傳統(tǒng)集成電路加工方法實現(xiàn)了垂直方向的納米網格結構的制備。本發(fā)明采用的加工方法具有操作簡單、可控性強的特點。
      【專利說明】一種垂直方向納米網格結構的制備方法
      【技術領域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種垂直方向納米網格結構的制備方法。
      【背景技術】
      [0002]現(xiàn)有的微納結構加工方法中,對于深刻蝕的加工,往往采用DeepReactive-1on-Etching (DRIE)技術。DRIE刻蝕方法,首先進行化學性刻蝕,化學刻蝕氣體離子轟擊襯底,并與襯底反應生成揮發(fā)性氣體。由于刻蝕物質為氣體,會形成向襯底內部的橫向側掏現(xiàn)象。然后,施放保護性氣體,這種氣體會在剛才的刻蝕工藝面(包括底面與橫向側掏的側面)上形成一層保護膜,阻止刻蝕氣體再次與襯底發(fā)生化學反應。之后,再次進行化學性刻蝕。由于刻蝕氣體離子的轟擊效果,底面上的保護膜會被轟擊掉,而側壁上的保護膜不會被轟擊掉,這樣一來,底面的襯底就再次暴露在刻蝕氣體中,從而會形成下一個類橢圓的刻蝕工藝面。如果繼續(xù)按照工藝進行,則側壁上會一直存在惰性保護膜,而底面的保護膜會一直被離子轟擊掉而進行下一步的刻蝕?,F(xiàn)有的集成電路加工方法很難直接加工出垂直結構的納米網格結構。

      【發(fā)明內容】

      [0003]本發(fā)明的目的是提供一種垂直方向納米網格結構的制備方法,本發(fā)明用電子束光刻定義納米級線條并通過DRIE刻蝕實現(xiàn)垂直方向納米網格結構,解決了現(xiàn)有技術無法制備寬度50?800nm的垂直結構納米網格的問題。
      [0004]本發(fā)明所提供的一種垂直方向納米網格結構的制備方法,包括如下步驟:
      [0005](I)通過化學氣相沉積法,在Si襯底表面上生長SiO2薄膜;
      [0006](2)在所述SiO2薄膜上旋涂光刻膠,并對所述光刻膠依次進行前烘、曝光、后烘和顯影,即在所述SiO2薄膜上得到電子束光刻對準標記圖形;
      [0007](3)根據(jù)電子束光刻對準標記圖形進行電子束曝光,得到納米量級的線條;
      [0008](4)刻蝕所述SiO2薄膜,則在所述SiO2薄膜上得到所述納米量級的線條;
      [0009](5)通過深反應離子刻蝕(該方法的原理如圖1所示)所述Si襯底,即獲得垂直方向上的納米網格結構。
      [0010]上述的制備方法中,所述SiO2薄膜的厚度可為20nm?142nm。
      [0011]上述的制備方法中,所述光刻膠為蘇州瑞紅AZ601。
      [0012]上述的制備方法中,步驟(2)中,具體可在90°C?100°C的條件下前烘10?20min,然后曝光10?15s,再在75°C?85°C的條件下后烘20?25min,再進行顯影l(fā)min。
      [0013]上述的制備方法中,步驟(3)中,所述電子束曝光的條件可為:加速電壓可為60?80kV,電子束流可為1.0nA?3.0nA,光闌可為15?50 y m,束斑大小可為I?5,曝光劑量可為160?400 ii C/cm2,具體可在加速電壓為80kV,電子束流為2.0nA,光闌為30iim,束斑大小為3,曝光劑量為250 u C/cm2的條件下進行。
      [0014]上述的制備方法中,所述納米量級的線條的寬度可為50nm?800nm。[0015]上述的制備方法中,所述深反應離子刻蝕的條件可為:在氣壓為IOOmTorr和刻蝕速率為2 μ m/min的條件下,SF6和C4F8交替進行刻蝕。
      [0016]上述的制備方法中,所述納米網格結構的垂直深度可為Onm~lOOOnm,但不為零。
      [0017]本發(fā)明的制備方法中,垂直方向指的是與沿襯底表面垂直的方向,本發(fā)明方法可制備得到柵欄狀排列和晶格狀排列的納米網格結構。
      [0018]本發(fā)明采用電子束光刻和DRIE刻蝕的方法,首次通過傳統(tǒng)集成電路加工方法實現(xiàn)了垂直方向的納米網格結構的制備。本發(fā)明采用的加工方法具有操作簡單、可控性強的特點;可以通過控制線條寬度,DRIE刻蝕氣體的氣壓和時間控制垂直納米網格的周期、大小和寬度。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0019]圖1為DRIE刻蝕的原理示意圖。
      [0020]圖2為本發(fā)明實施例1中得到的垂直方向的納米網格結構的示意圖。
      [0021]圖3為本發(fā)明實施例1中得到的垂直方向的納米網格結構的SHM圖。
      [0022]圖4為本發(fā)明實施例1中得到垂直方向的納米網格結構的電子束光刻版圖。
      [0023]圖5為本發(fā)明實施例2中得到的垂直方向的納米網格結構的電子束光刻版圖。
      【具體實施方式】
      [0024]下述實施例中所使用的實驗方法如無特殊說明,均為常規(guī)方法。
      [0025]下述實施例中所用的材料、試劑等,如無特殊說明,均可從商業(yè)途徑得到。
      [0026]實施例1、垂直方向的納米網格結構(柵欄狀)的制備
      [0027](I)準備4英寸單面拋光單晶硅片,在硅片表面通過CVD (250mtorr氣壓)生長一層約IOOnm厚的SiO2薄膜。
      [0028](2)在硅片(4英寸,525微米厚度)表面上甩膠1.5um,蘇州瑞紅AZ601 ),然后依次經前烘(98°C,15min)、曝光(108)、后烘(801:,201^11)和顯影(蘇州瑞紅光刻膠AZ601配套顯影液lmin),得到所需的對準標記圖形,如圖2所示。
      [0029](3)通過定義出的對準標記圖形進行電子束曝光(加速電壓為80kV,電子束流為
      2.0nA,光闌為30 μ m,束斑大小為3,曝光劑量為250 μ C/cm2,光刻版圖如圖4所示,得到寬度為50~800nm量級的線條。
      [0030](4)以經上述經電子束光刻的光刻膠PMMA為掩膜刻蝕(SF6、CHF3和He氣體)SiO2層,則將定義出的線條轉移到SiO2層上。
      [0031] (5)除去光刻膠后以SiO2為掩膜,通過DRIE刻蝕(SF6和C4F8氣體進行交替刻蝕,氣壓為IOOmTorr,刻蝕速率為2ym/min)Si襯底I~2 μ m,獲得垂直方向的納米網格結構,其掃描電鏡照片如圖3所示,其周期為200~400nm。
      [0032]實施例2、垂直方向的納米網格結構的制備
      [0033]與實施例1中制備的方法和步驟相同,不同之處在于電子束光刻對準標記圖形不一樣,最終得到如圖5所示電子束光刻版圖的納米網格結構。
      【權利要求】
      1.一種垂直方向納米網格結構的制備方法,包括如下步驟: (1)通過化學氣相沉積法,在Si襯底表面上生長SiO2薄膜; (2)在所述SiO2薄膜上旋涂光刻膠,并對所述光刻膠依次進行前烘、曝光、后烘和顯影,即在所述SiO2薄膜上得到電子束光刻對準標記圖形; (3)根據(jù)電子束光刻對準標記圖形進行電子束曝光,得到納米量級的線條; (4)刻蝕所述SiO2薄膜,則在所述SiO2薄膜上得到所述納米量級的線條; (5)通過深反應離子刻蝕所述Si襯底,即獲得垂直方向上的納米網格結構。
      2.根據(jù)權利要求1所述的方法,其特征在于:所述SiO2薄膜的厚度為20nm?142nm。
      3.根據(jù)權利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述光刻膠為蘇州瑞紅AZ601。
      4.根據(jù)權利要求1-3中任一項所述的方法,其特征在于:步驟(3)中,所述電子束曝光的條件為:加速電壓為60?80kV,電子束流為1.0nA?3.0nA,光闌為15?50 y m,束斑大小為I?5,曝光劑量為160?400 u C/cm2。
      5.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的方法,其特征在于:所述納米量級的線條的寬度為 50nm ?800nm。
      6.根據(jù)權利要求1-5中任一項所述的方法,其特征在于:所述深反應離子刻蝕的條件為:在氣壓為IOOmTorr和刻蝕速率為2 u m/min的條件下,SF6和C4F8交替進行刻蝕。
      7.根據(jù)權利要求1-7中任一項所述的方法,其特征在于:所述納米網格結構的垂直深度為Onm?IOOOnm,但不為零。
      【文檔編號】H01L21/02GK103617947SQ201310561224
      【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年11月12日 優(yōu)先權日:2013年11月12日
      【發(fā)明者】吳文剛, 張凱, 馬鵬程, 王詣斐 申請人:北京大學
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