動(dòng)力鋰離子電池的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,包括提供一平面基板;于平面基板上形成預(yù)定圖案的絕緣層;于預(yù)定圖案的絕緣層上形成預(yù)定圖案的導(dǎo)電層;提供含碳材料;于預(yù)定圖案的導(dǎo)電層上形成預(yù)定圖案的含碳材料層,然后加壓、烘干,該導(dǎo)電層與含碳化合物層共同形成負(fù)極;于負(fù)極上形成預(yù)定圖案的隔膜;提供鋰酸鹽混合物;于隔膜上形成預(yù)定圖案的鋰酸鹽混合物層;于鋰酸鹽混合物層上形成預(yù)定圖案的金屬層,然后加壓、烘干,該鋰酸鹽混合物層與金屬層共同形成正極;在正極上形成預(yù)定圖案的絕緣層;根據(jù)預(yù)定電池單體的層數(shù),決定重復(fù)步驟3-10的次數(shù),然后按次數(shù)依次重復(fù)步驟3-10;步驟12、向隔膜添加電解液。
【專利說明】動(dòng)力鋰離子電池的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種電池的制作工藝,尤其涉及一種動(dòng)力鋰離子電池的制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]鋰離子電池是一種二次電池(充電電池),它主要依靠鋰離子在正極和負(fù)極之間移動(dòng)來工作。在充放電過程中,Li+在兩個(gè)電極之間往返嵌入和脫嵌:充電池時(shí),Li+從正極脫嵌,經(jīng)過電解質(zhì)嵌入負(fù)極,負(fù)極處于富鋰狀態(tài);放電時(shí)則相反。鋰離子電池能量密度大,平均輸出電壓高;自放電小,沒有記憶效應(yīng)。工作溫度范圍寬為_20°C?60°C。循環(huán)性能優(yōu)越、可快速充放電、充電效率高達(dá)100%,而且輸出功率大。使用壽命長(zhǎng)。不含有毒有害物質(zhì),被稱為綠色電池。
[0003]通常鋰離子電池的組成包括:
[0004]1、正極一活性物質(zhì)一般為錳酸鋰、鈷酸鋰、或鎳鈷錳酸鋰材料,導(dǎo)電集流體使用厚度10-20微米的電解鋁層;
[0005]2、隔膜——一種經(jīng)特殊成型的高分子薄膜,通常由PP或PE形成,也有由PE與PP復(fù)合形成。隔膜用于隔離電芯正、負(fù)極片,以防止正、負(fù)極片直接接觸造成短路;從微觀角度看,隔膜表面為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),具有微孔結(jié)構(gòu),可以讓鋰離子自由通過,而電子不能通過。鋁殼鋰離子電池使用的隔膜厚度通常為16um、18um、20um等,動(dòng)力電池使用的隔膜厚度以30um以上為主流;
[0006]3、負(fù)極一活性物質(zhì)為石墨,或近似石墨結(jié)構(gòu)的碳,導(dǎo)電集流體使用厚度7-15微米的電解銅層;
[0007]4、電解質(zhì)溶液一溶質(zhì):常采用鋰鹽,如高氯酸鋰(LiC104)、六氟磷酸鋰(LiPF6)、四氟硼酸鋰(LiBF4);溶劑:由于電池的工作電壓遠(yuǎn)高于水的分解電壓,因此鋰離子電池常采用有機(jī)溶劑,如乙醚、乙烯碳酸酯、丙烯碳酸酯、二乙基碳酸酯等;
[0008]5、外殼——分為鋼殼、鋁殼、鍍鎳鐵殼(圓柱電池使用)、鋁塑膜(軟包裝)等;
[0009]6、蓋帽——電池的正負(fù)極引出端。
[0010]通常鋰離子電池的制作工藝包括如下步驟:
[0011]1、制漿:用專門的溶劑和粘結(jié)劑分別與粉末狀的正負(fù)極活性物質(zhì)混合,經(jīng)攪拌均勻后,制成漿狀的正負(fù)極物質(zhì);
[0012]2、涂膜:通過自動(dòng)涂布機(jī)將正負(fù)極漿料分別均勻地涂覆在金屬層表面,經(jīng)自動(dòng)烘干后自動(dòng)剪切制成正負(fù)極極片;
[0013]3、裝配:按正極片一隔膜一負(fù)極片一隔膜自上而下的順序經(jīng)卷繞注入電解液、封口、正負(fù)極耳焊接等工藝過程,即完成電池的裝配過程,制成成品電池;
[0014]4、化成:將成品電池放置測(cè)試柜進(jìn)行充放電測(cè)試,篩選出合格的成品電池,待出廠。
[0015]然而,目前鋰離子電池制作采用傳統(tǒng)卷狀式工藝,均勻性及良品率皆不理想,有待改進(jìn)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0016]本發(fā)明的目的在于提供一種動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其在大面積平面基板上進(jìn)行平面式加工,直接生產(chǎn)出電池組,生產(chǎn)效率高,特性均勻性好,產(chǎn)品良品率提升,有利于降低電池生產(chǎn)成本。
[0017]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,包括如下步驟:
[0018]步驟1、提供一平面基板;
[0019]步驟2、于平面基板上形成預(yù)定圖案的絕緣層;
[0020]步驟3、于預(yù)定圖案的絕緣層上形成預(yù)定圖案的導(dǎo)電層;
[0021]步驟4、提供含碳材料;
[0022]步驟5、于預(yù)定圖案的導(dǎo)電層上形成預(yù)定圖案的含碳材料層,然后加壓、烘干,該導(dǎo)電層與含碳化合物層共同形成負(fù)極;
[0023]步驟6、于負(fù)極上形成預(yù)定圖案的隔膜;
[0024]步驟7、提供鋰酸鹽混合物;
[0025]步驟8、于隔膜上形成預(yù)定圖案的鋰酸鹽混合物層;
[0026]步驟9、于鋰酸鹽混合物層上形成預(yù)定圖案的金屬層,然后加壓、烘干,該鋰酸鹽混合物層與金屬層共同形成正極;
[0027]步驟10、在正極上形成預(yù)定圖案的絕緣層;
[0028]步驟11、根據(jù)預(yù)定電池單體的層數(shù),決定重復(fù)步驟3 —10的次數(shù),然后按次數(shù)依次重復(fù)步驟3 — 10 ;
[0029]步驟12、向隔膜添加電解液。
[0030]所述步驟I的平面基板選用陶瓷基板,步驟I還包括于平面基板的兩面形成金屬層以作電容用,該金屬層優(yōu)選Cu或Al。
[0031]所述平面基板劃分成數(shù)個(gè)基板單元,每一個(gè)基板單元的面積為形成一個(gè)電池單體所需要的面積。
[0032]所述預(yù)定圖案共同在平面基板上形成一個(gè)或多個(gè)電池組,在各個(gè)基板單元上形成一個(gè)電池單元,每一電池單元包括數(shù)個(gè)疊置的電池單體,該數(shù)個(gè)疊置的電池單體依需要進(jìn)行串聯(lián)或并聯(lián)連接,且平面基板上的各個(gè)電池單元依需要進(jìn)行串聯(lián)或并聯(lián)連接形成一個(gè)或多個(gè)電池組。
[0033]所述步驟2的絕緣層優(yōu)選PI材料,步驟2直接在平面基板上按預(yù)定圖案涂布絕緣層,或先涂上一絕緣層,然后對(duì)該絕緣層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的絕緣層。
[0034]所述步驟3的導(dǎo)電層的設(shè)置直接在絕緣層上按預(yù)定圖案形成導(dǎo)電層,或先形成金屬層,然后對(duì)該金屬層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的導(dǎo)電層;所述導(dǎo)電層優(yōu)選為銅層。
[0035]所述步驟5的含碳材料層的設(shè)置直接按預(yù)定圖案涂布含碳材料層,或先涂布一層含碳材料,然后對(duì)該層含碳材料進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的含碳材料層,所述含碳材料優(yōu)選為碳衆(zhòng)。
[0036]步驟8的鋰酸鹽混合物層的設(shè)置直接按預(yù)定圖案涂布鋰酸鹽混合物層,或先涂布一層鋰酸鹽混合物,然后對(duì)該層鋰酸鹽混合物進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的鋰酸鹽混合物層,所述鋰酸鹽混合物優(yōu)選為鈷酸鋰、磷酸鐵鋰、或鎳鈷錳酸鋰的混合物。[0037]步驟9的金屬層的設(shè)置按預(yù)定圖案直接形成金屬層在鋰酸鹽混合物層上,或先形成金屬層在鋰酸鹽混合物層上,然后對(duì)該金屬層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的金屬層;所述金屬層優(yōu)選為鋁層。
[0038]步驟10的絕緣層的材料為PI,按預(yù)定圖案直接在金屬層上涂一層PI,或先在金屬層上涂布一層PI,然后對(duì)PI層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的絕緣層。
[0039]所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法還包括步驟13、切割平面基板,形成數(shù)個(gè)預(yù)定規(guī)格的次基板,每一次基板包括數(shù)個(gè)基板單元,其形成一個(gè)電池組。
[0040]步驟I的平面基板的厚度為10um至50mm ;步驟2的絕緣層的厚度為10_15um ;步驟3的導(dǎo)電層的厚度為10-20um ;步驟5的含碳材料層的厚度為0.21-0.23cm ;步驟6的隔膜的厚度為15-25um ;步驟8的鋰酸鹽混合物層的厚度為0.20-0.23cm ;步驟9的金屬層的厚度為10-20um ;步驟10的絕緣層的厚度為10-15um。
[0041]所述隔膜按預(yù)定圖案涂布設(shè)置,或先涂布一層隔膜,然后對(duì)該隔膜進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的隔膜。
[0042]所述步驟12通過浸泡或注入電解液的方式向隔膜添加電解液。
[0043]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明動(dòng)力鋰離子電池的制作方法在平面基板上于一道工序里可以同時(shí)進(jìn)行多個(gè)電池單體的制作,提高生產(chǎn)效率,于特性均勻性及產(chǎn)品良品率皆大幅提升,而且同時(shí)對(duì)該多個(gè)電池單體進(jìn)行連接組成電池組,進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率,且方便后續(xù)使用時(shí)電池組自身的組裝及對(duì)外安裝,從而有利于降低成本。
[0044]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容,請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明。
【具體實(shí)施方式】
[0045]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果,以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0046]本發(fā)明動(dòng)力鋰離子電池的制作方法包括如下步驟:
[0047]步驟1、提供一平面基板;
[0048]步驟2、于平面基板上形成預(yù)定圖案的絕緣層;
[0049]步驟3、于預(yù)定圖案的絕緣層上形成預(yù)定圖案的導(dǎo)電層;
[0050]步驟4、提供含碳材料;
[0051]步驟5、于預(yù)定圖案的導(dǎo)電層上形成預(yù)定圖案的含碳材料層,然后加壓、烘干,該導(dǎo)電層與含碳化合物層共同形成負(fù)極;
[0052]步驟6、于負(fù)極上形成預(yù)定圖案的隔膜;
[0053]步驟7、提供鋰酸鹽混合物;
[0054]步驟8、于隔膜上形成預(yù)定圖案的鋰酸鹽混合物層;
[0055]步驟9、于鋰酸鹽混合物層上形成預(yù)定圖案的金屬層,然后加壓、烘干,該鋰酸鹽混合物層與金屬層共同形成正極;
[0056]步驟10、在正極上形成預(yù)定圖案的絕緣層;
[0057]步驟11、根據(jù)預(yù)定電池單體的層數(shù),決定重復(fù)步驟3 —10的次數(shù),然后按次數(shù)依次重復(fù)步驟3 — 10 ;[0058]步驟12、向隔膜添加電解液。
[0059]所述步驟I的平面基板選用陶瓷基板,步驟I還包括于平面基板的兩面形成金屬層以作電容用,該金屬層優(yōu)選Cu或Al。
[0060]所述平面基板劃分成數(shù)個(gè)基板單元,每一個(gè)基板單元的面積為形成一個(gè)電池單體所需要的面積。
[0061]所述預(yù)定圖案共同在平面基板上形成一個(gè)或多個(gè)電池組,在各個(gè)基板單元上形成一個(gè)電池單元,每一電池單元包括數(shù)個(gè)疊置的電池單體,該數(shù)個(gè)疊置的電池單體依需要進(jìn)行串聯(lián)或并聯(lián)連接,且平面基板上的各個(gè)電池單元依需要進(jìn)行串聯(lián)或并聯(lián)連接形成一個(gè)或多個(gè)電池組。
[0062]所述步驟2的絕緣層優(yōu)選PI (polyimide)材料,步驟2直接在平面基板上按預(yù)定圖案涂布絕緣層,或先涂上一絕緣層,然后對(duì)該絕緣層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的絕緣層。
[0063]所述步驟3的導(dǎo)電層的設(shè)置直接在絕緣層上按預(yù)定圖案形成導(dǎo)電層,或先形成金屬層,然后對(duì)該金屬層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的導(dǎo)電層;所述導(dǎo)電層優(yōu)選為銅層。
[0064]所述步驟5的含碳材料層的設(shè)置直接按預(yù)定圖案涂布含碳材料層,或先涂布一層含碳材料,然后對(duì)該層含碳材料進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的含碳材料層,所述含碳材料優(yōu)選為碳衆(zhòng)。
[0065]步驟8的鋰酸鹽混合物層的設(shè)置直接按預(yù)定圖案涂布鋰酸鹽混合物層,或先涂布一層鋰酸鹽混合物,然后對(duì)該層鋰酸鹽混合物進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的鋰酸鹽混合物層,所述鋰酸鹽混合物優(yōu)選為鈷酸鋰、磷酸鐵鋰、或鎳鈷錳酸鋰的混合物。
[0066]步驟9的金屬層的設(shè)置按預(yù)定圖案直接形成金屬層在鋰酸鹽混合物層上,或先形成金屬層在鋰酸鹽混合物層上,然后對(duì)該金屬層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的金屬層;所述金屬層優(yōu)選為鋁層。
[0067]步驟10的絕緣層的材料為PI,按預(yù)定圖案直接在金屬層上涂一層PI,或先在金屬層上涂布一層PI,然后對(duì)PI層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的絕緣層。
[0068]所述隔膜按預(yù)定圖案涂布設(shè)置,或先涂布一層隔膜,然后對(duì)該隔膜進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的隔膜。
[0069]所述步驟12通過浸泡或注入電解液的方式向隔膜添加電解液。
[0070]所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法還包括步驟13、切割平面基板,形成數(shù)個(gè)預(yù)定規(guī)格的次基板,每一次基板包括數(shù)個(gè)基板單元,其形成一個(gè)電池組。對(duì)于能容下平面基板的交通或運(yùn)輸工具,例如車輛、飛機(jī)、拖拉機(jī)、叉車等,可以直接將整個(gè)平面基板做成一個(gè)電池組,不需要切割。對(duì)于不能容下平面基板的交通或運(yùn)輸工具,則可以根據(jù)能容下的尺寸需要,對(duì)平面基板進(jìn)行切割,形成數(shù)個(gè)預(yù)定規(guī)格的次基板,每一次基板上形成一個(gè)電池組,然后數(shù)個(gè)次基板的電池組再進(jìn)行電性連接,安裝到車輛上。這相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)要將平面基板按基板單元進(jìn)行切割,形成一個(gè)個(gè)如基板單元大小的電池單元,也是提升了很大的生產(chǎn)效率,及方便于后續(xù)使用安裝。
[0071]步驟I的平面基板的厚度為10um至50mm ;步驟2的絕緣層的厚度為10_15um ;步驟3的導(dǎo)電層的厚度為10-20um ;步驟5的含碳材料層的厚度為0.21-0.23cm ;步驟6的隔膜的厚度為15-25um ;步驟8的鋰酸鹽混合物層的厚度為0.20-0.23cm ;步驟9的金屬層的厚度為10-20um ;步驟10的絕緣層的厚度為10-15um。
[0072]上述圖案化處理,可以根據(jù)需要采用現(xiàn)有工藝形成預(yù)定圖案的絕緣層,比如微影、蝕刻工藝等。
[0073]上述形成導(dǎo)電層或金屬層,可以采用現(xiàn)有工藝來處理,例如化學(xué)氣相沉積或蒸鍍
坐寸ο
[0074]步驟3 — 10形成單層電池單體,厚度0.66cm,每個(gè)電池單體的電壓為3.5V。步驟11重復(fù)6次,共形成7層電池單體,厚度為4.62CM,該7層電池單體串聯(lián),則形成的單個(gè)電池的電壓為24V。
[0075]綜上所述,本發(fā)明動(dòng)力鋰離子電池的制作方法在平面基板上于一道工序里可以同時(shí)進(jìn)行多個(gè)電池單體的制作,提高生產(chǎn)效率,于特性均勻性及產(chǎn)品良品率皆大幅提升,而且同時(shí)對(duì)該多個(gè)電池單體進(jìn)行連接組成電池組,進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率,且方便后續(xù)使用時(shí)電池組自身的組裝及對(duì)外安裝,從而有利于降低成本。
[0076]以上所述,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形,而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,包括如下步驟: 步驟1、提供一平面基板; 步驟2、于平面基板上形成預(yù)定圖案的絕緣層; 步驟3、于預(yù)定圖案的絕緣層上形成預(yù)定圖案的導(dǎo)電層; 步驟4、提供含碳材料; 步驟5、于預(yù)定圖案的導(dǎo)電層上形成預(yù)定圖案的含碳材料層,然后加壓、烘干,該導(dǎo)電層與含碳化合物層共同形成負(fù)極; 步驟6、于負(fù)極上形成預(yù)定圖案的隔膜; 步驟7、提供鋰酸鹽混合物; 步驟8、于隔膜上形成預(yù)定圖案的鋰酸鹽混合物層; 步驟9、于鋰酸鹽混合物層上形成預(yù)定圖案的金屬層,然后加壓、烘干,該鋰酸鹽混合物層與金屬層共同形成正極; 步驟10、在正極上形成預(yù)定圖案的絕緣層; 步驟11、根據(jù)預(yù)定電池單體的層數(shù),決定重復(fù)步驟3 —10的次數(shù),然后按次數(shù)依次重復(fù)步驟3 — 10 ; 步驟12、向隔膜添加電解液。
2.如權(quán)利要求1所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,所述步驟I的平面基板選用陶瓷基板,步驟I還包括于平面基板的兩面形成金屬層以作電容用,該金屬層優(yōu)選Cu或Al ;所述平面基板劃分成數(shù)個(gè)基板單元,每一個(gè)基板單元的面積為形成一個(gè)電池單體所需要的面積。
3.如權(quán)利要求2所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,所述預(yù)定圖案共同在平面基板上形成一個(gè)或多個(gè)電池組,在各個(gè)基板單元上形成一個(gè)電池單元,每一電池單元包括數(shù)個(gè)疊置的電池單體,該數(shù)個(gè)疊置的電池單體依需要進(jìn)行串聯(lián)或并聯(lián)連接,且平面基板上的各個(gè)電池單元依需要進(jìn)行串聯(lián)或并聯(lián)連接形成一個(gè)或多個(gè)電池組。
4.如權(quán)利要求1所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,所述步驟2的絕緣層優(yōu)選PI材料,步驟2直接在平面基板上按預(yù)定圖案涂布絕緣層,或先涂上一絕緣層,然后對(duì)該絕緣層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的絕緣層;所述步驟10的絕緣層的材料為PI,按預(yù)定圖案直接在金屬層上涂一層PI,或先在金屬層上涂布一層PI,然后對(duì)PI層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的絕緣層。
5.如權(quán)利要求1所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,所述步驟3的導(dǎo)電層的設(shè)置直接在絕緣層上按預(yù)定圖案形成導(dǎo)電層,或先形成金屬層,然后對(duì)該金屬層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的導(dǎo)電層;所述導(dǎo)電層優(yōu)選為銅層。
6.如權(quán)利要求1所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,所述步驟5的含碳材料層的設(shè)置直接按預(yù)定圖案涂布含碳材料層,或先涂布一層含碳材料,然后對(duì)該層含碳材料進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的含碳材料層,所述含碳材料優(yōu)選為碳漿。
7.如權(quán)利要求1所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,步驟8的鋰酸鹽混合物層的設(shè)置直接按預(yù)定圖案涂布鋰酸鹽混合物層,或先涂布一層鋰酸鹽混合物,然后對(duì)該層鋰酸鹽混合物進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的鋰酸鹽混合物層,所述鋰酸鹽混合物優(yōu)選為鈷酸鋰、磷酸鐵鋰、或鎳鈷錳酸鋰的混合物。
8.如權(quán)利要求1所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,步驟9的金屬層的設(shè)置按預(yù)定圖案直接形成金屬層在鋰酸鹽混合物層上,或先形成金屬層在鋰酸鹽混合物層上,然后對(duì)該金屬層進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的金屬層;所述金屬層優(yōu)選為鋁層;所述隔膜按預(yù)定圖案涂布設(shè)置,或先涂布一層隔膜,然后對(duì)該隔膜進(jìn)行圖案化處理,形成預(yù)定圖案的隔膜;所述步驟12通過浸泡或注入電解液的方式向隔膜添加電解液。
9.如權(quán)利要求1所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,還包括步驟13、切割平面基板,形成數(shù)個(gè)預(yù)定規(guī)格的次基板,每一次基板包括數(shù)個(gè)基板單元,其形成一個(gè)電池組。
10.如權(quán)利要求1所述的動(dòng)力鋰離子電池的制作方法,其特征在于,步驟I的平面基板的厚度為10um至50mm;步驟2的絕緣層的厚度為10_15um ;步驟3的導(dǎo)電層的厚度為10-20um ;步驟5的含碳材料層的厚度為0.21-0.23cm ;步驟6的隔膜的厚度為15_25um ;步驟8的鋰酸鹽混合物層的厚度為0.20-0.23cm ;步驟9的金屬層的厚度為10_20um ;步驟10的絕緣層的厚 度為10-15um。
【文檔編號(hào)】H01M10/058GK104037454SQ201410226249
【公開日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月23日
【發(fā)明者】徐榮, 黃進(jìn)清, 桂松 申請(qǐng)人:鴻源控股有限公司