超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置。超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置包括底殼、蓋體及多個(gè)燒結(jié)棒,所述底殼包括底壁和環(huán)繞所述底壁的多個(gè)側(cè)壁,所述底殼還具有與所述底壁相對(duì)的開口端,所述側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)通氣孔;所述蓋體可拆卸地蓋設(shè)于所述開口端,所述殼體及所述蓋體共同形成收容腔;所述多個(gè)燒結(jié)棒,收容于所述收容腔中,并水平掛設(shè)于所述底殼的兩個(gè)相對(duì)側(cè)壁之間,所述燒結(jié)棒用于穿設(shè)于多個(gè)超微型環(huán)形壓敏電阻器的坯環(huán)中部的通孔,以將多個(gè)坯環(huán)間隔掛設(shè)于所述燒結(jié)棒上。上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置可以使得坯環(huán)在燒結(jié)過程中不易產(chǎn)生形變,進(jìn)而使產(chǎn)品的機(jī)械強(qiáng)度、電性能得到滿足。
【專利說明】超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù),特別是涉及一種超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 環(huán)形壓敏電阻是一種伏安特性呈非線性的敏感元件。在正常電壓條件下,這相當(dāng) 于一只小電容器,而當(dāng)電路出現(xiàn)過電壓時(shí),它的電阻阻急劇下降并迅速導(dǎo)通,其工作電流增 加幾個(gè)數(shù)量級(jí),壓敏電阻器的電阻值對(duì)外加電壓的變化從而有效地保護(hù)了并聯(lián)電路中的其 它元器件不致過壓而損壞和抑制回路電壓的峰值在一定的范圍。
[0003] 目前我們把外徑尺寸在2. 4mm以下的環(huán)形壓敏電阻器稱謂為"超微型環(huán)形壓敏電 阻器"。這是一種目前尺寸最小的環(huán)形壓敏電阻器,其尺寸為(外形尺寸外徑*內(nèi)徑*厚 度)2. 4mm* 1. 75mm*0. 35mm。
[0004] 超微型環(huán)形壓敏電阻器的制作過程采用典型的電子陶瓷工藝,其中關(guān)鍵的工序是 半導(dǎo)體化工藝,半導(dǎo)化是在高溫還原氣氛中實(shí)現(xiàn)的。是在氫氣與氮?dú)饣旌蠚怏w保護(hù)下的高 溫?zé)Y(jié)生產(chǎn)工藝完成鈦酸鍶環(huán)形電子陶瓷的制備。
[0005] 超微型環(huán)形壓敏電阻器的材料對(duì)燒結(jié)氣氛非常敏感,因其特殊的微觀結(jié)構(gòu),必須 在還原性氣氛下燒結(jié),實(shí)現(xiàn)晶粒的半導(dǎo)化,從而得到了收縮性、密度等性能均良好的半導(dǎo)化 電子陶瓷元件。生產(chǎn)過程中,還原氣氛由氫氣和氮?dú)獗壤旌咸峁┕?,其中氫氣成分在燒結(jié) 過程要與超微型環(huán)形壓敏電阻器的坯環(huán)參加反應(yīng),對(duì)燒結(jié)過程的要求特別苛刻。
[0006] 在傳統(tǒng)的燒結(jié)過程中,將坯環(huán)采用堆疊或排列平放方式進(jìn)入氣氛保護(hù)爐燒結(jié),坯 環(huán)會(huì)產(chǎn)生變形,其原因是由于超微型環(huán)形壓敏電阻器的坯環(huán)的環(huán)形結(jié)構(gòu),燒結(jié)成陶瓷環(huán)時(shí) 環(huán)形外環(huán)收縮應(yīng)力大于陶瓷內(nèi)環(huán)收縮應(yīng)力,由此產(chǎn)生瓷件向中心方向彎曲。其機(jī)理是超微 型環(huán)形壓敏電阻器的坯環(huán)是一種粉末顆粒壓制的薄片環(huán),燒結(jié)時(shí)是顆粒擇優(yōu)取向排列,使 垂直于坯環(huán)平面方向的收縮大,而平行于坯環(huán)薄片方向的收縮小。例如:假設(shè)壓制出來的超 微型環(huán)形壓敏電阻器的坯環(huán)直徑尺寸是2. 40mm,而厚度尺寸只有0. 35mm,為一個(gè)薄環(huán)片, 那么其沿軸向的收縮小于沿徑向的收縮。當(dāng)制品各部分薄片坯環(huán)取向不一致時(shí),制品發(fā)生 不均勻的收縮而導(dǎo)致變形。材料與氫氣燒結(jié)時(shí)會(huì)發(fā)生還原反應(yīng)形成金屬物質(zhì),其反應(yīng)是由 坯環(huán)表面逐步向坯環(huán)中心進(jìn)行的;堆放和平疊一起的燒結(jié)會(huì)使每個(gè)坯環(huán)有大部分疊合面, 不能同時(shí)和充分接觸到爐體內(nèi)的氫氣同步作用還原反應(yīng),每個(gè)坯環(huán)和同一個(gè)坯環(huán)的不同部 位的金屬化程度都出現(xiàn)差異,導(dǎo)致超微型環(huán)形壓敏電阻器的坯環(huán)半導(dǎo)化成電子陶瓷不良, 出現(xiàn)變形,使得機(jī)械強(qiáng)度、電性能不能滿足要求。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007] 基于此,有必要提供一種使得坯環(huán)在燒結(jié)過程中不易產(chǎn)生形變的超微型環(huán)形壓敏 電阻燒結(jié)裝置。
[0008] 超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,包括:
[0009] 底殼,包括底壁和環(huán)繞所述底壁的多個(gè)側(cè)壁,所述底殼還具有與所述底壁相對(duì)的 開口端,所述側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)通氣孔;
[0010] 蓋體,可拆卸地蓋設(shè)于所述開口端,所述殼體及所述蓋體共同形成收容腔;及
[0011] 多個(gè)燒結(jié)棒,收容于所述收容腔中,并水平掛設(shè)于所述底殼的兩個(gè)相對(duì)側(cè)壁之間, 所述燒結(jié)棒用于穿設(shè)于多個(gè)超微型環(huán)形壓敏電阻器的坯環(huán)中部的通孔,以將多個(gè)坯環(huán)間隔 掛設(shè)于所述燒結(jié)棒上。
[0012] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述底殼為長方體形盒狀結(jié)構(gòu),所述多個(gè)側(cè)壁包括第一側(cè) 壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁及第四側(cè)壁,所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相對(duì)設(shè)置,所述第三側(cè) 壁與所述第四側(cè)壁相對(duì)設(shè)置,所述第一側(cè)壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁及第四側(cè)壁上均可設(shè)有通 氣孔。
[0013] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述燒結(jié)棒的兩端分別穿設(shè)于所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè) 壁上的通氣孔,以使所述燒結(jié)棒固定于所述收容腔中。
[0014] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述燒結(jié)棒包括用于掛設(shè)所述多個(gè)坯環(huán)的掛設(shè)部及分別設(shè) 置于所述掛設(shè)部?jī)啥说膬蓚€(gè)固定部,所述兩個(gè)固定部分別穿設(shè)于所述第一側(cè)壁及所述第二 側(cè)壁上的通氣孔中。
[0015] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述固定部的直徑小于所述掛設(shè)部的直徑。
[0016] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述掛設(shè)部的直徑為1.5mm。
[0017] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述多個(gè)通氣孔在所述側(cè)壁上成陣列設(shè)置。
[0018] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述通氣孔的直徑為1. 88_,所述多個(gè)通氣孔的面積占所 述側(cè)壁的面積的80%。
[0019] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述底殼、所述蓋體及所述多個(gè)燒結(jié)棒均由鑰材料制成。
[0020] 在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述底殼的底壁和/或側(cè)壁的厚度為2?3mm。
[0021] 上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置中,其可通過燒結(jié)棒將多個(gè)坯環(huán)串聯(lián)起來,由 于多個(gè)坯環(huán)間隔掛設(shè)于燒結(jié)棒上,坯環(huán)與坯環(huán)之間不存在重疊面,解決了傳統(tǒng)的將坯環(huán)采 用堆疊或排列平放方式燒結(jié)而產(chǎn)生的形變的問題。坯環(huán)掛設(shè)于水平設(shè)置的燒結(jié)棒上,使得 坯環(huán)在水平面上得到受力支撐,可以順利完成整個(gè)熱脹冷縮的過程,不易產(chǎn)生形變。
[0022] 并且,采用上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,可使得坯環(huán)在還原性氣氛下充分 燒結(jié),實(shí)現(xiàn)晶粒的半導(dǎo)化,得到了收縮性、密度等性能均良好的電子陶瓷環(huán)。
[0023] 此外,上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置的質(zhì)量較輕,可以減小外部燒結(jié)爐膛的 負(fù)擔(dān)。同時(shí),上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置由鑰材料制成,其具備較低的蓄熱性能,使 裝置底部和上部同時(shí)有效散熱,防止零件自身散熱不一致而變形。整個(gè)裝置無活性游離物 質(zhì)存在,不與零件發(fā)生粘連。使用壽命也較長。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024] 圖1為一實(shí)施例中的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置的立體分解圖;
[0025] 圖2為圖1所示超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置中底殼及蓋體的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0026] 圖3為圖1所示超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置的局部結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027] 為了便于理解本發(fā)明,下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中 給出了本發(fā)明的較佳實(shí)施方式。但是,本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn),并不限于本文 所描述的實(shí)施方式。相反地,提供這些實(shí)施方式的目的是使對(duì)本發(fā)明的公開內(nèi)容理解的更 加透徹全面。
[0028] 需要說明的是,當(dāng)元件被稱為"固定于"另一個(gè)元件,它可以直接在另一個(gè)元件上 或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是"連接"另一個(gè)元件,它可以是直接連接 到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。本文所使用的術(shù)語"垂直的"、"水平的"、"左"、 "右"以及類似的表述只是為了說明的目的,并不表示是唯一的實(shí)施方式。
[0029] 除非另有定義,本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的【技術(shù)領(lǐng)域】的 技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具 體的實(shí)施方式的目的,不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語"及/或"包括一個(gè)或多 個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。
[0030] 請(qǐng)參閱圖1,一實(shí)施例中的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置100,用于對(duì)超微型環(huán)形 壓敏電阻器的坯環(huán)200進(jìn)行燒結(jié),以使坯環(huán)200半導(dǎo)體化。坯環(huán)200中部設(shè)有通孔(圖未 標(biāo))。坯環(huán)200的尺寸為外徑2. 4_、內(nèi)徑1.7_。超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置100包括 底殼110、蓋體130及燒結(jié)棒150。
[0031] 底殼110大致為盒狀結(jié)構(gòu)。底殼110上設(shè)有開口端111,底殼110還包括多個(gè)側(cè)壁 113及與開口端111相對(duì)的底壁(圖未示),多個(gè)側(cè)壁113環(huán)繞底壁。側(cè)壁113上設(shè)有多個(gè) 通氣孔115。
[0032] 蓋體130可拆卸地蓋設(shè)于開口端111。蓋體130可將開口端111遮蓋。殼體及蓋 體130共同形成收容腔(圖未標(biāo))。
[0033] 多個(gè)燒結(jié)棒150收容于收容腔中,并水平掛設(shè)于底殼110的側(cè)壁113上。燒結(jié)棒 150用于穿設(shè)多個(gè)坯環(huán)200中部的通孔,以將多個(gè)坯環(huán)200間隔掛設(shè)于燒結(jié)棒150上。多個(gè) 述環(huán)200間彼此間隔,?環(huán)200與述環(huán)200之間不存在重疊面。
[0034] 具體的,燒結(jié)棒150的兩端穿設(shè)于側(cè)壁113上的通氣孔115,以使燒結(jié)棒150固定 于收容腔中。
[0035] 工作時(shí),將串好的坯環(huán)200 -排排地放置于收容腔中,并將上述超微型環(huán)形壓敏 電阻燒結(jié)裝置100放置于密閉的燒結(jié)爐膛(圖未示)中。在氫氣和氮?dú)獾幕旌蠚夥障?,加?至1300攝氏度以上,加熱時(shí)間超過2小時(shí)。由于多個(gè)坯環(huán)200間隔掛設(shè)于燒結(jié)棒150上, 坯環(huán)200與坯環(huán)200之間不存在重疊面,解決了傳統(tǒng)的將坯環(huán)200采用堆疊或排列平放方 式燒結(jié)而產(chǎn)生的形變的問題。坯環(huán)200掛設(shè)于水平設(shè)置的燒結(jié)棒150上,使得坯環(huán)200在 水平面上得到受力支撐,可以順利完成整個(gè)熱脹冷縮的過程。并且,采用上述超微型環(huán)形壓 敏電阻燒結(jié)裝置100,可使得坯環(huán)200在還原性氣氛下充分燒結(jié),實(shí)現(xiàn)晶粒的半導(dǎo)化,得到 了收縮性、密度等性能均良好的電子陶瓷環(huán)。
[0036] 具體在本實(shí)施例中,底殼110、蓋體130及多個(gè)燒結(jié)棒150均由鑰材料制成。金屬 鑰具有強(qiáng)度大、耐高溫、耐磨損、耐腐蝕等多種優(yōu)點(diǎn),具有熔點(diǎn)高、密度低和熱脹系數(shù)小等特 性。底殼110、蓋體130及多個(gè)燒結(jié)棒150均由鑰材料制成,能夠完全滿足到在氫氣與氮?dú)?混合氣氛1300°C以上的燒結(jié)要求。采用純金屬鑰制造的上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置 100不易產(chǎn)生變形,可以確保足夠的平整度和承重性能,重復(fù)使用壽命長達(dá)10年以上。并 且,上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置100的材料可以完全回收再利用制造,十分環(huán)保,作 為長期批量生產(chǎn)來說具有較高的性價(jià)比。
[0037] 可以理解,底殼110、蓋體130及多個(gè)燒結(jié)棒150還可采用其它與金屬鑰物理化學(xué) 性質(zhì)較為接近的材料制成,不限于鑰材料。底殼110的底壁和/或側(cè)壁113的厚度為2? 3_,以使整個(gè)裝置滿足一定的機(jī)械強(qiáng)度。
[0038] 請(qǐng)一并參閱圖2,底殼110為長方體形盒狀結(jié)構(gòu),其長寬高比為1:0.68:0.68。底 殼110的側(cè)壁113包括第一側(cè)壁113a、第二側(cè)壁113b、第三側(cè)壁113c及第四側(cè)壁113d。第 一側(cè)壁113a與第二側(cè)壁113b相對(duì)設(shè)置,第三側(cè)壁113c與第四側(cè)壁113d相對(duì)設(shè)置,第一側(cè) 壁113a、第二側(cè)壁113b、第三側(cè)壁113c及第四側(cè)壁113d上均可設(shè)有通氣孔115。
[0039] 具體的,多個(gè)通氣孔115在側(cè)壁113上成陣列設(shè)置。通氣孔115的直徑為1. 88mm, 多個(gè)通氣孔115的面積占側(cè)壁113的面積的80%。上述設(shè)計(jì),既能夠保證了氫氣的流通 性,同時(shí),又能保持超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置100的收容腔內(nèi)部小氣候環(huán)境的局部穩(wěn) 定性。
[0040] 請(qǐng)一并參閱圖3,燒結(jié)棒150包括用于掛設(shè)多個(gè)坯環(huán)200的掛設(shè)部152及分別設(shè)置 于掛設(shè)部152兩端的兩個(gè)固定部154,兩個(gè)固定部154分別穿設(shè)于第一側(cè)壁113a及第二側(cè) 壁113b上的通氣孔115中。
[0041] 掛設(shè)部152的直徑為1. 5mm,以滿足掛設(shè)述環(huán)200的需求。固定部154的直徑小于 掛設(shè)部152的直徑,以使燒結(jié)棒150更容易進(jìn)行拆卸??梢岳斫?,燒結(jié)棒150也可以通過固 定件安裝于收容腔內(nèi)。
[0042] 上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置100中,其可通過燒結(jié)棒150將多個(gè)坯環(huán)200 串聯(lián)起來,由于多個(gè)坯環(huán)200間隔掛設(shè)于燒結(jié)棒150上,坯環(huán)200與坯環(huán)200之間不存在重 疊面,解決了傳統(tǒng)的將坯環(huán)200采用堆疊或排列平放方式燒結(jié)而產(chǎn)生的形變的問題。坯環(huán) 200掛設(shè)于水平設(shè)置的燒結(jié)棒150上,使得坯環(huán)200在水平面上得到受力支撐,可以順利完 成整個(gè)熱脹冷縮的過程,不易產(chǎn)生形變。
[0043] 并且,采用上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置100,可使得坯環(huán)200在還原性氣氛 下充分燒結(jié),實(shí)現(xiàn)晶粒的半導(dǎo)化,得到了收縮性、密度等性能均良好的電子陶瓷環(huán)。
[0044] 此外,上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置100的質(zhì)量較輕,可以減小外部燒結(jié)爐 膛的負(fù)擔(dān)。同時(shí),上述超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置100由鑰材料制成,其具備較低的蓄熱 性能,使裝置底部和上部同時(shí)有效散熱,防止零件自身散熱不一致而變形。整個(gè)裝置無活性 游離物質(zhì)存在,不與零件發(fā)生粘連。使用壽命也較長。
[0045] 以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式,其描述較為具體和詳細(xì),但并 不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員 來說,在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本發(fā)明的保 護(hù)范圍。因此,本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,包括: 底殼,包括底壁和環(huán)繞所述底壁的多個(gè)側(cè)壁,所述底殼還具有與所述底壁相對(duì)的開口 端,所述側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)通氣孔; 蓋體,可拆卸地蓋設(shè)于所述開口端,所述殼體及所述蓋體共同形成收容腔;及 多個(gè)燒結(jié)棒,收容于所述收容腔中,并水平掛設(shè)于所述底殼的兩個(gè)相對(duì)側(cè)壁之間,所述 燒結(jié)棒用于穿設(shè)于多個(gè)超微型環(huán)形壓敏電阻器的坯環(huán)中部的通孔,以將多個(gè)坯環(huán)間隔掛設(shè) 于所述燒結(jié)棒上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述底殼為長 方體形盒狀結(jié)構(gòu),所述多個(gè)側(cè)壁包括第一側(cè)壁、第二側(cè)壁、第三側(cè)壁及第四側(cè)壁,所述第一 側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相對(duì)設(shè)置,所述第三側(cè)壁與所述第四側(cè)壁相對(duì)設(shè)置,所述第一側(cè)壁、第 二側(cè)壁、第三側(cè)壁及第四側(cè)壁上均可設(shè)有通氣孔。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述燒結(jié)棒的 兩端分別穿設(shè)于所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁上的通氣孔,以使所述燒結(jié)棒固定于所述收 容腔中。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述燒結(jié)棒包 括用于掛設(shè)所述多個(gè)坯環(huán)的掛設(shè)部及分別設(shè)置于所述掛設(shè)部?jī)啥说膬蓚€(gè)固定部,所述兩個(gè) 固定部分別穿設(shè)于所述第一側(cè)壁及所述第二側(cè)壁上的通氣孔中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述固定部的 直徑小于所述掛設(shè)部的直徑。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述掛設(shè)部的 直徑為1. 5mm。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述多個(gè)通氣 孔在所述側(cè)壁上成陣列設(shè)置。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述通氣孔的 直徑為1. 88_,所述多個(gè)通氣孔的面積占所述側(cè)壁的面積的80%。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述底殼、所述 蓋體及所述多個(gè)燒結(jié)棒均由鑰材料制成。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的超微型環(huán)形壓敏電阻燒結(jié)裝置,其特征在于,所述底殼的底 壁和/或側(cè)壁的厚度為2?3mm。
【文檔編號(hào)】H01C17/30GK104143401SQ201410356915
【公開日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2014年7月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月24日
【發(fā)明者】張振勇, 鄧佩佳, 夏穎梅 申請(qǐng)人:廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司