可更換式吸料段的晶粒吸料軌道的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，所述晶粒吸料軌道主要包括吸料段和軌道本體，其中，該吸料段可拆卸式地組裝設(shè)置在該軌道本體的一側(cè)端。因此，本實(shí)用新型可以因應(yīng)因長(zhǎng)久使用后所造成的吸料段表面損耗、凹陷而直接更換吸料段即可，不需要整個(gè)吸料軌道淘汰，以利于成本上的降低和減少資源浪費(fèi)。此外，本實(shí)用新型的軌道本體可以另外設(shè)置有鎖附長(zhǎng)槽，鎖附長(zhǎng)槽可以因應(yīng)不同的晶粒尺寸、或者對(duì)進(jìn)料軌道裁切或其它加工的各種情況，來(lái)調(diào)整晶粒吸料軌道的位置，以達(dá)到可重復(fù)利用而節(jié)省資源和成本的功效。
【專利說(shuō)明】可更換式吸料段的晶粒吸料軌道
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，具體地說(shuō)，涉及一種適用在半導(dǎo)體晶粒檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)料軌道。
【背景技術(shù)】
[0002]請(qǐng)參閱圖1，圖1是熟知的晶粒檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)料模塊的俯視圖。如圖1所示，晶粒檢測(cè)設(shè)備Ti的進(jìn)料模塊Fe主要包括一喂料盤(pán)6和一進(jìn)料軌道7，其中通過(guò)喂料盤(pán)6產(chǎn)生震動(dòng)力使晶粒C循序經(jīng)過(guò)進(jìn)料軌道7進(jìn)給到吸料機(jī)構(gòu)8處，吸料機(jī)構(gòu)8吸取晶粒C后，移到檢測(cè)裝置81 (探針、)處以進(jìn)行測(cè)試。
[0003]再請(qǐng)參閱圖2，圖2為熟知的吸料機(jī)構(gòu)與進(jìn)料軌道的局部側(cè)視圖。如圖2所示，當(dāng)晶粒C進(jìn)給到進(jìn)料軌道7末端時(shí)，吸料機(jī)構(gòu)8會(huì)下降接觸晶粒C并將晶粒C吸取而進(jìn)行移載。另一方面，常見(jiàn)的晶粒種類中，晶粒的四周緣會(huì)設(shè)有類似玻璃材質(zhì)的絕緣材料，該材料具有高強(qiáng)度、耐壓和絕緣的特性。然而，當(dāng)檢測(cè)機(jī)臺(tái)經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)轉(zhuǎn)之后，由于吸料機(jī)構(gòu)8不斷地吸取晶粒C，并且晶粒C本身具有高強(qiáng)度的玻璃絕緣材料，將導(dǎo)致進(jìn)料軌道7的損耗、凹陷，而造成晶粒無(wú)法正常定位的情形。
[0004]此外，如圖1所示，熟知的進(jìn)料軌道7直接固定在機(jī)臺(tái)上，進(jìn)料軌道7通常通過(guò)螺栓9與螺孔直接鎖附的方式，無(wú)法對(duì)進(jìn)料軌道7的位置進(jìn)行調(diào)整。然而，當(dāng)面臨對(duì)檢測(cè)不同尺寸的晶粒、或?qū)M(jìn)料軌道7進(jìn)一步的加工時(shí)，將無(wú)法調(diào)整進(jìn)料軌道7的位置，而必須重新制備一全新的進(jìn)料軌道7，從而造成了成本上的耗費(fèi)。
[0005]由此可知，目前產(chǎn)業(yè)上迫切需求一種可以局部地更換已損耗、凹陷的部分，而不需要淘汰整個(gè)進(jìn)料軌道，并且可以適時(shí)地調(diào)整進(jìn)料軌道的位置的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的主要目的是提供一種可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，當(dāng)由于吸料軌道局部損耗而影響正常使用時(shí)，可以局部地更換已損耗、凹陷的部分，而不需要淘汰整個(gè)進(jìn)料軌道，以降低成本和資源上的耗費(fèi)。
[0007]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，所述晶粒吸料軌道主要包括一吸料段和一軌道本體。其中，所述吸料段包括一第一導(dǎo)引側(cè)壁和一吸料平臺(tái)，所述第一導(dǎo)引側(cè)壁鄰接于所述吸料平臺(tái)的一側(cè)緣并且向上凸出于所述吸料平臺(tái)；另外，所述軌道本體包括一第二導(dǎo)引側(cè)壁和一進(jìn)料平臺(tái)，所述第二導(dǎo)引側(cè)壁鄰接在所述進(jìn)料平臺(tái)的一側(cè)緣并且向上凸出于所述進(jìn)料平臺(tái)。再者，所述吸料段可拆卸式地組設(shè)在所述軌道本體的一側(cè)端，并且所述吸料段的所述第一導(dǎo)引側(cè)壁和所述吸料平臺(tái)分別對(duì)應(yīng)連接于所述軌道本體的所述第二導(dǎo)引側(cè)壁和所述進(jìn)料平臺(tái)。因此，本實(shí)用新型的吸料段可因應(yīng)因長(zhǎng)久使用后所產(chǎn)生的表面損耗而進(jìn)行更換，不需要將整個(gè)吸料軌道淘汰，以利于成本上的降低和減少資源浪費(fèi)。[0008]優(yōu)選地，本實(shí)用新型的所述吸料段為一 L型構(gòu)件，所述吸料段包括一吸料側(cè)和一固定側(cè)，所述第一導(dǎo)引側(cè)壁和所述吸料平臺(tái)位于所述吸料側(cè)。
[0009]優(yōu)選地，本實(shí)用新型的晶粒吸料軌道還包括一鎖附螺栓，并且所述吸料段的所述固定側(cè)上開(kāi)設(shè)有一貫穿孔，所述軌道本體的所述側(cè)端上開(kāi)設(shè)有一螺孔，所述鎖附螺栓可貫穿經(jīng)過(guò)所述吸料段的所述貫穿孔并且鎖附于所述軌道本體的所述螺孔。因此，本實(shí)用新型可以經(jīng)過(guò)鎖附螺栓以螺鎖的固定方式來(lái)將吸料段組裝設(shè)置在軌道本體上，這一固定方式簡(jiǎn)單、穩(wěn)定并且拆裝便利。
[0010]優(yōu)選地，本實(shí)用新型的所述軌道本體的所述側(cè)端上凸設(shè)有一定位銷，所述吸料段的所述固定側(cè)上可開(kāi)設(shè)有一定位孔，所述軌道本體的所述定位銷插設(shè)在所述吸料段的所述定位孔內(nèi)。因此，本實(shí)用新型進(jìn)一步可以通過(guò)定位銷和定位孔的方式來(lái)固定吸料段與軌道本體，定位銷和定位孔的方式與螺栓構(gòu)成兩個(gè)固定點(diǎn)，可以穩(wěn)固地結(jié)合吸料段與軌道本體，使得吸料段不會(huì)囚為單靠螺栓鎖附而輕易產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)或晃動(dòng)。
[0011]優(yōu)選地，本實(shí)用新型的所述軌道本體的所述側(cè)端上凸設(shè)有一定位臺(tái)，并且所述吸料段的所述固定側(cè)上凹設(shè)有一定位槽，所述軌道本體的所述定位臺(tái)可容納設(shè)置在所述吸料段的所述定位槽內(nèi)。因此，本實(shí)用新型可以另外通過(guò)定位臺(tái)與定位槽的設(shè)計(jì)，可以更加穩(wěn)固地結(jié)合吸料段與軌道本體，并且也有助于裝配吸料段時(shí)的定位。
[0012]優(yōu)選地，本實(shí)用新型的所述軌道本體可還包括一固定臺(tái)，所述固定臺(tái)鄰接于所述進(jìn)料平臺(tái)，并且所述固定臺(tái)上可開(kāi)設(shè)有至少一鎖附長(zhǎng)槽。其中，鎖附長(zhǎng)槽主要用于將軌道本體鎖附在機(jī)臺(tái)上，鎖附長(zhǎng)槽的設(shè)置可以提供晶粒吸料軌道位置上的調(diào)整。換句話說(shuō)，可以因應(yīng)各種的需求，例如因應(yīng)不同的晶粒尺寸、或者對(duì)進(jìn)料軌道裁切或其它加工，來(lái)調(diào)整進(jìn)料軌道的位置，以達(dá)到可重復(fù)利用而節(jié)省資源和成本的功效。
[0013]優(yōu)選地，本實(shí)用新型的所述固定臺(tái)開(kāi)設(shè)有多個(gè)落料通孔，所述落料通孔沿著所述進(jìn)料平臺(tái)等距離地布局設(shè)置，優(yōu)選地開(kāi)設(shè)有三個(gè)落料通孔。
[0014]優(yōu)選地，每一落料通孔包括一斜面，所述斜面朝向一晶粒的進(jìn)料方向，而且所述斜面與所述進(jìn)料平臺(tái)的水平夾角為30度。其中，斜面的設(shè)置主要是為了協(xié)助晶粒的落料，可以避免晶粒以垂直的角度落下而遭受損傷。
[0015]因此，本實(shí)用新型可以因應(yīng)因長(zhǎng)久使用后所造成的吸料段表面損耗、凹陷而直接更換吸料段即可，不需要整個(gè)吸料軌道淘汰，以利于成本上的降低和減少資源浪費(fèi)。此外，本實(shí)用新型的軌道本體可以另外設(shè)置有鎖附長(zhǎng)槽，鎖附長(zhǎng)槽可以因應(yīng)不同的晶粒尺寸、或者對(duì)進(jìn)料軌道裁切或其它加工的各種情況，來(lái)調(diào)整晶粒吸料軌道的位置，以達(dá)到可重復(fù)利用而節(jié)省資源和成本的功效。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為熟知的晶粒檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)料模塊的俯視圖。
[0017]圖2為熟知的吸料機(jī)構(gòu)與進(jìn)料軌道的局部側(cè)視圖。
[0018]圖3為本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例的俯視分解圖。
[0019]圖4為本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例的軌道本體的局部放大圖。
[0020]圖5A為本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例的吸料段的俯視圖。
[0021]圖5B為本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例的吸料段的左側(cè)視圖。[0022]附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:
[0023]喂料盤(pán)6、進(jìn)料軌道7、吸料機(jī)構(gòu)8、檢測(cè)裝置81、螺栓9、晶粒C、進(jìn)料模塊Fe、晶粒檢測(cè)設(shè)備T1、吸料段2、第一導(dǎo)引側(cè)壁21、吸料側(cè)201、固定側(cè)202、吸料平臺(tái)22、貫穿孔23、定位孔24、定位槽25、軌道本體3、第二導(dǎo)引側(cè)壁31、進(jìn)料平臺(tái)32、螺孔33、定位銷34、定位臺(tái)35、固定臺(tái)36、鎖附長(zhǎng)槽361、落料通孔362、斜面363、鎖附螺栓4。
【具體實(shí)施方式】
[0024]為了使貴審查員能夠進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)、特征及其他目的，現(xiàn)結(jié)合所附優(yōu)選實(shí)施例附以附圖詳細(xì)說(shuō)明如下，本附圖所說(shuō)明的實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，并非限定本實(shí)用新型。
[0025]本實(shí)用新型的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道在本實(shí)施例中被詳細(xì)描述之前，需要特別注意的是，以下的說(shuō)明中，類似的組件將以相同的組件符號(hào)來(lái)表示。
[0026]請(qǐng)同時(shí)參閱圖3、圖4、圖5A和圖5B，圖3為本實(shí)用新型的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道一優(yōu)選實(shí)施例的俯視分解圖，圖4為本實(shí)用新型的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道一優(yōu)選實(shí)施例的軌道本體的局部放大圖，圖5A為本實(shí)用新型的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道一優(yōu)選實(shí)施例的吸料段的俯視圖，圖5B為本實(shí)用新型的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道一優(yōu)選實(shí)施例的吸料段的左側(cè)視圖。
[0027]如圖所示，本實(shí)施例的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，主要包括一吸料段2、一軌道本體3和一鎖附螺栓4。其中，吸料段2包括一第一導(dǎo)引側(cè)壁21和一吸料平臺(tái)22，兩者構(gòu)成為一體，第一導(dǎo)引側(cè)壁21鄰接于吸料平臺(tái)22的一側(cè)緣并且向上凸出于吸料平臺(tái)22。第一導(dǎo)引側(cè)壁21主要用于引導(dǎo)待測(cè)芯片，使得待測(cè)芯片可以沿著第一導(dǎo)引側(cè)壁21進(jìn)給，吸料段2主要為載置待測(cè)芯片而供吸料機(jī)構(gòu)用于吸取移載。
[0028]此外，本實(shí)施例的吸料段2為一 L型構(gòu)件，吸料段2包括一吸料側(cè)201和一固定側(cè)202，第一導(dǎo)引側(cè)壁21和吸料平臺(tái)22位于吸料側(cè)201。另外，吸料段2的固定側(cè)202開(kāi)設(shè)有一貫穿孔23，貫穿孔23貫穿固定側(cè)202的兩側(cè)的對(duì)應(yīng)端面，面向軌道本體3的一側(cè)端面上開(kāi)設(shè)有一定位孔24和凹設(shè)一定位槽25。其中，定位槽25從固定側(cè)202的下表面凹設(shè)。
[0029]另一方面，軌道本體3包括一第二導(dǎo)引側(cè)壁31和一進(jìn)料平臺(tái)32，兩者也構(gòu)成了一體，并且第二導(dǎo)引側(cè)壁31鄰接于進(jìn)料平臺(tái)32的一側(cè)緣并且向上凸出于進(jìn)料平臺(tái)32。同樣地，第二導(dǎo)引側(cè)壁31與進(jìn)料平臺(tái)32主要用于使待測(cè)芯片可以沿著第二導(dǎo)引側(cè)壁31而在進(jìn)料平臺(tái)32上行進(jìn)進(jìn)料。
[0030]另外，如圖所示，軌道本體3在面向吸料段2的側(cè)端面上開(kāi)設(shè)有一螺孔33，并且凸設(shè)有一定位銷34和一定位臺(tái)35。其中，定位銷34用于配合吸料段2的定位孔24,定位臺(tái)35則用于配合吸料段2的定位槽25。
[0031]再者，吸料段2通過(guò)鎖附螺栓4而可拆卸式地組裝設(shè)置在軌道本體3的一側(cè)端，即鎖附螺栓4貫穿經(jīng)過(guò)吸料段2的貫穿孔23并且鎖附在軌道本體3的螺孔33內(nèi)。其中，鎖附螺栓4鎖附時(shí)，軌道本體3的定位銷34插設(shè)在吸料段2的定位孔24內(nèi)，并且軌道本體3的定位臺(tái)35容鈉設(shè)置在吸料段2的定位槽25內(nèi)。因此，吸料段2的第一導(dǎo)引側(cè)壁21和吸料平臺(tái)22分別對(duì)應(yīng)連接于軌道本體3的第二導(dǎo)引側(cè)壁31和進(jìn)料平臺(tái)32，所以待測(cè)芯片可以沿著第一導(dǎo)引側(cè)壁21與第二導(dǎo)引側(cè)壁31，而通過(guò)進(jìn)料平臺(tái)32進(jìn)給到吸料平臺(tái)22上以供吸料。
[0032]以上所述，本實(shí)施例通過(guò)鎖附螺栓螺鎖4將吸料段2組裝設(shè)置在軌道本體3上，這一固定方式簡(jiǎn)單、穩(wěn)定并且拆裝便利。另外，本實(shí)施例進(jìn)一步通過(guò)定位銷34和定位孔24的方式來(lái)固定吸料段2與軌道本體3，定位銷34及定位孔24的方式與螺栓構(gòu)成兩個(gè)固定點(diǎn)，可以穩(wěn)固地結(jié)合吸料段2與軌道本體3，使得吸料段2不會(huì)因?yàn)閱慰柯菟ㄦi附而輕易產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)或晃動(dòng)。此外，本實(shí)施例也可以通過(guò)定位臺(tái)35與定位槽25的設(shè)計(jì)，可以更加穩(wěn)固地結(jié)合吸料段2與軌道本體3，并且也有助于裝配吸料段2時(shí)的定位，并且可以增加吸料段2的支撐力。
[0033]圖3所示，本實(shí)施例的軌道本體3還包括一固定臺(tái)36，固定臺(tái)36鄰接于進(jìn)料平臺(tái)32，固定臺(tái)36主要用于將軌道本體3固定在機(jī)臺(tái)上(圖中未示)。其中，固定臺(tái)36上開(kāi)設(shè)有五個(gè)鎖附長(zhǎng)槽361，其主要用于供固定臺(tái)36鎖附在機(jī)臺(tái)上，而且通過(guò)長(zhǎng)槽的設(shè)置可以提供晶粒吸料軌道位置上的調(diào)整。換句話說(shuō)，通過(guò)鎖附長(zhǎng)槽361的特性，可以因應(yīng)各種的需求，例如因應(yīng)不同的晶粒尺寸、或者對(duì)進(jìn)料軌道裁切或其它加工，來(lái)調(diào)整進(jìn)料軌道的位置，以達(dá)到可重復(fù)利用而節(jié)省資源和成本的功效。
[0034]再者，如圖3所示，固定臺(tái)36開(kāi)設(shè)有三個(gè)落料通孔362，落料通孔362沿著進(jìn)料平臺(tái)32等距離地布局設(shè)置，并且每一落料通孔362包括一斜面363，斜面363朝向一晶粒的進(jìn)料方向，斜面363與進(jìn)料平臺(tái)32的水平夾角為30度。因此，本實(shí)施例通過(guò)落料通孔362的設(shè)置，使得沒(méi)有依序排列在進(jìn)料平臺(tái)32上的晶粒將落入落料通孔362內(nèi)重新進(jìn)料，以避免因位置不正確的晶粒持續(xù)進(jìn)給到吸料段2造成吸料機(jī)構(gòu)無(wú)法吸取或吸取位置不正而導(dǎo)致測(cè)試失效。再者，落料通孔362的斜面363的設(shè)置則可以協(xié)助晶粒的落料，可以避免晶粒以垂直的角度落下而遭受損傷。
[0035]需要聲明的是，上述實(shí)用新型內(nèi)容及【具體實(shí)施方式】意在證明本實(shí)用新型所提供技術(shù)方案的實(shí)際應(yīng)用，不應(yīng)解釋為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實(shí)用新型的精神和原理內(nèi)，當(dāng)可作各種修改、等同替換或改進(jìn)。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以所附權(quán)利要求書(shū)為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述晶粒吸料軌道包括: 一吸料段，所述吸料段包括一第一導(dǎo)引側(cè)壁和一吸料平臺(tái)，所述第一導(dǎo)引側(cè)壁鄰接于所述吸料平臺(tái)的一側(cè)緣并且向上凸出于所述吸料平臺(tái)；和 一軌道本體，所述軌道本體包括一第二導(dǎo)引側(cè)壁和一進(jìn)料平臺(tái)，所述第二導(dǎo)引側(cè)壁鄰接于所述進(jìn)料平臺(tái)的一側(cè)緣并且向上凸出于所述進(jìn)料平臺(tái)； 其中，所述吸料段可拆卸式地組設(shè)在所述軌道本體的一側(cè)端，所述吸料段的所述第一導(dǎo)引側(cè)壁和所述吸料平臺(tái)分別對(duì)應(yīng)連接在所述軌道本體的所述第二導(dǎo)引側(cè)壁和所述進(jìn)料T D ο
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述吸料段為一 L型構(gòu)件，所述吸料段包括一吸料側(cè)和一固定側(cè)，所述第一導(dǎo)引側(cè)壁和所述吸料平臺(tái)位于所述吸料側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述晶粒吸料軌道還包括一鎖附螺栓，所述吸料段的所述固定側(cè)上開(kāi)設(shè)有一貫穿孔，所述軌道本體的所述側(cè)端上開(kāi)設(shè)有一螺孔，所述鎖附螺栓貫穿經(jīng)過(guò)所述吸料段的所述貫穿孔并且鎖附于所述軌道本體的所述螺孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述軌道本體的所述側(cè)端上凸設(shè)有一定位銷，所述吸料段的所述固定側(cè)上開(kāi)設(shè)有一定位孔，所述軌道本體的所述定位銷插設(shè)在所述吸料段的所述定位孔內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述軌道本體的所述側(cè)端上凸設(shè)有一定位臺(tái)，所述吸料段的所述固定側(cè)上凹設(shè)有一定位槽，所述軌道本體的所述定位臺(tái)容納設(shè)置在所述吸料段的所述定位槽內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述軌道本體還包括一固定臺(tái)，所述固定臺(tái)鄰接在所述進(jìn)料平臺(tái)，所述固定臺(tái)上開(kāi)設(shè)有至少一鎖附長(zhǎng)槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述固定臺(tái)開(kāi)設(shè)有多個(gè)落料通孔，所述落料通孔沿著所述進(jìn)料平臺(tái)等距離地布設(shè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，每一落料通孔包括一斜面，所述斜面朝向一晶粒的進(jìn)料方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述斜面與所述進(jìn)料平臺(tái)的水平夾角為30度。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可更換式吸料段的晶粒吸料軌道，其特征在于，所述多個(gè)落料通孔為三個(gè)落料通孔。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK203760429SQ201420068349
【公開(kāi)日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年2月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
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