一種去磷硅玻璃清洗的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種去磷硅玻璃清洗機，用于清洗晶硅太陽能電池的硅片，包括用于去除硅片正面的磷硅玻璃的HF酸槽和用于去除硅片背面和邊緣的N型硅的刻蝕槽；所述HF酸槽設于所述刻蝕槽之前。采用本實用新型，硅片先經(jīng)過HF酸槽的去磷硅玻璃處理，然后再經(jīng)過刻蝕槽的去除硅片背面和邊緣的N型硅處理，硅片正面邊緣的PN結(jié)就不會被刻蝕掉，從而不影響電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
【專利說明】一種去磷硅玻璃清洗機

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及電池【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種制作晶硅太陽電池的去磷硅玻璃清洗機。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池是一種有效地吸收太陽輻射能，利用光生伏打效應把光能轉(zhuǎn)換成電能的器件，當太陽光照在半導體P-N結(jié)(P-N Junct1n)上，形成新的空穴-電子對(V_Epair)，在P-N結(jié)電場的作用下，空穴由N區(qū)流向P區(qū)，電子由P區(qū)流向N區(qū)，接通電路后就形成電流。由于是利用各種勢壘的光生伏特效應將太陽光能轉(zhuǎn)換成電能的固體半導體器件，故又稱太陽能電池或光伏電池，是太陽能電池陣電源系統(tǒng)的重要組件。太陽能電池主要有晶硅(Si)電池，三五族半導體電池(GaAs，Cds/Cu2S, Cds/CdTe, Cds/InP, CdTe/Cu2Te)，無機電池，有機電池等，其中晶硅太陽能電池居市場主流主導地位。晶硅太陽能電池的基本材料為純度達0.999999、電阻率在10歐?厘米以上的P型單晶硅，包括正面絨面、正面p_n結(jié)、正面減反射膜、正背面電極等部分。
[0003]晶硅太陽能電池的制造工藝有6個主要步驟，分別為制絨，擴散，去磷硅玻璃和背結(jié)，鍍膜，絲網(wǎng)印刷，燒結(jié)。其中去磷硅玻璃和背結(jié)采用化學刻蝕的原理，業(yè)界使用的是去磷硅玻璃鏈式清洗機。該清洗機由7個槽構(gòu)成，分別為刻蝕槽，水槽，堿槽，水槽，HF酸槽，水槽，風干槽。刻蝕槽的作用是去除硅片背面和邊緣的N型硅；HF酸槽的作用是去除硅片正面的磷硅玻璃。
[0004]磷硅玻璃是硅片擴散后的副產(chǎn)物，是親水的。當硅片通過去磷硅玻璃鏈式清洗機時，部分刻蝕液會從硅片邊緣滲透到硅片的正面，硅片正面邊緣的部分PN結(jié)會被刻蝕掉。因此，電池的開路電壓和短路電流就會受到影響，最終降低電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種不會降低太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率的去磷硅玻璃清洗機。
[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種去磷硅玻璃清洗機，用于清洗晶娃太陽能電池的娃片，依次包括用于去除娃片正面的磷娃玻璃的HF酸槽和用于去除娃片背面和邊緣的N型硅的刻蝕槽；所述HF酸槽設于所述刻蝕槽之前。
[0007]作為上述方案的改進，所述HF酸槽和刻蝕槽之間還設有第一堿槽、第一風干槽；
[0008]所述HF酸槽、第一堿槽、第一風干槽和刻蝕槽依次相連。
[0009]作為上述方案的改進，所述HF酸槽和第一堿槽之間設有第一水槽。
[0010]作為上述方案的改進，所述第一堿槽和第一風干槽之間設有第二水槽。
[0011]作為上述方案的改進，所述HF酸槽、第一水槽、第一堿槽、第二水槽、第一風干槽、刻蝕槽依次相連。
[0012]作為上述方案的改進，所述去磷硅玻璃清洗機還包括第二堿槽、第二風干槽，所述第二堿槽、第二風干槽設于所述刻蝕槽之后。
[0013]作為上述方案的改進，所述第二堿槽和刻蝕槽之間還設有第三水槽。
[0014]作為上述方案的改進，所述第二堿槽和第二風干槽之間還設有第四水槽。
[0015]作為上述方案的改進，所述HF酸槽、第一水槽、第一堿槽、第二水槽、第一風干槽、刻蝕槽、第三水槽、第二堿槽、第四水槽和第二風干槽依次相連。
[0016]實施本實用新型，具有如下有益效果:
[0017]本實用新型提供了一種去磷硅玻璃清洗機，包括用于去除硅片正面的磷硅玻璃的HF酸槽和用于去除硅片背面和邊緣的N型硅的刻蝕槽，所述HF酸槽設于刻蝕槽之前。本實用新型去磷硅玻璃清洗機的HF酸槽設于刻蝕槽之前，硅片先經(jīng)過HF酸槽的去磷硅玻璃處理，然后再經(jīng)過刻蝕槽的去除硅片背面和邊緣的N型硅處理，硅片正面的磷硅玻璃首先被去除掉后，硅片正面處于脫水的狀態(tài)。當硅片再進入刻蝕槽時，刻蝕液不會從硅片邊緣滲透到硅片正面。硅片正面邊緣的PN結(jié)就不會被刻蝕掉，從而不影響電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1是現(xiàn)有去磷硅玻璃清洗機的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本實用新型去磷硅玻璃清洗機的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0020]為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實用新型作進一步地詳細描述。
[0021]參見圖1，圖1顯示了現(xiàn)有去磷硅玻璃清洗機，該清洗機由7個槽構(gòu)成，分別為刻蝕槽1，水槽2，堿槽3，水槽4，HF酸槽5，水槽6，風干槽7。
[0022]其中，刻蝕槽I的作用是去除硅片背面和邊緣的N型硅；HF酸槽5的作用是去除硅片正面的磷硅玻璃。
[0023]磷硅玻璃是硅片擴散后的副產(chǎn)物，是親水的。硅片先經(jīng)過刻蝕槽I再經(jīng)過HF酸槽5，當硅片通過刻蝕槽I時，部分刻蝕液會從硅片邊緣滲透到硅片的正面，硅片正面邊緣的部分PN結(jié)會被刻蝕掉。因此，電池的開路電壓和短路電流就會受到影響，最終降低電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
[0024]參見圖2，本實用新型提供了一種去磷硅玻璃清洗機，用于清洗晶硅太陽能電池的硅片，依次包括用于去除硅片正面的磷硅玻璃的HF酸槽I和用于去除硅片背面和邊緣的N型娃的刻蝕槽6 ;所述HF酸槽I設于所述刻蝕槽6之前。
[0025]具體的，所述HF酸槽I和刻蝕槽6之間還設有第一堿槽3、第一風干槽5 ;所述HF酸槽1、第一堿槽3、第一風干槽5和刻蝕槽6依次相連。
[0026]所述HF酸槽I和第一堿槽3之間設有第一水槽2。
[0027]所述第一堿槽3和第一風干槽5之間設有第二水槽4。
[0028]即，所述HF酸槽1、第一水槽2、第一堿槽3、第二水槽4、第一風干槽5、刻蝕槽6依次相連。
[0029]進一步，作為本實用新型優(yōu)選的實施方式，所述去磷硅玻璃清洗機還包括第二堿槽8、第二風干槽10，所述第二堿槽8、第二風干槽10設于所述刻蝕槽6之后。
[0030]所述第二堿槽8和刻蝕槽6之間還設有第三水槽7。
[0031]所述第二堿槽8和第二風干槽10之間還設有第四水槽9。
[0032]S卩，所述HF酸槽1、第一水槽2、第一堿槽3、第二水槽4、第一風干槽5、刻蝕槽6、第三水槽7、第二堿槽8、第四水槽9和第二風干槽10依次相連。
[0033]與圖1所示的現(xiàn)有去磷硅玻璃清洗機相比，本實用新型在刻蝕槽6的前端增加了HF酸槽1、第一水槽2、第一堿槽3、第二水槽4、第一風干槽5等五個槽，再將刻蝕槽6后端的HF酸槽和水槽去掉。
[0034]本實用新型去磷硅玻璃清洗機的HF酸槽I設于刻蝕槽6之前，硅片先經(jīng)過HF酸槽I的去磷硅玻璃處理，然后再經(jīng)過刻蝕槽6的去除硅片背面和邊緣的N型硅處理，即將傳統(tǒng)去磷硅玻璃清洗機的兩個功能改變先后順序。
[0035]硅片正面的磷硅玻璃首先被去除掉后，硅片正面處于脫水的狀態(tài)。當硅片再進入刻蝕槽6時，刻蝕液不會從硅片邊緣滲透到硅片正面。硅片正面邊緣的PN結(jié)就不會被刻蝕掉，從而不影響電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
[0036]以上所述是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種去磷硅玻璃清洗機，用于清洗晶硅太陽能電池的硅片，其特征在于，包括用于去除硅片正面的磷硅玻璃的HF酸槽和用于去除硅片背面和邊緣的N型硅的刻蝕槽； 所述HF酸槽設于所述刻蝕槽之前。
2.如權(quán)利要求1所述的去磷硅玻璃清洗機，其特征在于，所述HF酸槽和刻蝕槽之間還設有第一堿槽、第一風干槽； 所述HF酸槽、第一堿槽、第一風干槽和刻蝕槽依次相連。
3.如權(quán)利要求2所述的去磷硅玻璃清洗機，其特征在于，所述HF酸槽和第一堿槽之間設有第一水槽。
4.如權(quán)利要求3所述的去磷硅玻璃清洗機，其特征在于，所述第一堿槽和第一風干槽之間設有第二水槽。
5.如權(quán)利要求4所述的去磷硅玻璃清洗機，其特征在于，所述HF酸槽、第一水槽、第一堿槽、第二水槽、第一風干槽、刻蝕槽依次相連。
6.如權(quán)利要求5所述的去磷硅玻璃清洗機，其特征在于，所述去磷硅玻璃清洗機還包括第二堿槽、第二風干槽，所述第二堿槽、第二風干槽設于所述刻蝕槽之后。
7.如權(quán)利要求6所述的去磷硅玻璃清洗機，其特征在于，所述第二堿槽和刻蝕槽之間還設有第三水槽。
8.如權(quán)利要求7所述的去磷硅玻璃清洗機，其特征在于，所述第二堿槽和第二風干槽之間還設有第四水槽。
9.如權(quán)利要求8所述的去磷硅玻璃清洗機，其特征在于，所述HF酸槽、第一水槽、第一堿槽、第二水槽、第一風干槽、刻蝕槽、第三水槽、第二堿槽、第四水槽和第二風干槽依次相連。
【文檔編號】H01L31/18GK204118040SQ201420404074
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年7月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月22日
【發(fā)明者】方結(jié)彬, 秦崇德, 石強, 何達能, 陳剛 申請人:廣東愛康太陽能科技有限公司