本發(fā)明屬于微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種測溫裝置、基座及反應(yīng)腔室。

背景技術(shù)：

諸如物理氣相沉積的半導(dǎo)體加工設(shè)備的反應(yīng)腔室內(nèi)通常設(shè)置有基座，基座不僅用于承載托盤，還用于對位于其上的托盤進(jìn)行溫度控制，以間接控制位于托盤上的基片，以使其達(dá)到工藝所需的溫度。

為實現(xiàn)溫度控制，基座上設(shè)置有測溫裝置，測溫裝置通常分為接觸式和非接觸式，接觸式主要包括熱電偶，其測量原理為熱電效應(yīng)，即兩種材質(zhì)不同的金屬導(dǎo)體或半導(dǎo)體首尾連接形成閉合回路，只要兩個連接點的溫度不同，就會產(chǎn)生熱電勢形成熱電流。圖1a為應(yīng)用現(xiàn)有的測溫裝置的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖1b為圖1a中測溫裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，請參閱圖1a和圖1b，在反應(yīng)腔室10內(nèi)設(shè)置有基座11，基座11上設(shè)置有測溫裝置，測溫裝置包括測溫體12和安裝體13，其中，測溫體包括測溫電極14、信號線(圖中未示出)和保護(hù)殼15，其中，測溫電極14和信號線設(shè)置在保護(hù)殼15內(nèi)，保護(hù)殼15不僅用于支撐測溫電極14還用于支撐托盤S；測溫電極14設(shè)置在靠近托盤S的一端，用于檢測托盤S的溫度；信號線的一端與測溫電極相鄰，另一端與安裝體13相連，以將測溫電極14檢測的信號引出。安裝體13固定在基座11上，其上下兩端對應(yīng)設(shè)置有電連接的上電極和下電極，信號線的另一端與安裝體13的上電極相連，安裝體的下電極作為測溫電極14獲得的測溫信號的引出端。

在實際應(yīng)用中，由于測溫電極14的測溫位置與安裝體13的安裝位置不在同一豎直方向上，因此，需要將測溫體進(jìn)行折彎，如圖1a和圖1b所示，采用上述折彎型的測溫裝置不可避免地會存在以下問題：

其一，折彎狀的測溫裝置需要專門的制作工藝制作，且加工精度差。

其二，由于需要折彎，其高溫強度偏低，長期使用變形，造成測溫電極不能與托盤S接觸，影響使用。

其三，由于測溫體和安裝體一般需要采用諸如焊接等不可拆卸的方式固定，這不僅造成其安裝維護(hù)困難，而且在需要對測溫體進(jìn)行更換時需要整體更換，造成維護(hù)成本較高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種測溫裝置、基座及反應(yīng)腔室，不僅測溫體可以采用更耐溫的材料，從而可以避免高溫變形而影響使用，而且還便于制作和加工精度高；另外，由于測溫體和安裝體各自與基座固定連接，這與現(xiàn)有技術(shù)相比，不僅可以對測溫體進(jìn)行單獨更換，從而可以降低維護(hù)成本；而且還便于安裝維護(hù)。

為解決上述問題之一，本發(fā)明提供了一種測溫裝置，安裝在基座上，其包括測溫體、安裝體和信號線，所述測溫體，其一端設(shè)置有測溫電極，另一端固定在所述基座上的與所述測溫電極的預(yù)設(shè)測溫位置對應(yīng)的位置處；所述安裝體，其固定在所述基座上的預(yù)設(shè)安裝位置處；所述信號線，連接所述測溫電極和所述安裝體，用于將所述測溫電極獲得的測溫信號自所述安裝體引出。

優(yōu)選地，還包括設(shè)置在所述測溫體和所述基座之間的調(diào)節(jié)件，所述調(diào)節(jié)件用于調(diào)節(jié)所述測溫電極相對所述基座的高度。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)件包括在所述基座上設(shè)置的螺紋孔和所述測溫體的另一端上設(shè)置具有外螺紋的螺柱；所述螺柱設(shè)置在所述螺紋孔內(nèi)，且與所述螺紋孔采用螺紋方式連接。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)件還包括套置在所述螺柱上的螺母，所述螺母的外徑尺寸大于所述螺紋孔的內(nèi)徑，用以在所述螺柱進(jìn)入所述螺紋孔一定深度之后固定所述測溫體和所述基座。

優(yōu)選地，所述測溫電極設(shè)置在所述測溫體的內(nèi)部，所述信號線包 括第一信號線和第二信號線，所述第一信號線，位于所述測溫體的內(nèi)部，其兩端分別與所述測溫電極和所述第二信號線的第一端相連；所述第二信號線，其第二端與所述安裝體相連。

優(yōu)選地，所述安裝體的上下端對應(yīng)設(shè)置有電連接的上電極和下電極，所述信號線與所述安裝體的上電極相連，所述安裝體的下電極作為所述測溫信號的引出端。

優(yōu)選地，所述安裝體和所述基座采用螺紋方式固定連接。

優(yōu)選地，在所述安裝體和所述基座相接觸的表面上設(shè)置有環(huán)形凹槽，在所述環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)置有密封圈，用以密封二者之間的間隙。

本發(fā)明還提供一種基座，所述基座上設(shè)置有測溫裝置，所述測溫裝置采用本發(fā)明上述提供的測溫裝置。

本發(fā)明還提供一種反應(yīng)腔室，包括基座，所述基座采用本發(fā)明上述提供的基座。

本發(fā)明具有以下有益效果：

本發(fā)明提供的測溫裝置，其借助將測溫體固定在基座上的與測溫電極的預(yù)設(shè)測溫位置對應(yīng)的位置處，以及安裝體固定在基座上的預(yù)設(shè)安裝位置處，在預(yù)設(shè)測溫位置和預(yù)設(shè)安裝位置不在同一豎直方向上的情況下，可以不需要測溫體折彎，這與現(xiàn)有技術(shù)相比，不僅測溫體可以采用更耐溫的材料，從而可以避免高溫變形而影響使用，而且還便于制作和加工精度高；另外，由于測溫體和安裝體各自與基座固定連接，這與現(xiàn)有技術(shù)相比，不僅可以對測溫體進(jìn)行單獨更換，從而可以降低維護(hù)成本；而且還便于安裝維護(hù)。

本發(fā)明提供的基座，其采用本發(fā)明另一技術(shù)方案提供的測溫裝置，不僅可以提高基座的使用壽命，而且可以簡化制備工藝和提高加工精度；另外，不僅可以降低維護(hù)成本，而且還便于維護(hù)。

本發(fā)明提供的反應(yīng)腔室，其采用本發(fā)明另一技術(shù)方案提供的基座，不僅可以提高反應(yīng)腔室的使用壽命，而且可以簡化制備工藝和提高加工精度；另外，不僅可以降低維護(hù)成本，而且還便于維護(hù)。

附圖說明

圖1a為應(yīng)用現(xiàn)有的測溫裝置的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖1b為圖1a中測溫裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2a為應(yīng)用本發(fā)明實施例提供的測溫裝置的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2b為圖2a中區(qū)域I的局部放大圖。

具體實施方式

為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對本發(fā)明提供的測溫裝置、基座及反應(yīng)腔室進(jìn)行詳細(xì)描述。

圖2a為應(yīng)用本發(fā)明實施例提供的測溫裝置的反應(yīng)腔室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2b為圖2a中區(qū)域I的局部放大圖。請參閱圖2a和圖2b，本實施例提供的測溫裝置，安裝在基座20上，其包括測溫體21、安裝體22和信號線。其中，測溫體21的一端設(shè)置有測溫電極(圖中未示出)，另一端固定在基座20上的與測溫電極的預(yù)設(shè)測溫位置對應(yīng)的位置處(即，預(yù)設(shè)測溫位置的正投影所在位置)，預(yù)設(shè)測溫位置如圖2b中測溫體21的一端與托盤S相接觸的位置；基座20上的與預(yù)設(shè)測溫位置對應(yīng)的位置如圖2b中測溫體21的另一端所在的位置。

安裝體22，其固定在基座上的預(yù)設(shè)安裝位置處，預(yù)設(shè)安裝位置如圖2b中安裝體22所在的位置。信號線，連接測溫電極和安裝體22，用于將測溫電極獲得的測溫信號自安裝體引出。

由上可知，其借助將測溫體21固定在基座20上的與測溫電極的預(yù)設(shè)測溫位置對應(yīng)的位置處，以及安裝體22固定在基座20上的預(yù)設(shè)安裝位置處，在預(yù)設(shè)測溫位置和預(yù)設(shè)安裝位置不在同一豎直方向上的情況下，可以不需要測溫體21折彎，這與現(xiàn)有技術(shù)相比，不僅測溫體21可以采用更耐溫的材料，從而可以避免高溫變形而影響使用，而且還便于制作和加工精度高；另外，由于測溫體21和安裝體22各自與基座20固定連接，這與現(xiàn)有技術(shù)相比，不僅可以對測溫體21進(jìn)行單獨更換，從而可以降低維護(hù)成本；而且還便于安裝維護(hù)。

具體地，在本實施例中，測溫電極設(shè)置在測溫體21的內(nèi)部，信號線包括第一信號線(圖中未示出)和第二信號線23，第一信號線，位 于測溫體21的內(nèi)部，其兩端與測溫電極和第二信號線23的第一端相連；第二信號線23，其第二端與安裝體22相連，從而實現(xiàn)測溫電極和安裝體22的連接。

安裝體22的上下端對應(yīng)設(shè)置有電連接的上電極221和下電極222，信號線(即，第二信號線23)與安裝體22的上電極221相連，具體地，為實現(xiàn)第二信號線23與上電極221相連，在上電極221所在位置處設(shè)置有盲孔，借助螺釘將第二信號線23的第二端固定在盲孔內(nèi)且與上電極221相連；安裝體的下電極222作為測溫信號的引出端。并且，如圖2b所示，在預(yù)設(shè)安裝位置處設(shè)置有通孔，安裝體22對應(yīng)通孔設(shè)置且固定在基座20的下端面上，使得上電極221位于基座20的上方，下電極222位于基座20的下方。

優(yōu)選地，測溫裝置還包括設(shè)置在測溫體21和基座20之間的調(diào)節(jié)件24，調(diào)節(jié)件24用于調(diào)節(jié)測溫電極相對基座20的高度，這與現(xiàn)有技術(shù)相比，還可以保證測溫電極高度的精度。

具體地，在本實施例中，調(diào)節(jié)件24包括在基座20上設(shè)置的螺紋孔241和測溫體21的另一端上設(shè)置具有外螺紋的螺柱242；螺柱242設(shè)置在螺紋孔241內(nèi)，且與螺紋孔241采用螺紋方式連接，通過調(diào)節(jié)螺柱242進(jìn)入螺紋孔241的深度來調(diào)節(jié)測溫電極相對基座20的高度。

優(yōu)選地，調(diào)節(jié)件24還包括套置在螺柱242上的螺母243，螺母243的外徑尺寸大于螺紋孔241的內(nèi)徑，用以在螺柱242進(jìn)入螺紋孔241一定深度之后固定測溫體21和基座20，以防止二者高度發(fā)生變化。

另外優(yōu)選地，安裝體22和基座20采用螺紋方式固定連接，固定方式簡單、成本低。

并且，在安裝體22和基座20相接觸的表面上設(shè)置有環(huán)形凹槽，在環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)置有密封圈25，用以密封二者之間的間隙。

需要說明的是，盡管本實施例中調(diào)節(jié)件24包括螺紋孔241和螺柱242；但是，本發(fā)明并不局限于此，在實際應(yīng)用中，調(diào)節(jié)件24還可以采用其他結(jié)構(gòu)，只要能夠?qū)崿F(xiàn)上述功能即可，在此不再一一贅述。

作為另外一個技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種基座20，參考圖2a和圖2b，基座20上設(shè)置有測溫裝置，測溫裝置采用上述實施例提供的 測溫裝置。

基座20還包括波紋管26，波紋管26通過螺釘固定在基座20的下表面上，且在波紋管26和基座20的接觸面上設(shè)置有密封件，用以密封二者之間的間隙，這是因為波紋管26的內(nèi)部通道內(nèi)為大氣環(huán)境，基座20所在環(huán)境為真空環(huán)境。

并且，波紋管26的內(nèi)部通道可作為自安裝體22引出測溫信號的信號線的通道，為此，測溫裝置中的預(yù)設(shè)安裝位置設(shè)置基座20的與波紋管26的內(nèi)部通道對應(yīng)的區(qū)域，并且，借助基座20和安裝體22之間的密封圈25可以進(jìn)一步保證基座20所在的真空環(huán)境。

本實施例提供的基座，其采用本發(fā)明上述實施例提供的測溫裝置，不僅可以提高基座的使用壽命，而且可以簡化制備工藝和提高加工精度；另外，不僅可以降低維護(hù)成本，而且還便于維護(hù)。

作為另外一個技術(shù)方案，本發(fā)明還提供一種反應(yīng)腔室100，參考圖2a和圖2b，該反應(yīng)腔室100包括基座20，基座20采用上述實施例提供的基座20。

本實施例提供的反應(yīng)腔室，其采用本發(fā)明另一技術(shù)方案提供的基座，不僅可以提高反應(yīng)腔室的使用壽命，而且可以簡化制備工藝和提高加工精度；另外，不僅可以降低維護(hù)成本，而且還便于維護(hù)。

可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。