技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件及其制備方法、電子裝置。所述半導(dǎo)體器件包括：半導(dǎo)體襯底；絕緣層，位于所述半導(dǎo)體襯底上方，以覆蓋所述半導(dǎo)體襯底，其中，所述絕緣層包括熱的良導(dǎo)體；鰭片，位于所述熱的良導(dǎo)體上。本發(fā)明中所述絕緣層不僅能夠起到絕緣的作用，還能很好的將器件產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)出去，進(jìn)而避免了器件底部自加熱效應(yīng)，提高了所述半導(dǎo)體器件的性能和良率。

技術(shù)研發(fā)人員：周鳴
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.07
技術(shù)公布日：2017.09.15