1.一種利用納米結(jié)構(gòu)的金屬界面的鍵合方法,其特征在于,包括以下步驟:
A)分別在兩個(gè)器件的鍵合目標(biāo)面濺射金屬,得到兩個(gè)復(fù)合有金屬基底的器件;
B)將納米金屬顆粒懸浮液涂覆在金屬基底表面,形成具有鍵合層/金屬基底的器件;
C)將兩個(gè)具有鍵合層/金屬基底的器件的鍵合層相對(duì)疊加后,按照以下步驟完成器件的互聯(lián):
第一步:向所述兩個(gè)鍵合層施加超聲振動(dòng)載荷;
第二步:向所述兩個(gè)鍵合層施加恒定壓力和溫度,并在兩個(gè)金屬基底間連接周期性脈沖電流,且每個(gè)周期包括兩個(gè)同幅反向電流脈沖;
第三步:向所述兩個(gè)鍵合層施加恒定壓力和溫度;
第四步:循環(huán)第二步和第三步;
在所述第二步和第三步中,所述恒定壓力為1~5MPa,溫度為80~150℃。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍵合方法,其特征在于,步驟A)中,金屬為銅、鎳或金。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍵合方法,其特征在于,所述納米金屬顆粒懸浮液按照如下方法進(jìn)行制備:
a)將Cu(NO3)2溶液與NaOH溶液進(jìn)行加熱反應(yīng)后,離心分離,得到氧化銅納米顆粒;
b)將十六烷基三甲基溴化銨、聯(lián)氨溶液與氧化銅納米顆?;旌线M(jìn)行反應(yīng)后,離心分離,干燥后,得到納米銅顆粒;
c)將所述納米銅顆粒與水混合,得到納米金屬顆粒懸浮液。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍵合方法,其特征在于,所述納米金屬顆粒的尺寸為50~100nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍵合方法,其特征在于,所述施加超聲振動(dòng)載荷的功率為15~40W,時(shí)間為2~5秒。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫鍵合方法,其特征在于,所述周期性脈沖電流幅值為10~100安培,脈寬1~2毫秒,頻率大于50赫茲,所述周期性脈沖電流施加時(shí)間為10~30秒。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫鍵合方法,其特征在于,所述第三步的持續(xù)時(shí)間為2~6分鐘。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫鍵合方法,其特征在于,所述循環(huán)第二步和第三步的時(shí)間為30~80分鐘。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫鍵合方法,其特征在于,向所述兩個(gè)鍵合層施加恒定壓力和溫度的具體方法為:
將兩個(gè)熱板分別疊加于兩個(gè)復(fù)合有鍵合層/金屬基底的器件的外層后,熱板對(duì)兩個(gè)復(fù)合有鍵合層/金屬基底的器件進(jìn)行加熱,同時(shí)恒定的壓力垂直施加于所述兩個(gè)熱板上。