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      金屬氧化物改性QLED器件及其制備方法與流程

      文檔序號(hào):12479425閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種金屬氧化物改性QLED器件,包括依次層疊設(shè)置的襯底、底電極、空穴注入層、空穴傳輸層、量子點(diǎn)發(fā)光層、電子傳輸層和頂電極,其特征在于,所述空穴注入層、電子傳輸層為IA族元素?fù)诫s的金屬氧化物,其中,所述空穴注入層中,所述IA族元素與所述金屬氧化物中金屬元素的原子摩爾比為(0.01-0.15):1;所述電子傳輸層中,所述IA族元素與所述金屬氧化物中金屬元素的原子摩爾比為(0.5-0.8):1,且沿著所述底電極往所述量子點(diǎn)發(fā)光層的方向,所述空穴注入層中所述IA族元素的摻雜比例逐漸降低。

      2.如權(quán)利要求1所述的金屬氧化物改性QLED器件,其特征在于,所述空穴注入層由n層膜層組成,沿著所述底電極往所述量子點(diǎn)發(fā)光層的方向依次命名為第一膜層、第二膜層、第三膜層…第N-1膜層、第N膜層,各膜層中所述IA族元素的摻雜比例固定,且從所述第一膜層到所述第N膜層,所述IA族元素的摻雜比例逐漸降低。

      3.如權(quán)利要求1所述的金屬氧化物改性QLED器件,其特征在于,所述空穴注入層由n層膜層組成,沿著所述底電極往所述量子點(diǎn)發(fā)光層的方向依次命名為第一膜層、第二膜層、第三膜層…第N-1膜層、第N膜層,從所述第一膜層到所述第N膜層,所述IA族元素的摻雜比例逐漸降低;

      沿著所述底電極往所述量子點(diǎn)發(fā)光層的方向,單獨(dú)的各膜層中所述IA族元素的摻雜比例也逐漸降低,且所述第N-1膜層中所述IA族元素的最小摻雜比例≥所述第N膜層中所述IA族元素的最大摻雜比例。

      4.如權(quán)利要求2或3所述的金屬氧化物改性QLED器件,其特征在于,所述空穴注入層由5層厚度相同的膜層組成,且沿著所述底電極往所述量子點(diǎn)發(fā)光層的方向依次命名為第一膜層、第二膜層、第三膜層、第四膜層、第五膜層,其中,

      所述第一膜層中,所述IA族元素與所述金屬氧化物中金屬元素的原子摩爾比為(0.15-0.13):1;

      所述第二膜層中,所述IA族元素與所述金屬氧化物中金屬元素的原子摩爾比為(0.13-0.11):1;

      所述第三膜層中,所述IA族元素與所述金屬氧化物中金屬元素的原子摩爾比為(0.11-0.08):1;

      所述第四膜層中,所述IA族元素與所述金屬氧化物中金屬元素的原子摩爾比為(0.08-0.03):1;

      所述第五膜層中,不摻雜IA族元素。

      5.如權(quán)利要求1-3任一所述的金屬氧化物改性QLED器件,其特征在于,所述電子傳輸層中所述IA族元素的摻雜比例固定。

      6.如權(quán)利要求1-3任一所述的金屬氧化物改性QLED器件,其特征在于,所述空穴注入層、所述電子傳輸層采用所述IA族元素的疊氮化物與所述金屬氧化物共蒸鍍制成。

      7.如權(quán)利要求1-3任一所述的金屬氧化物改性QLED器件,其特征在于,所述空穴注入層、所述電子傳輸層采用相同的金屬氧化物。

      8.如權(quán)利要求1-3任一所述的金屬氧化物改性QLED器件,其特征在于,所述空穴注入層的厚度為10-20nm;和/或

      所述電子傳輸層的厚度為20-40nm。

      9.如權(quán)利要求1-3任一所述的金屬氧化物改性QLED器件,其特征在于,所述金屬氧化物包括氧化鉬、氧化釩、氧化鎢、氧化銅。

      10.一種金屬氧化物改性QLED器件的制備方法,包括以下步驟:

      提供襯底,在所述襯底上沉積底電極;

      采用真空沉積的方法,沉積IA族元素?fù)诫s的金屬氧化物,在所述頂電極上沉積空穴注入層,且使得所述空穴注入層中,所述IA族元素與所述金屬氧化物中金屬原子的摩爾比為(0.01-0.15):1,且沿著所述底電極往量子點(diǎn)發(fā)光層的方向,所述空穴注入層中所述IA族元素的摻雜比例逐漸降低;

      在所述空穴注入層上依次沉積空穴傳輸層、量子點(diǎn)發(fā)光層;

      采用真空沉積的方法,沉積IA族元素?fù)诫s的金屬氧化物,在所述量子點(diǎn)發(fā)光層沉積電子傳輸層,且使得所述電子傳輸層中,所述IA族元素與所述金屬氧化物中金屬原子的摩爾比為(0.5-0.8):1;

      在所述電子傳輸層上沉積頂電極。

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