本實(shí)用新型涉及石墨舟技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件。

背景技術(shù)：

太陽能電池生產(chǎn)過程中利用管式PECVD在硅片上鍍減反射膜，利用石墨舟上的勾點(diǎn)對硅片進(jìn)行支撐，然后在硅片上沉積氮化硅薄膜。石墨舟在使用過程中隨著使用次數(shù)的增加，其表面沉積的氮化硅薄膜的厚度也隨之增加，影響石墨舟在使用中的導(dǎo)電性和電場均勻性等，對硅片上沉積的氮化硅薄膜的質(zhì)量造成影響。

基于以上描述，石墨舟在使用過程中需要定期清洗，在清洗烘干后需要進(jìn)行鍍舟，即在石墨舟表面沉積一層均勻的氮化硅薄膜，使石墨舟電場較為均勻，保證在硅片上沉積氮化硅薄膜時(shí)的沉積速率一致。但在鍍舟過程中會使勾點(diǎn)處沉積大量氮化硅，影響勾點(diǎn)導(dǎo)電性，增加勾點(diǎn)與硅片之間的接觸電阻，易出現(xiàn)勾點(diǎn)燒焦的現(xiàn)象，影響勾點(diǎn)使用壽命，降低了良品率，同時(shí)也避免了使用易損耗且成本較高的石墨舟假片。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提出一種石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件，解決了在鍍舟過程中勾點(diǎn)表面沉積薄膜，勾點(diǎn)與硅片之間產(chǎn)生接觸電阻以及勾點(diǎn)處易燒焦的問題。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件，所述石墨舟片上穿設(shè)有勾點(diǎn)，所述勾點(diǎn)保護(hù)件位于相鄰兩石墨舟片之間，并罩在相鄰的兩個(gè)石墨舟片上相對的兩個(gè)卡位部上，且所述勾點(diǎn)保護(hù)件與相鄰的兩個(gè)石墨舟片之間均為密封配合。

作為上述石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件的一種優(yōu)選方案，所述勾點(diǎn)保護(hù)件為一體的中空結(jié)構(gòu)。

作為上述石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件的一種優(yōu)選方案，所述勾點(diǎn)保護(hù)件為一體結(jié)構(gòu)，兩端分別開設(shè)有相互對稱的內(nèi)凹的容置部，兩端的容置部之間互不連通。

作為上述石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件的一種優(yōu)選方案，所述勾點(diǎn)保護(hù)件兩端的容置部由中間部連接。

作為上述石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件的一種優(yōu)選方案，所述容置部為半球狀。

作為上述石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件的一種優(yōu)選方案，所述勾點(diǎn)保護(hù)件包括兩個(gè)包覆結(jié)構(gòu)，兩個(gè)包覆結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離石墨舟片的一端相互抵持。

作為上述石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件的一種優(yōu)選方案，所述勾點(diǎn)保護(hù)件由硅樹脂玻璃纖維或者硅橡膠玻璃纖維制成。

作為上述石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件的一種優(yōu)選方案，所述勾點(diǎn)保護(hù)件由陶瓷制成。

作為上述石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件的一種優(yōu)選方案，所述勾點(diǎn)保護(hù)件的橫截面的形狀為圓環(huán)形。

本實(shí)用新型的有益效果：

本實(shí)用新型提出的石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件，設(shè)置在相鄰兩石墨舟片之間，在鍍舟過程中用于保護(hù)勾點(diǎn)，避免了勾點(diǎn)表面沉積薄膜，防止了勾點(diǎn)與硅片之間產(chǎn)生接觸電阻、勾點(diǎn)處燒焦，延長了勾點(diǎn)的使用壽命，提高了良品率，降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的石墨舟片的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的勾點(diǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的勾點(diǎn)和勾點(diǎn)保護(hù)件配合的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的勾點(diǎn)和勾點(diǎn)保護(hù)件配合的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的勾點(diǎn)和勾點(diǎn)保護(hù)件配合的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、石墨舟片；2、勾點(diǎn)；3、勾點(diǎn)保護(hù)件；

21、卡位部；41、容置部；42、中間部；51、包覆結(jié)構(gòu)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過具體實(shí)施方式來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。

實(shí)施例一：

如圖1-3所示，本實(shí)施方式保護(hù)一種石墨舟片的勾點(diǎn)保護(hù)件，石墨舟片1上穿設(shè)有勾點(diǎn)2，勾點(diǎn)2包括定位部和卡位部21，卡位部21突出于石墨舟片的表面，勾點(diǎn)保護(hù)件3位于相鄰兩石墨舟片1之間，勾點(diǎn)保護(hù)件3罩在相鄰的兩個(gè)石墨舟片1上相對的兩個(gè)卡位部21上，且勾點(diǎn)保護(hù)件3與相鄰的兩個(gè)石墨舟片1之間均為密封配合，勾點(diǎn)保護(hù)件3套在勾點(diǎn)2的卡位部21上，防止鍍舟過程中在勾點(diǎn)2的卡位部21上沉積大量氮化硅，避免防止勾點(diǎn)2與硅片之間的接觸電阻增加，有效地防止勾點(diǎn)2處燒焦，增加勾點(diǎn)2使用壽命，提高良品率，避免石墨舟假片的使用，降低了生產(chǎn)成本。

該實(shí)施例中的勾點(diǎn)保護(hù)件3的橫截面的形狀為圓環(huán)形，該結(jié)構(gòu)的勾點(diǎn)保護(hù)件3加工操作方便，同時(shí)還可以根據(jù)具體情況選擇勾點(diǎn)保護(hù)件3的具體結(jié)構(gòu)形狀，例如勾點(diǎn)保護(hù)件3的外表面的截面形狀為正方形，內(nèi)表面的截面形狀為圓形。

具體的，勾點(diǎn)保護(hù)件3為一體的中空結(jié)構(gòu)由陶瓷制成，該結(jié)構(gòu)簡單，加工方便，陶瓷的絕緣、耐高溫性能，能夠避免對勾點(diǎn)保護(hù)件3與石墨舟片1之間的電場的影響。

勾點(diǎn)保護(hù)件3還可以由硅樹脂玻璃纖維或者硅橡膠玻璃纖維制成，該勾點(diǎn)保護(hù)件3耐高溫，絕緣，耐磨性好。

實(shí)施例二：

如圖4所示，與實(shí)施例一不同之處在于：勾點(diǎn)保護(hù)件3為一體結(jié)構(gòu)，兩端分別開設(shè)有相互對稱的內(nèi)凹的容置部41，兩端的容置部41之間互不連通，且由中間部42連接，具體的，容置部41為半球狀，半球狀的容置部41與卡位部21的配合，穩(wěn)定性更好，防止鍍舟過程中在勾點(diǎn)2的卡位部21上沉積大量氮化硅，減少了勾點(diǎn)2與硅片的接觸電阻，增加了勾點(diǎn)2的使用壽命。

該實(shí)施例中的勾點(diǎn)保護(hù)件3的材質(zhì)可以選擇陶瓷、硅樹脂玻璃纖維或者者硅橡膠玻璃纖維。

實(shí)施例三：

如圖5所示，勾點(diǎn)保護(hù)件3還包括兩個(gè)包覆結(jié)構(gòu)51，兩個(gè)包覆結(jié)構(gòu)51遠(yuǎn)離石墨舟片1的一端相互抵持。勾點(diǎn)保護(hù)件3采用兩個(gè)包覆結(jié)構(gòu)51相互抵持，容易拆卸。

注意，上述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例。本領(lǐng)域技術(shù)人員會理解，本實(shí)用新型不限于這里所述的特定實(shí)施例，對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說能夠進(jìn)行各種明顯的變化、重新調(diào)整和替代而不會脫離本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，雖然通過以上實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了較為詳細(xì)的說明，但是本實(shí)用新型不僅僅限于以上實(shí)施例，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的情況下，還可以包括更多其他等效實(shí)施例，而本實(shí)用新型的范圍由所附的權(quán)利要求范圍決定。