本實(shí)用新型涉及太陽能電池片制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)上料裝置。

背景技術(shù)：

在太陽能電池片的制造過程中，硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時(shí)，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖8所示的石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過石墨舟工藝點(diǎn)定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜。

現(xiàn)有的石墨舟工藝點(diǎn)主要由卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的柱體形安裝部組成，卡塊為兩個(gè)且對(duì)稱分布在安裝部兩端面上，卡塊是自外向內(nèi)漸縮的圓柱體，其端面與側(cè)面之間采用圓弧過渡面，卡塊的根部與安裝部的端面之間分別形成用于卡合硅片的卡槽?，F(xiàn)有的石墨舟在使用到30run(次)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)邊緣發(fā)白現(xiàn)象，且到后期愈發(fā)嚴(yán)重，且在做MUL和NY工藝時(shí)，工藝點(diǎn)會(huì)燒焦，尤其是做MUL工藝時(shí)，工藝點(diǎn)燒焦加重，燒焦比例一度超過30％。因此在日常生產(chǎn)中，管式PECVD石墨舟維修及維護(hù)較為頻繁，現(xiàn)有的半自動(dòng)石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置在石墨舟的工藝點(diǎn)上料時(shí)，是采用人工上料，由于石墨舟上的工藝孔較多，因此上料時(shí)需要較多的工藝點(diǎn)，若僅靠人工安裝，人工工作量非常大，安裝效率較低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：為了克服現(xiàn)有現(xiàn)有的半自動(dòng)石墨舟工藝點(diǎn)安裝裝置在石墨舟的工藝點(diǎn)上料時(shí)，是采用人工上料，由于石墨舟上的工藝孔較多，因此上料時(shí)需要較多的工藝點(diǎn)，若僅靠人工安裝，人工工作量非常大，安裝效率較低的問題，提供一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)上料裝置。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)上料裝置，包括工藝點(diǎn)排布裝置和工藝點(diǎn)移送裝置，所述工藝點(diǎn)移送裝置設(shè)置在所述工藝點(diǎn)排布裝置的正上方。

進(jìn)一步的，所述工藝點(diǎn)排布裝置包括底座、安裝板和振動(dòng)料盤，所述安裝板滑動(dòng)安裝在所述底座上，所述安裝板通過移動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，兩個(gè)所述振動(dòng)料盤分別位于所述移動(dòng)裝置的兩側(cè)，所述安裝板上開有若干與石墨舟上的工藝孔相對(duì)應(yīng)的盲孔，兩個(gè)所述振動(dòng)料盤的出料口分別與所述安裝板同一端部的兩個(gè)所述盲孔同軸設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述工藝點(diǎn)移送裝置包括吸盤、驅(qū)動(dòng)吸盤升降的升降裝置和驅(qū)動(dòng)吸盤移動(dòng)的移動(dòng)裝置，所述吸盤通過吸盤安裝板固定安裝在所述升降裝置上，所述吸盤為陶瓷吸盤，若干所述吸盤在所述吸盤安裝板上的位置與石墨舟上的工藝孔的位置相對(duì)應(yīng)，所述升降裝置滑動(dòng)安裝在所述移動(dòng)裝置上。

為了便于在下一工序中，吸盤吸取工藝點(diǎn)，所述安裝板上盲孔的深度小于工藝點(diǎn)的高度。

為了更準(zhǔn)確的定位工藝點(diǎn)的位置，所述振動(dòng)料盤的出料口的半徑和盲孔的半徑均與工藝點(diǎn)的半徑相等，所述振動(dòng)料盤的出料口與所述安裝板的上表面貼合，工藝點(diǎn)從振動(dòng)料盤出來后，可以直接落入盲孔內(nèi)，避免了工藝點(diǎn)在落入盲孔的過程中工藝點(diǎn)的移動(dòng)與豎立。

進(jìn)一步的，為了簡化本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)，所述移動(dòng)裝置為絲桿驅(qū)動(dòng)裝置，包括絲桿，絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)裝置、具有滑槽的導(dǎo)軌和滑塊，所述絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)裝置與所述絲桿固定連接，所述滑塊與所述絲桿傳動(dòng)連接，所述滑塊滑動(dòng)安裝在所述導(dǎo)軌內(nèi)。

進(jìn)一步的，為了簡化本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)，所述升降裝置為推動(dòng)缸。

本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型使用工藝點(diǎn)排布裝置對(duì)工藝點(diǎn)按石墨舟上工藝孔的位置在安裝板上進(jìn)行一一對(duì)應(yīng)排布，將排布好的工藝點(diǎn)通過工藝點(diǎn)移送裝置輸送到下一工序進(jìn)行工藝點(diǎn)的安裝，工藝點(diǎn)的全部輸送工序均通過機(jī)器自動(dòng)完成，節(jié)省了人力，提高了安裝效率，提高了勞動(dòng)生產(chǎn)率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型的三維裝配示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的主視圖；

圖3是本實(shí)用新型中工藝點(diǎn)排布裝置的三維裝配示意圖；

圖4是本實(shí)用新型圖3中A處的放大圖；

圖5是本實(shí)用新型中工藝點(diǎn)移送裝置的三維裝配示意圖；

圖6是本實(shí)用新型中安裝板的三維示意圖；

圖7是本實(shí)用新型中吸盤與吸盤安裝的三維裝配示意圖；

圖8是石墨舟的俯視圖。

圖中：1.底座，2.安裝板，3.振動(dòng)料盤，4.盲孔，5.出料口，6.吸盤，7.絲桿，8.導(dǎo)軌，9.電機(jī)，10.石墨舟，11.升降氣缸，12.支架，13.吸盤安裝板。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。

如圖1和圖2所示的一種管式PECVD石墨舟工藝點(diǎn)上料裝置，包括工藝點(diǎn)排布裝置，所述工藝點(diǎn)排布裝置包括底座1、如圖6所示的安裝板2和振動(dòng)料盤3，所述底座1上固定安裝有兩條開有滑槽的平行導(dǎo)軌8，所述安裝板2下方固定安裝有滑塊，所述滑塊滑動(dòng)安裝在所述導(dǎo)軌8上，所述底座1上轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有絲桿7，所述滑塊與所述絲桿7傳動(dòng)連接，所述絲桿7通過電機(jī)9驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，兩個(gè)所述振動(dòng)料盤3分別位于所述導(dǎo)軌8的兩側(cè)，如圖3所示，所述安裝板2上開有若干與石墨舟10上的工藝孔相對(duì)應(yīng)的盲孔4，所述盲孔4的深度略小于工藝點(diǎn)的高度，兩個(gè)所述振動(dòng)料盤3的出料口5分別與所述安裝板2同一端部的兩個(gè)所述盲孔4同軸設(shè)置，如圖4所示，為了更準(zhǔn)確的定位工藝點(diǎn)的位置，所述振動(dòng)料盤3的出料口5的半徑和盲孔4的半徑均與工藝點(diǎn)的半徑相等，所述振動(dòng)料盤3的出料口5與所述安裝板2的上表面貼合，工藝點(diǎn)從振動(dòng)料盤3出來后，可以直接落入盲孔4內(nèi)，避免了工藝點(diǎn)在落入盲孔4的過程中工藝點(diǎn)的移動(dòng)與豎立。

所述底座1上通過支架12固定安裝兩條平行導(dǎo)軌8，支架12上轉(zhuǎn)動(dòng)安裝絲桿7，絲桿7通過電機(jī)9驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿7上傳動(dòng)安裝滑塊，滑塊滑動(dòng)設(shè)置在導(dǎo)軌8上的滑槽內(nèi)，滑塊上固定安裝升降氣缸11，升降氣缸11的伸出端穿過滑塊，與如圖7所示的吸盤安裝板13固定連接，如圖5所示，吸盤安裝板13位于安裝板2的正上方，吸盤安裝板13上固定安裝有吸盤6，若干所述吸盤6在所述吸盤安裝板13上的位置與石墨舟10上的工藝孔的位置相對(duì)應(yīng)，所述吸盤6為陶瓷吸盤。

工作工程：

1、將需要安裝的工藝點(diǎn)放入振動(dòng)料盤3內(nèi)，啟動(dòng)振動(dòng)料盤3，使工藝點(diǎn)進(jìn)入振動(dòng)料盤3的出料口5。

2、本裝置工作前，兩個(gè)振動(dòng)料盤3的出料口5分別與安裝板2同一端部的兩個(gè)盲孔4同軸設(shè)置，啟動(dòng)工藝點(diǎn)排布裝置中的電機(jī)9，電機(jī)9驅(qū)動(dòng)絲桿7轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿7帶動(dòng)安裝板2移動(dòng)，振動(dòng)料盤3的出料口5間歇性出料，出料的間隔時(shí)間相同，即安裝板2移動(dòng)一定距離后振動(dòng)料盤3出料，保證工藝點(diǎn)準(zhǔn)確落入安裝板2上的盲孔4內(nèi)。

3、在振動(dòng)料盤3的出料口5出料七次后，安裝板2上的盲孔4內(nèi)均已裝有工藝點(diǎn)，關(guān)閉振動(dòng)料盤3的出料口5。

4、安裝板2在裝滿工藝點(diǎn)后，正好移動(dòng)到吸盤安裝板13的正下方，吸盤安裝板13上的吸盤6與安裝板2上的盲孔4一一對(duì)應(yīng)，啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)吸盤安裝板13升降的升降氣缸11，升降氣缸11伸出端帶動(dòng)吸盤安裝板13向安裝板2靠近，待吸盤6與工藝點(diǎn)接觸后，關(guān)閉升降氣缸11，啟動(dòng)吸盤6，吸盤6將工藝點(diǎn)吸住，啟動(dòng)升降氣缸11，升降氣缸11伸出端回縮，帶動(dòng)吸盤安裝板13復(fù)位，關(guān)閉升降氣缸11。

5、啟動(dòng)工藝點(diǎn)排布裝置中的電機(jī)9，電機(jī)9反轉(zhuǎn)，帶動(dòng)安裝板2復(fù)位，重復(fù)第2和第3步驟。

6、啟動(dòng)工藝點(diǎn)移送裝置中的電機(jī)9，電機(jī)9轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)絲桿7轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿7轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)滑塊移動(dòng)，滑塊帶動(dòng)吸盤安裝板13向下移工序移動(dòng)，移動(dòng)到下移工序后，關(guān)閉電機(jī)9。

7、啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)吸盤安裝板13升降的升降氣缸11，升降氣缸11伸出端伸出，帶動(dòng)吸盤安裝板13向其正下方移動(dòng)，待吸盤6移動(dòng)到相應(yīng)位置時(shí)，關(guān)閉吸盤6，使吸盤6上的工藝點(diǎn)下落。

8、啟動(dòng)工藝點(diǎn)移送裝置中的電機(jī)9，電機(jī)9反動(dòng)，帶動(dòng)絲桿7轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿7轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)滑塊移動(dòng)，滑塊帶動(dòng)吸盤安裝板13遠(yuǎn)離，進(jìn)行復(fù)位，復(fù)位后關(guān)閉電機(jī)9。

以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。