本實用新型屬于電子顯微學(xué)元件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種透射EBSD(背散射電子衍射)夾具。

背景技術(shù)：

電子顯微鏡的發(fā)明將分辨本領(lǐng)提高到納米量級，同時也將顯微鏡的概念由單一的形貌觀察擴(kuò)展到集形貌觀察、晶體結(jié)構(gòu)、成分分析等于一體。

目前，常規(guī)EBSD分析具有空間分辨率低，絕緣樣品荷電效應(yīng)較強(qiáng)的缺點(diǎn)，嚴(yán)重影響分析質(zhì)量的提高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型為解決公知技術(shù)中存在的目前EBSD分析空間分辨率低，絕緣樣品荷電效應(yīng)強(qiáng)的問題而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、安裝使用方便、提高工作效率的透射EBSD夾具。

本實用新型為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是：

該透射EBSD夾具包括基座，基座為楔形結(jié)構(gòu)，基座的傾斜面上安裝有夾體，夾體上設(shè)置有通孔，夾頭上設(shè)置有與通孔相匹配的滑塊，夾頭通過滑塊活動安裝在夾體的通孔內(nèi)。

進(jìn)一步，所述的基座的底面安裝有螺釘孔。

進(jìn)一步，所述的夾頭與基座水平方向的夾角為70°。

進(jìn)一步，在不擰緊螺釘前提下，所述的滑塊可在一定范圍內(nèi)移動，調(diào)節(jié)夾頭的高度。

進(jìn)一步，所述的夾頭由圓柱桿以及頂端3mm環(huán)裝樣品鎖定機(jī)構(gòu)組成。

本實用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：該透射EBSD夾具結(jié)構(gòu)簡單，將裝有樣品的透射電鏡專用銅網(wǎng)安裝在夾頭上，通過基座固定在掃描電鏡樣品臺上，方便對樣品進(jìn)行透射EBSD觀察，具有空間分辨率高，荷電效應(yīng)弱的特點(diǎn)，大幅提高分析質(zhì)量。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例提供的透射EBSD夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型實施例提供的透射EBSD夾具的剖視圖；

圖3是本實用新型實施例提供的透射EBSD夾具的夾頭結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實用新型實施例提供的透射EBSD夾具的側(cè)視及工作原理圖。

圖中：1、基座；2、夾體；3、夾頭；4、通孔；5、滑塊。

具體實施方式

為能進(jìn)一步了解本實用新型的發(fā)明內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，茲例舉以下實施例，并配合附圖詳細(xì)說明如下：

下面結(jié)合圖1至圖4對本實用新型的結(jié)構(gòu)作詳細(xì)的描述。

通過基座1下端的螺釘孔將基座1固定在掃描電鏡樣品臺上，通過夾頭3將裝有樣品的透射電鏡專用銅網(wǎng)進(jìn)行固定，通過滑塊5將夾體2固定在夾體2的通孔4內(nèi)。

因為樣品臺透射EBSD夾具的傾斜角度為70°，可直接實現(xiàn)樣品的透射EBSD觀察，不需要傾斜掃描電鏡樣品臺。使用該夾具進(jìn)行透射EBSD觀察，具有空間分辨率高，荷電效應(yīng)弱的特點(diǎn)，相對于常規(guī)EBSD分析方法，可大幅提高分析質(zhì)量。

以上所述僅是對本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改，等同變化與修飾，均屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。