国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      柔性印刷基板用銅箔、使用其的覆銅層疊體、柔性印刷基板、和電子設(shè)備的制作方法

      文檔序號(hào):11549328閱讀:365來(lái)源:國(guó)知局

      本發(fā)明涉及適合于在柔性印刷基板等配線構(gòu)件中使用的銅箔、使用其的覆銅層疊體、柔性配線板、和電子設(shè)備。



      背景技術(shù):

      柔性印刷基板(柔性配線板、以下稱為“fpc”)由于具有柔性,因此廣泛用于電子回路的彎折部、可移動(dòng)部。例如,在hdd、dvd和cd-rom等盤(pán)式相關(guān)設(shè)備的可移動(dòng)部、折疊式移動(dòng)電話機(jī)的彎折部等中使用fpc。

      fpc通過(guò)對(duì)將銅箔和樹(shù)脂層疊而得到的coppercladlaminate(覆銅層疊體,以下稱為ccl)進(jìn)行蝕刻從而形成配線、并通過(guò)在其上覆蓋被稱為覆蓋層(coverlay)的樹(shù)脂層而得到。在層疊覆蓋層之前的階段中,作為用于提高銅箔和覆蓋層的密合性的表面改性步驟中的一個(gè)環(huán)節(jié),對(duì)銅箔表面進(jìn)行蝕刻。此外,為了降低銅箔的厚度從而提高可彎曲性,還存在進(jìn)行減薄蝕刻的情況。

      但是,隨著電子設(shè)備的小型、薄型、高性能化,要求在這些設(shè)備的內(nèi)部以高密度安裝fpc,但為了進(jìn)行高密度安裝,需要在小型化的設(shè)備內(nèi)部將fpc進(jìn)行彎折從而收納,即需要高彎折性。

      另一方面,開(kāi)發(fā)了使以ipc可彎曲性為代表的高循環(huán)可彎曲性得以改善的銅箔(專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2)。

      現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

      專(zhuān)利文獻(xiàn)

      專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2010-100887號(hào)公報(bào)

      專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2009-111203號(hào)公報(bào)。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      發(fā)明要解決的課題

      然而,如上所述,為了以高密度安裝fpc,需要提高以mit耐折性為代表的彎折性,在以往的銅箔中存在的問(wèn)題在于,彎折性的改善并不能稱為充分。

      此外,隨著電子設(shè)備的小型、薄型、高性能化,fpc的回路寬度、間距(space)寬度也微細(xì)化至20~30μm左右,存在的問(wèn)題在于,通過(guò)蝕刻形成回路時(shí),蝕刻因子、回路直線性容易劣化,故而還要求解決該問(wèn)題。

      本發(fā)明是為了解決上述課題而成,其目的在于提供彎折性和蝕刻性優(yōu)異的柔性印刷基板用銅箔、使用其的覆銅層疊體、柔性印刷基板、和電子設(shè)備。

      用于解決問(wèn)題的手段。

      本發(fā)明人經(jīng)過(guò)各種研究的結(jié)果是發(fā)現(xiàn):通過(guò)使銅箔的再結(jié)晶后的晶粒微細(xì)化,能夠提高強(qiáng)度從而提高彎折性。其理由在于,根據(jù)霍爾-佩奇(hall-petch)法則,晶粒越微細(xì)化,則強(qiáng)度變得越高、彎折性也變得越高。但是,如果晶粒過(guò)度微細(xì)化,則強(qiáng)度變得過(guò)高從而彎曲剛性變大、回彈性變大,從而不適合于柔性印刷基板用途。因此,還規(guī)定了晶粒直徑的范圍。

      此外,通過(guò)使晶粒直徑微細(xì)化至近年來(lái)的fpc中的20~30μm左右的回路寬度的大約1/10左右,還能夠改善通過(guò)蝕刻而形成回路時(shí)的蝕刻因子、回路直線性。

      即,本發(fā)明的柔性印刷基板用銅箔相對(duì)于jis-h3100(c1100)所規(guī)定規(guī)格的韌銅(tough-pitchcopper)或jis-h3100(c1011)的無(wú)氧銅,含有0.001~0.05質(zhì)量%的ag、以及總計(jì)0.003~0.825質(zhì)量%的選自p、ti、sn、ni、be、zn、in和mg中的1種以上的添加元素,平均晶粒直徑為0.5~4.0μm,且拉伸強(qiáng)度為235~290mpa。

      本發(fā)明的柔性印刷基板用銅箔中,優(yōu)選前述銅箔為軋制銅箔,在300℃下進(jìn)行30分鐘熱處理后的前述平均晶粒直徑為0.5~4.0μm、且前述拉伸強(qiáng)度為235~290mpa。

      優(yōu)選將在前述銅箔的單面上層疊厚度為25μm的聚酰亞胺樹(shù)脂膜而成的覆銅層疊體以彎曲半徑為0.05mm且前述銅箔為外側(cè)的方式進(jìn)行180度密合彎曲,其后將彎折部復(fù)原至0度,重復(fù)3次上述試驗(yàn)后,以200的倍率觀察前述銅箔時(shí)無(wú)法目視確認(rèn)到龜裂。

      本發(fā)明的覆銅層疊體為將前述柔性印刷基板用銅箔和樹(shù)脂層層疊而成。

      本發(fā)明的柔性印刷基板使用前述覆銅層疊體,并在前述銅箔上形成有回路。

      優(yōu)選前述回路的l/s為40/40~15/15(μm/μm)。應(yīng)予說(shuō)明,回路的l/s(線寬和間距)是指構(gòu)成回路的配線的寬度(l:線寬)與相鄰配線之間的間隔(s:間距)之比。l采用回路中的l的最小值,s采用回路中的s的最小值。

      應(yīng)予說(shuō)明,l和s只要為15~40μm即可,兩者不必為相同的值。例如,還可以采用l/s=20.5/35、35/17等值。

      本發(fā)明的電子設(shè)備為使用前述柔性印刷基板而成。

      發(fā)明效果

      根據(jù)本發(fā)明,能夠得到彎折性和蝕刻性優(yōu)異的柔性印刷基板用銅箔。

      附圖說(shuō)明

      圖1是示出ccl的彎折性試驗(yàn)方法的圖。

      具體實(shí)施方式

      以下,針對(duì)本發(fā)明所述的銅箔的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。應(yīng)予說(shuō)明,本發(fā)明中,%在沒(méi)有特別說(shuō)明的情況下表示質(zhì)量%。

      <組成>

      本發(fā)明所述的銅箔相對(duì)于jis-h3100(c1100)所規(guī)定規(guī)格的韌銅或jis-h3100(c1011)的無(wú)氧銅,含有0.001~0.05質(zhì)量%的ag、以及總計(jì)0.003~0.825質(zhì)量%的選自p、ti、sn、ni、be、zn、in和mg中的1種以上的添加元素。

      如上所述,在本發(fā)明中,通過(guò)使銅箔的再結(jié)晶后的晶粒微細(xì)化,提高強(qiáng)度從而提高彎折性。

      但是,為了更切實(shí)地進(jìn)行晶粒的微細(xì)化,優(yōu)選在冷軋時(shí)的初期僅進(jìn)行一次再結(jié)晶退火,在此以后不再進(jìn)行再結(jié)晶退火。由此,通過(guò)冷軋而大量導(dǎo)入加工應(yīng)變,發(fā)生動(dòng)態(tài)再結(jié)晶,從而可以切實(shí)地實(shí)現(xiàn)晶粒的微細(xì)化。

      此外,為了增大冷軋中的加工應(yīng)變,作為最終冷軋(反復(fù)進(jìn)行退火和軋制的步驟整體當(dāng)中,在最后的退火后進(jìn)行的精軋)中的加工度,優(yōu)選η=ln(最終冷軋前的板厚/最終冷軋后的板厚)=3.5~7.5。

      η低于3.5時(shí),加工時(shí)的應(yīng)變的蓄積小,再結(jié)晶晶粒的核變少,因此存在再結(jié)晶晶粒變得粗大的傾向。η大于7.5時(shí),應(yīng)變過(guò)剩地蓄積從而成為晶粒生長(zhǎng)的驅(qū)動(dòng)力,存在晶粒變得粗大的傾向。進(jìn)一步優(yōu)選η=5.5~7.5。

      此外,作為使晶粒微細(xì)化的添加元素,如果含有ag和上述添加元素,則冷軋時(shí)的位錯(cuò)密度增加,能夠切實(shí)地實(shí)現(xiàn)晶粒的微細(xì)化。

      其中,ag使再結(jié)晶晶粒直徑相對(duì)于再結(jié)晶退火條件的敏感度降低。即,如后所述,在ccl層疊時(shí)盡管進(jìn)行了用于使樹(shù)脂固化的熱處理,但實(shí)際上熱處理的溫度、時(shí)間變動(dòng)、升溫速度也會(huì)根據(jù)制造裝置、制造者等而不同。因此,存在的擔(dān)憂在于因熱處理而導(dǎo)致銅箔的再結(jié)晶晶粒的粒徑變大。因此,通過(guò)含有ag,即使ccl層疊時(shí)的熱處理?xiàng)l件發(fā)生變化,也可以穩(wěn)定地使晶粒微細(xì)化。

      如果ag的含量低于0.001質(zhì)量%,則晶粒的微細(xì)化變得困難。此外,如果ag的含量大于0.05質(zhì)量%,則存在再結(jié)晶溫度上升從而在與樹(shù)脂進(jìn)行層疊時(shí)不會(huì)再結(jié)晶、強(qiáng)度變得過(guò)高從而銅箔和ccl的彎折性劣化的情況。

      如果上述添加元素的總計(jì)含量低于0.003質(zhì)量%,則晶粒的微細(xì)化變得困難,如果大于0.825質(zhì)量%,則有時(shí)電導(dǎo)率會(huì)下降。此外,存在再結(jié)晶溫度上升從而在與樹(shù)脂進(jìn)行層疊時(shí)不會(huì)再結(jié)晶、強(qiáng)度變得過(guò)高從而銅箔和ccl的彎折性劣化的情況。

      <平均晶粒直徑>

      銅箔的平均晶粒直徑為0.5~4.0μm。如果平均晶粒直徑低于0.5μm,則強(qiáng)度變得過(guò)高從而彎曲剛性變大、回彈性變大,從而不適合于柔性印刷基板用途。如果平均晶粒直徑大于4.0μm,則無(wú)法實(shí)現(xiàn)晶粒的微細(xì)化,難以提高強(qiáng)度從而提高彎折性,并且蝕刻因子、回路直線性劣化從而導(dǎo)致蝕刻性下降。

      對(duì)于平均晶粒直徑的測(cè)定,為了避免誤差,優(yōu)選對(duì)箔表面以100μm×100μm的視野進(jìn)行3個(gè)視野以上的觀察。對(duì)于箔表面的觀察,可以使用sim(scanningionmicroscope,掃描離子顯微鏡)或者sem(scanningelectronmicroscope,掃描電子顯微鏡),基于jish0501來(lái)求出平均晶粒直徑。

      其中,將孿晶視為各自的晶粒來(lái)進(jìn)行測(cè)定。

      <拉伸強(qiáng)度(ts)>

      銅箔的拉伸強(qiáng)度為235~290mpa。如上所述,通過(guò)使晶粒微細(xì)化,拉伸強(qiáng)度提高。如果拉伸強(qiáng)度低于235mpa,則難以提高強(qiáng)度從而提高彎折性。如果拉伸強(qiáng)度大于290mpa,則強(qiáng)度變得過(guò)高從而彎曲剛性變大、回彈性變大,從而不適合于柔性印刷基板用途。

      拉伸強(qiáng)度通過(guò)按照ipc-tm650進(jìn)行的拉伸試驗(yàn),以12.7mm的試驗(yàn)片寬度、室溫(15~35℃)、50.8mm/min的拉伸速度、50mm的標(biāo)距長(zhǎng)度,在與銅箔的軋制方向相平行的方向上進(jìn)行拉伸試驗(yàn)從而測(cè)定。

      <在300℃下進(jìn)行30分鐘熱處理>

      將銅箔在300℃進(jìn)行30分鐘熱處理后的平均晶粒直徑可以為0.5~4.0μm、且拉伸強(qiáng)度可以為235~290mpa。

      本發(fā)明所述的銅箔用于柔性印刷基板,此時(shí),將銅箔與樹(shù)脂層疊而得到的ccl由于在200~400℃下進(jìn)行用于使樹(shù)脂固化的熱處理,因此有可能會(huì)因再結(jié)晶而導(dǎo)致晶粒粗大化。

      因而,與樹(shù)脂相層疊之前與之后,銅箔的平均晶粒直徑和拉伸強(qiáng)度發(fā)生變化。因此,本申請(qǐng)的權(quán)利要求1所述的柔性印刷基板用銅箔規(guī)定了形成與樹(shù)脂相層疊之后的覆銅層疊體后、且已經(jīng)受樹(shù)脂的固化熱處理的狀態(tài)下的銅箔。

      另一方面,本申請(qǐng)的權(quán)利要求2所述的柔性印刷基板用銅箔規(guī)定了對(duì)與樹(shù)脂相層疊之前的銅箔進(jìn)行上述熱處理時(shí)的狀態(tài)。該在300℃下進(jìn)行30分鐘熱處理與ccl的層疊時(shí)對(duì)樹(shù)脂進(jìn)行固化熱處理的溫度條件相似。

      本發(fā)明的銅箔可以通過(guò)例如如下所述的方式制造。首先,向銅錠中添加上述添加物并熔解、鑄造后,進(jìn)行熱軋,進(jìn)行冷軋和退火,通過(guò)進(jìn)行上述最終冷軋,從而可以制造箔。

      <覆銅層疊體和柔性印刷基板>

      此外,在本發(fā)明的銅箔上,通過(guò)(1)流延樹(shù)脂前體(例如被稱為清漆的聚酰亞胺前體)并施加熱從而使其聚合,(2)使用與基膜相同種類(lèi)的熱塑性粘接劑從而使基膜層壓于本發(fā)明的銅箔上,由此可以得到包含銅箔和樹(shù)脂基材這兩層的覆銅層疊體(ccl)。此外,在本發(fā)明的銅箔上層壓涂布有粘接劑的基膜,由此可以得到包含銅箔、樹(shù)脂基材和它們之間的粘接層這三層的覆銅層疊體(ccl)。這些ccl在制造時(shí)對(duì)銅箔進(jìn)行熱處理從而再結(jié)晶化。

      對(duì)其使用光刻技術(shù)從而形成回路,根據(jù)需要對(duì)回路實(shí)施鍍敷,通過(guò)層壓覆蓋層膜,從而得到柔性印刷基板(柔性配線板)。

      因此,本發(fā)明的覆銅層疊體為將銅箔與樹(shù)脂層層疊而成。此外,本發(fā)明的柔性印刷基板為在覆銅層疊體的銅箔上形成回路而成。

      作為樹(shù)脂層,可以舉出pet(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)、pi(聚酰亞胺)、lcp(液晶聚合物)、pen(聚對(duì)萘二甲酸乙二醇酯),但不限定于此。此外,作為樹(shù)脂層,可以使用它們的樹(shù)脂膜。

      作為樹(shù)脂層與銅箔的層疊方法,可以在銅箔的表面上涂布形成樹(shù)脂層的材料并加熱成膜。此外,可以使用樹(shù)脂膜作為樹(shù)脂層,在樹(shù)脂膜與銅箔之間使用下述粘接劑,也可以使樹(shù)脂膜熱壓合于銅箔上而不使用粘接劑。但是,從不對(duì)樹(shù)脂膜施加多余的熱的觀點(diǎn)出發(fā),優(yōu)選使用粘接劑。

      使用膜作為樹(shù)脂層時(shí),可以將該膜介由粘接劑層層疊于銅箔上。此時(shí),優(yōu)選使用與膜相同成分的粘接劑。例如,使用聚酰亞胺膜作為樹(shù)脂層時(shí),優(yōu)選粘接劑層也使用聚酰亞胺系粘接劑。應(yīng)予說(shuō)明,在此所稱的聚酰亞胺粘接劑是指包含酰亞胺鍵的粘接劑,還包括聚醚酰亞胺等。

      應(yīng)予說(shuō)明,本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式。此外,只要在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的作用效果的范圍內(nèi),上述實(shí)施方式中的銅合金可以含有其他成分。

      例如,可以對(duì)銅箔的表面實(shí)施通過(guò)粗化處理、防銹處理、耐熱處理、或者它們的組合來(lái)進(jìn)行的表面處理。

      實(shí)施例

      接著,舉出實(shí)施例來(lái)進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明,但本發(fā)明不受它們的限制。

      向純度99.9%以上的電解銅中分別添加表1所示的元素,在ar氣氛下鑄造從而得到鑄塊。鑄塊中的氧含量低于15ppm。將該鑄塊在900℃下進(jìn)行均質(zhì)化退火后,熱軋從而使厚度為30mm,然后進(jìn)行冷軋直至14mm,然后進(jìn)行一次退火,然后對(duì)表面進(jìn)行切削,以表1所示的加工度η進(jìn)行最終冷軋,從而得到最終厚度為17μm的箔。對(duì)所得到的箔施加300℃×30分鐘的熱處理,得到銅箔樣品。

      <a.銅箔樣品的評(píng)價(jià)>

      1.電導(dǎo)率

      針對(duì)上述熱處理后的各銅箔樣品,基于jish0505通過(guò)4端子法,測(cè)定25℃的電導(dǎo)率(%iacs)。

      電導(dǎo)率只要為75%iacs以上則導(dǎo)電性良好。

      2.粒徑

      使用sem(scanningelectronmicroscope,掃描電子顯微鏡)觀察上述熱處理后的各銅箔樣品表面,基于jish0501求出平均粒徑。其中,將孿晶視為各自的晶粒來(lái)進(jìn)行測(cè)定。測(cè)定區(qū)域?yàn)楸砻娴?00μm×100μm。

      3.銅箔的彎折性(mit耐折性)

      針對(duì)上述熱處理后的各銅箔樣品,基于jisp8115,測(cè)定mit耐折次數(shù)(往返彎折次數(shù))。其中,彎折夾具的r為0.38,載重為500g。

      mit耐折次數(shù)只要為75次以上則銅箔的彎折性良好。

      4.銅箔的拉伸強(qiáng)度

      針對(duì)上述熱處理后的各銅箔樣品,通過(guò)按照ipc-tm650進(jìn)行的拉伸試驗(yàn),在上述條件下測(cè)定拉伸強(qiáng)度。

      <b.ccl的評(píng)價(jià)>

      5.ccl的彎折性

      對(duì)最終冷軋后未進(jìn)行上述熱處理的銅箔樣品(熱處理前的銅箔)的單面進(jìn)行銅粗化鍍敷。作為銅粗化鍍敷浴,使用cu:10-25g/l、硫酸:20-100g/l的組成,在20-40℃的浴溫、30-70a/dm2的電流密度下進(jìn)行1-5秒電鍍,銅附著量為20g/dm2。

      在銅箔樣品的粗化鍍敷面上層疊聚酰亞胺膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制的制品名“ユーピレックスvt”,厚度為25μm),通過(guò)加熱壓制(4mpa)施加300℃×30分鐘的熱處理,粘貼,從而得到ccl樣品。彎折試驗(yàn)中使用的ccl樣品的尺寸為軋制方向(長(zhǎng)度方向)為50mm、寬度方向?yàn)?2.7mm。

      如圖1所示,將該ccl樣品30以銅箔面為外側(cè)的方式夾持0.1mm厚的板20(jis-h3130(c1990)所規(guī)定規(guī)格的鈦銅板),在長(zhǎng)度方向的中央處折成兩折,配置于壓縮試驗(yàn)機(jī)10(島津制作所公司制的制品名“オートグラフags”)的下模具10a與上模具10b之間。

      在該狀態(tài)下使上模具10b下降從而將ccl樣品30以折成兩折的部分密合于板20的方式進(jìn)行彎折(圖1(a))。立即將ccl樣品30從壓縮試驗(yàn)機(jī)10中取出,使用顯微鏡(キーエンス制公司制的制品名“ワンショット3d測(cè)定マイクロスコープvr-3000”),對(duì)折成兩折的部分的“橫向v字”狀的彎折前端部30s以200倍的倍率目視確認(rèn)銅箔面有無(wú)破裂。應(yīng)予說(shuō)明,彎折前端部30s相當(dāng)于彎曲半徑為0.05mm的180度密合彎曲。

      確認(rèn)到破裂時(shí),結(jié)束試驗(yàn),將進(jìn)行圖1(a)的壓縮的次數(shù)作為ccl的彎折次數(shù)。

      未確認(rèn)到破裂時(shí),如圖1(b)所示,以使彎折前端部30s朝上的方式將ccl樣品30配置于壓縮試驗(yàn)機(jī)10的下模具10a與上模具10b之間,在該狀態(tài)下使上模具10b下降從而展開(kāi)彎折前端部30s。

      然后,再次進(jìn)行圖1(a)的彎折,以同樣的方式目視確認(rèn)彎折前端部30s有無(wú)破裂。以下,以同樣的方式重復(fù)圖1(a)~(b)的步驟,確定彎折次數(shù)。

      ccl的彎折次數(shù)只要為3次以上則ccl的彎折性良好。

      6.蝕刻性

      在上述ccl樣品的銅箔部分上形成l/s(線寬/間距)=40/40μm、35/35μm、25/25μm、20/20μm、和15/15μm的短條狀回路。作為比較,在市售的軋制銅箔(韌銅箔)上同樣地形成回路。并且,通過(guò)顯微鏡目視判斷蝕刻因子(回路的(蝕刻深度/上下的平均蝕刻寬度)所示的比)、和回路的直線性,按照下述基準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)只要為○即可。

      ○:與市售的軋制銅箔相比,蝕刻因子和回路的直線性良好

      △:與市售的軋制銅箔相比,蝕刻因子和回路的直線性等同

      ×:與市售的軋制銅箔相比,蝕刻因子和回路的直線性差。

      所得到的結(jié)果示于表1。

      [表1]

      由表1可知,銅箔的平均晶粒直徑為0.5~4.0μm、且拉伸強(qiáng)度為235~290mpa的各實(shí)施例的情況中,彎折性和蝕刻性優(yōu)異。

      另一方面,最終冷軋中的加工度η低于3.5的比較例1、3、6的情況中,銅箔的平均晶粒直徑大于4.0μm,拉伸強(qiáng)度低于235mpa,銅箔和ccl的彎折性差。應(yīng)予說(shuō)明,比較例6的情況中,銅箔的平均晶粒直徑為略大于4.0μm的4.5μm,因此蝕刻性良好。

      含有ag但不含添加元素的比較例2的情況中、以及添加元素的總計(jì)含量低于下限值的比較例5的情況中,通過(guò)添加元素進(jìn)行的再結(jié)晶晶粒的微細(xì)化不充分,銅箔的平均晶粒直徑遠(yuǎn)大于4.0μm從而粗大化,拉伸強(qiáng)度低于235mpa,銅箔的彎折性和蝕刻性差。

      添加元素的總計(jì)含量大于上限值的比較例4的情況中,電導(dǎo)率差。

      ag的含量大于0.05質(zhì)量%的比較例7的情況中,再結(jié)晶溫度變高從而在300℃進(jìn)行的熱處理中不發(fā)生再結(jié)晶,電導(dǎo)率下降,并且拉伸強(qiáng)度變高至大于290mpa。因此,銅箔和ccl的彎折性顯著劣化。

      當(dāng)前第1頁(yè)1 2 
      網(wǎng)友詢問(wèn)留言 已有0條留言
      • 還沒(méi)有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
      1