本發(fā)明涉及在將工件配置在托盤上的狀態(tài)下進行檢查的托盤內(nèi)方式的工件輸送裝置及工件檢查裝置。

背景技術(shù)：

1、被從半導體的封裝或者晶片切分為多個后的芯片等的檢查大體被分為以下的兩種。第一種是在配置作為被檢查物的工件的托盤中配置有工件的狀態(tài)下進行檢查的托盤內(nèi)方式(例如專利文獻1)。第二種是從托盤將工件運出并載置到檢查臺上進行檢查、在檢查結(jié)束后再次運入到托盤上的拾取放置方式(例如專利文獻2)。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：日本特開2009－295814號公報

5、專利文獻2：日本特開2003－114251號公報

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的課題

2、順便說一下，在拾取放置方式中，需要將檢查對象的工件從托盤運出/運入的更換作業(yè)。因此，在該更換作業(yè)中花費較多的時間，有生產(chǎn)量下降的課題。相對于此，托盤內(nèi)方式能夠克服上述的拾取放置方式的缺點。

3、先行發(fā)明的托盤內(nèi)方式將從固定在頂棚上的xy臺懸掛的檢查器掃掠來檢查工件。但是，如果檢查器大型/重量化，則難以從頂棚懸掛。

4、因此，在檢查器大型/重量化的情況下，研究了將檢查器上置于從地面固定的xy臺上。但是，如果這樣，則xy臺被固定在托盤的輸送線的側(cè)方的地面上，從在輸送線的正上方掃掠的檢查器受到較大的彎曲力矩。對于這樣的彎曲力矩，需要使被固定在地面上的xy臺的支承構(gòu)造變得牢固，有不能避免工件檢查裝置的大型化的課題。如果工件檢查裝置大型化，則需要相應(yīng)地將輸送線設(shè)計得較長。

5、此外，托盤內(nèi)方式在托盤的輸送路徑的途中設(shè)定有工件的檢查區(qū)域。在以往的工件輸送裝置中，由于輸送路徑是直線性的，所以有在工件輸送裝置的設(shè)計、布局上有較大的限制的課題。

6、本發(fā)明是考慮這樣的情況而做出的，目的是提供一種在采用大型的檢查器的情況下也能夠避免大型化的工件檢查裝置、以及使該工件檢查裝置的設(shè)計、布局的自由度提高的工件輸送裝置。

7、用來解決課題的手段

8、在有關(guān)本發(fā)明的工件輸送裝置中，具備：運入機構(gòu)，將配置有檢查前的工件的托盤運入；第1移送部，將所運入的上述托盤向第1方向移送，使上述工件朝向第1檢查區(qū)域；第2移送部，將上述托盤向與上述第1方向正交的第2方向移送，使上述工件朝向第2檢查區(qū)域；第3移送部，將配置有檢查后的上述工件的上述托盤向與上述第2方向正交的第3方向移送；以及運出機構(gòu)，將上述托盤運出。

9、發(fā)明效果

10、通過本發(fā)明，能夠提供在采用大型的檢查器的情況下也能夠避免大型化的工件檢查裝置、以及使該工件檢查裝置的設(shè)計、布局的自由度提高的工件輸送裝置。

技術(shù)特征：

1.一種工件輸送裝置，其特征在于，

2.如權(quán)利要求1所述的工件輸送裝置，其特征在于，

3.如權(quán)利要求1或2所述的工件輸送裝置，其特征在于，

4.如權(quán)利要求3所述的工件輸送裝置，其特征在于，

5.一種工件檢查裝置，其特征在于，

6.如權(quán)利要求5所述的工件檢查裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
提供一種在采用大型的檢查器的情況下也能夠避免大型化的工件檢查裝置、以及使該工件檢查裝置的設(shè)計、布局的自由度提高的工件輸送裝置。工件輸送裝置(10)具備：運入機構(gòu)(15)，將配置有檢查前的工件(30)的托盤(26)運入；第1移送部(11)，將所運入的托盤(26)向第1方向(21)移送，使工件(30)朝向第1檢查區(qū)域(17a)；第2移送部(12)，將托盤(26)向與第1方向(21)正交的第2方向(22)移送，使工件(30)朝向第2檢查區(qū)域(17b)；第3移送部(13)，將配置有檢查后的工件(30)的托盤(26)向與第2方向(22)正交的第3方向(23)移送；以及運出機構(gòu)(16)，將托盤(26)運出。

技術(shù)研發(fā)人員：荒浪太一,鈴木祥平
受保護的技術(shù)使用者：株式會社東光高岳
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19