專利名稱：檢查集成電路管殼引腳的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢查和評(píng)價(jià)集成電路管殼引腳的方法和裝置，特別涉及一種檢查和評(píng)價(jià)扁平型集成電路管殼引腳的布局狀態(tài)的方法及裝置。
一般說(shuō)來(lái)，扁平型集成電路管殼10，比如說(shuō)方形扁平管殼(QFP)，包括一主體11和若干個(gè)布置在該主體11側(cè)部的引腳12，見(jiàn)

圖1。如圖所示，引腳12包括自管殼主體11水平伸出的延伸部121；向下以一預(yù)定角度延伸的傾斜部122；以及自傾斜部122水平延伸的端部123。
當(dāng)集成電路管殼10安裝在印刷電路板(未示)上時(shí)，所有引腳12的姿態(tài)、方向、傾角和高度均應(yīng)相同，以使所有引腳12都和電路板接觸。也就是說(shuō)，當(dāng)集成電路管殼安裝在電路板上時(shí)，若引腳12的布局不均勻一致，有些引腳12將不能和板1接觸，如圖2所示。這樣，就不能正確地實(shí)施焊接，從而產(chǎn)生次品元件。為避免這種現(xiàn)象發(fā)生，在集成電路管殼安裝到電路板上之前，應(yīng)對(duì)它進(jìn)行檢查，對(duì)引腳的布局進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)可通過(guò)對(duì)引腳的同平面程度的測(cè)量來(lái)進(jìn)行。
請(qǐng)參閱圖3和4，用于測(cè)量引腳同平面度的傳統(tǒng)的引腳檢查裝置包括一吸嘴111，用于固持住集成電路管殼10；一發(fā)光器120；一檢測(cè)器130，它和發(fā)光器120面對(duì)并由被吸嘴111固持的集成電路管殼10的一排引腳12隔開(kāi)；一控制器140，用于測(cè)量由發(fā)光器120發(fā)出的通過(guò)引腳12后到達(dá)檢測(cè)器130的光量，從而對(duì)引腳12的布局進(jìn)行評(píng)價(jià)。
將由吸嘴111固持住的集成電路管殼10置于發(fā)光器120和檢測(cè)器130之間。在此狀態(tài)下，發(fā)出的光線自發(fā)光器120射向檢測(cè)器130。此時(shí)，引腳12間的高度差越大，引腳12阻擋的光線越多，到達(dá)檢測(cè)器130的光量越少。因而，通過(guò)檢測(cè)到達(dá)檢測(cè)器130的光量，可以確定集成電路管殼10的引腳12的同平面度。
但是，在利用上述傳統(tǒng)的裝置對(duì)集成電路管殼的引腳進(jìn)行檢查時(shí)，為獲得準(zhǔn)確的檢查結(jié)果，集成電路管殼主體的側(cè)部和引腳端部的排列必須彼此平行。由于上述檢查條件難以滿足，檢查的準(zhǔn)確度下降。
另外，如圖5所示，若由吸嘴111固持住的集成電路管殼10和光軸成一角度θ，即使引腳12的布局非常理想，也有一區(qū)域“B”被引腳12的傾斜部分122(見(jiàn)圖1)遮住，因而減少了到達(dá)檢測(cè)器130的光量。在利用傳統(tǒng)的方法對(duì)引腳進(jìn)行檢查時(shí)，是通過(guò)對(duì)檢測(cè)器接收光量的絕對(duì)值和一參考值進(jìn)行比較來(lái)測(cè)量引腳布局狀態(tài)的。因而，即使是集成電路管殼被準(zhǔn)確地固持住，不管引腳的布局如何，仍判定該器件有缺陷，即檢查的可靠性下降。
本發(fā)明的目的是提供一種檢查扁平型集成電路管殼中的引腳布局的方法和裝置，以解決上述問(wèn)題。和傳統(tǒng)的方法相比，其準(zhǔn)確性更高。
為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目的，提供一種檢查集成電路管殼的引腳的裝置，它包括一支撐裝置，它活動(dòng)地并可旋轉(zhuǎn)地安裝以拾取集成電路管殼；至少三對(duì)彼此面對(duì)設(shè)置的發(fā)光器和檢測(cè)器，集成電路管殼的一排引腳位于發(fā)光器和檢測(cè)器之間；一控制器，用于測(cè)量每一發(fā)光器發(fā)出的繞過(guò)引腳以及通過(guò)引腳之間并到達(dá)每一檢測(cè)器的光量，從而對(duì)引腳的布局進(jìn)行檢查。
為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目的，提供一種利用檢查引腳的裝置來(lái)對(duì)集成電路管殼的引腳進(jìn)行檢查的方法，所述檢查裝置包括至少三對(duì)彼此面對(duì)設(shè)置的發(fā)光器和檢測(cè)器，集成電路管殼的一排引腳位于發(fā)光器和檢測(cè)器之間。所述的方法包括步驟將集成電路管殼置于發(fā)光器和檢測(cè)器之間；檢測(cè)發(fā)光器發(fā)出的繞過(guò)引腳以及通過(guò)引腳之間并到達(dá)檢測(cè)器的光量；利用每對(duì)發(fā)光器和檢測(cè)器形成的光軸角度和引腳的遮光量作為變量來(lái)構(gòu)造一個(gè)函數(shù)；求得函數(shù)的最小值和最小光軸角度；以及和最小光軸角度對(duì)應(yīng)的最大受光量來(lái)與一個(gè)參值相比較，從而對(duì)引腳的布局進(jìn)行評(píng)價(jià)。
通過(guò)參照附圖對(duì)優(yōu)選實(shí)施例的描述，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)將變得顯而易見(jiàn)。
圖1為一立體圖，示出了一個(gè)典型的扁平型集成電路管殼；圖2為一截面圖，示出了扁平型集成電路管殼安裝在基底上時(shí)的狀態(tài)；圖3為一立體圖，示出了一種傳統(tǒng)的用于檢查集成電路管殼的引腳的裝置；圖4為圖3所示的用于檢查集成電路管殼引腳的傳統(tǒng)裝置的側(cè)視圖；圖5為一平面圖，示出了圖3所示的用于檢查集成電路管殼的引腳的傳統(tǒng)裝置的工作原理；圖6為一立體圖，示出了根據(jù)本發(fā)明的用于檢查集成電路管殼的引腳的裝置；圖7為根據(jù)本發(fā)明的用于檢查集成電路管殼的引腳的裝置的平面圖；圖8為一平面圖，示出了根據(jù)本發(fā)明的用于檢查集成電路管殼的引腳的裝置的工作原理；圖9為根據(jù)本發(fā)明的檢查集成電路管殼的引腳的方法獲得的函數(shù)曲線。
請(qǐng)參照?qǐng)D6和圖7，根據(jù)本發(fā)明的用于檢查引腳的裝置包括吸嘴211，它活動(dòng)地安裝，以拾取并固持一集成電路管殼10；至少三對(duì)發(fā)光器221、222、223和檢測(cè)器231、232、233，發(fā)光器和檢測(cè)器彼此面對(duì)設(shè)置，由吸嘴211固持的集成電路管殼10的一排引腳12設(shè)置在它們之間；控制器240，用于測(cè)量每一發(fā)光器221，222和223發(fā)出的繞過(guò)引腳12和通過(guò)引腳12之間然后到達(dá)相對(duì)應(yīng)的檢測(cè)器231，232和233的光量，從而對(duì)引腳12的布局狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)。
由發(fā)光器222和檢測(cè)器232形成的光軸相對(duì)于發(fā)光器221和檢測(cè)器231形成的光軸有一個(gè)θ角，而后者本身相對(duì)于發(fā)光器223和檢測(cè)器233形成的光軸也有一個(gè)θ角。這三條光軸相交于“F”點(diǎn)。圖6中的參考數(shù)字210表示支撐吸嘴211的一頭部，它可以使吸嘴211移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)。例如，當(dāng)位于集成電路管殼10一側(cè)的引腳12檢查完畢后，頭部210可移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)吸嘴211，以對(duì)位于集成電路管殼10的另一側(cè)的引腳進(jìn)行檢查。
可將頭部210安裝成可由XY機(jī)械手或帶關(guān)節(jié)的機(jī)械手(articulated robot)自由地移動(dòng)。參考數(shù)字220和230表示支撐發(fā)光器221、222和223以及檢測(cè)器231、232和233的支撐部件。
在操作本發(fā)明的用于檢查集成電路管殼的引腳的裝置時(shí)，當(dāng)待檢查的集成電路管殼10置于比如滾筒式饋送器(bowl feeder)或直線式饋送器之類的一普通元件供給裝置的工作臺(tái)(未示)上時(shí)，由裝在工作臺(tái)上的傳感器(未示)將頭部210移到工作臺(tái)上，然后頭部下降并將集成電路管殼10固持住。
通過(guò)移動(dòng)頭部210，將被固持住的集成電路管殼10定位于發(fā)光器221、222、223和檢測(cè)器231、232、233之間的檢查區(qū)。
依據(jù)本發(fā)明的特征，即使吸嘴211未將集成電路管殼10準(zhǔn)確地固持，但利用一組檢測(cè)器231、232和233檢測(cè)到的光量作為一個(gè)變量，仍可找到受光量是最大時(shí)所處的位置。下面參照?qǐng)D8詳細(xì)描述具有三對(duì)發(fā)光器和檢測(cè)器的檢查引腳的裝置。
圖8所示為吸嘴211未將集成電路管殼10準(zhǔn)確地固持的情形。在此情況下，到達(dá)每一檢測(cè)器231、232和233的光量各不相同。這樣，在每一光軸的角度分別為θ°、0°、-θ°，遮光量分別為F(θ°)、F(0°)、F(-θ°)時(shí)，可得下面的二次方程F(θ)＝aθ2+bθ+c這里，系數(shù)“a”、“b”、“c”由光軸的角度和遮光量來(lái)確定。當(dāng)最小遮光角θ為-b/2a時(shí)，最小遮光量“L”為c-b2/4a，見(jiàn)圖9。若最小遮光角θ，即-b/2a，介于-θ°和θ°之間，則最小遮光量為F(θ°)或F(-θ°)，這兩個(gè)選擇量中，其中一個(gè)小于另一個(gè)。
最小遮光角就是最大受光角，此值代表了所檢查的引腳的同平面度。這里，同平面度是通過(guò)對(duì)此值和參考值進(jìn)行比較而確定的。也就是說(shuō)，根據(jù)本發(fā)明，無(wú)論集成電路管殼被該裝置如何固持，用一組發(fā)光器和檢測(cè)器得到的檢測(cè)量作為變量，總能得出一個(gè)函數(shù)，由該函數(shù)可得到最大受光角和最大受光量，從而對(duì)引腳的布局進(jìn)行評(píng)價(jià)。因此，由于最大受光量為常量，所以可對(duì)引腳作更為可靠的檢查。在該實(shí)施例中，二次方程是基于三對(duì)發(fā)光器和檢測(cè)器確立的。但對(duì)使用三對(duì)以上的發(fā)光器和檢測(cè)器的情形，必須采用更高階的函數(shù)。
利用上述檢查集成電路管殼的引腳的方法和裝置，可以提高引腳檢查準(zhǔn)確度和檢查的效率，而與集成電路管殼被吸嘴固持的位置無(wú)關(guān)。
權(quán)利要求
1.一種用于檢查集成電路管殼的引腳的裝置，包括一支撐裝置，其活動(dòng)地并可旋轉(zhuǎn)地安裝以拾取所述集成電路管殼；至少三對(duì)發(fā)光器和檢測(cè)器，它們彼此面對(duì)設(shè)置而使所述集成電路管殼的一排引腳置于二者之間；以及一控制器，用于測(cè)量每一所述發(fā)光器發(fā)出的、繞過(guò)所述引腳和通過(guò)引腳之間然后到達(dá)每一所述檢測(cè)器的光量，以檢查所述引腳的布局。
2.如權(quán)利要求1所述的用于檢查集成電路管殼的引腳的裝置，其特征在于，由幾對(duì)所述發(fā)光器和檢測(cè)器形成的光軸相交。
3.如權(quán)利要求2所述的用于檢查集成電路管殼的引腳的裝置，其特征在于，所述各光軸相交于一個(gè)點(diǎn)。
4.一種利用檢查引腳的裝置來(lái)對(duì)集成電路管殼的引腳進(jìn)行檢查的方法，所述檢查裝置包括至少三對(duì)彼此面對(duì)設(shè)置的發(fā)光器和檢測(cè)器，集成電路管殼的一排引腳位于發(fā)光器和檢測(cè)器之間。所述的方法包括步驟將集成電路管殼置于發(fā)光器和檢測(cè)器之間；檢測(cè)發(fā)光器發(fā)出的繞過(guò)引腳以及通過(guò)引腳之間并到達(dá)檢測(cè)器的光量；利用每對(duì)發(fā)光器和檢測(cè)器形成的光軸角度和由所述引腳產(chǎn)生的遮光量作為變量來(lái)構(gòu)造一個(gè)函數(shù)；求得所述函數(shù)的最小值和最小光軸角度；以及將和最小光軸角度對(duì)應(yīng)的最大受光量來(lái)與一個(gè)參考值相比較，從而對(duì)引腳的布局進(jìn)行評(píng)價(jià)。
5.如權(quán)利要求4所述的檢查集成電路管殼的引腳的裝置，其特征在于，所述各光軸相交于一點(diǎn)。
6.如權(quán)利要求4所述的檢查集成電路管殼的引腳的裝置，其特征在于，所述發(fā)光器和檢測(cè)器為三對(duì)，所述函數(shù)為二次函數(shù)。
全文摘要
一用于檢查扁平封裝型的集成電路管殼的引腳的裝置,它包括三對(duì)以上彼此面對(duì)的發(fā)光器和檢測(cè)器,集成電路管殼的引腳位于發(fā)光器和檢測(cè)器之間。利用發(fā)光器和檢測(cè)器形成的光軸的角度和檢測(cè)器測(cè)得的光量作為變量來(lái)構(gòu)造一個(gè)函數(shù)。由獲得的函數(shù)最小值求出最大受光角和最大受光量。通過(guò)對(duì)最大受光量和參考值的比較可評(píng)價(jià)引腳的布局。
文檔編號(hào)H01L23/00GK1190793SQ9710465
公開(kāi)日1998年8月19日 申請(qǐng)日期1997年7月28日 優(yōu)先權(quán)日1996年9月24日
發(fā)明者卞鐘垠 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社