用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件屬于平板型器件，其主要由芯片、鉬片、管蓋和管座等部件組成。這些部件通過(guò)特定的定位方式組裝在一起，使得部件間存在較大的接觸熱阻和電阻。為了保證該半導(dǎo)體器件能夠正常工作，需要通過(guò)夾持其的裝置來(lái)夾緊各部件，但需要嚴(yán)格控制該裝置夾緊半導(dǎo)體器件的壓裝力，既不能過(guò)大，也不能過(guò)小，過(guò)大會(huì)壓碎芯片，過(guò)小會(huì)增加接觸熱阻和電阻。
[0003]圖1顯示了現(xiàn)有的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置20，該裝置20包括上壓板21、下壓板22、用于調(diào)整能它們間距的螺栓26和螺母27，以及處于上壓板21與半導(dǎo)體器件23之間的散熱器24和處于下壓板22與半導(dǎo)體器件23之間的散熱器25。根據(jù)半導(dǎo)體器件23所需的壓裝力能夠換算出夾緊半導(dǎo)體器件時(shí)旋轉(zhuǎn)螺母所需的最大力矩值。操作人員可通過(guò)力矩扳手來(lái)擰緊該螺母27，待力矩扳手的數(shù)值等于最大力矩值時(shí)停止。
[0004]然而，由于螺栓26加工工藝、摩擦力等因素的影響，最大力矩值往往不能準(zhǔn)確反映壓裝力的真實(shí)值，因此還需要通過(guò)壓力傳感器來(lái)檢測(cè)，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果對(duì)該裝置20做進(jìn)一步的調(diào)整。由此可知，該裝置20的組裝過(guò)程非常復(fù)雜，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，影響組裝效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置，其組裝過(guò)程比現(xiàn)有技術(shù)更加簡(jiǎn)單，從而可以省時(shí)省力，提高組裝效率。
[0006]本發(fā)明提供了一種用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置，其包括:用于放置半導(dǎo)體器件的底座；設(shè)置在半導(dǎo)體器件的上方的壓板，壓板通過(guò)調(diào)距單元與底座連接；設(shè)在壓板與半導(dǎo)體器件之間的用于壓緊半導(dǎo)體器件的彈性件。其中，該調(diào)距單元構(gòu)造成能夠調(diào)整底座與壓板之間的距離，并使彈性件的壓縮量變成設(shè)定值，使得彈性件的彈力等于半導(dǎo)體器件所需的壓裝力。
[0007]在一個(gè)實(shí)施例中，調(diào)距單元包括垂直底座延伸并穿過(guò)壓板的定位桿，以及與定位桿配合的且能夠調(diào)整底座與壓板之間的距離的選位件。
[0008]在一個(gè)實(shí)施例中，在彈性件與半導(dǎo)體器件之間設(shè)有第一散熱器，在底座與半導(dǎo)體器件之間設(shè)有第二散熱器。
[0009]在一個(gè)實(shí)施例中，該裝置還包括:沿垂向貫穿彈性件和壓板的活動(dòng)桿，在活動(dòng)桿的兩端分別設(shè)有上擋塊和下?lián)鯄K，下?lián)鯄K的上表面與彈性件相接觸，而其下表面與散熱器相接觸；能夠塞入到上擋塊和壓板之間的用于確定彈性件的壓縮量已為設(shè)定值的標(biāo)定墊片。
[0010]在一個(gè)實(shí)施例中，標(biāo)定墊片包括第一部分和比第一部分厚的第二部分，以及形成在第一部分和第二部分中的用于容納活動(dòng)桿的腰型孔，第一部分的厚度和壓板的厚度以及未壓縮的彈性件的長(zhǎng)度之和等于上擋塊的下表面到下?lián)鯄K的上表面之間的距離，第一部分和第二部分的厚度差等于設(shè)定值。
[0011]在一個(gè)實(shí)施例中，下?lián)鯄K和活動(dòng)桿組成的整體為螺栓，而上擋塊為螺母。
[0012]在一個(gè)實(shí)施例中，在下?lián)鯄K的下表面上設(shè)有能夠插入到第一散熱器內(nèi)的定位銷。
[0013]在一個(gè)實(shí)施例中，在底座上設(shè)有定位第二散熱器的定位機(jī)構(gòu)。
[0014]在一個(gè)實(shí)施例中，彈性件為碟簧。
[0015]在一個(gè)實(shí)施例中，彈性件的中心軸線與半導(dǎo)體器件的中心軸線重合。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置具有簡(jiǎn)單組裝過(guò)程，尤其與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠省略再調(diào)整過(guò)程，并且也不需要使用力矩扳手，因此其組裝過(guò)程比現(xiàn)有技術(shù)的組裝過(guò)程更加簡(jiǎn)單，從而省時(shí)省力，提高組裝效率。另外，根據(jù)本發(fā)明的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置通過(guò)標(biāo)定墊片，可以確認(rèn)彈性件的壓縮量已為設(shè)定值，由此可以省略測(cè)量彈性件的壓縮量的過(guò)程，從而再次簡(jiǎn)化組裝過(guò)程。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工方便，容易制造，使用安全，便于實(shí)施推廣應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0018]在下文中將基于實(shí)施例并參考附圖來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。其中:
[0019]圖1顯示了現(xiàn)有技術(shù)中的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置；
[0020]圖2顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置:
[0021]圖3a為根據(jù)本發(fā)明的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置的滑動(dòng)墊片的主視圖:以及
[0022]圖3b為根據(jù)本發(fā)明的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置的滑動(dòng)墊片的俯視圖。
[0023]在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實(shí)際的比例。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0025]圖2顯示了根據(jù)本發(fā)明的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置10，不僅可以用于夾持固定半導(dǎo)體器件2，而且還能對(duì)半導(dǎo)體器件2進(jìn)行散熱。該裝置10包括用于放置半導(dǎo)體器件2的底座3，以及設(shè)置在半導(dǎo)體器件2的上方的壓板4。壓板4通過(guò)調(diào)距單元5與底座3連接。調(diào)距單元5能夠調(diào)整壓板4與底座3之間的距離，其可由許多結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)，例如螺栓與內(nèi)螺紋的配合、螺栓與螺母的配合或絲杠與螺紋的配合等。
[0026]如圖2所示，本實(shí)施的調(diào)距單元5選用螺栓與螺母的配合，其包括垂直底座3延伸并穿過(guò)壓板4的定位桿51，以及與定位桿51相配合的且能夠調(diào)整底座3與壓板4之間的距離的選位件52。定位桿51選為與固定在底座3上的螺栓或螺桿，而選位件52選為螺母。通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)螺母的方式，可推動(dòng)壓板4向下運(yùn)動(dòng)，使得壓板4與底座3之間的距離變短。該螺桿與螺母的數(shù)量?jī)?yōu)選為四個(gè)，并且連線呈矩形，該半導(dǎo)體器件2的中線軸線與矩形的中心重合。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的用于夾持半導(dǎo)體器件的裝置10還包括設(shè)在壓板4與半導(dǎo)體器件2之間的彈性件6。彈性件6可選為壓縮彈簧，但優(yōu)選為碟簧。由于碟簧具有較大勁度系數(shù)，因此在勁度系數(shù)相同的情況下其比其他彈簧具有更短長(zhǎng)度，便于促進(jìn)整體結(jié)構(gòu)緊湊，降低組裝人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。彈性件6的中心軸線與半導(dǎo)體器件2的中心軸線重合，以便于裝置10能夠平衡、穩(wěn)定地固定半導(dǎo)體器件2。
[0028]在該實(shí)施例中，在彈性件6與半導(dǎo)體器件2之間設(shè)有第一散熱器9，在底座3與半導(dǎo)體器件2之間設(shè)有第二散熱器19。在散熱器9，19的散熱作用下，半導(dǎo)體器件2能夠具有更長(zhǎng)的使用壽命。其中，所述的散熱器屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的，在此不作詳細(xì)描述。
[0029]綜上可知，調(diào)距單元5能夠調(diào)整底座3與壓板4之間的距離，并使彈性件6的壓縮量變成設(shè)定值，從而使彈性件6的彈力等于半導(dǎo)體器件2所需的壓裝力。由于半導(dǎo)體器件2所需的壓裝力等于彈性件6的勁度系數(shù)乘以設(shè)定值，因此該裝置10壓緊半導(dǎo)體器件2的壓裝力是很容易控制的。在裝配過(guò)程中，只需控制彈性件6的壓縮量為設(shè)定值即可，而該壓縮量可通過(guò)直接