一種水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)、升降裝置以及腔室的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)、升降裝置以及腔室。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造工藝中，為了提高生產(chǎn)效率，通常用機(jī)械手完成晶片在各類(lèi)腔室中的傳輸。為了滿(mǎn)足機(jī)械手傳輸晶片的需求，在各類(lèi)腔室中通常會(huì)設(shè)置有支撐銷(xiāo)，該支撐銷(xiāo)能夠在升降裝置的作用下穿過(guò)腔室中的基座將晶片升起或放下，以使得晶片能夠和基座分離，便于機(jī)械手的傳輸。
[0003]現(xiàn)有的升降裝置如圖1和圖2所示，支撐銷(xiāo)10設(shè)置在托架20上，托架20與升降裝置30的升降管31連接，托架20可以隨升降管31上下移動(dòng)，使得支撐銷(xiāo)10能夠?qū)⒕鸹蚍畔?。為了保證支撐銷(xiāo)10承載晶片升降時(shí)以及機(jī)械手傳送晶片時(shí)的穩(wěn)定性，需要多根支撐銷(xiāo)10位于同一水平面上，因此，該升降裝置對(duì)托架20的水平度要求較高。
[0004]現(xiàn)有的托架與升降管的連接部分結(jié)構(gòu)如圖3和圖4所示，托架20上設(shè)置分別設(shè)置有四個(gè)螺釘21和頂針22，其中螺釘21可以插入升降管31上對(duì)應(yīng)的螺紋孔中以將托架20和升降管31連接，頂針22可以穿過(guò)托架20與升降管31接觸以將托架20頂起，并且可以調(diào)整各頂針22頂起的高度。
[0005]上述現(xiàn)有結(jié)構(gòu)在調(diào)整托架20的水平度時(shí)，往往需要各螺釘21和各頂針22配合調(diào)整，且各螺釘21之間以及各頂針22之間也需要配合調(diào)整，調(diào)整過(guò)程往往較為繁瑣，往往需要反復(fù)多次調(diào)整才能得到理想效果，人力成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)、升降裝置以及腔室，以能夠便捷地調(diào)節(jié)托架的水平度。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，用于調(diào)整托架的水平度，所述水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括托架、支撐件和支撐管，所述托架上設(shè)置有多個(gè)連接所述托架和所述支撐管的緊固件，所述支撐件設(shè)置在所述托架下表面或所述支撐管上表面并位于所述托架和所述支撐管之間，以支撐所述托架，使得每個(gè)所述緊固件能夠調(diào)節(jié)所述托架與所述支撐管之間的距離以調(diào)節(jié)所述托架的水平度。
[0008]優(yōu)選地，所述支撐件固定設(shè)置在所述支撐管的頂部，且所述支撐件的上表面為凸起的弧形面。
[0009]優(yōu)選地，所述托架的底表面設(shè)置有與所述支撐件的弧形面相對(duì)應(yīng)的凹槽，所述支撐件的弧形面與所述凹槽相接觸。
[0010]優(yōu)選地，所述支撐件固定設(shè)置在所述托架的底部，且所述支撐件的下表面為凸起的弧形面。
[0011]優(yōu)選地，所述支撐管的頂部上設(shè)置有與所述支撐件的弧形面相對(duì)應(yīng)的凹槽，所述支撐件的下表面與所述凹槽相接觸。
[0012]優(yōu)選地，所述支撐件與多個(gè)所述緊固件所圍成圖形的中部相對(duì)應(yīng)。
[0013]優(yōu)選地，所述緊固件為四個(gè)，且四個(gè)所述緊固件相對(duì)于所述支撐件的中心呈對(duì)稱(chēng)分布。
[0014]優(yōu)選地，所述托架上設(shè)置有多個(gè)第一螺紋孔，所述支撐管上設(shè)置有多個(gè)第二螺紋孔，所述緊固件包括螺釘，所述螺釘穿過(guò)所述第一螺紋孔并插入所述第二螺紋孔中以將所述托架和所述支撐管連接，且所述螺釘能夠與所述第一螺紋孔和所述第二螺紋孔配合以調(diào)整所述托架和所述支撐管之間的距離。
[0015]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種升降裝置，所述升降裝置包括上述本發(fā)明所提供的水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。
[0016]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種腔室，所述腔室包括上述本發(fā)明所提供的升降裝置。
[0017]可見(jiàn)，本發(fā)明通過(guò)在支撐管和托架之間設(shè)置用于支撐托架的支撐件，使得可以通過(guò)緊固件基于支撐件對(duì)托架的支撐來(lái)調(diào)節(jié)托架的水平度，與現(xiàn)有技術(shù)相比，顯著簡(jiǎn)化了調(diào)節(jié)托架水平度時(shí)的操作復(fù)雜度。同時(shí)，本發(fā)明可以將緊固件設(shè)置為相對(duì)于支撐件的中心呈對(duì)稱(chēng)分布，使得能夠更加直觀便捷地調(diào)節(jié)托架在不同方向上的水平度。
【附圖說(shuō)明】
[0018]附圖是用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0019]圖1為現(xiàn)有的升降裝置側(cè)視圖；
[0020]圖2為現(xiàn)有的升降裝置俯視圖；
[0021]圖3為現(xiàn)有的托架與升降管連接部分俯視圖；
[0022]圖4為現(xiàn)有的托架與升降管連接部分側(cè)視圖；
[0023]圖5為本發(fā)明實(shí)施例所提供的托架與支撐管連接部分俯視圖；
[0024]圖6為本發(fā)明實(shí)施例所提供的托架與支撐管連接部分側(cè)視圖。
[0025]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0026]10-支撐銷(xiāo)；20、40_托架；21_螺釘；22_頂針；30_升降裝置；31_升降管；50_支撐件；60-支撐管；41-緊固件。
【具體實(shí)施方式】
[0027]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0028]作為本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，如圖5和圖6所示，該水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)可以包括托架40、支撐件50和支撐管60，其中，托架40上可以設(shè)置有多個(gè)連接托架40和支撐管60的緊固件41，支撐件50可以設(shè)置在托架40或支撐管60上且位于托架40和支撐管60之間以支撐托架40，使得每個(gè)緊固件41能夠調(diào)節(jié)托架40和支撐管60之間的距離以調(diào)節(jié)托架40的水平度。
[0029]上述結(jié)構(gòu)中，支撐件50設(shè)置在托架40和支撐管60之間，能夠支撐托架40，且托架40通過(guò)緊固件41與支撐管60連接，各緊固件41能夠調(diào)節(jié)托架40和支撐管60之間的距離，這樣，各緊固件41能夠基于支撐件50對(duì)托架40的支撐來(lái)調(diào)節(jié)托架40和支撐管60之間的距離，以此調(diào)節(jié)托架40的水平度。具體地，支撐件50可以設(shè)置在托架40或者支撐管60上，當(dāng)支撐件50設(shè)置在托架40上時(shí)，支撐件50的下表面可以和支撐管60活動(dòng)接觸，或者當(dāng)支撐件50設(shè)置在支撐管60上時(shí)，支撐件50的上表面可以和托架40活動(dòng)接觸。這樣，能夠使得支撐件50與托架40和支撐管60兩者中的一者活動(dòng)接觸，便于緊固件41基于支撐件50對(duì)托架40的支撐來(lái)調(diào)節(jié)托架40的水平度。
[0030]具體地，在調(diào)節(jié)托架40的水平度時(shí)，可以以支撐件50對(duì)托架40的支撐為支點(diǎn)通過(guò)各緊固件41來(lái)調(diào)節(jié)托架40的水平度，當(dāng)需要在某一位置調(diào)低托架40的位置時(shí)，可以調(diào)整該位置對(duì)應(yīng)的緊固件41以使得該位置對(duì)應(yīng)的托架40和支撐管60之間的距離縮短；當(dāng)需要在某一位置調(diào)高托架40的位置時(shí)，可以調(diào)整該位置對(duì)應(yīng)的緊固件41以使得該位置對(duì)應(yīng)的托架40和支撐管60之間的距離增加。
[0031]上述本發(fā)明提供的水平度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)只需調(diào)整緊固件41即可對(duì)托架40的水平度調(diào)節(jié)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，顯著簡(jiǎn)化了調(diào)節(jié)過(guò)程，同時(shí)可以通過(guò)各緊固件41之間的配合來(lái)調(diào)節(jié)托架40在不同方向上的水平度。
[0032]更進(jìn)一步地，支撐件50可以固定設(shè)置在支撐管60的頂部，且支撐件50的上表面可以為凸起的弧形面。具體地，支撐件50可以利用焊接等方式固定設(shè)置在支撐管60的頂部，且支撐件50的上表面可以為凸起的弧形面，該弧形面的的高度和半徑可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，本發(fā)明對(duì)此不作限制，優(yōu)選地，該弧形面的高度可以為2-10_，該弧形面的半徑可以為高度的3-5倍。在上述結(jié)構(gòu)中，支撐件50能夠與托架40活動(dòng)接觸，并且能夠以支撐件50的弧形面與托架40的接觸位置為支點(diǎn)支撐托架40，這樣，能夠便于各緊固件41基于支撐件50對(duì)托架40的支撐調(diào)節(jié)托架40與支撐管60之間的距離。
[0033]更進(jìn)一步地，托架40的底表面上可以設(shè)置有與上述支撐件50的弧形面相對(duì)應(yīng)的凹槽，且支撐件50的弧形面可以與該凹槽接觸。具體地，在托架40的底表面上設(shè)置的凹槽凹陷的形狀可以與弧形面的形狀相對(duì)應(yīng)，以能夠更加穩(wěn)定地支撐托架40，優(yōu)選地，該凹槽的凹陷深度可以略小于弧形面的高度，該凹槽的半徑可以與弧形面的半徑相等。采用上述結(jié)構(gòu)能夠使得托架40與支