可調(diào)式立體電感元件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明乃是關(guān)于一種電氣元件，特別是指一種可調(diào)式立體電感元件。
【背景技術(shù)】
[0002]電子封裝常常需要被動元件，例如電感器、電容器及電阻器等，來完成特定電路調(diào)諧，例如，在許多射頻(RF)應(yīng)用中常常需要通過加入電感器于電子封裝中來完成特定電路的調(diào)諧。加入離散被動元件至電子封裝通常易導(dǎo)致該封裝的尺寸及重量的增加。另外，在電子封裝中加入離散的被動元件常常需要一專屬的生產(chǎn)線，而可能需要設(shè)置附加設(shè)備及制程，此等附加設(shè)備及制程會導(dǎo)致較高生產(chǎn)成本并且可能增加制程時(shí)間。
[0003]舉例來說，現(xiàn)有的技術(shù)通過在一集成電路裝置的主動電路上方制造被動元件來解決這些問題。然而，整合被動元件也需要各種附加制程，例如需要在集成電路裝置的上保護(hù)層上方形成介層，藉此允許被動元件連接至下方的集成電路元件。此外，此等現(xiàn)有技術(shù)具體例中，需要彼此堆棧的至少兩個(gè)晶粒，以完成被動元件。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明實(shí)施例提供一種可調(diào)式立體電感元件，其通過埋設(shè)于基板中的第一走線，并結(jié)合位于基板上方的鎊線，以實(shí)現(xiàn)三維度成型的立體電感。
[0005]本發(fā)明實(shí)施例提供一種可調(diào)式立體電感元件，包括一基板、多個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)、多個(gè)導(dǎo)電件、一第一走線以及一鎊線?；寰哂幸簧媳砻妫龆鄠€(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)形成于基板的所述上表面。所述多個(gè)導(dǎo)電件埋設(shè)于基板內(nèi)，且各導(dǎo)電件電性連接于其中之一個(gè)所述多個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)。第一走線埋設(shè)于基板內(nèi)，且第一走線電性連接于所述多個(gè)導(dǎo)電件其中的兩個(gè)導(dǎo)電件。鎊線的兩端接合于所述多個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)其中的兩個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)之間，且鎊線、所述多個(gè)導(dǎo)電件以及第一走線共同形成一立體電感路徑。
[0006]本發(fā)明另一實(shí)施例還提供一種可調(diào)式立體電感元件，包括一基板、多個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)、多個(gè)導(dǎo)電件、多個(gè)第一走線以及多個(gè)鎊線。基板具有一上表面，所述多個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)形成于基板的所述上表面。所述多個(gè)導(dǎo)電件埋設(shè)于基板內(nèi)，且各導(dǎo)電件系電性連接于其中之一個(gè)所述多個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)。所述多個(gè)第一走線埋設(shè)于基板內(nèi)，且各第一走線電性連接于所述多個(gè)導(dǎo)電件其中的兩個(gè)導(dǎo)電件。所述多個(gè)鎊線中的各個(gè)鎊線的兩端接合于所述多個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)其中的兩個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)之間，所述多個(gè)鎊線、所述多個(gè)導(dǎo)電件以及所述多個(gè)第一走線共同形成一立體電感路徑。
[0007]本發(fā)明實(shí)施例所提供的可調(diào)式立體電感元件可使第一走線通過電性連接于埋設(shè)于基板的導(dǎo)電件，而實(shí)現(xiàn)垂直內(nèi)埋。所述可調(diào)式立體電感元件并可通過埋設(shè)于基板的第一走線以及位于基板上方的鎊線，來實(shí)現(xiàn)三維度成型的立體電感路徑。
[0008]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明為達(dá)成既定目的所采取的技術(shù)、方法及功效，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明、附圖，相信本發(fā)明的目的、特征與特點(diǎn)，當(dāng)可由此得以深入且具體的了解，然而附圖與附件僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制者。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的可調(diào)式立體電感元件移除鎊線后的立體示意圖。
[0010]圖2為圖1的可調(diào)式立體電感元件沿Al-Al線的剖面示意圖。
[0011]圖3為圖1的可調(diào)式立體電感元件沿A2-A2線的剖面示意圖。
[0012]圖4為圖1的可調(diào)式立體電感元件沿A3-A3線的剖面示意圖。
[0013]圖5為圖1的可調(diào)式立體電感元件的上視示意圖。
[0014]圖6為本發(fā)明一實(shí)施例的可調(diào)式立體電感元件的立體示意圖。
[0015]圖7為圖6的可調(diào)式立體電感元件沿A4-A4線的剖面示意圖。
[0016]圖8為圖6的可調(diào)式立體電感元件沿A5-A5線的剖面示意圖。
[0017]圖9為圖6的可調(diào)式立體電感元件的上視示意圖。
[0018]圖10至圖14分別為本發(fā)明另一實(shí)施例的可調(diào)式立體電感元件的上視示意圖。
[0019]圖15為本發(fā)明另一實(shí)施例的可調(diào)式立體電感元件移除鎊線后的立體示意圖。
[0020]圖16為圖15的可調(diào)式立體電感元件沿Bl-Bl線的剖面示意圖。
[0021]圖17為圖15的可調(diào)式立體電感元件沿B2-B2線的剖面示意圖。
[0022]圖18為圖15的可調(diào)式立體電感元件的上視示意圖。
[0023]圖19為本發(fā)明另一實(shí)施例的可調(diào)式立體電感元件的立體示意圖。
[0024]圖20為圖19的可調(diào)式立體電感元件沿B3-B3線的剖面示意圖。
[0025]圖21為圖19的可調(diào)式立體電感元件的上視示意圖。
[0026]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0027]可調(diào)式立體電感元件Wl、W2
[0028]基板100
[0029]基板的上表面100S
[0030]貫孔T
[0031]基底101
[0032]第一電路層102
[0033]第二電路層104
[0034]第三電路層106
[0035]第一介電層1021
[0036]第二介電層1041
[0037]第三介電層1061
[0038]第一導(dǎo)電圖案1022
[0039]第二導(dǎo)電圖案1042
[0040]第三導(dǎo)電圖案1062
[0041]接墊1022P、1042P、1062P
[0042]第一襯層103
[0043]第二襯層105
[0044]第三襯層107
[0045]第一導(dǎo)電接點(diǎn)201
[0046]第二導(dǎo)電接點(diǎn)202
[0047]第三導(dǎo)電接點(diǎn)203
[0048]第一導(dǎo)電子件311
[0049]第二導(dǎo)電子件312
[0050]第三導(dǎo)電子件313
[0051]第一導(dǎo)電件301
[0052]第二導(dǎo)電件302
[0053]鎊線500
[0054]第一走線400
[0055]第二走線600
[0056]第三走線700
[0057]剖線AlAl ?A5A5、BlBl ?B3B3
【具體實(shí)施方式】
[0058]請一并參照圖6至圖8,圖6為本發(fā)明一實(shí)施例的可調(diào)式立體電感元件的立體示意圖，圖7為圖6的可調(diào)式立體電感元件沿A4-A4線的剖面示意圖，而圖8為圖6的可調(diào)式立體電感元件沿A5-A5線的剖面示意圖?？烧{(diào)式立體電感元件Wl包括基板100、多個(gè)導(dǎo)電接點(diǎn)(例如包括第一導(dǎo)電接點(diǎn)201、第二導(dǎo)電接點(diǎn)202)、多個(gè)導(dǎo)電件(例如包括第一導(dǎo)電件
301、第二導(dǎo)電件302)、第一走線400以及鎊線500，其中導(dǎo)電接點(diǎn)形成于基板100的上表面100S，導(dǎo)電件以及第一走線400皆埋設(shè)于基板100內(nèi)。鎊線500的兩端接合于這些導(dǎo)電接點(diǎn)201、202其中的兩導(dǎo)電接點(diǎn)之間。
[0059]首先，請一并參照圖1至圖3，圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的可調(diào)式立體電感元件移除鎊線后的立體示意圖，圖2為圖1的可調(diào)式立體電感元件沿Al-Al線的剖面示意圖，而圖3為圖1的可調(diào)式立體電感元件沿A2-A2線的剖面示意圖?；?00可為印刷電路板(Printed Wiring Board, PWB),基板100可用以支撐電子元件(圖未繪示)并可用以提供電子元件電性連接。在其他實(shí)施例中，基板100可以為任何載體，例如半導(dǎo)體基板、軟硬電路板(flex-rigid wiring board)或陶瓷基板(例如低溫共燒陶瓷(Low TemperatureCo-