晶圓傳送盒的存儲方法及實現(xiàn)晶圓傳送盒存儲的系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體制造技術(shù)領域，尤其涉及一種晶圓傳送盒的存儲方法及實現(xiàn)晶圓傳送盒存儲的系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體元件在制作過程中通常包含一系列工藝，上述工藝按照一特定的順序且通常在一特定的時間段內(nèi)利用各種設備實現(xiàn)。晶圓制造廠(Fab)中的物料流系統(tǒng)的主要功能在于在正確時間點將晶圓傳送到每一設備上，并追蹤整個制造過程中晶圓的位置以及狀態(tài)。
[0003]自動化物料搬運系統(tǒng)(AutomatedMaterial Handing System, AMHS)由于相對手動裝置能更有效、一致、以及安全地實現(xiàn)自動化功能，因而近年來被廣泛地用于物料流系統(tǒng)中。
[0004]當一晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod,F0UP)欲傳送時，一制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execut1n System, MES)將給出目標存儲柜(Destinat1n Stocker),之后，制造執(zhí)行系統(tǒng)向自動化物料搬運系統(tǒng)中的物料控制系統(tǒng)(Material Control System,MCS)發(fā)出傳送命令，后者接受命令后，通知一傳送管理者執(zhí)行該傳送。上述執(zhí)行該傳送過程中，若遇到目標存儲柜存滿，即負載超過100%，則控制傳送小車將晶圓傳送盒傳送至該目標存儲柜的備用存儲柜(Backup Stocker)。
[0005]上述過程中，會出現(xiàn)一些問題，例如制造執(zhí)行系統(tǒng)給出的目標存儲柜是靜態(tài)的，只有當該目標存儲柜負載超過100%時，才能存入備用存儲柜，這造成某些存儲柜負載較高，而某些存儲柜的負載較低，自動化物料搬運系統(tǒng)時刻處于高風險中，而一次故障又會造成較大損失。
[0006]針對上述問題，也可以由軟件供應商更改自動化物料搬運系統(tǒng)的軟件，以降低其故障的幾率，然而這需要較長時間周期且成本較大。
[0007]有鑒于此，本發(fā)明提供一種晶圓傳送盒的存儲方法及實現(xiàn)晶圓傳送盒存儲的系統(tǒng)，以較低成本降低自動化物料搬運系統(tǒng)故障的幾率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明實現(xiàn)的目的是以較低成本降低自動化物料搬運系統(tǒng)故障的幾率。
[0009]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一方面提供一種晶圓傳送盒的存儲方法，包括:
[0010]當存儲晶圓傳送盒時，判斷該晶圓傳送盒的目標存儲柜的存儲率是否超過安全存儲率，若未超過，則將晶圓傳送盒存入所述目標存儲柜；反之，則動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率，將晶圓傳送盒放入存儲率最低的備用存儲柜。
[0011]可選地，所述安全存儲率的范圍為小于85%。
[0012]可選地，所述動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率是通過掃描每一備用存儲柜的存儲量加以獲得。
[0013]可選地，動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率是通過記錄每一晶圓傳送盒所在的存儲柜加以獲得。
[0014]可選地，動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率中，所述備用存儲柜是經(jīng)過分類、適于存放該晶圓傳送盒的備用存儲柜。
[0015]可選地，所述動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率中，若存在存儲率超過安全存儲率的備用存儲柜，則記錄該備用存儲柜的信息，當下一晶圓傳送盒存儲時，該備用存儲柜不再為該下一晶圓傳送盒的備用存儲柜。
[0016]本發(fā)明的另一方面提供一種實現(xiàn)晶圓傳送盒存儲的系統(tǒng)，包括:
[0017]制造執(zhí)行系統(tǒng)，指定晶圓傳送盒的目標存儲柜，且判斷該目標存儲柜的存儲率是否超過安全存儲率，若超過，則發(fā)超過信息給實時派工系統(tǒng)、接收反饋信息，并將反饋信息發(fā)送給物料控制系統(tǒng)；若未超過，則發(fā)未超過信息給物料控制系統(tǒng)；
[0018]實時派工系統(tǒng)，收到所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的超過信息后，動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率，并將存儲率最低的備用存儲柜的信息反饋給所述制造執(zhí)行系統(tǒng)；
[0019]物料控制系統(tǒng)，當收到所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的未超過信息后，將晶圓傳送盒存入所述目標存儲柜；當收到所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的反饋信息后，將晶圓傳送盒存入所述反饋信息中存儲率最低的備用存儲柜。
[0020]可選地，備用存儲柜的信息為存儲柜的一維或二維識別碼。
[0021]可選地，所述實時派工系統(tǒng)還包括記錄模塊，記錄每一晶圓傳送盒所存儲的存儲柜的信息。
[0022]可選地，所述記錄模塊還記錄存儲率超過安全存儲率的備用存儲柜的的信息。
[0023]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點:1)當一晶圓傳送盒需進行存儲時，不是直接將其放入制造執(zhí)行系統(tǒng)指定的目標存儲柜或該的目標存儲柜負載100%后轉(zhuǎn)而放入備用存儲柜，而是先判斷該目標存儲柜的存儲率是否超過安全存儲率，若未超過，才將晶圓傳送盒存入所述目標存儲柜；若超過，需動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率，將晶圓傳送盒放入存儲率最低的備用存儲柜?？梢?，上述方案中物料控制系統(tǒng)收到的不是制造執(zhí)行系統(tǒng)中指定的靜態(tài)目標存儲柜，而是經(jīng)過均衡負載的存儲柜，如此，一方面使得各存儲柜的負載均衡，避免了出現(xiàn)負載超過100%的存儲柜，降低了自動化物料搬運系統(tǒng)故障的風險，另一方面，上述方案利用了現(xiàn)有的自動化物料搬運系統(tǒng)的接口，豐富了制造執(zhí)行系統(tǒng)以及實時派工系統(tǒng)的模塊功能，換言之，未改變物料控制系統(tǒng)，因而成本較低。
[0024]2)可選方案中，動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率有兩種實現(xiàn)途徑:a)通過掃描每一備用存儲柜的存儲量加以獲得山)記錄每一晶圓傳送盒所在的存儲柜加以獲得。
[0025]3)可選方案中，動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率中，所述備用存儲柜是經(jīng)過分類、適于存放該晶圓傳送盒的備用存儲柜，即在統(tǒng)計存儲率時，避免了統(tǒng)計不適于放置待存儲晶圓傳送盒的存儲柜，減少了統(tǒng)計量，節(jié)省了成本，提高了效率。
[0026]4)可選方案中，動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率中，若存在存儲率超過安全存儲率的備用存儲柜，則記錄該備用存儲柜的信息，當下一晶圓傳送盒存儲時，該備用存儲柜不再為該下一晶圓傳送盒的備用存儲柜。上述方案避免了下一晶圓傳送盒存儲時，統(tǒng)計不可能存入的備用存儲柜的存儲率，節(jié)省了成本，提高了效率。
【附圖說明】
[0027]圖1是本發(fā)明實施例提供的實現(xiàn)晶圓傳送盒存儲的系統(tǒng)的模塊結(jié)構(gòu)圖；
[0028]圖2是圖1中的系統(tǒng)對應的晶圓傳送盒的存儲方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0029]如【背景技術(shù)】中所述，現(xiàn)有的制造執(zhí)行系統(tǒng)給出目標存儲柜是靜態(tài)的，只有當該目標存儲柜負載超過100%時，才能存入備用存儲柜，這會造成一些存儲柜時刻處于故障的風險中。本發(fā)明針對上述問題，提出當一晶圓傳送盒需進行存儲時，不是直接將其放入制造執(zhí)行系統(tǒng)指定的目標存儲柜或該的目標存儲柜負載100%后轉(zhuǎn)而放入備用存儲柜，而是先判斷該目標存儲柜的存儲率是否超過安全存儲率，若未超過，才將晶圓傳送盒存入所述目標存儲柜；若超過，需動態(tài)獲取備用存儲柜的存儲率，將晶圓傳送盒放入存儲率最低的備用存儲柜?？梢姡鲜龇桨钢形锪峡刂葡到y(tǒng)收到的不是制造執(zhí)彳丁系統(tǒng)中指定的靜態(tài)目標存儲柜，而是經(jīng)過均衡負載的存儲柜，如此，一方面使得各存儲柜的負載均衡，避免了出現(xiàn)負載超過100%的存儲柜，降低了自動化物料搬運系統(tǒng)故障的風險，另一方面，上述方案利用了現(xiàn)有的自動化物料搬運系統(tǒng)的接口，豐富了制造執(zhí)行系統(tǒng)以及實時派工系統(tǒng)的模塊功能，換言之，未改變物料控制系統(tǒng)，因而成本較低。
[0030]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施例做詳細的說明。
[0031]圖1是本發(fā)明實施例提供的實現(xiàn)晶圓傳送盒存儲的系統(tǒng)的模塊結(jié)構(gòu)圖；圖2是圖1中的系統(tǒng)對應的晶圓傳送盒的存儲方法的流程圖。
[0032]首先介紹系統(tǒng)。參照圖1所示，該系統(tǒng)包括:
[0033]制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES) 1，用于指定晶圓傳送盒的目標存儲柜，且判斷該晶圓傳送盒的目標存儲柜的存儲率是否超過安全存儲率，若超過，則發(fā)超過信息給實時派工系統(tǒng)、