0037]圖4B提供了偏心外流區(qū)段400的簡化內(nèi)部視圖。偏心流出區(qū)段400的內(nèi)部包括置于中央的內(nèi)部偏心軸環(huán)445，所述偏心軸環(huán)445具有橢圓的內(nèi)部流出貫穿孔450。
[0038]偏心流出區(qū)段的內(nèi)部進(jìn)一步包括第一輪廓環(huán)460與第二輪廓環(huán)465，第一輪廓環(huán)460與第二輪廓環(huán)465之間由平坦區(qū)域470予以分隔。所述平坦區(qū)域470耦接于軸環(huán)210的平坦邊緣。偏心流出區(qū)段400的內(nèi)部進(jìn)一步包括內(nèi)部偏心軸環(huán)445，內(nèi)部偏心軸環(huán)445具有比內(nèi)部區(qū)段165的軸環(huán)210小的直徑475。偏心流出區(qū)段400的內(nèi)部偏心軸環(huán)445的尺寸夠小而能夠配入內(nèi)部區(qū)段165的軸環(huán)210中。在某些實(shí)施方式中，流出區(qū)段170焊接至內(nèi)部區(qū)段165的軸環(huán)210，內(nèi)部區(qū)段165亦焊接至混合器100。
[0039]圖5描繪了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施方式的圖1A與圖1B中的混合器的示意圖。圖5是是使用圖1A與圖1B的壓緊混合器100的系統(tǒng)500的實(shí)施方式。系統(tǒng)500包括控制第一閥130與第二閥160的控制器515，第一閥130控制進(jìn)入混合腔室145的第一氣體115的流量，而第二閥160控制進(jìn)入所述混合腔室145的第二氣體155的流量?？刂破?15包括微控制器、存儲(chǔ)器、致動(dòng)器和類似物，以選擇性地致動(dòng)所述第一閥130與所述第二閥160?；旌锨皇?45輸出氣體至流速控制器(FRC) 505。FRC 505經(jīng)由一系列的BRC配件/連接件510而輸出。在某些實(shí)施方式中，F(xiàn)RC 505可經(jīng)由VCR配件而連接。
[0040]前述說明與本發(fā)明的實(shí)施方式相關(guān)，但也可在不脫離本發(fā)明基本范圍下設(shè)計(jì)本發(fā)明的其它與進(jìn)一步的實(shí)施方式。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓緊氣體混合器，包括: 基本區(qū)段，包括第一氣體輸入、第二氣體輸入、以及輸出開口 ； 混合腔室，具有形成于所述基本區(qū)段內(nèi)的混合空間，其中所述混合腔室流體耦接至所述第一氣體輸入與所述第二氣體輸入以接收輸入氣體；及 內(nèi)部區(qū)段，設(shè)置在所述混合腔室內(nèi)，所述內(nèi)部區(qū)段包括: 主體，具有內(nèi)部空間； 一或多個(gè)周邊孔，形成貫穿所述主體而使所述混合腔室的所述混合空間流體耦接至所述內(nèi)部區(qū)段的所述內(nèi)部空間；及 氣體出口，配置以使氣體流經(jīng)所述基本區(qū)段的所述輸出開口。2.如權(quán)利要求1所述的壓緊氣體混合器，其中所述內(nèi)部區(qū)段進(jìn)一步包括封閉端，所述封閉端與所述內(nèi)部區(qū)段的所述氣體出口相對(duì)。3.如權(quán)利要求2所述的壓緊氣體混合器，其中所述一或多個(gè)周邊孔形成為呈傾斜角度，且自在所述氣體出口近側(cè)的所述內(nèi)部區(qū)段的周邊延伸至所述封閉端近側(cè)的所述內(nèi)部區(qū)段的所述內(nèi)部空間。4.如權(quán)利要求2所述的壓緊氣體混合器，其中所述內(nèi)部區(qū)段的所述封閉端與所述氣體出口呈漸縮狀。5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的壓緊氣體混合器，其中所述第一氣體輸入與第二氣體輸入各分別耦接至至少一個(gè)控制閥。6.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的壓緊氣體混合器，所述壓緊氣體混合器進(jìn)一步包括通過導(dǎo)管，所述通過導(dǎo)管設(shè)于所述基本區(qū)段內(nèi)，所述通過導(dǎo)管使所述基本區(qū)段的下表面流體耦接至所述基本區(qū)段的上表面。7.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的壓緊氣體混合器，所述壓緊氣體混合器進(jìn)一步包括流出區(qū)段，所述流出區(qū)段具有設(shè)置穿過所述基本區(qū)段的所述流出開口的軸環(huán)，且耦接至所述內(nèi)部區(qū)段的所述氣體出口以形成氣體流出通道。8.如權(quán)利要求7所述的壓緊氣體混合器，其中所述流出區(qū)段沿著所述內(nèi)部區(qū)段的所述氣體出口的周邊密封所述基本區(qū)段的所述流出開口，使得僅有來自所述內(nèi)部區(qū)段的氣體自所述壓緊氣體混合氣流出。9.如權(quán)利要求7所述的壓緊氣體混合器，其中所述流出區(qū)段耦接至流量比率控制器。10.一種壓緊氣體混合器，包括: 基本區(qū)段，包括混合腔室、第一氣體輸入、第二氣體輸入、通過導(dǎo)管、以及輸出開口，所述混合腔室具有設(shè)于所述基本區(qū)段內(nèi)的混合空間，所述第一氣體輸入設(shè)于所述基本區(qū)段的第一側(cè)部上且耦接至所述混合腔室，所述第二氣體輸入設(shè)于所述基本區(qū)段的相對(duì)第二側(cè)部上且耦接至所述混合腔室，所述通過導(dǎo)管設(shè)置自所述第一側(cè)部通過所述基本區(qū)段而至所述第二側(cè)部且不耦接至所述混合腔室，所述輸出開口設(shè)于所述基本區(qū)段的所述第一側(cè)部與所述第二側(cè)部之間的端部上；及 內(nèi)部區(qū)段，設(shè)于所述混合腔室內(nèi)且與所述混合腔室的壁部分開，所述內(nèi)部區(qū)段具有主體與氣體出口，所述主體具有內(nèi)部空間，所述氣體出口耦接至所述內(nèi)部空間以使氣體從所述內(nèi)部空間流經(jīng)所述基本區(qū)段的所述輸出開口，其中所述內(nèi)部區(qū)段進(jìn)一步包括一或多個(gè)周邊孔，所述一或多個(gè)周邊孔形成為貫穿所述主體并使所述混合腔室的所述混合空間流體耦接至所述內(nèi)部區(qū)段的所述內(nèi)部空間，以提供自所述第一氣體輸入與第二氣體輸入至所述輸出開口的流體路徑。11.如權(quán)利要求10所述的壓緊氣體混合器，所述壓緊氣體混合器進(jìn)一步包括流出區(qū)段，所述流出區(qū)段具有設(shè)置通過所述基本區(qū)段的所述輸出開口的軸環(huán)，且耦接至所述內(nèi)部區(qū)段的所述氣體出口以形成氣體流出通道，其中所述流出區(qū)段沿著所述輸出開口的周邊而耦接至所述基本區(qū)段。12.一種用于混合氣體的系統(tǒng)，包括: 第一閥，耦接至第一導(dǎo)管而控制第一氣體的流量； 第二閥，耦接至第二導(dǎo)管而控制第二氣體的流量； 控制器，控制所述第一閥與所述第二閥； 基本區(qū)段，具有耦接至所述第一導(dǎo)管的第一氣體輸入、耦接至所述第二導(dǎo)管的第二氣體輸入、以及輸出開口 ； 混合腔室，具有形成于所述基本區(qū)段內(nèi)的混合空間，其中所述混合腔室流體耦接至所述第一氣體輸入與所述第二氣體輸入以接收輸入氣體；及 內(nèi)部區(qū)段，設(shè)于所述混合腔室內(nèi)，所述內(nèi)部區(qū)段包括: 主體，具有內(nèi)部空間； 一或多個(gè)周邊孔，形成貫穿所述主體而使所述混合腔室的所述混合空間流體耦接至所述內(nèi)部區(qū)段的所述內(nèi)部空間；及 氣體出口，配置以使氣體流經(jīng)所述基本區(qū)段的所述輸出開口。13.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述內(nèi)部區(qū)段進(jìn)一步包括封閉端，所述封閉端與所述內(nèi)部區(qū)段的所述氣體出口相對(duì)。14.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括使用所述控制器以選擇性地開啟與關(guān)閉所述第一閥與第二閥，以控制所述第一氣體與第二氣體于所述混合腔室中的混合比例。15.如權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括設(shè)置在所述基本區(qū)段內(nèi)的通過導(dǎo)管，所述通過導(dǎo)管使所述基本區(qū)段的下表面流體耦接至所述基本區(qū)段的上表面。
【專利摘要】用于混合氣體的裝置與系統(tǒng)包括：耦接至第一導(dǎo)管而控制第一氣體的流量的第一閥、耦接至第二導(dǎo)管而控制第二氣體的流量的第二閥、控制閥的控制器，具有耦接至所述第一導(dǎo)管的第一氣體輸入、耦接至所述第二導(dǎo)管的第二氣體輸入、及輸出開口的基本區(qū)段，形成于所述基本區(qū)段內(nèi)的混合腔室，以及設(shè)于所述混合腔室內(nèi)的內(nèi)部區(qū)段，其中所述混合腔室耦接至所述第一氣體輸入與所述第二氣體輸入以接收輸入氣體，所述內(nèi)部區(qū)段包括具有內(nèi)部空間的主體、以及一或多個(gè)周邊孔，所述一或多個(gè)周邊孔形成貫穿所述主體而使所述混合腔室流體耦接至所述內(nèi)部區(qū)段的所述內(nèi)部空間；及氣體出口，配置以使氣體流經(jīng)所述基本區(qū)段的輸出開口。
【IPC分類】H01L21/02
【公開號(hào)】CN105190834
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480013736
【發(fā)明人】約翰·W·萊恩, 貝林·達(dá)朗, 拉馬錢德拉·穆爾蒂·貢圖瑞, 麻里烏斯·格雷戈?duì)? 巴斯旺·曼珠納斯, 普拉沙司·瓦蘇戴瓦
【申請(qǐng)人】應(yīng)用材料公司
【公開日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2014年2月21日
【公告號(hào)】US9327252, US20140269156, WO2014149351A1