之間的一突出部33，該突出部33的外徑大于該第一通孔221的孔徑，該第一桿體31和該第二桿體32的外徑均小于該第一通孔221的孔徑，
[0053]該空心桿3的長度被設(shè)置為:當該空心桿3被插入于該容器、且該空心桿的第二桿體32伸出該第一通孔并且該空心旋帽2旋緊于該頸部12時，該第一桿體31抵設(shè)于該容器的底部，該突出部33的一端(靠近第二桿體的一端)抵設(shè)于該端面。
[0054]具體來說，該第一桿體、該第二桿體和該突出部是一體成型的。
[0055]本實施例的供料裝置的使用方法是這樣的:
[0056]特別參考圖7-圖9，先將固體原料4置入容器I中，在填料過程中容器是正向放置的，即容器的瓶口向上。之后將空心桿3插入容器中，將該空心旋帽2穿過空心桿3的第二桿體并且使開空心旋帽旋緊于該頸部12，并且保證空心桿的第一桿體的端部與容器底部抵設(shè)，而不與固體原料接觸。也就是說，容置空間111被空心桿3 —分為二(分別以Illa和Illb表示)。接著翻轉(zhuǎn)整個供料裝置使瓶口向下，固體原料4會集中在容置空間接近頸部的位置處。
[0057]接著將該空心旋帽2旋松，空心旋帽2會向下移動，同時使得空心桿3也會在重力作用下隨著空心旋帽2的移動而向下移動使得第一桿體不再抵設(shè)于容器的底部，由此第一桿體和容器的底部之間相隔一定距離，形成間隙111c。此時，加熱該供料裝置使得固體原料被氣化，氣化所得的氣體可以通過間隙Illc流入空心桿3中，最終通過該空心桿被通入離子源的真空腔中(圖中未示出)。
[0058]在氣化溫度(固體原料的加熱溫度)不高且對真空腔的真空度要求不高的場合，可以采用本實施例所述的供料裝置，使用狀態(tài)下的該供料裝置的狀態(tài)如圖9所示，空心旋帽2的端面通過密封裝置(例如O型圈)與真空腔之間形成密封連接(真空腔包括一頂面，該頂面上開有進料口)，空心桿的第二桿體通過進料口伸入真空腔中，以使得氣體被通入該真空腔中。
[0059]實施例2
[0060]實施例2的基本原理與實施例1 一致，空心桿和空心旋帽的結(jié)構(gòu)參考實施例1，不同之處在于:
[0061]參考圖10-圖12，該供料裝置還包括一外套5，該外套5包括一中空筒體51以及與該中空筒體51的一端相連的端部52，該端部52上設(shè)置有與該中空筒體51相貫通的第二通孔521，
[0062]該中空筒體51的另一端與該容器主體的肩部13相連，該頸部12穿設(shè)于該中空筒體51中。
[0063]其中，該第二通孔521的孔徑大于該空心旋帽2的外徑，并且該容器和該外套是一體成型的。
[0064]本實施例所述的供料裝置的使用方法與實施例1是相同的，在容器正向放置時填入固體原料，之后將空心桿插入容器中直至第一桿體的端部觸及容器的底部，再將該空心旋帽旋緊于該頸部，此時該空心桿第一桿體的端部是緊緊抵設(shè)于該容器的底部的。接著翻轉(zhuǎn)該容器使瓶口向下，固體原料(為了圖示的簡潔，在本實施例的相關(guān)附圖中未示出)會集中在容置空間接近頸部的位置處。
[0065]然后將空心旋帽旋松，由此空心桿會隨著空心旋帽的移動而向下移動，這樣，第一桿體的端部就會脫離與容器底部的接觸，形成間隙111c，固體原料被加熱后氣化的氣體就可以通過間隙11 Ic進入空心桿中，從而被通入離子源的真空腔中。
[0066]在氣化溫度(固體原料的加熱溫度)比較高的場合，可以采用本實施例所述的供料裝置，使用狀態(tài)下的該供料裝置的狀態(tài)如圖12所示，此時真空腔通過密封裝置(例如O型圈)與該外套的該端部相連，該空心桿的第二桿體伸入該真空腔中，由此將氣體通入真空腔。由于該端部具有較大的面積，在較高的溫度下也能保證密封裝置不會過熱，從而保證真空腔被較好的真空密封。
[0067]實施例3
[0068]參考圖13-圖15，本實施例中供料裝置的大體結(jié)構(gòu)與實施例2相同，真空腔的頂面61上設(shè)置有凹槽611，該凹槽611用于放置密封圈7 (例如O型圈)，從頂面所在平面的方向上來看(端部的徑向L)，凹槽611設(shè)置于靠近端部52的外邊緣處，例如凹槽611距離端部52的外邊緣2cm。該外套的端部52具有較大的面積，例如該端部52的外徑為50cm。
[0069]當固體原料的氣化溫度比較高的時候，供料裝置的容器主體將被加熱裝置加熱到相當高的溫度，熱量必然會有一部分向外套傳導(dǎo)。而一般的密封圈很難承受高溫，一旦密封圈承受不了過高的溫度就無法保證真空腔的密封性。而在本實施例中，由于端部52的面積較大，密封圈7又設(shè)置于遠離頸部的位置，相對靠近端部的外邊緣處，由于端部在徑向上形成溫度梯度分布，端部的外邊緣處的溫度不會很高，那么密封圈不會受到過高溫度的影響，不容易產(chǎn)生形變，也就保證了在較高加熱氣化溫度的情況下真空腔的密封性。
[0070]并且該端部由絕緣材料制成，即使氣化固體原料的氣化裝置在高壓下工作，也不會影響到供料裝置和真空腔，供料裝置和真空腔依然在大地電位上。
[0071]再者，本實施例中的供料裝置中，使得頸部12和中空筒體51之間形成5_的間隙8。
[0072]通常真空腔都需要冷卻以使其控制在一相對較低的溫度，那么真空腔的腔壁相對較冷，而氣化固體原料又需要加熱，若加熱容器主體的溫度過高那么會影響到頸部，使得頸部也具有較高的溫度，頸部的溫度如果過高難免會傳導(dǎo)至端部，可能會對密封圈造成影響；若真空腔的溫度過低也會影響到頸部，使得頸部溫度過低，那么氣體從較熱的容器主體進入較冷的頸部容易發(fā)生凝華而沉積于供料裝置的頸部，這顯然也是不利的。
[0073]為此，該間隙8的存在能平衡頸部的溫度，當供料裝置被裝配于真空腔上并且完成密封時，隨著真空腔被抽真空，間隙8處也是真空狀態(tài)的，這一真空層的存在限制了熱的傳導(dǎo)，使得供料裝置被加熱、真空腔被冷卻的同時基本不會造成頸部處氣體的凝華，頸部的溫度也不會過高從而使得端面的溫度過高。
[0074]雖然以上描述了本實用新型的【具體實施方式】，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當理解，這些僅是舉例說明，本實用新型的保護范圍是由所附權(quán)利要求書限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本實用新型的原理和實質(zhì)的前提下，可以對這些實施方式做出多種變更或修改，但這些變更和修改均落入本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種供料裝置，其特征在于，其包括一容器、一空心旋帽和一空心桿，其中， 該容器包括一容器主體以及與該容器主體相連的一頸部，該容器主體具有用于盛放固體原料的容置空間，該頸部上設(shè)置有外螺紋； 該空心旋帽包括側(cè)壁、與側(cè)壁一端相連的端面以及由該側(cè)壁限定的中空部，該端面上設(shè)置有與該中空部相連通的一第一通孔，該中空部用于使該空心桿穿過，該側(cè)壁的內(nèi)壁上設(shè)置有與該外螺紋相適配的內(nèi)螺紋； 該空心桿包括均為中空的第一桿體、第二桿體以及位于該第一桿體和第二桿體之間的一突出部，該突出部的外徑大于該第一通孔的孔徑，該第一桿體和該第二桿體的外徑均小于該第一通孔的孔徑， 該空心桿的長度被設(shè)置為:當該空心桿被插入于該容器、且該空心桿的第二桿體伸出該第一通孔并且該空心旋帽旋緊于該頸部時，該第一桿體抵設(shè)于該容器的底部，該突出部的一端抵設(shè)于該端面。2.如權(quán)利要求1所述的供料裝置，其特征在于，該第一桿體、該第二桿體和該突出部一體成型。3.如權(quán)利要求1所述的供料裝置，其特征在于，該供料裝置還包括一外套，該外套包括一中空筒體以及與該中空筒體的一端相連的端部，該端部上設(shè)置有與該中空筒體相貫通的第二通孔， 該中空筒體的另一端與該容器主體的肩部相連，該頸部穿設(shè)于該中空筒體中。4.如權(quán)利要求3所述的供料裝置，其特征在于，該第二通孔的孔徑大于該空心旋帽的外徑。5.如權(quán)利要求3所述的供料裝置，其特征在于，該容器和該外套是一體成型的。6.如權(quán)利要求3所述的供料裝置，其特征在于，該外套為絕緣外套。7.如權(quán)利要求3所述的供料裝置，其特征在于，該端部的外徑為5cm-50cm。8.如權(quán)利要求3所述的供料裝置，其特征在于，該中空筒體和該頸部之間的間隙為lmm-20mmo9.如權(quán)利要求1-8中任意一項所述的供料裝置，其特征在于，該容器是由耐高溫材料制得的，其中耐高溫為耐受溫度達到800°C -1000°C。10.一種離子源裝置，其包括一真空腔，其特征在于，該真空腔通過冷卻裝置冷卻，該真空腔包括一頂面，該頂面上開設(shè)有一進料口，該離子源裝置還包括如權(quán)利要求1所述的供料裝置，該容器與該空心桿通過該旋帽被固定時，該第二桿體通過該進料口伸入該真空腔中，該容器主體的肩部與該頂面通過密封裝置密封。11.如權(quán)利要求10所述的離子源裝置，其特征在于，該頂面上設(shè)置有凹槽，該凹槽中置有密封圈，該肩部與該頂面通過該密封圈使該進料口密封。12.—種離子源裝置，其包括一真空腔，其特征在于，該真空腔通過冷卻裝置冷卻，該真空腔包括一頂面，該頂面上開設(shè)有一進料口，該離子源裝置還包括如權(quán)利要求3所述的供料裝置，該容器與該空心桿通過該旋帽被固定時，該第二桿體通過該進料口伸入該真空腔中，該外套的該端部與該頂面通過密封裝置密封。13.如權(quán)利要求12所述的離子源裝置，其特征在于，該頂面上設(shè)置有凹槽，該凹槽中置有密封圈，該端部與該頂面通過該密封圈使該進料口密封，該密封圈距離該端部的外邊緣 bO τττ^ γλ ττπττ/~?
【專利摘要】本實用新型公開了一種供料裝置和離子源裝置，該供料裝置包括容器、空心旋帽和空心桿，該容器包括一容器主體以及一頸部；該空心旋帽包括側(cè)壁、端面和中空部，該中空部用于使該空心桿穿過；該空心桿包括均為中空的第一桿體、第二桿體以及位于該第一桿體和第二桿體之間的一突出部，當該空心桿被插入于該容器、且該空心桿的第二桿體伸出該第一通孔并且該空心旋帽旋緊于該頸部時，該第一桿體抵設(shè)于該容器的底部，該突出部的一端抵設(shè)于該端面。通過容器、空心旋帽和空心桿的組合使用，使得在倒置使用的情況下填料口和出氣口合二為一成為可能；同時還能保證容器在倒置使用中，固體原料不會堵塞瓶口或進入空心桿體中造成真空腔的污染。
【IPC分類】H01J37/02, H01J37/317
【公開號】CN204668275
【申請?zhí)枴緾N201520438997
【發(fā)明人】洪俊華, 楊勇
【申請人】上海凱世通半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年6月23日