氣壓平衡裝置、反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)以及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其是一種氣壓平衡裝置、反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)以及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓的各項(xiàng)制程需要在機(jī)臺(tái)上的反應(yīng)室內(nèi)完成，所述反應(yīng)室通過(guò)一泵送管與一泵連接，所述泵與一尾氣處理設(shè)備連接，在所述晶圓的制程過(guò)程中，所述泵向所述反應(yīng)室內(nèi)提供動(dòng)力，將所述反應(yīng)室內(nèi)的氣壓控制在一定的要求內(nèi)，比如根據(jù)各種反應(yīng)室的要求，將所述反應(yīng)室內(nèi)的氣壓控制在6Torr、8Torr、1Torr或者20Torr等以?xún)?nèi)，以保證所述反應(yīng)室的正常工作，而制程過(guò)程中產(chǎn)生的尾氣則通過(guò)所述尾氣處理設(shè)備排出。
[0003]但在晶圓的制程過(guò)程中，會(huì)發(fā)生所述泵突然卡死的情況，當(dāng)所述泵卡死時(shí)，所述泵會(huì)逐漸的減慢轉(zhuǎn)速，慢慢的停止工作，所述泵及所述泵送管中的氣體會(huì)倒灌入所述反應(yīng)室中，從而導(dǎo)致所述反應(yīng)室中的產(chǎn)品大量報(bào)廢。
[0004]目前尚無(wú)合理的方案來(lái)解決所述泵送管及所述泵中氣體倒灌的問(wèn)題，因而會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品的大量報(bào)廢。而對(duì)所述泵的卡死問(wèn)題的整修，則是需要拆卸大量的部件，例如:氣管、滑閥、過(guò)濾器以及反應(yīng)室等，需要花費(fèi)大量的時(shí)間、人力和物力，進(jìn)一步加大了損失。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種氣壓平衡裝置，以解決由于泵卡死而引起的泵送管和泵中的氣體倒灌入反應(yīng)室的問(wèn)題。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種氣壓平衡裝置，用于反應(yīng)室的氣壓控制，所述反應(yīng)室和一第一泵通過(guò)第一泵送管連接，所述氣壓平衡裝置包括:
[0007]氣壓測(cè)量裝置，所述氣壓測(cè)量裝置位于所述反應(yīng)室內(nèi)；
[0008]控制器，所述控制器與所述氣壓測(cè)量裝置連接；
[0009]第二泵；
[0010]第二泵送管，所述第二泵送管的一端與第一泵送管連接，所述第二泵送管的另一端與所述第二泵連接；
[0011]隔離閥，所述隔離閥與所述控制器連接，所述隔離閥位于所述第二泵送管上。
[0012]優(yōu)選的，在上述的氣壓平衡裝置中，所述隔離閥的響應(yīng)時(shí)間小于所述反應(yīng)室的響應(yīng)時(shí)間。
[0013]優(yōu)選的，在上述的氣壓平衡裝置中，所述第一泵和所述第二泵相互獨(dú)立。
[0014]優(yōu)選的，在上述的氣壓平衡裝置中，所述第二泵與所述反應(yīng)室相互獨(dú)立。
[0015]優(yōu)選的，在上述的氣壓平衡裝置中，所述控制器為一電子開(kāi)關(guān)。
[0016]優(yōu)選的，在上述的氣壓平衡裝置中，所述氣壓測(cè)量裝置為真空氣壓計(jì)。
[0017]一種反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)，包括反應(yīng)室、第一泵、第一泵送管以及如上所述的氣壓平衡裝置，所述反應(yīng)室和所述第一泵通過(guò)所述第一泵送管連接。
[0018]優(yōu)選的，在上述的反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)中，所述反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)還包括尾氣處理設(shè)備，所述第一泵和所述第二泵分別與所述尾氣處理設(shè)備連接。
[0019]優(yōu)選的，在上述的反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)中，所述反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)還包括一排氣裝置，所述排氣裝置與所述尾氣處理設(shè)備連接，所述尾氣處理設(shè)備內(nèi)的尾氣通過(guò)所述排氣裝置排出。
[0020]優(yōu)選的，在上述的反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)中，所述第一泵通過(guò)一第一管線(xiàn)與所述尾氣處理設(shè)備連接，所述第二泵通過(guò)一第二管線(xiàn)與所述尾氣處理設(shè)備連接。
[0021]優(yōu)選的，在上述的反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)中，所述第一管線(xiàn)和所述第二管線(xiàn)相互獨(dú)立。
[0022]一種半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)，包括如上所述的反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)。
[0023]在本實(shí)用新型提供的氣壓平衡裝置、反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)以及半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中，當(dāng)所述氣壓測(cè)量裝置測(cè)量所述反應(yīng)室內(nèi)的氣壓達(dá)到一特定值時(shí)，即當(dāng)所述第一泵卡死逐漸停止工作時(shí)，所述氣壓測(cè)量裝置就向所述控制器發(fā)出一觸發(fā)信號(hào)，同時(shí)所述控制器觸發(fā)與所述控制器連接的隔離閥，使所述隔離閥打開(kāi)，通過(guò)與所述隔離閥連接的所述第二泵為所述反應(yīng)室提供動(dòng)力，抽取所述反應(yīng)室內(nèi)的氣體，避免所述泵送管與所述第一泵中的氣體倒灌入所述反應(yīng)室內(nèi)，避免了所述反應(yīng)室內(nèi)的產(chǎn)品報(bào)廢，從而節(jié)省了成本。
【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖中:101-反應(yīng)室；102_第一泵；103_第一泵送管；104_隔離閥；105_第二泵；106-尾氣處理設(shè)備；107_排氣裝置；108_第一管線(xiàn)；109_第二管線(xiàn)；110_氣壓測(cè)量裝置；111-控制器；112-第二泵送管。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)的描述。根據(jù)下列描述并結(jié)合權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0027]本實(shí)用新型提供了一種反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)，如圖1所示，包括反應(yīng)室、第一泵、第一泵送管以及一種氣壓平衡裝置，所述第一泵送管的一端與所述反應(yīng)室連接，所述第一泵送管的另一端與所述第一泵連接。具體的，所述第一泵送管的一端與所述反應(yīng)室連接，所述第一泵送管的另一端與所述第一泵連接。
[0028]其中，所述氣壓平衡裝置用于所述反應(yīng)室抽氣系統(tǒng)中反應(yīng)室的氣壓控制，所述反應(yīng)室和所述第一泵通過(guò)所述第一泵送管連接，包括:
[0029]設(shè)置在所述反應(yīng)室101內(nèi)的氣壓測(cè)量裝置110，與所述氣壓測(cè)量裝置110連接的控制器111，第二泵105，第二泵送管112，所述第二泵送管112的一端與第一泵送管103連接，所述第二泵送管112的另一端與所述第二泵105連接，以及與所述控制器111連接的隔離閥104，所述隔離閥104位于所述第二泵送管112上。
[0030]具體的，所述氣壓測(cè)量裝置110位于所述反應(yīng)室101內(nèi)，用于監(jiān)測(cè)所述反應(yīng)室101內(nèi)的氣壓值。當(dāng)與所述反應(yīng)室101通過(guò)第一泵送管103連接的第一泵102卡死時(shí)，也就是說(shuō)當(dāng)所述第一泵102逐漸減慢轉(zhuǎn)速，逐漸停止工作時(shí)，所述第一泵102抽取所述反應(yīng)室101內(nèi)氣體的動(dòng)力逐漸不足，使得所述反應(yīng)室101內(nèi)的氣壓逐漸增大，當(dāng)所述反應(yīng)室101內(nèi)的氣壓達(dá)到一第一臨界值時(shí)，所述氣壓測(cè)量裝置110則向與其連接的控制器111發(fā)送一信號(hào)，從而觸發(fā)所述控制器111。
[0031]在本實(shí)施例中，所述氣壓測(cè)量裝置110為一真空氣壓計(jì)。也就是說(shuō)當(dāng)所述真空氣壓計(jì)監(jiān)測(cè)到所述反應(yīng)室101內(nèi)的氣壓達(dá)到所述第一臨界值時(shí)，就將觸發(fā)所述控制器111。對(duì)于所述第一臨界值的設(shè)定，針對(duì)不同的反應(yīng)室設(shè)定不同的值。常用的反應(yīng)室正常工作的氣壓臨界值有6Torr、8Torr、1Torr或者20Torr等，針對(duì)不同的反應(yīng)室，所述第一臨界值也不同。
[0032]所述控制器111位于所述反應(yīng)室101外部，在本實(shí)施例中，所述控制器111為一電子開(kāi)關(guān)。當(dāng)接受到所述氣壓測(cè)量裝置110發(fā)出的信號(hào)后，所述電子開(kāi)關(guān)111將控制與其連接的隔咼閥104打開(kāi)。
[0033]所述隔離閥1