專利名稱：有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法和有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具備用于顯示器、顯示光源等電發(fā)光元件的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置及其制造方法以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，人們正在加速開(kāi)發(fā)一種使用有機(jī)物的發(fā)光元件來(lái)作為代替液晶顯示器的自發(fā)光型顯示器。作為一類在發(fā)光層中具有使用有機(jī)物的發(fā)光元件的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置主要有，如《應(yīng)用物理通訊》(Appl.Phys.Lett.)51(12)、1987年9月21日的第913頁(yè)中公開(kāi)的將低分子蒸鍍成膜的方法，以及《應(yīng)用物理通訊》(Appl.Phys.Lett.)71(1)、1997年7月7日的第34頁(yè)中公開(kāi)的涂布高分子的方法。
作為彩色化的手段，在低分子系材料的情況下所采用的方法一般是在所需的象素上隔著掩膜蒸鍍形成各種不同的發(fā)光材料。另一方面，由于高分子系材料可以容易地形成微細(xì)的圖案，因此可以使用噴墨法來(lái)實(shí)現(xiàn)彩色化，從而引起了人們的重視。關(guān)于利用噴墨法來(lái)形成有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的報(bào)導(dǎo)，已知的有如下的例子。特開(kāi)平7-235378、特開(kāi)平10-12377、特開(kāi)平10-153967、特開(kāi)平11-40358、特開(kāi)平11-54270、特開(kāi)平11-339957。
另外，從元件結(jié)構(gòu)的觀點(diǎn)考慮，為了提高發(fā)光效率和耐久性，多數(shù)情況下都是在陽(yáng)極和發(fā)光層之間形成空穴注入/輸運(yùn)層(《應(yīng)用物理通訊》(Appl.Phys.Lett.)51卷，1987年9月21日，第913頁(yè))。在傳統(tǒng)上，作為緩沖層或空穴注入/輸運(yùn)層，一般使用導(dǎo)電性高分子，例如聚噻吩衍生物和聚苯胺衍生物(《自然》(Nature)，357，477，1992年)，利用旋轉(zhuǎn)涂布等的涂布法形成薄膜。另外，關(guān)于低分子系材料，有文獻(xiàn)報(bào)導(dǎo)，通過(guò)蒸鍍苯胺衍生物來(lái)形成空穴注入/輸運(yùn)層。
上述的噴墨法不會(huì)浪費(fèi)由有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料構(gòu)成的發(fā)光層材料，能夠非常有效地作為簡(jiǎn)便的用于形成微細(xì)圖案的薄膜的手段。
發(fā)明所要解決的課題在利用噴墨法來(lái)形成使用有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料的發(fā)光層的情況下，可以使用由溶質(zhì)成分和溶劑形成的組合物，其中，使用有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料作為所說(shuō)的溶質(zhì)成分。
作為所說(shuō)的組合物，其中所含的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料可以只有1種，但是，含有多種有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料的組合物也廣泛地被使用。例如，將發(fā)光材料與熒光材料混合，這時(shí)，由發(fā)光材料發(fā)出的光被熒光材料轉(zhuǎn)變成其他波長(zhǎng)的光。
這樣，當(dāng)有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料有許多種的情況下，為了獲得所需的發(fā)光特性，必須使各種有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料以不發(fā)生相分離而是成為均勻地混合的狀態(tài)來(lái)成膜。
然而，在利用噴墨法來(lái)形成薄膜的過(guò)程中，所用的液滴非常小，所需的蒸發(fā)時(shí)間很短。因此，由液滴蒸發(fā)出來(lái)的溶劑分子在從基板附近充分?jǐn)U散之前就已達(dá)到飽和，這時(shí)，甚至已經(jīng)形成的薄膜也會(huì)再溶解。于是，在再溶解時(shí)，各種有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料就發(fā)生相互分離，其結(jié)果，屢屢產(chǎn)生有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的顯示性能劣化的問(wèn)題。
本發(fā)明鑒于上述存在的問(wèn)題，其目的是提供一種顯示特性優(yōu)良的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，在該方法中，在利用噴墨法形成發(fā)光層時(shí)不會(huì)引起相分離，因此可以形成均勻的發(fā)光層。另外，本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種具有均勻發(fā)光層并且顯示性能優(yōu)良的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。進(jìn)而，本發(fā)明的再一個(gè)目的是提供一種使用有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的電子設(shè)備。
為了達(dá)到本發(fā)明目的所用的手段本發(fā)明的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法是一種具有將2種以上含有有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料的組合物擠出到基板上成膜以形成發(fā)光層的工序的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，上述2種以上組合物對(duì)基板的擠出順序，是以構(gòu)成上述組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)少者先涂為順序，進(jìn)行擠出成膜。
本發(fā)明人注意到，在組合物中的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)越多，該組合物越容易發(fā)生相分離的問(wèn)題，因此，按照本發(fā)明，把有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)較多的組合物的擠出成膜步驟安排在有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)較少的組合物之后進(jìn)行。這樣就能防止由于擠出成膜后的再溶解所引起的相分離，從而可以制造顯示特性優(yōu)良的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
另外，本發(fā)明的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法是一種具有將2種以上含有有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料的組合物擠出到基板上成膜以形成發(fā)光層的工序的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，在上述2種以上的組合物中，構(gòu)成上述組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)相同的組合物對(duì)基板的擠出順序，是以構(gòu)成上述組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料在成膜后較難相分離者先涂為順序，進(jìn)行擠出成膜。
按照本發(fā)明，把在成膜后容易發(fā)生相分離的組合物的擠出成膜步驟安排在成膜后難以發(fā)生相分離的組合物之后進(jìn)行。這樣就能防止由于擠出成膜后的再溶解所引起的相分離，從而可以制造顯示特性優(yōu)良的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
按照本發(fā)明，在連續(xù)2次的組合物的擠出步驟中，優(yōu)選的是待先擠出的組合物干燥之后再進(jìn)行下一個(gè)組合物的擠出步驟。
這樣就能確實(shí)地防止由于再溶解所引起的相分離。
本發(fā)明的方法的優(yōu)選特征在于，該方法包含下述工序在上述基板上形成與多個(gè)象素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的第1電極和把該多個(gè)象素區(qū)域分隔開(kāi)的隔膜，并在上述多個(gè)第1電極上形成空穴注入/輸運(yùn)層的工序，然后形成上述發(fā)光層的工序，進(jìn)而在上述發(fā)光層上形成第2電極。
在此情況下，通過(guò)設(shè)置隔壁，可以在每一個(gè)象素區(qū)域中按照使2種以上組合物完全分離的方式擠出成膜。這樣就可以容易地確保各發(fā)光層本身的獨(dú)立性，從而能夠獲得顯示性能優(yōu)良的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
另外，由于形成了空穴注入/輸運(yùn)層，從而可以提高發(fā)光效率和耐久性。
應(yīng)予說(shuō)明，當(dāng)?shù)?電極是陽(yáng)極時(shí)，第2電極就是陰極，而當(dāng)?shù)?電極是陰極時(shí)，第2電極就是陽(yáng)極。
另外，本發(fā)明的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的特征在于，該裝置可以用上述本發(fā)明中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的形成方法制得。
按照本發(fā)明，可以制得一種具有均一發(fā)光層，并且顯示性能優(yōu)良的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
另外，本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，該設(shè)備具有在上述本發(fā)明中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
按照本發(fā)明，可以制得一種具有優(yōu)良顯示性能的顯示裝置的電子設(shè)備。
發(fā)明的實(shí)施方案下面參照

圖1～圖7來(lái)說(shuō)明本實(shí)施方案的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法。
本實(shí)施方案的制造方法具有下述工序隔壁形成工序、等離子體處理工序、空穴注入/輸運(yùn)層形成工序、表面改性工序、發(fā)光層形成工序、陰極形成工序和密封工序。
如圖1所示，在隔壁形成工序中，可以根據(jù)需要，在預(yù)先設(shè)置TFT等(圖中未示出)的基板10上形成的ITO等構(gòu)成的透明電極11上，通過(guò)順次地積層無(wú)機(jī)物圍堤層12a和有機(jī)物圍堤層12b，來(lái)形成隔開(kāi)各象素區(qū)域的圍堤層(隔壁)12。
無(wú)機(jī)物圍堤層12a可以通過(guò)下述方法形成，例如首先用CVD法、濺射法、蒸鍍法等在基板10和透明電極11的全部表面上形成SiO2、TiO2、SiN等的無(wú)機(jī)物膜，然后用蝕刻等方法將此無(wú)機(jī)物膜制成圖案，并在透明電極11上的象素區(qū)域設(shè)置開(kāi)口部13a。但是，在這時(shí)，使無(wú)機(jī)物圍堤層12a在透明電極11的周邊部分殘留下來(lái)。
另外，無(wú)機(jī)物圍堤層12a的膜厚的優(yōu)選范圍為50～200nm，特別優(yōu)選為150nm。
然后在基板10、透明電極11、無(wú)機(jī)物圍堤層12a的全部表面上形成有機(jī)物圍堤層12b。
另外，有機(jī)圍堤層12b可以通過(guò)以旋轉(zhuǎn)涂法、浸涂法等涂布由丙烯酸樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等的有機(jī)樹(shù)脂溶解于溶劑中而獲得的溶液來(lái)形成。
然后，利用照相制版技術(shù)蝕刻有機(jī)物圍堤層12b來(lái)設(shè)置開(kāi)口部13b。該有機(jī)物圍堤層12b的開(kāi)口部13b優(yōu)選如圖1所示那樣比無(wú)機(jī)物圍堤層12a的開(kāi)口部13a稍大一些。這樣就可以在透明電極11上形成貫通無(wú)機(jī)物圍堤層12a和有機(jī)物圍堤層12b的開(kāi)口部13。
另外，開(kāi)口部13的平面形狀可以是圓形、橢圓形、正方形、狹長(zhǎng)形之中的任一種形狀，但是由于油墨組合物具有表面張力，因此在正方形等的情況下，優(yōu)選在其角落處具有圓弧的形狀。
然后，在等離子體處理工序中，在圍堤部12的表面上形成顯示親油墨性的區(qū)域和疏油墨性的區(qū)域。
該等離子處理工序大致上包括預(yù)熱工序、使全部表面變成親油墨性的親油墨化工序、使有機(jī)物圍堤層12b變成疏油墨性的疏油墨化工序和冷卻工序。
在預(yù)熱工序中把包含圍堤部12的基板10加熱至預(yù)定溫度。加熱可按下述方法進(jìn)行，例如在等離子體處理室內(nèi)在載置有基板10的載物臺(tái)上安裝加熱器，利用該加熱器將該載物臺(tái)和基板10一起加熱至例如70～80℃。
通過(guò)進(jìn)行預(yù)熱，即使在對(duì)多個(gè)基板連續(xù)地進(jìn)行等離子體處理的情況下，也可以使處理一開(kāi)始直至結(jié)束之前的等離子體處理?xiàng)l件大致上保持一定。這樣就能使基板10上的圍堤部12對(duì)油墨組合物的親和性均一化，從而可以制造具有穩(wěn)定質(zhì)量的顯示裝置。
另外，通過(guò)對(duì)基板10進(jìn)行預(yù)熱，可以縮短在后續(xù)的等離子體處理中的處理時(shí)間。
在親油墨化工序中，在大氣氣氛中進(jìn)行以氧為反應(yīng)氣體的等離子體處理(O2等離子體處理)。具體地說(shuō)，把包含圍堤部12的基板10載置于內(nèi)藏加熱器的試樣載物臺(tái)上，然后用等離子體狀態(tài)的氧對(duì)其進(jìn)行照射。
該O2等離子體處理是在例如等離子體功率100～800kW、氧氣流量50～100cc/分、基板輸送速度0.5～10mm/秒和基板溫度70～90℃的條件下進(jìn)行。
通過(guò)這種O2等離子體處理，可以向透明電極11和無(wú)機(jī)物圍堤層12a的露出表面和有機(jī)物圍堤層12b的全部表面導(dǎo)入羥基，從而向其賦予親油墨性。
接著，對(duì)于疏油墨化工序，是在大氣氣氛中進(jìn)行以四氟甲烷(四氟化碳)作為反應(yīng)氣體的等離子體處理(CF4等離子體處理)。具體地說(shuō)，是把包含圍堤部12的基板10載置于內(nèi)藏加熱器的試樣載物臺(tái)上，然后等離子狀態(tài)的四氟甲烷(四氟化碳)對(duì)其進(jìn)行照射。
CF4等離子體處理是在例如等離子體功率100～800kW、四氟甲烷(四氟化碳)氣體流量50～100SCCM、基板輸送速度0.5～10mm/秒和基板溫度70～90℃的條件下進(jìn)行。另外，利用試樣載物臺(tái)的加熱，與第1等離子體處理室52的情況一樣，主要用于對(duì)已經(jīng)預(yù)熱的基板10進(jìn)行保溫。
而且，作為處理氣體，并不限于四氟甲烷(四氟化碳)，也可以使用其他氟碳化合物系的氣體。
利用CF4等離子體處理，可以向在先工序中已經(jīng)賦予親油墨性的有機(jī)物圍堤層中導(dǎo)入含氟基團(tuán)，從而向其賦予疏油墨性。用于構(gòu)成有機(jī)物圍堤層12b的丙烯酸樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等的有機(jī)物，可以通過(guò)用等離子狀態(tài)的氟碳化合物照射能容易地使羥基被含氟基團(tuán)取代，從而使其成為疏油墨化。
另一方面，透明電極11和無(wú)機(jī)物圍堤層12a的露出表面也會(huì)多少受到CF4等離子體處理的影響，但是不會(huì)影響其親和性。
接著，在冷卻處理室54中，作為冷卻工序，把由于等離子體處理而被加熱了的基板10冷卻至室溫。具體地說(shuō)，例如，把等離子體處理后的基板10載置在水冷板上以將其冷卻。
通過(guò)將等離子體處理后的基板10冷卻至室溫或預(yù)定的溫度(例如進(jìn)行噴墨工序的控制溫度)，然后就可以在規(guī)定的溫度下進(jìn)行后續(xù)的空穴注入/輸運(yùn)層形成工序。這樣，在利用噴墨法擠出含空穴注入/輸運(yùn)層材料的油墨組合物時(shí)，可以將墨滴以一定的體積連續(xù)地?cái)D出，從而可以均勻地形成空穴注入/輸運(yùn)層。
在上述的等離子體處理工序中，對(duì)于材質(zhì)不同的有機(jī)物圍堤層12a和無(wú)機(jī)物圍堤層12b，順次地進(jìn)行O2等離子體處理和CF4等離子體處理，這樣就能容易地在圍堤部12形成親油墨性的區(qū)域和疏油墨性的區(qū)域。
進(jìn)而，在空穴注入/輸運(yùn)層形成工序中，利用噴墨法把含空穴注入/輸運(yùn)層材料的油墨組合物15擠出到透明電極11上的開(kāi)口部13處，然后對(duì)其進(jìn)行干燥處理和熱處理，從而形成空穴注入/輸運(yùn)層16。
另外，在該空穴注入/輸運(yùn)層形成工序以后，優(yōu)選在沒(méi)有水分和氧的氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺夥罩羞M(jìn)行。
如圖2所示，向噴墨頭14中填充含有空穴注入/輸運(yùn)層材料的油墨組合物15，使噴墨頭14的噴嘴對(duì)著開(kāi)口部13，一邊使噴墨頭14與基板10進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，一邊在控制每一滴溶液量的條件下使油墨組合物15從噴墨頭14擠出到透明電極11上。
此處，作為適用的油墨組合物15，例如可以使用將聚亞乙基二羥基噻吩(PEDOT)等的聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸(PSS)等的混合物溶解于極性溶劑中形成的油墨組合物。作為極性溶劑，例如可以舉出異丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮(DMI)及其衍生物、乙酸卡必醇酯、乙酸丁基卡必醇酯等的二醇醚類。
作為更具體的油墨組合物15的組成，例如可以舉出由PEDOT/PSS混合物(PEDOT/PSS＝1∶20)12.52重量％、PSS1.44重量％、IPA10重量％、NMP27.48重量％、DMI50重量％形成的組合物。另外，油墨組合物的粘度優(yōu)選為2～20cPs左右，特別優(yōu)選為7～10cPs左右。
通過(guò)使用上述的油墨組合物，不會(huì)引起噴墨頭14的噴嘴堵塞，從而可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的擠出。
另外，作為空穴注入/輸運(yùn)層16的材料，對(duì)于紅·綠·藍(lán)(R·G·B)各發(fā)光層，可以使用同一種材料，也可以對(duì)各個(gè)發(fā)光層的材料作出變化。
擠出的油墨組合物15在開(kāi)口部13的經(jīng)過(guò)親油墨處理的透明電極11和無(wú)機(jī)物圍堤層12a的表面上擴(kuò)展開(kāi)。然后，油墨組合物15就從預(yù)定的擠出位置向四周擴(kuò)散，但是，即使油墨組合物15擠出到有機(jī)物圍堤層12b上，由于有機(jī)物圍堤層12b不被油墨組合物15濕潤(rùn)，因此，被排斥的油墨組合物15就會(huì)轉(zhuǎn)移入開(kāi)口部13內(nèi)。
油墨組合物15的擠出量由開(kāi)口部13的大小、準(zhǔn)備形成的空穴注入/輸運(yùn)層的厚度、油墨組合物15中的空穴注入/輸運(yùn)層材料的濃度等參數(shù)來(lái)決定。
另外，油墨組合物15不只是一次，也可以分?jǐn)?shù)次，擠出到同一個(gè)開(kāi)口部13中。在此情況下，各次擠出的油墨組合物15的量，可以每次相同，也可以每次不同。另外，在將油墨組合物15擠出時(shí)，每次不只擠出到同一個(gè)開(kāi)口部13內(nèi)的同一個(gè)位置，也可以各次擠出到開(kāi)口部13內(nèi)的不同位置。
然后如圖3所示，通過(guò)對(duì)擠出后的油墨組合物15進(jìn)行干燥處理來(lái)使油墨組合物15中所含的極性溶劑蒸發(fā)，從而形成空穴注入/輸運(yùn)層16。
該干燥處理例如可以在氮?dú)鈿夥罩?，在室溫下?33.3Pa(1乇)左右的壓力下進(jìn)行。如果壓力過(guò)低，則油墨組合物15就會(huì)發(fā)生崩沸，因此不好。另外，油墨組合物15也有若干殘留粘附在圍堤12的周壁表面上，但是，當(dāng)溫度超過(guò)室溫時(shí)，極性溶劑的蒸發(fā)速度就會(huì)增高，從而使該殘留粘附量過(guò)剩。因此，優(yōu)選將干燥處理的溫度限定在室溫以下。
在干燥處理后，接著在氮?dú)庵?，?yōu)選在真空中，在200℃下加熱10分鐘左右以進(jìn)行熱處理，并且優(yōu)選將殘存于空穴注入/輸運(yùn)層16內(nèi)的極性溶劑或水除去。
在上述的空穴注入/輸運(yùn)層形成工序中，擠出的油墨組合物15就會(huì)潤(rùn)濕親油墨性的透明電極11和無(wú)機(jī)物圍堤層12a的露出表面，而另一方面，在經(jīng)過(guò)疏油墨處理的有機(jī)物圍堤層12b上就幾乎沒(méi)有油墨組合物15附著，因此，即使在誤將油墨組合物15擠出到有機(jī)物圍堤層12b上的情況下，油墨組合物15由于被排斥而轉(zhuǎn)移到透明電極11和無(wú)機(jī)物圍堤層12a的露出表面上。這樣就能確實(shí)在透明象素電極11上形成空穴注入/輸運(yùn)層16。
然后，在發(fā)光層形成工序之前，先進(jìn)行表面改性工序。也就是說(shuō)，在發(fā)光層形成工序中，為了防止空穴注入/輸運(yùn)層16的再溶解，作為在形成發(fā)光層時(shí)使用的油墨組合物的溶劑，使用那些不會(huì)使空穴注入/輸運(yùn)層16溶解的非極性溶劑。
然而，從另一方面考慮，由于空穴注入/輸運(yùn)層16對(duì)非極性溶劑的親和性低，因此，即使把含非極性溶劑的發(fā)光層的油墨組合物擠出到空穴注入/輸運(yùn)層16上，由于空穴注入/輸運(yùn)層16排斥油墨組合物，因此不能使空穴注入/輸運(yùn)層16與發(fā)光層粘合，或者說(shuō)發(fā)光層不能均勻地涂布。
因此，為了提高空穴注入/輸運(yùn)層16的表面對(duì)非極性溶劑的親和性，優(yōu)選在形成發(fā)光層之前先對(duì)空穴注入/輸運(yùn)層16的表面進(jìn)行表面改性工序。
表面改性工序可按下法進(jìn)行，也就是使用一種于在形成發(fā)光層時(shí)使用的油墨組合物的非極性溶劑相同的溶劑或者于其同類的溶劑作為表面改性用溶劑，利用噴墨法、旋轉(zhuǎn)涂布法或浸涂法將該表面改性用溶劑涂布在空穴注入/輸運(yùn)層16上，然后將其干燥。
利用噴墨法的涂布可按下述方法進(jìn)行，也就是向噴墨頭充入表面改性用溶劑，使噴墨頭的噴嘴對(duì)準(zhǔn)空穴注入/輸運(yùn)層16，一邊使噴墨頭和基板10作相對(duì)移動(dòng)，一邊將表面改性用溶劑擠出到空穴注入/輸運(yùn)層16上。
另外，利用旋轉(zhuǎn)涂布法的涂布可按下述方法進(jìn)行，即，將基板10載置在例如旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)上，將表面改性用溶劑從上方滴落到基板10上，然后旋轉(zhuǎn)基板10以使表面改性用溶劑擴(kuò)展到基板10上的空穴注入/輸運(yùn)層16的全部表面上。而且，表面改性用溶劑雖然也能暫時(shí)地在經(jīng)過(guò)疏油墨處理的有機(jī)物圍堤層12b上擴(kuò)散，但是它會(huì)受旋轉(zhuǎn)離心力的作用而被甩開(kāi)，結(jié)果使得表面改性用溶劑只涂布在空穴注入/輸運(yùn)層16上。
另外，利用浸涂法的涂布可按下述方法進(jìn)行，即，將基板10浸漬于例如表面改性用溶劑中，然后將其提起，從而使表面改性用溶劑擴(kuò)展到空穴注入/輸運(yùn)層16的全部表面上。在此情況下，表面改性用溶劑雖然也能暫時(shí)地在經(jīng)過(guò)疏油墨處理的有機(jī)物圍堤層12b上擴(kuò)展，但是在提前時(shí)，表面改性用溶劑由于受有機(jī)物圍堤層12b的排斥而只涂布在空穴注入/輸運(yùn)層16上。
作為在該工序中使用的表面改性用溶劑，可以使用與油墨組合物的非極性溶劑相同的溶劑，例如環(huán)己基苯、二氫苯并呋喃、三甲苯、四甲苯等，也可以使用與油墨組合物的非極性溶劑同類的溶劑，例如甲苯、二甲苯等。
特別是在利用噴墨法涂布的情況下，優(yōu)選使用二氫苯并呋喃、三甲苯、四甲苯、環(huán)己基苯或其混合物，特別是與油墨組合物相同的溶劑混合物等；在利用旋轉(zhuǎn)涂布法或浸涂法涂布的情況下，優(yōu)選使用甲苯、二甲苯等。
對(duì)于干燥步驟，在利用噴墨法涂布的情況下，優(yōu)選將基板10載置于加熱板上，在200℃以下的溫度下加熱干燥以除去表面改性用溶劑；在利用旋轉(zhuǎn)涂布法或浸涂法的情況下，優(yōu)選是向基板10吹噴氮?dú)?，或者一邊使基板旋轉(zhuǎn)，一邊使氣流流過(guò)基板10的表面以使其干燥。
另外，表面改性用溶劑的涂布可以在空穴注入/輸運(yùn)層入層形成工序的干燥處理之后進(jìn)行，也可以在干燥除去涂布后的表面改性用溶劑之后再進(jìn)行空穴注入/輸運(yùn)層形成工序的熱處理。
通過(guò)進(jìn)行這樣的表面改性工序，可使得空穴注入/輸運(yùn)層16的表面容易被非極性溶劑濕潤(rùn)，因此使得在后續(xù)的工序中，可以將含發(fā)光層材料的油墨組合物均勻地涂布在空穴注入/輸運(yùn)層16上。
另外，可以把一般作為空穴輸運(yùn)層材料使用的芳基胺類化合物等溶解于上述的表面改性用溶劑中制成油墨組合物，然后利用噴墨法將該油墨組合物涂布在空穴注入/輸運(yùn)層上并將其干燥，從而在空穴注入/輸運(yùn)層上形成極薄的空穴輸運(yùn)層。
雖然空穴輸運(yùn)層的大部分溶入在后續(xù)工序中涂布的發(fā)光層中，但是它還有一部分以薄膜狀殘存于空穴注入/輸運(yùn)層16與發(fā)光層之間，這樣就能使空穴注入/輸運(yùn)層16與發(fā)光層之間的能量壘降低，從而使空穴的移動(dòng)變得容易，因此可以提高發(fā)光效率。
然后在發(fā)光層形成工序中，利用噴墨法把由有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料等的溶質(zhì)成分和溶劑構(gòu)成的油墨組合物17a、17b、17c(17c在圖中未示出)按照下述順序擠出到表面改性后的空穴注入/輸運(yùn)層16上，然后對(duì)其進(jìn)行干燥處理和熱處理，從而依次地形成了發(fā)光層18a、18b和18c。
作為有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料，可以使用[化1]～[化5]中示出的芴系高分子衍生物、(聚)對(duì)亞乙烯基苯衍生物、聚苯衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑、聚噻吩衍生物、苝系色素、香豆素系色素、若丹明系色素以及其他可溶于苯衍生物中的低分子有機(jī)EL材料、高分子有機(jī)EL材料等。例如，可以使用紅熒烯、苝、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅(ナィルレット)、香豆素、喹吖酮等。
在[化1]～[化5]中，n表示聚合度，在[化1]中的n為1000～50萬(wàn)，在[化2]中的n為1000～50萬(wàn)，在[化3]中的n為1000～50萬(wàn)，在[化4]中的n為1000～50萬(wàn)，在[化5]中的n為1000～50萬(wàn)。另外，在[化5]中的R是H、CH3、C2H5。
[化2] [化3] [化4] [化5] 作為非極性溶劑，優(yōu)選的是不會(huì)使空穴注入/輸運(yùn)層16溶解的溶劑，例如可以使用環(huán)己基苯、二氫苯并呋喃、三甲苯、四甲苯等。
通過(guò)將這樣的非極性溶劑用于發(fā)光層的油墨組合物中，可以在涂布油墨組合物時(shí)不會(huì)使空穴注入/輸運(yùn)層16再溶解。
而且，作為溶質(zhì)成分，除了有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料之外，還可以適當(dāng)?shù)睾姓澈蟿⒈砻婊钚詣?、粘度調(diào)整劑等。
如圖4所示，將油墨組合物17a填充入噴墨頭14中，使噴墨頭14的噴嘴對(duì)準(zhǔn)空穴注入/輸運(yùn)層16，一邊使噴墨頭14與基板10作相對(duì)移動(dòng)，一邊使控制每1滴液量的油墨從噴嘴擠出，并使油墨組合物17a擠出到空穴注入/輸運(yùn)層16上。
在此情況下，擠出的油墨組合物17a在空穴注入/輸運(yùn)層16上擴(kuò)展并將其潤(rùn)濕，另一方面，油墨組合物17a在經(jīng)過(guò)疏油墨處理的有機(jī)物圍堤層12b上幾乎不附著，因此，即使在誤將油墨組合物17a擠出到有機(jī)物圍堤層12b上的情況下，油墨組合物17a也會(huì)由于被排斥而轉(zhuǎn)移到空穴注入/輸運(yùn)層16上。這樣就能在空穴注入/輸運(yùn)層16上形成牢固粘合的油墨組合物17a的層。
油墨組合物17a的量由準(zhǔn)備形成的發(fā)光層18a的厚度、油墨組合物中的發(fā)光層材料的濃度等決定。
另外，油墨組合物17a的滴下可以只滴一次，也可以分?jǐn)?shù)次擠出到同一處的空穴注入/輸運(yùn)層16上。在此情況下，各次的油墨滴的量可以相同，也可以各不相同。另外，油墨液滴可以只擠出到空穴注入/輸運(yùn)層16的同一個(gè)地點(diǎn)，也可以各次擠出到空穴注入/輸運(yùn)層16內(nèi)的不同地點(diǎn)。
然后，通過(guò)對(duì)擠出后的油墨組合物17a進(jìn)行干燥處理來(lái)使油墨組合物中所含的非極性溶劑蒸發(fā)，從而形成如圖5所示的發(fā)光層18a。
干燥工序可以在例如氮?dú)夥罩校谑覝叵潞?33.3Pa(1乇)左右壓力的條件下進(jìn)行5～10分鐘，或者在40℃下用氮?dú)獯祰?～10分鐘。
作為其他的干燥手段，例如可以使用遠(yuǎn)紅外線照射法、高溫氮?dú)獯祰姺ǖ取?br> 接著，如圖6所示，與油墨組合物17a的情況同樣地將油墨組合物17b滴下，將其干燥，從而形成了發(fā)光層18b，最后，將油墨組合物17c滴下，將其干燥，從而形成了發(fā)光層18c，結(jié)果，如圖7所示，獲得了形成有3種類型發(fā)光層18a、18b、18c的基板。
此處，3種類型發(fā)光層18a、18b、18c的形成順序按以下的原則決定。
首先，在有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)不同的情況下，按有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)少者先涂的順序進(jìn)行。如果使成分?jǐn)?shù)多的顏色的發(fā)光層先形成，那么，由于后來(lái)形成的其他顏色的發(fā)光層的油墨組合物蒸發(fā)而產(chǎn)生的溶劑蒸氣的作用，使得在先形成的發(fā)光層再溶解，從而引起成分分離。
另外，在構(gòu)成油墨組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)相同的情況下，按照在成膜后難以發(fā)生相分離者先涂的順序進(jìn)行。相分離的難易程度可按下述方法進(jìn)行判斷，即，把需要比較的油墨組合物在同一的干燥條件下干燥，然后對(duì)所獲發(fā)光層的相分離程度進(jìn)行比較。這時(shí)，作為同一的干燥條件，可以舉出自然放置、加熱干燥、減壓干燥等，但是特別優(yōu)選的是自然放置。
相分離的程度可按下述方法判斷，例如，在由所獲的發(fā)光層發(fā)出的光譜中，發(fā)生完全相分離時(shí)所獲得的波長(zhǎng)的光究竟以何等程度殘存下來(lái)，據(jù)此來(lái)作出判斷。另外，也可根據(jù)在由所獲的發(fā)光層發(fā)出的光譜中，完全不發(fā)生相分離時(shí)所獲得的波長(zhǎng)的光的比例來(lái)判斷。
然后在陰極形成工序中，在發(fā)光層18a、18b、18c和有機(jī)物圍堤層12b的全部表面上形成陰極19。陰極19可以通過(guò)將多種材料積層來(lái)形成。
例如，接近發(fā)光層的一側(cè)優(yōu)選以功函數(shù)小的材料來(lái)形成，例如可以使用Ca、Ba等，另外，根據(jù)材料的不同，有時(shí)可以在下層形成一層薄薄的LiF層。另外，優(yōu)選在上部側(cè)(密封側(cè))使用功函數(shù)比下部側(cè)(發(fā)光層側(cè))的陰極層的功函數(shù)高的材料，例如優(yōu)選的是由Al膜、Ag膜、Mg/Ag積層膜等構(gòu)成的材料。另外，該層材料的厚度例如優(yōu)選為100～1000nm的范圍，特別優(yōu)選為200～500nm左右。
這些陰極(陰極層)例如優(yōu)選用蒸鍍法、濺射法、CVD法等來(lái)形成，特別優(yōu)選用蒸鍍法來(lái)形成，因?yàn)樵摲椒梢苑乐褂砂l(fā)光層18a、18b、18c的熱所引起的損傷。
另外，氟化鋰可以只在發(fā)光層18a、18b、18c上形成，也可以只在某個(gè)特定的發(fā)光層上形成。在此情況下，其他的發(fā)光層優(yōu)選與由鈣構(gòu)成的陰極相連接。
另外，為了防止氧化，優(yōu)選在反射層上設(shè)置SiO、SiO2、SiN等的保護(hù)層。
最后，在密封工序中，在陰極19的全部表面上涂布由熱固性樹(shù)脂或紫外線固化樹(shù)脂構(gòu)成的密封材料，從而形成了密封層20。進(jìn)而，在密封層20上積層密封用基板(圖中未示出)。
密封工序優(yōu)選在氮、氬、氦等的惰性氣氛中進(jìn)行。如果在大氣中進(jìn)行，就會(huì)在反射層上產(chǎn)生針孔等的缺陷，在此情況下，水分或氧氣等就會(huì)從缺陷部分入侵到陰極19中，從而使陰極19被氧化，因此不好。
通過(guò)上述工序，就可獲得如圖8所示的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
按照本實(shí)施方案，有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)多的油墨組合物的擠出成膜工序安排在有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)少的油墨組合物之后進(jìn)行，同時(shí)，有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)相同的油墨組合物對(duì)基板的擠出工序按照在構(gòu)成油墨組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料成膜后難以發(fā)生相分離者先涂的順序進(jìn)行。這樣就能防止由于擠出成膜后的再溶解所引起的相分離，從而可以制得顯示性能優(yōu)良的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
下面對(duì)具有在上述實(shí)施方案中制造的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的電子設(shè)備的具體例進(jìn)行說(shuō)明。
圖10(a)是表示移動(dòng)電話一例的立體圖。在圖10(a)中，符號(hào)600表示移動(dòng)電話主體，符號(hào)601表示作為顯示部的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
圖10(b)是表示文字處理器(ヮ-プロ)、筆記本電腦等手提型信息處理裝置一例的立體圖。在圖10(b)中，符號(hào)700表示信息處理裝置，符號(hào)701表示鍵盤(pán)等的輸入部，符號(hào)703表示信息處理裝置主體，符號(hào)702表示作為顯示部的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
圖10(c)是表示手表型電子設(shè)備一例的立體圖。在圖10(c)中，符號(hào)800表示手表主體，符號(hào)801表示作為顯示部的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
按照本實(shí)施方案，可以制成具有顯示性能優(yōu)良的顯示裝置的電子設(shè)備。
(實(shí)施例)按照上述實(shí)施方案制造在實(shí)施例和比較例中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。具體的制造條件如下，但是，在發(fā)光層形成工序中的順序以外的條件，各實(shí)施例和比較例均相同。
(隔壁形成工序)在由ITO構(gòu)成的透明象素電極上形成圍堤層(隔壁)，以便形成開(kāi)口。透明電極以70.5μm的極距形成為矩陣狀，因此，圍堤層(隔壁)的開(kāi)口部也同樣地以70.5μm的極距形成為矩陣狀。圍堤層(隔壁)是將SiO2構(gòu)成的無(wú)機(jī)物圍堤層和聚酰亞胺構(gòu)成的有機(jī)物圍堤層積層而形成的。各個(gè)圍堤層均是在照相制版工序之后通過(guò)蝕刻工序來(lái)形成的。圍堤層的開(kāi)口部的形狀為圓形，有機(jī)物圍堤層開(kāi)口部的直徑為28μm，無(wú)機(jī)物圍堤層開(kāi)口部的直徑為44μm。另外，無(wú)機(jī)物圍堤層的高度為150nm，有機(jī)物圍堤層的高度為2μm。
(等離子體處理工序)作為親油墨化工序，進(jìn)行O2等離子體處理。O2等離子體處理的條件為室溫、大氣壓下、功率300W、電極-基板之間的距離1mm、氧氣流量100ccm、氦氣流量10SLM、載物臺(tái)移動(dòng)速度10mm/秒。接著，作為疏油墨化工序，進(jìn)行CF4等離子體處理。CF4等離子體處理的條件為CF4氣體流量100 SCCM、氦氣流量10 SLM、載物臺(tái)移動(dòng)速度為3mm/秒往返。
(空穴注入/輸運(yùn)層形成工序)使表1中所示的空穴注入/輸運(yùn)層用油墨組合物(バィェル社制的バィトロンP和聚亞乙基磺酸的混合物)由噴墨印刷裝置的噴頭(ェプソン社制MJ-930C)按15微微升擠出來(lái)進(jìn)行圖案涂布。在真空中(1乇)、室溫、20分鐘的條件下除去溶劑。接著，將同樣的空穴注入/輸運(yùn)層用油墨組合物按15微微升擠出來(lái)進(jìn)行圖案涂布。再在真空中(1乇)、室溫、20分鐘的條件下除去溶劑，然后在大氣中和200℃(加熱板上)進(jìn)行10分鐘的熱處理，從而形成空穴注入/輸運(yùn)層16。
表1空穴注入/輸運(yùn)層用油墨組合物

(表面改性工序)使1，2，3，4-四甲苯由噴墨印刷裝置(ェプソン社制MJ-930C)擠出以進(jìn)行涂布，然后將其置于加熱板上在200℃以下的溫度進(jìn)行加熱和干燥。
(發(fā)光層形成工序)首先配制表2～表4中所示的油墨組合物。表2中示出發(fā)光層(綠色)組合物，表3中示出發(fā)光層(藍(lán)色)組合物，表4中示出發(fā)光層(紅色)組合物。而且，表中的化合物1、2、4、5分別是與上述[化1]～[化5]相應(yīng)的化合物。
表2發(fā)光層(綠)油墨組合物

表3發(fā)光層(藍(lán))油墨組合物

表4發(fā)光層(紅)油墨組合物

①實(shí)施例1首先，使表3中示出的1％(wt/vol)濃度的發(fā)光層(藍(lán)色)組合物在N2氣流通的條件下按20微微升從噴墨印刷裝置(ェプソン社制MJ-930C)擠出，然后在25℃和1大氣壓的條件下干燥，獲得了藍(lán)色發(fā)光層。
然后，使表2中示出的1％(wt/vol)濃度的發(fā)光層(綠色)組合物在N2氣流通的條件下按20微微升擠出到相鄰的開(kāi)口部13中，然后在25℃和1大氣壓的條件下干燥，獲得了綠色發(fā)光層。
②實(shí)施例2
首先，使表3中示出的1％(wt/vol)濃度的發(fā)光層(藍(lán)色)組合物在N2氣流通的條件下按20微微升從噴墨印刷裝置(ェプソン社制MJ-930C)擠出，然后在25℃和1大氣壓的條件下干燥，獲得了藍(lán)色發(fā)光層。
然后，使表4中示出的1％(wt/vol)濃度的發(fā)光層(紅色)組合物在N2氣流通的條件下按20微微升擠出到相鄰的開(kāi)口部13中，然后在25℃和1大氣壓的條件下干燥，獲得了紅色發(fā)光層。
進(jìn)而，使表2中示出的1％(wt/vol)濃度的發(fā)光層(綠色)組合物在N2氣流通的條件下按20微微升擠出到再隔一個(gè)的開(kāi)口部13中，然后在25℃和1大氣壓的條件下干燥，獲得了綠色發(fā)光層。
③比較例首先，使表2中示出的1％(wt/vol)濃度的發(fā)光層(綠色)組合物在N2氣流通的條件下按20微微升從噴墨印刷裝置(ェプソン社制MJ-930C)擠出，然后在25℃和1大氣壓的條件下干燥，獲得了綠色發(fā)光層。
然后，使表3中示出的1％(wt/vol)濃度的發(fā)光層(藍(lán)色)組合物在N2氣流通的條件下按20微微升擠出到相鄰的開(kāi)口部中，然后在25℃和1大氣壓的條件下干燥，獲得了藍(lán)色發(fā)光層。
(陰極形成工序)利用蒸鍍法形成一層厚度為2nm的LiF層作為陰極層，然后再次利用蒸鍍法形成一層厚度為20nm的鈣層。然后利用濺射法形成一層厚度為200nm的鋁層作為陰極層。
(密封工序)在陰極的全部表面上涂布一層由環(huán)氧樹(shù)脂構(gòu)成的密封材料，從而形成密封層。進(jìn)而在密封層上積層密封用基板，從而獲得在各實(shí)施例和比較例中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
(評(píng)價(jià))圖9中示出了在比較例和實(shí)施例1中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的綠色發(fā)光層發(fā)出的光的光譜。如圖9(A)所示，比較例的綠色發(fā)光層顯示，有來(lái)自化合物1的藍(lán)色光(430nm)殘留，并顯示出斑點(diǎn)的水色光。
與此相對(duì)照，如圖9(B)所示，實(shí)施例1的綠色發(fā)光層顯示出綠色熒光(530nm)的大致上均一的光譜。
另外，比較例和實(shí)施例1二者的藍(lán)色發(fā)光層皆顯示出來(lái)自化合物1的藍(lán)色光(430nm)的均一的光譜。
據(jù)此可以確認(rèn)，按有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)少者先涂的順序來(lái)形成發(fā)光層的有效性。
然后，對(duì)于實(shí)施例2中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置，其藍(lán)色發(fā)光層(430nm)、紅色發(fā)光層(640nm)、綠色發(fā)光層(530nm)三者皆顯示出均一的光譜。
在發(fā)光層(紅色)組合物和發(fā)光層(綠色)組合物中，二者的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)皆為3，但是在N2氣流干燥的條件下將兩種組合物相分離的難易程度作比較時(shí)發(fā)現(xiàn)，以發(fā)光層(紅色)組合物較難發(fā)生相分離。
據(jù)此可以確認(rèn)，在有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)相同的情況下，按照在成膜后較難發(fā)生相分離者先涂的順序來(lái)形成發(fā)光層的有效性。
(發(fā)明的效果)如以上所詳述的那樣，按照本發(fā)明的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，可以防止在擠出成膜后的再溶解所引起的相分離，從而能夠制成具有優(yōu)良顯示特性的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
另外，本發(fā)明的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置具有均一的發(fā)光層，因此能夠制成具有優(yōu)良顯示功能的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
另外，本發(fā)明的電子設(shè)備可以作為一種具有優(yōu)良顯示性能的顯示裝置的電子設(shè)備。
(對(duì)附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明)圖1是表示在本發(fā)明的實(shí)施方案中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法的工序的截面圖。
圖2是表示在本發(fā)明的實(shí)施方案中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法的工序的截面圖。
圖3是表示在本發(fā)明的實(shí)施方案中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法的工序的截面圖。
圖4是表示在本發(fā)明的實(shí)施方案中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法的工序的截面圖。
圖5是表示在本發(fā)明的實(shí)施方案中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法的工序的截面圖。
圖6是表示在本發(fā)明的實(shí)施方案中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法的工序的截面圖。
圖7是表示在本發(fā)明的實(shí)施方案中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法的工序的截面圖。
圖8是表示在本發(fā)明的實(shí)施方案中所說(shuō)的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法的工序的截面圖。
圖9是本發(fā)明的比較例和實(shí)施例中所說(shuō)的綠色發(fā)光層發(fā)出的光的光譜。其中，(A)是比較例的發(fā)光光譜，(B)是實(shí)施例的發(fā)光光譜。
圖10是表示具有按本發(fā)明所說(shuō)的制造方法制造的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的電子設(shè)備的立體圖。
(對(duì)符號(hào)的說(shuō)明)10.玻璃基板11.透明電極12.圍堤層13.開(kāi)口部14.噴墨頭15.油墨組合物(空穴注入/輸運(yùn)用)16.空穴注入/輸運(yùn)層17.油墨組合物(發(fā)光層用)18.發(fā)光層19.陰極20.密封層
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，該方法是具有將2種以上含有有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料的組合物擠出到基板上成膜以形成發(fā)光層的工序的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，使上述2種以上組合物對(duì)基板的擠出順序，以構(gòu)成上述組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)少者先涂為順序，進(jìn)行擠出成膜。
2.一種有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，該方法是具有將2種以上含有有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料的組合物擠出到基板上成膜以形成發(fā)光層的工序的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，上述2種以上的組合物中，構(gòu)成上述組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)相同的組合物對(duì)基板的擠出順序，以構(gòu)成上述組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料成膜后較難相分離者先涂為順序，進(jìn)行擠出成膜。
3.權(quán)利要求1或2中所述的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，在連續(xù)2次的組合物擠出中，使先擠出的組合物干燥后，再進(jìn)行后面的組合物擠出。
4.權(quán)利要求3中所述的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，該方法包含下述工序在上述基板上形成與多個(gè)象素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的第1電極和把該多個(gè)象素區(qū)域分隔開(kāi)的隔壁，并在上述多個(gè)第1電極上形成空穴注入/輸運(yùn)層的工序，然后，形成上述發(fā)光層的工序，進(jìn)而在上述發(fā)光層上形成第2電極。
5.一種有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置，它是采用權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)中所述的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置的制造方法而制得的。
6.一種電子設(shè)備，其特征在于，它具備權(quán)利要求5中所述的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光裝置。
全文摘要
在利用噴墨法來(lái)制造有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造過(guò)程中,形成沒(méi)有相分離的均一的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光薄膜。把組合物對(duì)基板的擠出順序確定為構(gòu)成組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)少者先擠出的順序。另外,在組合物中,對(duì)于構(gòu)成該組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料數(shù)相同的組合物,將其對(duì)基板的擠出順序確定為構(gòu)成組合物的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光材料在成膜后難以發(fā)生相分離者先擠出的順序。
文檔編號(hào)H05B33/12GK1359253SQ01139498
公開(kāi)日2002年7月17日 申請(qǐng)日期2001年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2000年11月28日
發(fā)明者森井克行, 關(guān)俊一 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社