專(zhuān)利名稱(chēng)：閥驅(qū)動(dòng)裝置、閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法及泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過(guò)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)使閥保持構(gòu)件移動(dòng)對(duì)流路進(jìn)行開(kāi)閉的閥驅(qū)動(dòng)裝置、閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法及泵。
背景技術(shù)：
以往，冰箱和空調(diào)機(jī)設(shè)有通過(guò)利用步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等的驅(qū)動(dòng)源使閥芯移動(dòng)對(duì)制冷劑流路進(jìn)行開(kāi)閉從而對(duì)與流路共處的室進(jìn)行溫度控制的閥驅(qū)動(dòng)裝置。另外，近年來(lái)作為筆記本個(gè)人計(jì)算機(jī)等的隨身設(shè)備的電源，雖開(kāi)發(fā)有甲醇型燃料電池，但在將成為還原劑的燃料(甲醇和水)供給于該甲醇型燃料電池的燃料電極層(單元)時(shí)，也使用閥驅(qū)動(dòng)裝置以調(diào)節(jié)其流量。
如此，目前閥驅(qū)動(dòng)裝置用于各種領(lǐng)域，隨著所搭載的裝置小型化，如何精度良好地控制制冷劑和燃料等流體流量已成為重要的技術(shù)問(wèn)題。作為精度良好地控制流體流量的對(duì)策之一，可舉出提高閥芯關(guān)閉性能(密封性)的對(duì)策(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1及專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1揭示了一種提高閥芯在關(guān)閉狀態(tài)下的密閉性(密封性)的控制閥?，F(xiàn)具體進(jìn)行說(shuō)明，專(zhuān)利文獻(xiàn)1揭示了這樣一種閥驅(qū)動(dòng)裝置使步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸正反旋轉(zhuǎn)，使升降體上下直線移動(dòng)，并利用編碼器對(duì)電動(dòng)機(jī)的失速進(jìn)行檢測(cè)，控制膜片(控制閥)的開(kāi)度。并且，在該閥驅(qū)動(dòng)裝置中，在流體的流入孔周?chē)纬捎型黄?，該突起與控制閥嵌合。因此，可提高閥芯關(guān)閉狀態(tài)的密封性。
而專(zhuān)利文獻(xiàn)2揭示了使藥液噴嘴的排出精度提高的基板處理裝置及排出控制方法?，F(xiàn)具體進(jìn)行說(shuō)明，專(zhuān)利文獻(xiàn)2揭示了這樣一種基板處理裝置，即其具有對(duì)通過(guò)藥液的藥液配管進(jìn)行開(kāi)閉的流量控制閥和編碼器。在該基板處理裝置中，利用編碼器對(duì)電動(dòng)機(jī)的失速進(jìn)行檢測(cè)，將流量控制閥作成關(guān)閉狀態(tài)，或根據(jù)藥液的性質(zhì)對(duì)流量控制閥的移動(dòng)量(行程)進(jìn)行調(diào)節(jié)，就可提高藥液噴嘴的排出精度。
如此，專(zhuān)利文獻(xiàn)1和專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載的發(fā)明是，利用編碼器對(duì)電動(dòng)機(jī)的失速進(jìn)行檢測(cè)，由控制閥或流量控制閥關(guān)閉流路并使突起和控制閥嵌合，或調(diào)節(jié)流量控制閥的行程，從而提高閥芯的密封性。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2005-54954號(hào)公報(bào)(圖1)專(zhuān)利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2004-327775號(hào)公報(bào)(圖4)但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)1及專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載的發(fā)明由于是如上所述那樣，利用編碼器對(duì)電動(dòng)機(jī)的失速進(jìn)行檢測(cè)，通過(guò)電動(dòng)機(jī)的掣子轉(zhuǎn)矩維持閥的關(guān)閉狀態(tài)，故從電動(dòng)機(jī)及轉(zhuǎn)子到閥的各構(gòu)件的偏差重疊(累積)，其結(jié)果，閥芯在關(guān)閉狀態(tài)的密封性不穩(wěn)定。
例如，在控制閥或流量控制閥等的閥芯與流體的流入孔(或流出孔)抵接將流路關(guān)閉的狀態(tài)下，由于電動(dòng)機(jī)失速，故關(guān)閉流體的流入孔(或流出孔)的關(guān)閉力在閥芯的彈性變形行程內(nèi)且電動(dòng)機(jī)的掣子極數(shù)的范圍內(nèi)會(huì)發(fā)生偏差(每次關(guān)閉流路，關(guān)閉力都不同)。其結(jié)果，閥芯的關(guān)閉性能發(fā)生偏差，閥芯的關(guān)閉狀態(tài)下的密封性不穩(wěn)定。
另外，當(dāng)關(guān)閉流路時(shí)，若閥芯受到過(guò)強(qiáng)的力的按壓，則閥芯的彈性力因滯后作用而產(chǎn)生變化，或抵接部分持續(xù)磨損，結(jié)果，更引起上述的閥芯的關(guān)閉性能的偏差，閥芯的關(guān)閉狀態(tài)的密封性越加不穩(wěn)定。
如此，以往的閥驅(qū)動(dòng)裝置因閥芯的關(guān)閉狀態(tài)的密封性難以穩(wěn)定，故在閥芯關(guān)閉性能的可靠性方面欠佳。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而作的，其目的在于，提供一種可使閥芯關(guān)閉狀態(tài)的密封性穩(wěn)定化進(jìn)而可提高閥芯關(guān)閉性能的可靠性的閥驅(qū)動(dòng)裝置、閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法及泵。
為實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明提供如下一種閥驅(qū)動(dòng)裝置。
(1)閥驅(qū)動(dòng)裝置具有與利用電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件卡合的直線移動(dòng)構(gòu)件；將上述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)變換為直線移動(dòng)的使上述直線移動(dòng)構(gòu)件直線移動(dòng)的變換裝置；隨著上述直線移動(dòng)構(gòu)件的直線移動(dòng)而將開(kāi)口部開(kāi)閉的膜片閥，其特征是，具有通過(guò)將由彈性體形成的上述膜片閥以施力狀態(tài)與上述開(kāi)口部抵接從而將所述開(kāi)口部關(guān)閉的施力構(gòu)件，所述變換裝置是，將所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件卡合而將所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)變換為直線移動(dòng)，并將所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件作成非卡合，所述開(kāi)口部由所述膜片閥關(guān)閉。
采用本發(fā)明，由于在閥驅(qū)動(dòng)裝置中具有將旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)變換為直線移動(dòng)并使直線移動(dòng)構(gòu)件進(jìn)行直線移動(dòng)的變換裝置、和具有彈性且隨著直線移動(dòng)構(gòu)件的直線移動(dòng)將開(kāi)口部開(kāi)閉的膜片閥、以及通過(guò)以施力狀態(tài)將膜片閥與開(kāi)口部抵接從而將開(kāi)口部關(guān)閉的施力構(gòu)件，利用受到施力構(gòu)件施力的膜片閥將旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件作成非卡合而將開(kāi)口部關(guān)閉，因此，可使膜片閥的關(guān)閉狀態(tài)的密封性穩(wěn)定化。
即，本發(fā)明的閥驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)有施力構(gòu)件，其通過(guò)以施力狀態(tài)將膜片閥與開(kāi)口部(例如流體的流入孔或流出孔)的周?chē)纸佣鴮⒃撻_(kāi)口部關(guān)閉。因此，在膜片閥的關(guān)閉狀態(tài)下，即使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件是非卡合狀態(tài)，通過(guò)該施力構(gòu)件，也可穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部關(guān)閉的關(guān)閉力。其結(jié)果，可將膜片閥的關(guān)閉狀態(tài)中的密封性穩(wěn)定化，進(jìn)而可提高膜片閥的關(guān)閉性能的可靠性。
另外，如上所述，在膜片閥的關(guān)閉狀態(tài)下，由于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件為非卡合狀態(tài)，故不會(huì)將剩余的力施加在膜片閥上使膜片閥的彈力因滯后作用而產(chǎn)生變化或抵接部分持續(xù)磨損。因此，可防止膜片閥的關(guān)閉性能因這些原因而產(chǎn)生偏差，進(jìn)而有利于提高膜片閥的關(guān)閉性能的可靠性。另外，通過(guò)防止抵接部分繼續(xù)磨損，從而可有利于提高耐久性。
此外，在以往的閥驅(qū)動(dòng)裝置中，關(guān)閉開(kāi)口部的關(guān)閉力在閥芯的彈性變形行程內(nèi)且在電動(dòng)機(jī)掣子極數(shù)的范圍內(nèi)發(fā)生偏差，故預(yù)測(cè)正確的關(guān)閉力是困難的，但采用本發(fā)明，由于從施力構(gòu)件獲得該關(guān)閉力，故可正確地設(shè)定該關(guān)閉力。另外，在以往的閥驅(qū)動(dòng)裝置中，從電動(dòng)機(jī)及轉(zhuǎn)子到閥的各構(gòu)件的誤差重疊(累積)，結(jié)果，閥芯的關(guān)閉狀態(tài)的密封性不穩(wěn)定，但采用本發(fā)明，由于利用施力構(gòu)件的施力將開(kāi)口部關(guān)閉，故可減少上述的累積誤差(可減少涉及關(guān)閉的零件個(gè)數(shù))，進(jìn)而可使密封性穩(wěn)定。
這里，“施力構(gòu)件”只要可將膜片閥以施力狀態(tài)與開(kāi)口部的周?chē)纸?，可以是任何?gòu)件，例如可舉出螺旋彈簧、板簧、磁性彈簧、橡膠等構(gòu)件。另外，大小、形狀、截面積等其種類(lèi)如何都不論。
另外，在本發(fā)明中，在膜片閥的關(guān)閉狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和直線移動(dòng)構(gòu)件處于“非卡合”狀態(tài)，其不僅包含旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件完全不接觸的場(chǎng)合，還包含旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件一部分接觸的場(chǎng)合。即，即使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件一部分接觸，只要該接觸部位是不影響關(guān)閉開(kāi)口部的關(guān)閉力的部位，也可包含在該“非卡合”之內(nèi)。另外，該“非卡合”也包含即使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件接觸也不作用負(fù)荷的場(chǎng)合。
(2)在(1)所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置中，其特征在于，所述直線移動(dòng)構(gòu)件具有與所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件卡合而受到按壓的被按壓部，通過(guò)按壓該被按壓部而使其直線移動(dòng)。
采用本發(fā)明，上述的直線移動(dòng)構(gòu)件具有與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件卡合而受到按壓的被按壓部，通過(guò)按壓該被按壓部而使其直線移動(dòng)，因此，直到膜片閥處于關(guān)閉狀態(tài)為止，被按壓部被旋轉(zhuǎn)構(gòu)件按壓，使直線移動(dòng)構(gòu)件直線移動(dòng)，另一方面，在膜片閥處于關(guān)閉狀態(tài)的場(chǎng)合，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與被按壓部處于非卡合狀態(tài)。并且，在該場(chǎng)合，通過(guò)上述的施力構(gòu)件可穩(wěn)定地獲得對(duì)開(kāi)口部進(jìn)行關(guān)閉的力，進(jìn)而可提高膜片閥關(guān)閉性能的可靠性。
這里，“被按壓部”只要是與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件卡合而被按壓的部位，任何構(gòu)件都可以，例如在旋轉(zhuǎn)構(gòu)件是外螺紋的場(chǎng)合，也可是與該外螺紋接觸的內(nèi)螺紋的斜面，只要旋轉(zhuǎn)構(gòu)件具有凸緣，也可是由該凸緣按壓的部位(構(gòu)件)。
(3)在(2)所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置中，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述被按壓部通過(guò)螺紋結(jié)合或凸輪結(jié)合而卡合。
采用本發(fā)明，由于上述的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和被按壓部通過(guò)螺紋結(jié)合(外螺紋和內(nèi)螺紋或齒輪齒條副)或凸輪結(jié)合而卡合，故直到膜片閥處于關(guān)閉狀態(tài)為止，例如內(nèi)螺紋的被按壓部(與外螺紋接觸的斜面)由外螺紋的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件按壓，使直線移動(dòng)構(gòu)件直線移動(dòng)，另一方面，在膜片閥處于關(guān)閉狀態(tài)的場(chǎng)合，外螺紋的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與內(nèi)螺紋的被按壓部處于非卡合狀態(tài)。并且，在該場(chǎng)合，通過(guò)上述施力構(gòu)件可穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部關(guān)閉的力，進(jìn)而可提高膜片閥關(guān)閉性能的可靠性。
(4)在(2)所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置中，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述被按壓部具有使兩者形成非卡合并利用所述膜片閥使所述開(kāi)口部關(guān)閉的間隙。
采用本發(fā)明，由于上述的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與被按壓部具有使兩者形成非卡合并利用所述膜片閥使開(kāi)口部關(guān)閉的間隙，故通過(guò)使具有被按壓部的直線移動(dòng)構(gòu)件向與按壓被按壓部的方向相反的方向進(jìn)行直線移動(dòng)，從而可簡(jiǎn)單地作成旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與被按壓部的非卡合狀態(tài)。其結(jié)果，與上述相同，通過(guò)施力構(gòu)件可穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部關(guān)閉的力，進(jìn)而可提高膜片閥關(guān)閉性能的可靠性。
在本發(fā)明的閥驅(qū)動(dòng)裝置中，所述電動(dòng)機(jī)是步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件是固定在所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)軸上的絲桿，所述直線移動(dòng)構(gòu)件可作成通過(guò)向軸向具有間隙的螺紋結(jié)合而與所述絲桿卡合并受到止轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。在該場(chǎng)合，最好作成這種結(jié)構(gòu)所述直線移動(dòng)構(gòu)件可作成對(duì)所述膜片閥進(jìn)行保持的閥保持構(gòu)件，該閥保持構(gòu)件形成為與所述絲桿同心狀，在內(nèi)部形成與所述絲桿卡合的螺紋部，并在外周部設(shè)有支承所述施力構(gòu)件的彈簧支承部。若如此構(gòu)成，則可將本發(fā)明的閥驅(qū)動(dòng)裝置作成小型的結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明的閥驅(qū)動(dòng)裝置中，當(dāng)所述開(kāi)口部通過(guò)所述膜片閥而被關(guān)閉時(shí)，所述閥保持構(gòu)件的螺紋部的螺紋只要利用與所述絲桿的軸向的間隙設(shè)定在不與所述絲桿的螺紋卡合的中間位置，就可將所述膜片閥作成僅利用所述施力構(gòu)件的施力將所述開(kāi)口部關(guān)閉的結(jié)構(gòu)。
(5)一種閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法，是所述(1)至(4)中任一項(xiàng)所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法，其特征在于，驅(qū)動(dòng)所述直線移動(dòng)構(gòu)件直到利用所述施力構(gòu)件將所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接關(guān)閉為止，并停止在所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件的非卡合的位置。
采用本發(fā)明，由于是上述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法，驅(qū)動(dòng)直線移動(dòng)構(gòu)件，直到利用施力構(gòu)件將膜片閥與開(kāi)口部抵接、關(guān)閉，并使其停止在旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件的非卡合的位置，故在膜片閥的關(guān)閉狀態(tài)下，通過(guò)上述的施力構(gòu)件可穩(wěn)定地獲得關(guān)閉開(kāi)口部的關(guān)閉力，進(jìn)而可提高膜片閥關(guān)閉性能的可靠性。
(6)在(5)所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法中，其特征在于，驅(qū)動(dòng)所述直線移動(dòng)構(gòu)件直到利用所述施力構(gòu)件將所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接、關(guān)閉，并在利用所述直線移動(dòng)構(gòu)件使所述膜片閥抵接關(guān)閉后，使所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件逆旋轉(zhuǎn)并使其停止在所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件的非卡合的位置。
采用本發(fā)明，由于驅(qū)動(dòng)直線移動(dòng)構(gòu)件，直到利用施力構(gòu)件將膜片閥與開(kāi)口部抵接、關(guān)閉，在利用直線移動(dòng)構(gòu)件使膜片閥抵接關(guān)閉后，使旋轉(zhuǎn)構(gòu)件逆旋轉(zhuǎn)并使其停止在旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件的非卡合的位置，因此，只要控制電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)方向，就可簡(jiǎn)單地作成旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件的非卡合狀態(tài)。并且在該非卡合狀態(tài)下，通過(guò)上述的施力構(gòu)件可簡(jiǎn)單且穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部關(guān)閉的力。
具體地說(shuō)，所述電動(dòng)機(jī)是步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件是固定在所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)軸上的絲桿，所述直線移動(dòng)構(gòu)件是對(duì)所述膜片閥進(jìn)行保持的閥保持構(gòu)件，其通過(guò)在軸向具有間隙的螺紋結(jié)合而與所述絲桿卡合并受到止轉(zhuǎn)，通過(guò)使所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)而使所述絲桿旋轉(zhuǎn)，使與該絲桿卡合的所述閥保持構(gòu)件直線移動(dòng)，使所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接，然后，通過(guò)使所述電動(dòng)機(jī)逆旋轉(zhuǎn)，利用與所述閥保持構(gòu)件的所述軸向的間隙使所述絲桿停止在非卡合的位置，可作成僅利用所述施力構(gòu)件的施力使所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接并關(guān)閉的結(jié)構(gòu)。
(7)在(5)所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法中，其特征在于，驅(qū)動(dòng)所述直線移動(dòng)構(gòu)件，直到利用所述施力構(gòu)件將所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接、關(guān)閉，并利用所述直線移動(dòng)構(gòu)件使所述膜片閥在即將抵接關(guān)閉之前停止，并停止在所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件的非卡合的位置。
采用本發(fā)明，由于將直線移動(dòng)構(gòu)件驅(qū)動(dòng)而直到利用施力構(gòu)件將膜片閥與開(kāi)口部抵接并關(guān)閉，并利用直線移動(dòng)構(gòu)件使膜片閥在即將抵接關(guān)閉之前停止，停止在旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件的非卡合的位置，因此，可簡(jiǎn)單地作成旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與直線移動(dòng)構(gòu)件的非卡合狀態(tài)。尤其，由于與上述的控制方法不同，不必改變電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)方向，故可將控制電動(dòng)機(jī)的控制程序簡(jiǎn)單化，并可穩(wěn)定地獲得關(guān)閉開(kāi)口部的力。
具體地說(shuō)，所述電動(dòng)機(jī)是步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件是固定在所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)軸上的絲桿，所述直線移動(dòng)構(gòu)件是對(duì)所述膜片閥進(jìn)行保持的閥保持構(gòu)件，其通過(guò)沿軸向具有間隙的螺紋結(jié)合而與所述絲桿卡合并受到止轉(zhuǎn)，通過(guò)使所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)而使所述絲桿旋轉(zhuǎn)，并使與該絲桿卡合的所述閥保持構(gòu)件直線移動(dòng)，在所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接后，使所述絲桿利用與所述閥保持構(gòu)件的所述軸向的間隙而停止在非卡合的位置，就可僅利用所述施力構(gòu)件的施力而使所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接、關(guān)閉。
(8)一種泵，是具有前述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的泵，其特征在于，包括與流入孔連通的流入道；配置在所述流入道內(nèi)的流入側(cè)的所述閥驅(qū)動(dòng)裝置；與所述流入道連接的泵室；配置在所述泵室內(nèi)的泵機(jī)構(gòu)；從所述泵室延伸并與多個(gè)流出孔分別連通的多個(gè)流出道；分別配置在所述多個(gè)流出道內(nèi)的流出側(cè)的所述閥驅(qū)動(dòng)裝置。
采用本發(fā)明，由于泵設(shè)有流入道及流出道、配置在流入道內(nèi)的流入側(cè)的所述閥驅(qū)動(dòng)裝置、與流入道連接的泵室、配置在泵室內(nèi)的泵機(jī)構(gòu)、和分別配置在多個(gè)流出道內(nèi)的流出側(cè)的所述閥驅(qū)動(dòng)裝置，故可提供一種使膜片閥關(guān)閉性能的可靠性提高的泵。
采用本發(fā)明的閥驅(qū)動(dòng)裝置、閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法及泵，不是利用電動(dòng)機(jī)的掣子轉(zhuǎn)矩，而是利用設(shè)在閥驅(qū)動(dòng)裝置上的施力構(gòu)件穩(wěn)定獲得對(duì)開(kāi)口部進(jìn)行關(guān)閉的關(guān)閉力，因此，可使膜片閥關(guān)閉狀態(tài)的密封性穩(wěn)定化，進(jìn)而可提高膜片閥關(guān)閉性能的可靠性。另外，可防止因膜片閥的滯后作用或磨損造成膜片閥的關(guān)閉性能偏差。此外，可正確設(shè)定膜片閥的關(guān)閉力。


圖1是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置的縱剖視圖。
圖2是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置的分解圖。
圖3是將圖1所示的閥驅(qū)動(dòng)裝置的中心部放大后的放大圖。
圖4是表示圖1所示的閥驅(qū)動(dòng)裝置開(kāi)口部被開(kāi)閉狀態(tài)的示圖。
圖5是將圖4所示的閥驅(qū)動(dòng)裝置的中心部放大后的放大圖。
圖6是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置控制方法的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)

實(shí)施本發(fā)明用的最佳形態(tài)。下面說(shuō)明的閥驅(qū)動(dòng)裝置可搭載在具有流入道、流出道、泵室及泵機(jī)構(gòu)等的泵上。
(機(jī)械結(jié)構(gòu))圖1是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置10的縱剖視圖。圖2是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置10的分解圖。圖2的左半部分表示各零件的縱剖視圖，圖2的右半部分表示各零件的俯視剖視圖。
在圖1及圖2中，閥驅(qū)動(dòng)裝置10包括作為驅(qū)動(dòng)源的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)(下面僅稱(chēng)為電動(dòng)機(jī))1；內(nèi)設(shè)有電動(dòng)機(jī)1的殼體6；形成流體的流入口(流入孔)8a及流體的流出口(流出孔)8b并與殼體6卡合的殼體8。
在電動(dòng)機(jī)1的旋轉(zhuǎn)軸1a上壓入固定有例如由右螺紋構(gòu)成的絲桿2，該絲桿2向與電動(dòng)機(jī)1的旋轉(zhuǎn)方向相同的方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。并且，在絲桿2上螺紋嵌合有閥保持構(gòu)件3的內(nèi)螺紋3a。即，相當(dāng)于直線移動(dòng)構(gòu)件的一個(gè)例子的閥保持構(gòu)件3相對(duì)于相當(dāng)于旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的一個(gè)例子的絲桿2而形成同心狀，通過(guò)形成在內(nèi)部的內(nèi)螺紋3a而與絲桿2卡合。因此，當(dāng)從絲桿2側(cè)看電動(dòng)機(jī)1向CCW方向(逆時(shí)針?lè)较?旋轉(zhuǎn)時(shí)，閥保持構(gòu)件3就靠近電動(dòng)機(jī)1，而當(dāng)從絲桿2側(cè)看電動(dòng)機(jī)1向CW方向(順時(shí)針?lè)较?旋轉(zhuǎn)時(shí)，閥保持構(gòu)件3就遠(yuǎn)離電動(dòng)機(jī)1。如此，因絲桿2與閥保持構(gòu)件3通過(guò)螺紋結(jié)合而卡合，閥保持構(gòu)件3受到止轉(zhuǎn)，因此，絲桿2的旋轉(zhuǎn)被變換為直線移動(dòng)。
在閥保持構(gòu)件3的外周側(cè)，同心狀設(shè)有彈簧支承部3b，由該彈簧支承部3b和電動(dòng)機(jī)1保持彈簧4。彈簧4由壓縮螺旋彈簧構(gòu)成，向離開(kāi)電動(dòng)機(jī)1的方向?qū)﹂y保持構(gòu)件3進(jìn)行施力。在本實(shí)施形態(tài)中，雖采用了壓縮螺旋彈簧，但也可采用例如“拉伸螺旋彈簧”。在該場(chǎng)合，閥保持構(gòu)件3的彈簧支承部3b的相反面可保持拉伸螺旋彈簧。
在閥保持構(gòu)件3的中央部設(shè)有凸?fàn)畹哪て３植?c，該膜片保持部3c與膜片閥5的凹部5a嵌合。另外，在閥保持構(gòu)件3中，在彈簧支承部3b與膜片保持部3c之間的凸緣部形成有3個(gè)圓弧狀的止轉(zhuǎn)孔部3d(參照?qǐng)D2)。
在內(nèi)設(shè)有電動(dòng)機(jī)1的殼體6上形成有立起部6a，該立起部6a被三分割以與上述的止轉(zhuǎn)孔部3d卡合(參照?qǐng)D2)。另外如圖2所示，殼體6上開(kāi)設(shè)有使構(gòu)成閥的膜片閥5的背壓向電動(dòng)機(jī)1側(cè)釋放用的背壓釋放孔6b和將電動(dòng)機(jī)1運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的熱量予以釋放的熱量釋放孔6c，并設(shè)有對(duì)電動(dòng)機(jī)1進(jìn)行安裝定位用的板簧7可進(jìn)入的槽6d，穿過(guò)電動(dòng)機(jī)1的給電用配線的槽6e。另外，作為使絲桿2的旋轉(zhuǎn)變換為直線移動(dòng)而使閥保持構(gòu)件3直線移動(dòng)的“變換裝置”，可考慮立起部6a和與其卡合的止轉(zhuǎn)孔部3d。板簧7具有嵌入電動(dòng)機(jī)1兩側(cè)的止脫部7a、彈簧部7b及彈簧部7c，利用這些各部分的作用而將電動(dòng)機(jī)1安裝在殼體6上。
另一方面，在殼體6與殼體9之間，夾裝有由具有橡膠彈性的彈性體形成的膜片閥5。更具體地說(shuō)，膜片閥5的外周部5b夾入殼體6與殼體9之間被固定(參照?qǐng)D1)，同時(shí)，邊緣5e也被夾入固定。邊緣5e可防止流體從殼體6與殼體9之間的間隙漏出，提高密封性。由于膜片閥5的膜部5c容易變形，故其形成圓弧狀以使應(yīng)力不集中。
在夾裝了膜片閥5、殼體9及密封環(huán)11后，殼體8與殼體6卡合。殼體9上形成有使從流入口8a流入的流體通過(guò)的流路9a和使流出到流出口8b的流體流通的流路9b。這里，由膜片閥5和殼體9形成流路的一部分。因此，從流入口8a流入、通過(guò)流路9a的流體通過(guò)開(kāi)口部20后，經(jīng)由膜片閥5和殼體9構(gòu)成的流路而到流路9b。密封環(huán)11配置成被夾在殼體8與殼體9之間，防止流體從殼體8與殼體9之間漏出，提高密封性。
接著，根據(jù)圖3詳細(xì)說(shuō)明閥驅(qū)動(dòng)裝置10的中心部(膜片閥5附近)。圖3是將圖1所示的閥驅(qū)動(dòng)裝置10的中心部放大后的放大圖。
如圖3所示，在膜片閥5凹部5a的與電動(dòng)機(jī)1相反側(cè)的面上形成有尖細(xì)的同心狀的邊緣5d。該邊緣5d的與殼體9抵接的面是關(guān)閉開(kāi)口部20時(shí)的密封面。另外，膜片保持部3c的直徑小于尖細(xì)的邊緣5d的直徑。由此，在邊緣5d上由膜片保持部3c作用著充分的壓力，以稍許的力就可獲得穩(wěn)定的高可靠性的密封性。
另外，在圖3中，在閥處于開(kāi)口狀態(tài)下，絲桿2和膜片保持部3c的內(nèi)螺紋3a，其螺距和螺紋牙角度是相同的。在旋轉(zhuǎn)軸1a的軸向產(chǎn)生間隙Z。
這里，在本實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置10中，如上所述，閥保持構(gòu)件3受到彈簧4的向離開(kāi)電動(dòng)機(jī)1的方向的施力。因此，當(dāng)閥保持構(gòu)件3進(jìn)行直線移動(dòng)動(dòng)作時(shí)，絲桿2(的螺紋部)的電動(dòng)機(jī)1側(cè)的斜面和閥保持構(gòu)件3的內(nèi)螺紋3a中的與電動(dòng)機(jī)1相反側(cè)的斜面被保持成接觸的狀態(tài)，即絲桿2與閥保持構(gòu)件3被保持成卡合的狀態(tài)。
另一方面，當(dāng)由膜片閥5的邊緣5d關(guān)閉開(kāi)口部20時(shí)，絲桿2(的螺紋部)中的與電動(dòng)機(jī)1側(cè)相反側(cè)的斜面和閥保持構(gòu)件3的內(nèi)螺紋3a中的電動(dòng)機(jī)1側(cè)的斜面被保持成不接觸的狀態(tài)，即絲桿2和閥保持構(gòu)件3在與間隙Z之間被保持成非卡合的狀態(tài)。
現(xiàn)根據(jù)圖4及圖5詳細(xì)說(shuō)明對(duì)于關(guān)閉開(kāi)口部20的狀態(tài)。圖4是表示圖1所示的閥驅(qū)動(dòng)裝置10的開(kāi)口部20被開(kāi)閉的狀態(tài)的示圖。圖5是將圖4所示的閥驅(qū)動(dòng)裝置10的中心部放大后的放大圖。圖4(a)及圖5(a)分別是與圖1及圖3相同的示圖。
如圖4(a)及圖5(a)所示，當(dāng)閥保持構(gòu)件3作直線移動(dòng)時(shí)，絲桿2與閥保持構(gòu)件3受到彈簧4的施力而卡合。
另一方面，如圖4(b)及圖5(b)所示，當(dāng)由膜片閥5(的邊緣5d)將開(kāi)口部20關(guān)閉時(shí)，彈簧4的施力與膜片閥5受到的來(lái)自殼體9的反作用的力處于平衡，絲桿2和閥保持構(gòu)件3在間隙Z之間處于非卡合狀態(tài)。即，膜片閥5(的邊緣5d)因彈簧4而以施力狀態(tài)抵接在開(kāi)口部20的周?chē)浣Y(jié)果，開(kāi)口部20被關(guān)閉。
(本實(shí)施形態(tài)的效果)采用本實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置10，由于利用彈簧4可穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部20關(guān)閉的關(guān)閉力，故可使膜片閥5的關(guān)閉狀態(tài)的密封性穩(wěn)定化，進(jìn)而可提高膜片閥5的關(guān)閉性能的可靠性。
另外，在膜片閥5的關(guān)閉狀態(tài)下，由于在間隙Z之間絲桿2和閥保持構(gòu)件3處于非卡合狀態(tài)，故不會(huì)有過(guò)剩的力作用于膜片閥5，可防止因膜片閥5的滯后作用或磨損造成關(guān)閉性能的偏差。而通過(guò)預(yù)先計(jì)測(cè)彈簧4的施力，從而可正確地設(shè)定膜片閥5在關(guān)閉狀態(tài)下關(guān)閉力有多大。
此外，采用本實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置10，由于將彈簧4設(shè)在外側(cè)，將絲桿2設(shè)在內(nèi)側(cè)，故絲桿2成為彈簧4的軸心的一部分，結(jié)果，可防止彈簧4偏斜，進(jìn)而可獲得穩(wěn)定的關(guān)閉力。由于將閥保持構(gòu)件3的膜片保持部3c作成比開(kāi)口部20還小的小徑，故當(dāng)凹部5a關(guān)閉時(shí)，膜片閥5均勻地進(jìn)行變形，進(jìn)而可獲得穩(wěn)定的高可靠性的密封性。
再有，由于對(duì)電動(dòng)機(jī)1的定位固定方法采用利用板簧7從一個(gè)方向進(jìn)行固定的方法，故可容易地安裝電動(dòng)機(jī)1，并可防止制造成本上升。
(其它實(shí)施形態(tài))在本實(shí)施形態(tài)中，絲桿2和閥保持構(gòu)件3通過(guò)外螺紋和內(nèi)螺紋3a而卡合，但例如也可通過(guò)齒輪齒條副卡合。另外，在本實(shí)施形態(tài)中，作為與絲桿2卡合并受到按壓的被按壓部的一個(gè)例子，可考慮閥保持構(gòu)件3的內(nèi)螺紋3a，但本發(fā)明不限于此。例如，在將絲桿2置換成凸輪的場(chǎng)合，作為被按壓部，與該凸輪抵接的部位(構(gòu)件)成為被按壓部。
本實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置10與圖1～圖4所示的閥驅(qū)動(dòng)裝置10不同，可作各種變形流入口8a與流出口8b既可相反，也可兩者不是圓孔，是四方孔等，絲桿2也可與旋轉(zhuǎn)軸1a一體，閥保持構(gòu)件3與膜片閥5的結(jié)合狀態(tài)也可是凹凸相反，膜片閥5中的邊緣5d也可是帶有圓形的形狀，也可是邊緣形成在殼體9側(cè)，而不是形成在膜片閥5側(cè)。
(控制方法)圖6是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的閥驅(qū)動(dòng)裝置10的控制方法的說(shuō)明圖。
首先用圖4(a)及圖5(a)說(shuō)明，當(dāng)閥保持構(gòu)件3向離開(kāi)電動(dòng)機(jī)1的方向進(jìn)行直線移動(dòng)動(dòng)作時(shí)，絲桿2(的螺紋部)中的電動(dòng)機(jī)1側(cè)的斜面和閥保持構(gòu)件3的內(nèi)螺紋3a中的與電動(dòng)機(jī)1側(cè)相反側(cè)的斜面因彈簧4的施力而成為接觸的狀態(tài)(參照?qǐng)D6(a))。更具體地說(shuō)，當(dāng)向電動(dòng)機(jī)1賦予脈沖電壓、使絲桿2向CCW方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，閥保持構(gòu)件3就向離開(kāi)電動(dòng)機(jī)1的方向前進(jìn)，此時(shí)，絲桿2和閥保持構(gòu)件3卡合。
并且，當(dāng)閥保持構(gòu)件3的邊緣5d與殼體9抵接時(shí)，膜片閥5開(kāi)始受到殼體9的反作用的力，當(dāng)該反作用的力和彈簧4的施力平衡時(shí)，絲桿2(的螺紋部)中的與電動(dòng)機(jī)1側(cè)相反側(cè)的斜面和閥保持構(gòu)件3的內(nèi)螺紋3a中的電動(dòng)機(jī)1側(cè)的斜面轉(zhuǎn)變成非接觸的狀態(tài)(圖6(b))。
如此，本控制方法是，驅(qū)動(dòng)膜片閥5的邊緣5d直到與開(kāi)口部20抵接、關(guān)閉，并驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)1直到邊緣5d沉入的位置的前端，同時(shí)在利用閥保持構(gòu)件3使膜片閥5沉入的跟前，使閥保持構(gòu)件3的直線移動(dòng)停止。即，從利用彈簧4將邊緣5d壓扁一定量而關(guān)閉膜片閥5的位置使絲桿2稍許前進(jìn)、停止(圖6(a)→圖6(b))。由此，可將絲桿2和閥保持構(gòu)件3作成非卡合狀態(tài)，進(jìn)而可穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部20關(guān)閉的關(guān)閉力。另外，要使閥保持構(gòu)件3的直線移動(dòng)停止在所需的位置，則只要適當(dāng)調(diào)節(jié)賦予電動(dòng)機(jī)1的脈沖電壓(脈沖數(shù))即可，不必改變電動(dòng)機(jī)1的旋轉(zhuǎn)方向，故可將控制電動(dòng)機(jī)1的控制程序簡(jiǎn)單化，并可穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部20關(guān)閉的關(guān)閉力。
接著，用圖6(c)及圖6(d)說(shuō)明閥驅(qū)動(dòng)裝置10的另一控制方法。
首先，與上述相同，使絲桿2和閥保持構(gòu)件3從卡合的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成在間隙Z之間的非卡合的狀態(tài)(參照?qǐng)D6(a)→圖6(b))。并且，再將規(guī)定行程動(dòng)作以上的脈沖電壓賦予電動(dòng)機(jī)1，從而將絲桿2(的螺紋部)中的與電動(dòng)機(jī)1相反側(cè)的斜面和閥保持構(gòu)件3的內(nèi)螺紋3a中的電動(dòng)機(jī)1側(cè)的斜面轉(zhuǎn)變?yōu)榻佑|的狀態(tài)(圖6(b)→圖6(c))。即，絲桿2和閥保持構(gòu)件3再卡合。此時(shí)，膜片閥5的邊緣5d的前端與開(kāi)口部20的周?chē)纸硬⒈粔罕?參照?qǐng)D6(c))。
然后，以規(guī)定的時(shí)間在間隙Z的范圍內(nèi)使電動(dòng)機(jī)1向CW方向旋轉(zhuǎn)(反轉(zhuǎn))。更具體地說(shuō)，例如以將向CCW方向旋轉(zhuǎn)的規(guī)定數(shù)的脈沖電壓賦予電動(dòng)機(jī)1并結(jié)束后為契機(jī)，對(duì)電動(dòng)機(jī)1賦予向CW方向旋轉(zhuǎn)的4～5步進(jìn)數(shù)的脈沖電壓。由此，在間隙Z的范圍內(nèi)可使電動(dòng)機(jī)1稍許(例如將旋轉(zhuǎn)軸1a作成約90度)反轉(zhuǎn)。在本實(shí)施形態(tài)中，由于不需要編碼器，故可降低制造成本，有助于電動(dòng)機(jī)1的小型化。但也可在電動(dòng)機(jī)1上設(shè)置編碼器，由此以檢測(cè)出電動(dòng)機(jī)1失速為契機(jī)，賦予上述的4～5步進(jìn)數(shù)的脈沖電壓。
當(dāng)在間隙Z的范圍內(nèi)使電動(dòng)機(jī)1稍許反轉(zhuǎn)時(shí)，在閥保持構(gòu)件3因彈簧4的施力而受到按壓的狀態(tài)下，閥處于關(guān)閉狀態(tài)。即，絲桿2(的螺紋部)中的與電動(dòng)機(jī)1側(cè)相反側(cè)的斜面和閥保持構(gòu)件3的內(nèi)螺紋3a中的電動(dòng)機(jī)1側(cè)的斜面轉(zhuǎn)變?yōu)榉墙佑|的狀態(tài)(圖6(d))。此時(shí)，邊緣5d因彈力(復(fù)原力)而復(fù)原到膜片閥5受到殼體9的反作用力與彈簧4的施力平衡的位置，邊緣5d的前端處于稍許凹入的狀態(tài)。
如此，本控制方法，在利用彈簧4將膜片閥5的邊緣5d與開(kāi)口部20的周?chē)纸硬⑹闺妱?dòng)機(jī)1驅(qū)動(dòng)直到沉入邊緣5d的位置的前端并利用閥保持構(gòu)件3使膜片閥5沉入后，在使其后退并處于絲桿2和閥保持構(gòu)件3的非卡卡合的位置，使閥保持構(gòu)件3的直線移動(dòng)停止(圖6(c)→圖6(d))。由此，可穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部20關(guān)閉的關(guān)閉力。另外，本控制方法只要控制電動(dòng)機(jī)1的旋轉(zhuǎn)方向，就可簡(jiǎn)單地作成絲桿2與閥保持構(gòu)件3的非卡合狀態(tài)，故可簡(jiǎn)單而容易且穩(wěn)定地獲得將開(kāi)口部20關(guān)閉的關(guān)閉力。
如上所述，采用上述的閥驅(qū)動(dòng)裝置10的控制方法，可不利用電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)矩確保密封性，而可利用彈簧4的施力確保穩(wěn)定的密封性，并可提供在膜片閥5、絲桿2上不殘留較大應(yīng)力的高耐久性的閥。此外，可穩(wěn)定地獲得利用彈簧4的施力將開(kāi)口部20關(guān)閉的關(guān)閉力，故可提高膜片閥5關(guān)閉性能的可靠性。
在圖6(d)所示的狀態(tài)下，在進(jìn)一步使電動(dòng)機(jī)1向CW方向旋轉(zhuǎn)的場(chǎng)合，閥保持構(gòu)件3在圖6(a)所示的狀態(tài)下被拉到電動(dòng)機(jī)1側(cè)，閥被打開(kāi)。這樣，也可通過(guò)賦予電動(dòng)機(jī)1的脈沖數(shù)來(lái)控制閥的開(kāi)度。
產(chǎn)業(yè)上的實(shí)用性本發(fā)明的閥驅(qū)動(dòng)裝置、閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法及泵，作為可提高閥芯關(guān)閉性能的可靠性是有用的。
權(quán)利要求
1.一種閥驅(qū)動(dòng)裝置，具有與利用電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件卡合的直線移動(dòng)構(gòu)件；將所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)變換為直線移動(dòng)的使所述直線移動(dòng)構(gòu)件直線移動(dòng)的變換裝置；隨著所述直線移動(dòng)構(gòu)件的直線移動(dòng)而將開(kāi)口部開(kāi)閉的膜片閥，其特征在于，具有施力構(gòu)件，該施力構(gòu)件將用由彈性體形成的所述膜片閥以施力狀態(tài)與所述開(kāi)口部抵接而將所述開(kāi)口部關(guān)閉，所述變換裝置使所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件卡合而將所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)變換為直線移動(dòng)，使所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件形成非卡合而用所述膜片閥關(guān)閉所述開(kāi)口部。
2.如權(quán)利要求1所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述直線移動(dòng)構(gòu)件具有與所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件卡合而受到按壓的被按壓部，通過(guò)按壓該被按壓部而使其直線移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述被按壓部通過(guò)螺紋結(jié)合或凸輪結(jié)合而卡合。
4.如權(quán)利要求2所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述被按壓部具有使兩者形成非卡合并利用所述膜片閥使所述開(kāi)口部關(guān)閉的間隙。
5.如權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)是步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件是固定在所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)軸上的絲桿，所述直線移動(dòng)構(gòu)件通過(guò)在軸向具有間隙的螺紋結(jié)合而與所述絲桿卡合并受到止轉(zhuǎn)。
6.如權(quán)利要求5所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，所述直線移動(dòng)構(gòu)件是對(duì)所述膜片閥進(jìn)行保持的閥保持構(gòu)件，該閥保持構(gòu)件與所述絲桿形成同心狀，并在內(nèi)部形成有與所述絲桿卡合的螺紋部，在外周部設(shè)有支承所述施力構(gòu)件的彈簧支承部。
7.如權(quán)利要求6所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，當(dāng)所述開(kāi)口部被所述膜片閥關(guān)閉時(shí)，所述閥保持構(gòu)件的螺紋部的螺紋通過(guò)與所述絲桿之間在軸向的間隙而設(shè)定在不與所述絲桿的螺紋卡合的中間位置，所述膜片閥僅利用所述施力構(gòu)件的施力將所述開(kāi)口部關(guān)閉。
8.一種閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法，對(duì)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行控制，其特征在于，驅(qū)動(dòng)所述直線移動(dòng)構(gòu)件，直到利用所述施力構(gòu)件將所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接關(guān)閉為止，并在所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件間非卡合的位置上停止。
9.如權(quán)利要求8所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法，其特征在于，驅(qū)動(dòng)所述直線移動(dòng)構(gòu)件，直到利用所述施力構(gòu)件將所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接、關(guān)閉為止，并在利用所述直線移動(dòng)構(gòu)件將所述膜片閥抵接關(guān)閉后，使所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件逆旋轉(zhuǎn)并使其在所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件間非卡合的位置上停止。
10.如權(quán)利要求9所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)是步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件是固定在所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)軸上的絲桿，所述直線移動(dòng)構(gòu)件是對(duì)所述膜片閥進(jìn)行保持的閥保持構(gòu)件，其通過(guò)軸向具有間隙的螺紋結(jié)合而與所述絲桿卡合并受到止轉(zhuǎn)，通過(guò)使所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)而使所述絲桿旋轉(zhuǎn)，以使與該絲桿卡合的所述閥保持構(gòu)件直線移動(dòng)，使所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接，然后，通過(guò)使所述電動(dòng)機(jī)逆旋轉(zhuǎn)而利用與所述閥保持構(gòu)件的所述軸向的間隙使所述絲桿在非卡合的位置上停止，僅利用所述施力構(gòu)件的施力而使所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接、關(guān)閉。
11.如權(quán)利要求8所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法，其特征在于，驅(qū)動(dòng)所述直線移動(dòng)構(gòu)件，直到利用所述施力構(gòu)件將所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接、關(guān)閉為止，并利用所述直線移動(dòng)構(gòu)件在所述膜片閥即將抵接關(guān)閉之前停止，以停止在所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件與所述直線移動(dòng)構(gòu)件間非卡合的位置。
12.如權(quán)利要求11所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)是步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件是固定在所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)軸上的絲桿，所述直線移動(dòng)構(gòu)件是對(duì)所述膜片閥進(jìn)行保持的閥保持構(gòu)件，其通過(guò)軸向具有間隙的螺紋結(jié)合而與所述絲桿卡合并受到止轉(zhuǎn)，通過(guò)使所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)而使所述絲桿旋轉(zhuǎn)，并使與該絲桿卡合的所述閥保持構(gòu)件直線移動(dòng)，所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接后，利用與所述閥保持構(gòu)件間的所述軸向的間隙使所述絲桿停止在非卡合的位置，僅利用所述施力構(gòu)件的施力而使所述膜片閥與所述開(kāi)口部抵接、關(guān)閉。
13.一種泵，具有權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的閥驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，包括與流入孔連通的流入道；配置在所述流入道內(nèi)的流入側(cè)的所述閥驅(qū)動(dòng)裝置；與所述流入道連接的泵室；配置在所述泵室內(nèi)的泵機(jī)構(gòu)；從所述泵室延伸并與多個(gè)流出孔分別連通的多個(gè)流出道；分別配置在各個(gè)所述流出道內(nèi)的流出側(cè)的所述閥驅(qū)動(dòng)裝置。
全文摘要
一種閥驅(qū)動(dòng)裝置、閥驅(qū)動(dòng)裝置的控制方法及泵，對(duì)于閥驅(qū)動(dòng)裝置(10)，設(shè)有通過(guò)以施力狀態(tài)將由具有橡膠彈性的彈性體形成的膜片閥(5)(的邊緣5d)與開(kāi)口部(20)的周?chē)?殼體9)抵接而將開(kāi)口部(20)關(guān)閉的施力構(gòu)件(彈簧4)，絲桿(2)和閥保持構(gòu)件(3)卡合而將絲桿(2)的旋轉(zhuǎn)變換為直線移動(dòng)，同時(shí)，將絲桿(2)與閥保持構(gòu)件(3)作成非卡合狀態(tài)，開(kāi)口部(20)由膜片閥(5)關(guān)閉，采用本發(fā)明，可使閥芯關(guān)閉狀態(tài)的密封性穩(wěn)定化，進(jìn)而可提高閥芯關(guān)閉性能的可靠性。
文檔編號(hào)B30B15/02GK1978186SQ20061016890
公開(kāi)日2007年6月13日 申請(qǐng)日期2006年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月9日
發(fā)明者村松健次 申請(qǐng)人:日本電產(chǎn)三協(xié)株式會(huì)社